JP6469617B2 - 非局所的読出し回路を有する画像センサおよびこの画像センサを備える光電子デバイス - Google Patents
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Description
− 前記少なくとも1つの画素の基板と光活性要素の間、1次絶縁層と基板の間に配設されたバックゲート接点であって、前記1次絶縁層が前記光活性要素と基板の間に配設されているバックゲート接点、および/または
− 前記少なくとも1つの画素の光活性要素の上に配設されたトップゲート接点を備える。
− 前記少なくとも1つの画素の基板と基準要素の間、2次絶縁層と基板の間に配設されたバックゲート接点であって、前記2次絶縁層が前記基準要素と基板の間に配設されているバックゲート接点、および/または
− 前記少なくとも1つの画素の基準要素の上に配設されたトップゲート接点を備える。
− 各行にある画素と同数の入力端子および1つの出力端子を備えるマルチプレクサであって、マルチプレクサの各入力端子が各行の画素の出力接点に対して回路状に接続されているマルチプレクサと、
− マルチプレクサの出力端子に対して動作可能に直列接続された増幅器とを備える。
− 各行にある画素と同数の増幅器であって、それぞれが各行の画素の出力接点に対して回路状に接続された入力端子および1つの出力端子を有する増幅器と、好ましくは、
− 各増幅器の出力端子に対して直列接続された記憶要素であって、それぞれが複数の画素のうち1つの画素で生成された光信号に比例した電圧を記憶するように構成されている記憶要素とを備える。
− 2次元配列の列の第1のグループの各列について、前記列の画素の出力接点に対して回路状に接続された単一の増幅器と、
− 2次元配列の列の第2のグループの列について、前記第2のグループの列の画素の出力接点に対して回路状に接続された増幅器とを備える。
a)基板の第1の領域上に、2次元材料の少なくとも1つの層を含む輸送層と、輸送層に関連付けられた感光層とを設けるステップと、
b)制御ユニットの中に、第1のバイアス電圧を供給する第1のバイアス回路と、第1のバイアス電圧に対して実質的に対称な第2のバイアス電圧を供給する第2のバイアス回路と、画素上に衝突する光によって生成された光信号を読み取るように適合された読出し回路とを設けるステップと、
c)基板の第1の領域の外の第1のバイアス回路および第2のバイアス回路の中にそれぞれ設けられた第1の選択手段および第2の選択手段を配置するステップであって、第1の選択手段および第2の選択手段が、前記複数の画素のうち所与の時間に読み取られるべき1つまたは複数の画素に対して選択的にバイアスをかけるように適合されているステップとを備え、
この方法は、複数の画素の各画素について、
d)基板の第1の領域上に配置された感光層および輸送層の選択された位置における光活性要素を定義して、この光活性要素を、前記画素に設けられた第1の接点と出力接点の間に回路状に接続するステップと、
e)前記画素の光活性要素に対して、光活性要素の暗伝導度と実質的に一致する暗伝導度を有する非光活性基準要素を近接に配置し、この基準要素を、前記画素に設けられた前記出力接点と第2の接点の間に回路状に接続するステップと、
f)前記画素の第1の接点、第2の接点、および出力接点を、それぞれ制御ユニットの第1のバイアス回路、第2のバイアス回路、および読出し回路に対して回路状に接続するステップとをさらに備える。
a)基板102の第1の領域102a上に、2次元材料の少なくとも1つの層を含む輸送層202と、輸送層202に関連付けられた感光層201とを設けるステップと、
b)制御ユニットの中に、第1のバイアス電圧VDDを供給する第1のバイアス回路103aと、第1のバイアス電圧に対して実質的に対称な第2のバイアス電圧VSSを供給する第2のバイアス回路103bと、画素101上に衝突する光によって生成された光信号を読み取るように適合された読出し回路104とを設けるステップと、
c)基板の第1の領域102aの外の第1のバイアス回路103aおよび第2のバイアス回路103bの中にそれぞれ設けられた第1の選択手段105aおよび第2の選択手段105bを配置するステップであって、第1の選択手段105aおよび第2の選択手段105bが、前記複数の画素101のうち所与の時間に読み取られるべき1つまたは複数の画素に対して選択的にバイアスをかけるように適合されているステップとを備える方法によって製造されることができ、
