JP6439509B2 - 熱電変換素子、熱電変換モジュール、及び熱電変換素子の製造方法 - Google Patents
熱電変換素子、熱電変換モジュール、及び熱電変換素子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6439509B2 JP6439509B2 JP2015046131A JP2015046131A JP6439509B2 JP 6439509 B2 JP6439509 B2 JP 6439509B2 JP 2015046131 A JP2015046131 A JP 2015046131A JP 2015046131 A JP2015046131 A JP 2015046131A JP 6439509 B2 JP6439509 B2 JP 6439509B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- thermoelectric conversion
- conversion element
- sto
- szo
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/80—Constructional details
- H10N10/82—Connection of interconnections
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/01—Manufacture or treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/80—Constructional details
- H10N10/85—Thermoelectric active materials
- H10N10/851—Thermoelectric active materials comprising inorganic compositions
- H10N10/855—Thermoelectric active materials comprising inorganic compositions comprising compounds containing boron, carbon, oxygen or nitrogen
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
Description
導電性または半導電性を有するペロブスカイト型酸化物の第1の層と、
前記第1の層と積層方向に接して配置されるペロブスカイト型酸化物の第2の層と、
前記第2の層の表面に配置される電極と、
を有し、
前記第2の層は、前記第1の層のバンドギャップよりも大きいバンドギャップを有し、前記第2の層を膜厚方向に貫通する転移線または転移線ネットワークを有する。
図5の測定結果によると、SZO層27の膜厚が10〜25nmで十分に低いシート抵抗となり、15〜20nmの膜厚でシート抵抗がゼロまたはゼロ近傍となる。膜厚方向の転移線による導通効果は、下地のLa−STO層16の膜厚に依存しない。
(付記1)
導電性または半導電性を有するペロブスカイト型酸化物の第1の層と、
前記第1の層と積層方向に接して配置されるペロブスカイト型酸化物の第2の層と、
前記第2の層の表面に配置される電極と、
を有し、
前記第2の層は、前記第1の層のバンドギャップよりも大きいバンドギャップを有し、前記第2の層を膜厚方向に貫通する転移線または転移線ネットワークを有することを特徴とする熱電変換素子。
(付記2)
前記第2の層の膜厚は10nm〜25nmであることを特徴とする付記1に記載の熱電変換素子。
(付記3)
前記第2の層のバンドギャップは3.5eVより大きいことを特徴とする付記1または2に記載の熱電変換素子。
(付記4)
前記第2の層は、AZr1-xBxO3で表されることを特徴とする付記1〜3のいずれかに記載の熱電変換素子。
(付記5)
Aはランタンまたはストロンチウム、Bはチタンであることを特徴とする付記4に記載の熱電変換素子。
(付記6)
前記電極は、前記転移線または前記転移線ネットワークで形成される電流パスにより前記第1の層と電気的に接続されることを特徴とする付記1に記載の熱電変換素子。
(付記7)
前記第1の層は、不純物が添加されたチタン酸ストロンチウムの層であることを特徴とする付記1〜6のいずれかに記載の熱電変換素子。
(付記8)
前記第1の層の膜厚は1ML〜12MLであることを特徴とする付記7に記載の熱電変換素子。
(付記9)
前記第1の層は、不純物が添加されたチタン酸ストロンチウムの層と、不純物が添加されないチタン酸ストロンチウムの層の複合層であり、前記不純物が添加されたチタン酸ストロンチウムの層の膜厚は1ML〜12MLであることを特徴とする付記1〜6の何れかに記載の熱電変換素子。
(付記10)
前記第2の層と反対側で前記第1の層と積層方向に接するペロブスカイト型酸化物の第3の層、
をさらに有し、前記第1の層、前記第2の層、及び前記第3の層でヘテロ構造を形成することを特徴とする付記1〜9のいずれかに記載の熱電変換素子。
(付記11)
第1の導電型のペロブスカイト型酸化物と第2の導電型のペロブスカイト型酸化物が直列に接続されて所定のパターンを形成する第1の層と、
前記第1の層と積層方向に接して配置されるペロブスカイト型酸化物の第2の層と、
前記第2の層の表面の所定の位置に配置される一対の電極(28n,28p)と、
を有し、
前記第2の層は、前記第1の層のバンドギャップよりも大きいバンドギャップを有し、前記第2の層を膜厚方向に貫通する転移線または転移線ネットワークを有することを特徴とする熱電変換モジュール。
(付記12)
