JP6440977B2 - レーザー加工装置 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 186
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 31
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 59
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 5
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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Description
図1は、第1の実施の形態に係るレーザー加工装置の構成を示す模式図である。図1に示すように、本実施の形態に係るレーザー加工装置1は、被加工物に対してレーザー加工を施す加工手段2として、レーザー発振器21、ミラー22、集光レンズ23及び加工テーブル24を備える。また、レーザー加工装置1は、加工手段2の集光レンズ23の良否判定を行うレンズ判定手段3として、検査光発光部31、分割器32、基準テーブル33、第1の板状ミラー34、第2の板状ミラー35、撮像部36及び判定部37を備える。
第1の実施の形態に係るレーザー加工装置1においては、レンズ判定手段3の構成要素として基準テーブル33及び第1の板状ミラー34を備えている。第2の実施の形態に係るレーザー加工装置は、基準テーブル33及び第1の板状ミラー34の代わりに、複数の分割器及びミラーを備える点で第1の実施の形態に係るレーザー加工装置1と相違する。以下、第2の実施の形態に係るレーザー加工装置の構成について、第1の実施の形態に係るレーザー加工装置1との相違点を中心に説明する。
2 加工手段
21 レーザー発振器
22 ミラー
23 集光レンズ
24 加工テーブル
3 レンズ判定手段
31 検査光発光部
32 分割器
32a 第1分割器
32b 第2分割器
33 基準テーブル
34 第1の板状ミラー
35 第2の板状ミラー
36 撮像部
361 撮像素子
37 判定部
38 コリメータレンズ
39a、39b、39c、39d ミラー
FI1、FI2 干渉縞画像
Claims (3)
- 紫外線領域の波長のレーザー光を発振するレーザー発振器と、該レーザー発振器から発振されるレーザー光を集光させる集光レンズと、被加工物を載置する加工テーブルと、を備え、該集光レンズで集光した集光点を該加工テーブルに載置される被加工物に位置づけて加工するレーザー加工装置であって、
該集光レンズにより集光されるレーザー光が被加工物の上面全体を走査可能にレーザー光の反射角度を調整するミラー及び
該集光レンズの良否判定するレンズ判定手段を備え、
該レンズ判定手段は、該集光レンズを検査する検査光を発光する検査光発光部と、該検査光発光部から発光される該検査光を分割する分割器と、該分割器で分割された第1の検査光を受光して撮像する撮像素子を有する撮像部と、該分割器で分割された第2の検査光を該集光レンズを透過させ、該ミラーによって該集光レンズで集光された該第2の検査光を該加工テーブルの上面に載置する板状ミラーの上面全体に走査させ、該板状ミラーで反射した該第2の検査光を該撮像素子で受光させ、該撮像素子が受光する同一光量の該第1の検査光と該第2の検査光とによる干渉縞画像によって該集光レンズの良否判定する判定部と、で構成されるレーザー加工装置。 - 紫外線領域の波長のレーザー光を発振するレーザー発振器と、該レーザー発振器から発振されるレーザー光を集光させる集光レンズと、被加工物を載置する加工テーブルと、を備え、該集光レンズで集光した集光点を該加工テーブルに載置される被加工物に位置づけて加工するレーザー加工装置であって、
該集光レンズにより集光されるレーザー光が被加工物の上面全体を走査可能にレーザー光の反射角度を調整するミラー及び
該集光レンズの良否判定するレンズ判定手段を備え、
該レンズ判定手段は、基準テーブルと、該集光レンズを検査する検査光を発光する検査光発光部と、該検査光発光部から発光される該検査光を所定の割合で分割する分割器と、該分割器で分割され該基準テーブルの上面の反射面もしくは該基準テーブルに載置される板状物の反射面で反射した第1の検査光を受光して撮像する撮像素子を有する撮像部と、該分割器で分割された第2の検査光を該集光レンズを透過させ、該ミラーによって該集光レンズで集光された該第2の検査光を該加工テーブルの上面に載置する板状ミラーの上面全体に走査させ、該板状ミラーで反射した該第2の検査光を該撮像素子で受光させ、該撮像素子が受光する同一光量の該第1の検査光と該第2の検査光とによる干渉縞画像によって該集光レンズの良否判定する判定部と、で構成されるレーザー加工装置。 - 該分割器は、該検査光の偏光面で分割する請求項1又は請求項2記載のレーザー加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014138483A JP6440977B2 (ja) | 2014-07-04 | 2014-07-04 | レーザー加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014138483A JP6440977B2 (ja) | 2014-07-04 | 2014-07-04 | レーザー加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016016407A JP2016016407A (ja) | 2016-02-01 |
JP6440977B2 true JP6440977B2 (ja) | 2018-12-19 |
Family
ID=55232069
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014138483A Active JP6440977B2 (ja) | 2014-07-04 | 2014-07-04 | レーザー加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6440977B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109211524A (zh) * | 2018-12-10 | 2019-01-15 | 中国人民解放军国防科技大学 | 大功率光纤激光器参数一体化同步测试装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63140934A (ja) * | 1986-12-03 | 1988-06-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | シエアリング干渉縞解析方法 |
JPH0599613A (ja) * | 1991-10-08 | 1993-04-23 | Olympus Optical Co Ltd | 透過波面測定用干渉計 |
JP3072925B2 (ja) * | 1991-10-09 | 2000-08-07 | オリンパス光学工業株式会社 | 透過波面測定用干渉計 |
JPH067972A (ja) * | 1992-06-24 | 1994-01-18 | Toshiba Corp | レーザ加工装置 |
JP2003227775A (ja) * | 2002-02-01 | 2003-08-15 | Canon Inc | 光学部品の脈理検査装置 |
JP4684215B2 (ja) * | 2006-12-18 | 2011-05-18 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 表面欠陥検査装置 |
JP5964621B2 (ja) * | 2012-03-16 | 2016-08-03 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
-
2014
- 2014-07-04 JP JP2014138483A patent/JP6440977B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016016407A (ja) | 2016-02-01 |
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