この方法は、複数の画素の各画素101について、
d)基板の第1の領域102a上に配置された感光層201および輸送層202の選択された位置における光活性要素106を定義して、この光活性要素106を、前記画素101に設けられた第1の接点108aと出力接点109の間に回路状に接続するステップと、
e)前記画素の光活性要素106に対して、光活性要素106の暗伝導度と実質的に一致する暗伝導度を有する非光活性基準要素107を近接して配置して、この基準要素107を、前記画素101に設けられた前記出力接点109と第2の接点108bの間に回路状に接続するステップと、
f)前記画素101の第1の接点108a、第2の接点108b、および出力接点109を、それぞれ制御ユニットの第1のバイアス回路103a、第2のバイアス回路103b、および読出し回路104に対して回路状に接続するステップとをさらに備える。
101 画素
102 基板
102a 第1の領域
102b 第2の領域
103a 第1のバイアス回路
103b 第2のバイアス回路
104 読出し/制御回路
105a 第1の選択手段
105b 第2の選択手段
106 光活性要素
107 非光活性基準要素
108a 第1の接点
108b 第2の接点
109 出力接点
110a 第1の導体線
110b 第2の導体線
110c 第3の導体線
111 出力ノード
201 感光層
202 輸送層
203 感光層
204 輸送層
205 第1の光遮断層
206 第2の光遮断層
207 絶縁層
307 絶縁層
308a 第1の接点
308b 第2の接点
309 出力接点
400 基板
401 画素
402 光活性要素
403 基準要素
405 感光層
406 輸送層
407 感光層
408 輸送層
409 出力接点
410a 第1の接点
410b 第2の接点
411 第1の光遮断層
412 第2の光遮断層
413 絶縁層
500 基板
501 画素
502 光活性要素
503 基準要素
504 感光層
505 輸送層
506 感光層
507 輸送層
508a 第1の接点
508b 第2の接点
509 出力接点
510 第2の光遮断層
511 第1の光遮断層
512 1次絶縁層
513 2次絶縁層
600 バックゲート接点
601 画素
700 バックゲート接点
701 画素
702 バックゲート接点
800 画像センサ
801 画素
802 第1の領域
803a 第1のバイアス回路
803b 第2のバイアス回路
804 読出し回路
805a 第1の行選択スイッチ
805b 第2の行選択スイッチ
806 マルチプレクサ
807 増幅器
808 記憶要素
809 光活性要素
810 基準要素
811a 第1の接点
811b 第2の接点
812 出力接点
813 入力端子
814 出力端子
815a 第1の導体線
815b 第2の導体線
815c 第3の導体線
850 画像センサ
851 画素
852 第1の領域
853a 第1のバイアス回路
853b 第2のバイアス回路
854 読出し回路
857 増幅器
858 記憶要素
861a 第1の接点
861b 第2の接点
862 出力接点
863 入力端子
864 出力端子
866 相互接続回路
867 出力ノード
900 絶縁層
901 垂直部分
1100 画像センサ
1200 光電子デバイス
1201 基板
1202 アナログ・デジタル変換器
1203 制御モジュール
1204 電源モジュール
1205 制御信号
1206 検知された値
1207 アンテナ
1208 ユーザ端末
1209 アンテナ
1300 集光構造体
1301 絶縁層
1400 マイクロレンズ
Claims (26)
- 基板と、前記基板の第1の領域上に配置された複数の画素と、前記複数の画素に対して動作可能に接続され、前記複数の画素に対して選択的にバイアスをかけてそれらを読み取るように適合された制御ユニットとを備え、非局所的読出し回路を有する画像センサであって、前記制御ユニットが、
第1のバイアス電圧を供給するための第1のバイアス回路と、
電圧基準に関して前記第1のバイアス電圧に対して実質的に対称な第2のバイアス電圧を供給するための第2のバイアス回路と、
前記複数の画素上に衝突する光によって生成された光信号を読み取るための非局所的読出し回路とを備え、