前記一対の電極の一方は、前記転移線または転移線ネットワークにより前記第1の導電型の前記第1の層に電気的に接続され、前記一対の電極の他方は、前記転移線または転移線ネットワークにより前記第2の導電型の前記第1の層に電気的に接続されることを特徴とする付記11に記載の熱電変換モジュール。
(付記13)
基板上に導電性または半導電性のペロブスカイト型酸化物の第1の層を成長し、
前記第1の層上に、前記第1の層よりも大きなバンドギャップを有するペロブスカイト型酸化物で第2の層を膜厚10nm〜25nmに成長し、
前記第2の層の表面に、前記第1の層を流れる電流を取り出す電極を形成する、
ことを特徴とする熱電変換素子の製造方法。
(付記14)
前記第2の層を、AZr1-xBxO3で表される材料で形成することを特徴とする付記13に記載の熱電変換素子の製造方法。
16 La−STO層(第1の層)
20 熱電変換素子
20n n型の熱電変換部
20p p型の熱電変換部
27 SZO層(第2の層)
28 電極
30 熱電変換モジュール
Claims (7)
- 導電性または半導電性を有するペロブスカイト型酸化物の第1の層と、
前記第1の層と積層方向に接して配置されるペロブスカイト型酸化物の第2の層と、
前記第2の層の表面に配置される電極と、
を有し、
前記第2の層は、前記第1の層のバンドギャップよりも大きいバンドギャップを有し、前記第2の層を膜厚方向に貫通する転移線または転移線ネットワークを有することを特徴とする熱電変換素子。 - 前記第2の層の膜厚は10nm〜25nmであることを特徴とする請求項1に記載の熱電変換素子。
- 前記第2の層のバンドギャップは3.5eVより大きいことを特徴とする請求項1または2に記載の熱電変換素子。
- 前記第2の層は、AZr1-xBxO3で表されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の熱電変換素子。
- 第1の導電型のペロブスカイト型酸化物と第2の導電型のペロブスカイと型酸化物が直列に接続されて所定のパターンを形成する第1の層と、
前記第1の層と積層方向に接して配置されるペロブスカイト型酸化物の第2の層と、
前記第2の層の表面で前記パターンの両端に対応する位置に配置される一対の電極と、
を有し、
前記第2の層は、前記第1の層のバンドギャップよりも大きいバンドギャップを有し、前記第2の層を膜厚方向に貫通する転移線または転移線ネットワークを有することを特徴とする熱電変換モジュール。 - 基板上に導電性または半導電性のペロブスカイト型酸化物の第1の層を成長し、
前記第1の層の上に、前記第1の層よりも大きなバンドギャップを有するペロブスカイト型酸化物の層を膜厚10nm〜25nmに成長して膜厚方向に貫通する転移線または転移線ネットワークを有する第2の層を形成し、
前記第2の層の表面に、前記第1の層を流れる電流を取り出す電極を形成する、
ことを特徴とする熱電変換素子の製造方法。 - 前記第2の層を、AZr1-xBxO3で表される材料で形成することを特徴とする請求項6に記載の熱電変換素子の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015046131A JP6439509B2 (ja) | 2015-03-09 | 2015-03-09 | 熱電変換素子、熱電変換モジュール、及び熱電変換素子の製造方法 |
US15/064,003 US20160268492A1 (en) | 2015-03-09 | 2016-03-08 | Thermoelectric conversion element, thermoelectric conversion module and method for manufacturing the thermoelectric conversion element |
US16/569,349 US20200144473A1 (en) | 2015-03-09 | 2019-09-12 | Thermoelectric conversion element |
US16/570,962 US20200013938A1 (en) | 2015-03-09 | 2019-09-13 | Thermoelectric conversion element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015046131A JP6439509B2 (ja) | 2015-03-09 | 2015-03-09 | 熱電変換素子、熱電変換モジュール、及び熱電変換素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016167508A JP2016167508A (ja) | 2016-09-15 |
JP6439509B2 true JP6439509B2 (ja) | 2018-12-19 |
Family
ID=56888243
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015046131A Active JP6439509B2 (ja) | 2015-03-09 | 2015-03-09 | 熱電変換素子、熱電変換モジュール、及び熱電変換素子の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US20160268492A1 (ja) |
JP (1) | JP6439509B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102129200B1 (ko) * | 2019-03-08 | 2020-07-02 | 서울대학교산학협력단 | 적층 구조의 페로브스카이트 발광층을 포함하는 발광 소자 및 이의 제조 방법 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005047560A1 (ja) * | 2003-11-17 | 2005-05-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 結晶膜の製造方法、結晶膜付き基体の製造方法、熱電変換素子の製造方法、および熱電変換素子 |
