JP6464368B2 - 薄膜トランジスタ基板 - Google Patents
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Description
まず、薄膜トランジスタ基板(TFT基板)が用いられる表示装置の一例として、有機EL表示装置の構成について説明する。
図1は、実施の形態に係る有機EL表示装置の一部切り欠き斜視図である。また、図2は、図1に示す有機EL表示装置における画素回路の電気回路図である。なお、図2に示す画素回路は、一例であって、図2に示される構成に限定されるものではない。
次に、実施の形態に係るTFT基板110の断面構成について、図3を用いて説明する。図3は、実施の形態に係るTFT基板110の部分断面図である。
基板10は、例えば、ガラス基板であるが、ガラス基板に限らず、樹脂基板等であってもよい。また、基板10は、リジッド基板ではなく、フレキシブル基板であってもよい。なお、基板10の表面には、窒化シリコン又は酸化シリコンによって構成されたアンダーコート層が形成されていてもよい。
第1配線層WL21は、複数の配線層のうちの最下層の配線層であり、基板10上の層に位置する。第1配線層WL21には、第1電極21が形成されている。
第1絶縁層IL31は、複数の絶縁層のうちの最下層の絶縁層である。第1絶縁層IL31は、第1配線層WL21と第2配線層WL22(第2電極22)との間の層であり、第1配線層WL21上に位置する。
第2配線層WL22は、複数の配線層のうちの下から2番目の配線層である。第2配線層WL22は、第1絶縁層IL31と第2絶縁層IL32との間の層であり、第1絶縁層IL31上に位置する。第2配線層WL22には、第2電極22が形成されている。
第2絶縁層IL32は、複数の絶縁層のうちの下から2番目の絶縁層である。第2絶縁層IL32は、第2配線層WL22と半導体層40との間の層であり、第2配線層WL22上に位置する。
半導体層40は、第2絶縁層IL32の上に所定形状で形成されている。例えば、半導体層40は、ゲート絶縁膜である第2絶縁膜32上に島状に形成されている。半導体層40は、駆動トランジスタDrTrのチャネル層であり、第2絶縁膜32を介して第2電極22(ゲート電極)と対向するように形成されている。
第3絶縁層IL33は、複数の絶縁層のうちの下から3番目の絶縁層である。第3絶縁層IL33は、半導体層40と第3配線層WL23との間の層であり、半導体層40上に位置する。
第3配線層WL23は、複数の配線層のうちの下から3番目の配線層である。第3配線層WL23は、第3絶縁層IL33と第4絶縁層IL34との間の層であり、第3絶縁層IL33上に位置する。第3配線層WL23には、ソース電極23S(図2のS1)、ドレイン電極23D(図2のD1)、第1配線23L1及び第2配線23L2が形成されている。
第4絶縁層IL34は、複数の絶縁層のうちの下から4番目の絶縁層である。
以下、本実施の形態に係るTFT基板110の作用効果について、本開示の技術に至った経緯も含めて説明する。
以上、薄膜トランジスタ基板及び有機EL表示装置について、実施の形態に基づいて説明したが、本開示の技術は、上記実施の形態に限定されるものではない。
10 基板
21、221、321 第1電極
22 第2電極
23S、S1、S2、222S、322S ソース電極
23D、D1、D2、222D、322D ドレイン電極
23L1 第1配線
23L2 第2配線
31、231、331 第1絶縁膜
32、232、332 第2絶縁膜
33 第3絶縁膜
34 第4絶縁膜
40、240、340 半導体層
110、210、310 TFT基板
120 画素
130 有機EL素子
131 陽極
132 有機EL層
133 陰極
140 ゲート配線
150 ソース配線
160 電源配線
222C、322C、323C 電極
DrTr 駆動トランジスタ
SwTr スイッチングトランジスタ
Cs 容量素子
G1、G2 ゲート電極
WL21 第1配線層
WL22 第2配線層
WL23 第3配線層
IL31 第1絶縁層
IL32 第2絶縁層
IL33 第3絶縁層
IL34 第4絶縁層
Claims (4)
- 一対の電極からなる容量素子及び薄膜トランジスタを有する薄膜トランジスタ基板であって、
基板の上方に位置する第1配線層に形成された第1電極と、
前記第1電極の上方に位置する第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜の上方に位置する第2配線層に形成された第2電極と、
前記第2電極の上方に位置する第2絶縁膜と、
前記第2絶縁膜の上方に位置する半導体層とを有し、
前記容量素子は、前記第1電極を前記一対の電極の一方とし、前記第2電極を前記一対の電極の他方としており、
前記薄膜トランジスタは、前記第2電極をゲート電極とし、前記第2絶縁膜をゲート絶縁膜とし、前記半導体層をチャネル層としており、
前記薄膜トランジスタは、さらに、前記半導体層の上方に位置するソース電極及びドレイン電極を有し、
前記ソース電極及び前記ドレイン電極の一方は、前記第1電極に直接接続されており、
前記第1配線層には、前記第1電極のみが含まれている
薄膜トランジスタ基板。 - 一対の電極からなる容量素子及び薄膜トランジスタを有する薄膜トランジスタ基板であって、
基板の上方に位置する第1電極と、
前記第1電極の上方に位置する第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜の上方に位置する第2電極と、
前記第2電極の上方に位置する第2絶縁膜と、
前記第2絶縁膜の上方に位置する半導体層と、
前記半導体層の上方に位置する第3絶縁膜とを有し、
前記容量素子は、前記第1電極を前記一対の電極の一方とし、前記第2電極を前記一対の電極の他方としており、
前記薄膜トランジスタは、前記第2電極をゲート電極とし、前記第2絶縁膜をゲート絶縁膜とし、前記半導体層をチャネル層としており、
前記薄膜トランジスタは、さらに、前記半導体層の上方に位置するソース電極及びドレイン電極を有し、
前記ソース電極及び前記ドレイン電極は、前記第3絶縁膜を貫通する第1貫通孔を介して前記半導体層に直接接続されており、
前記ソース電極及び前記ドレイン電極の一方は、前記第1絶縁膜、前記第2絶縁膜及び前記第3絶縁膜を貫通する第2貫通孔を介して前記第1電極に直接接続されており、
前記第2貫通孔の孔径は、前記1貫通孔の孔径よりも大きい
薄膜トランジスタ基板。 - 一対の電極からなる容量素子及び薄膜トランジスタを有する薄膜トランジスタ基板であって、
基板の上方に位置する第1電極と、
前記第1電極の上方に位置する第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜の上方に位置する第2電極と、
前記第2電極の上方に位置する第2絶縁膜と、
前記第2絶縁膜の上方に位置する半導体層とを有し、
前記容量素子は、前記第1電極を前記一対の電極の一方とし、前記第2電極を前記一対の電極の他方としており、
前記薄膜トランジスタは、前記第2電極をゲート電極とし、前記第2絶縁膜をゲート絶縁膜とし、前記半導体層をチャネル層としており、
前記薄膜トランジスタは、さらに、前記半導体層の上方に位置するソース電極及びドレイン電極を有し、
前記ソース電極及び前記ドレイン電極の一方は、前記第1電極に直接接続されており、
前記第2電極の幅は、前記第1電極の幅よりも小さい
薄膜トランジスタ基板。 - 前記薄膜トランジスタ基板は、マトリクス状に配置された複数の画素を有し、
前記複数の画素の各々は、前記容量素子と、駆動トランジスタとして前記薄膜トランジスタとを有する
請求項1〜3のいずれか1項に記載の薄膜トランジスタ基板。
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