前記第1のバイアス回路および前記第2のバイアス回路が、それぞれ、前記複数の画素のうち所与の時間に読み取られるべき1つまたは複数の画素に対して選択的にバイアスをかけるための第1の選択手段および第2の選択手段を備え、
前記第1の選択手段および前記第2の選択手段が、前記基板の前記第1の領域の外に配置されること、ならびに
前記複数の画素の各画素が、
2次元材料の少なくとも1つの層を含む輸送層に関連付けられた感光層を備える光活性要素と、
前記光活性要素に近接して配設された非光活性基準要素であって、
前記光活性要素の暗伝導度と実質的に一致する暗伝導度を有する非光活性基準要素と、 前記第1のバイアス回路に対して回路状に接続された第1の接点と、
前記第2のバイアス回路に対して回路状に接続された第2の接点と、
前記非局所的読出し回路に対して回路状に接続された出力接点とを備え、 前記光活性要素が、前記第1の接点と前記出力接点の間に回路状に接続されており、前記非光活性基準要素が、前記出力接点と前記第2の接点の間に回路状に接続されていることを特徴とする画像センサ。 - 前記非局所的読出し回路が、前記基板の前記第1の領域の外に配置されている請求項1に記載の画像センサ。
- 前記複数の画素のすべての画素に、読出し電子回路が組み込まれていない請求項2に記載の画像センサ。
- 前記実質的に対称な第1のバイアス電圧と第2のバイアス電圧が前記電圧基準に関して反対符号を有し、
一方の大きさと他方の大きさの差が、25%未満である請求項1に記載の画像センサ。 - 前記第1のバイアス回路および前記第2のバイアス回路が、それぞれ前記第1のバイアス電圧および前記第2のバイアス電圧を供給する独自の独立した制御電子回路を有する独立したバイアス回路である請求項1に記載の画像センサ。
- 前記複数の画素のうち少なくとも1つの画素の前記非光活性基準要素が、2次元材料の少なくとも1つの層を含む前記非光活性基準要素の前記輸送層を備える請求項1に記載の画像センサ。
- 前記少なくとも1つの画素の前記非光活性基準要素が、前記非光活性基準要素の前記輸送層に関連付けられた感光層をさらに備える請求項6に記載の画像センサ。
- 前記少なくとも1つの画素の前記非光活性基準要素が、前記非光活性基準要素の前記感光層および前記輸送層の上に配設された第1の光遮断層をさらに備える請求項7に記載の画像センサ。
- 前記少なくとも1つの画素の前記非光活性基準要素が、前記非光活性基準要素の前記感光層および前記輸送層の下に配設された第2の光遮断層をさらに備える請求項8に記載の画像センサ。
- 前記少なくとも1つの画素に関して、前記非光活性基準要素の前記輸送層が、前記光活性要素の前記輸送層よりも小さい面積を有する請求項6に記載の画像センサ。
- 前記少なくとも1つの画素に関して、前記非光活性基準要素の前記輸送層が、前記光活性要素の輸送層と同一の形状を有する請求項10に記載の画像センサ。
- 前記複数の画素のうち少なくとも1つの画素の前記非光活性基準要素が、前記少なくとも1つの画素の前記基板と前記光活性要素の間に配置されている請求項1に記載の画像センサ。
- 前記複数の画素の前記光活性要素に関連付けられた1つまたは複数の1次絶縁層をさらに備える請求項1に記載の画像センサ。
- 前記複数の画素のうち少なくとも1つの画素が、
前記少なくとも1つの画素の前記基板と前記光活性要素の間、1次絶縁層と前記基板の間に配設されたバックゲート接点であって、前記1次絶縁層が前記光活性要素と前記基板の間に配設されているバックゲート接点、
および/または
前記少なくとも1つの画素の前記光活性要素の上に配設されたトップゲート接点を備える請求項13に記載の画像センサ。 - 前記複数の画素の前記非光活性基準要素に関連付けられた1つまたは複数の2次絶縁層をさらに備える請求項6に記載の画像センサ。
- 前記複数の画素のうち少なくとも1つの画素が、
前記少なくとも1つの画素の前記基板と前記非光活性基準要素の間、2次絶縁層と前記基板の間に配設されたバックゲート接点であって、前記2次絶縁層が前記非光活性基準要素と前記基板の間に配設されているバックゲート接点、
および/または
前記少なくとも1つの画素の前記非光活性基準要素の上に配設されたトップゲート接点を備える請求項15に記載の画像センサ。 - 前記複数の画素がクラスタにグループ化され、各クラスタが1つまたは複数の画素を備え、各クラスタの前記1つまたは複数の画素の前記光活性要素の前記感光層が、光スペクトルの異なる範囲に対して感光性である請求項1に記載の画像センサ。
- 前記複数の画素が、それぞれの行が同数の画素を備える複数の行を備えた2次元配列として配置されており、前記第1の選択手段および前記第2の選択手段が、それぞれ、前記配列の前記複数の行に対して選択的にバイアスをかけるための第1の行選択スイッチおよび第2の行選択スイッチを備える請求項1に記載の画像センサ。
- 前記制御ユニットが、前記第1の行選択スイッチおよび前記第2の行選択スイッチに対して動作可能に接続されており、一度に1つの行の前記第1の行選択スイッチおよび前記第2の行選択スイッチを活性化することによって、前記複数の行を順次に読み取るように構成されている請求項18に記載の画像センサ。
- 前記非局所的読出し回路が、
各行にある画素と同数の入力端子および1つの出力端子を備えるマルチプレクサであって、前記マルチプレクサの各入力端子が各行の画素の出力接点に対して回路状に接続されているマルチプレクサと、
前記マルチプレクサの前記出力端子に対して動作可能に直列接続された増幅器とを備える請求項18に記載の画像センサ。 - 前記非局所的読出し回路が、前記複数の画素のうち1つの画素で生成された光信号に比例した電圧を記憶するように構成された記憶要素を任意選択で備え、前記記憶要素が前記増幅器に対して動作可能に直列接続されている請求項20に記載の画像センサ。
- 前記非局所的読出し回路が、各行にある画素と同数の増幅器を備え、各増幅器が、各行の画素の出力接点に対して回路状に接続された入力端子と出力端子とを有する請求項18に記載の画像センサ。
- 前記非局所的読出し回路が、各増幅器の出力端子に対して直列接続された記憶要素をさらに備え、各記憶要素が、前記複数の画素のうち1つの画素で生成された光信号に比例した電圧を記憶するように構成されている請求項22に記載の画像センサ。
- 前記基板が、柔軟、伸縮自在、透明のうち少なくとも1つである材料で製作されている請求項1に記載の画像センサ。
- 前記第1のバイアス回路、前記第2のバイアス回路、および前記非局所的読出し回路を、それぞれ前記複数の画素のうちの前記画素の前記第1の接点、前記第2の接点、前記出力接点に接続する導体線(conductive trace)をさらに備え、前記導体線が、柔軟、伸縮自在、透明のうち少なくとも1つである導電材料で製作されている請求項24に記載の画像センサ。
- 非局所的読出し回路を有する画像センサを備える光電子デバイスであって、基板と、前記基板の第1の領域上に配置された複数の画素と、前記複数の画素に対して動作可能に接続され、前記複数の画素に対して選択的にバイアスをかけてそれらを読み取るように適合された制御ユニットとを備え、前記制御ユニットが、
第1のバイアス電圧供給するための第1のバイアス回路と、
電圧基準に関して前記第1のバイアス電圧に対して実質的に対称な第2のバイアス電圧を供給するための第2のバイアス回路と、
前記複数の画素上に衝突する光によって生成された光信号を読み取るための非局所的読出し回路とを備え、
前記第1のバイアス回路および前記第2のバイアス回路が、それぞれ、前記複数の画素のうち所与の時間に読み取られるべき1つまたは複数の画素に対して選択的にバイアスをかけるための第1の選択手段および第2の選択手段を備え、
前記第1の選択手段および前記第2の選択手段が、前記基板の前記第1の領域の外に配置されること、ならびに
前記複数の画素の各画素が、
2次元材料の少なくとも1つの層を含む輸送層に関連付けられた感光層を備える光活性要素と、
前記光活性要素に近接して配設された非光活性基準要素であって、
前記光活性要素の暗伝導度と実質的に一致する暗伝導度を有する非光活性基準要素と、 前記第1のバイアス回路に対して回路状に接続された第1の接点と、
前記第2のバイアス回路に対して回路状に接続された第2の接点と、
前記非局所的読出し回路に対して回路状に接続された出力接点とを備え、
前記光活性要素が、前記第1の接点と前記出力接点の間に回路状に接続されており、前記非光活性基準要素が、前記出力接点と前記第2の接点の間に回路状に接続されており、 前記光電子デバイスは着用可能なデバイスであり、かつ/または前記光電子デバイスが、前記画像センサが配設されている透明なパネルを備える光電子デバイス。
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