WO2005083808A1 (ja) * | 2004-03-01 | 2005-09-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 熱電変換デバイス、およびこれを用いた冷却方法および発電方法 |
WO2007020775A1 (ja) * | 2005-08-16 | 2007-02-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 熱電変換デバイス、並びにそれを用いた冷却方法および発電方法 |
JP2010161213A (ja) * | 2009-01-08 | 2010-07-22 | Tokuyama Corp | 熱電変換材料およびその製造方法 |
JP5708174B2 (ja) * | 2011-04-12 | 2015-04-30 | 富士通株式会社 | 熱電変換装置及びその製造方法 |
JP5834871B2 (ja) * | 2011-12-14 | 2015-12-24 | 富士通株式会社 | 熱電変換素子及びその製造方法 |
WO2013171834A1 (ja) * | 2012-05-14 | 2013-11-21 | 富士通株式会社 | 熱電変換素子 |
WO2014167767A1 (ja) * | 2013-04-10 | 2014-10-16 | 日本電気株式会社 | 無線通信システム、基地局及び無線通信方法 |
WO2014167697A1 (ja) * | 2013-04-11 | 2014-10-16 | 富士通株式会社 | 熱電変換素子 |
-
2015
- 2015-03-09 JP JP2015046131A patent/JP6439509B2/ja active Active
-
2016
- 2016-03-08 US US15/064,003 patent/US20160268492A1/en not_active Abandoned
-
2019
- 2019-09-12 US US16/569,349 patent/US20200144473A1/en not_active Abandoned
- 2019-09-13 US US16/570,962 patent/US20200013938A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20160268492A1 (en) | 2016-09-15 |
US20200144473A1 (en) | 2020-05-07 |
JP2016167508A (ja) | 2016-09-15 |
US20200013938A1 (en) | 2020-01-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9537075B2 (en) | Graphite structure, electronic component and method of manufacturing electronic component | |
KR20190073079A (ko) | 맥신을 포함하는 열전 복합 재료 및 그 제조 방법 | |
KR101876947B1 (ko) | 나노 구조의 벌크소재를 이용한 열전소자와 이를 포함하는 열전모듈 및 그의 제조 방법 | |
US20130000688A1 (en) | Thermoelectric device | |
WO2009014985A2 (en) | Methods and devices for controlling thermal conductivity and thermoelectric power of semiconductor nanowires | |
KR101779497B1 (ko) | 나노입자가 도핑된 열전소자를 포함하는 열전모듈 및 그 제조 방법 | |
US9048380B2 (en) | Thermoelectric conversion material and production method for thermoelectric conversion material | |
JP6176319B2 (ja) | 熱電変換素子 | |
WO2004105144A1 (ja) | 熱電変換材料及びその製法 | |
Botana et al. | All-3 d electron-hole bilayers in CrN/MgO (111) multilayers for thermoelectric applications | |
JP4872050B2 (ja) | 熱電素子 | |
JP6439509B2 (ja) | 熱電変換素子、熱電変換モジュール、及び熱電変換素子の製造方法 | |
JP2014530492A (ja) | 低抵抗率接触 | |
US20140373891A1 (en) | Thermoelectric structure, and thermoelectric device and thermoelectric apparatus including the same | |
JP6439910B2 (ja) | 熱電素子及びその製造方法 | |
CN101969096A (zh) | 纳米结构热电材料、器件及其制备方法 | |
JPWO2018123899A1 (ja) | 熱電変換材料および熱電変換素子 | |
WO2013059239A1 (en) | Improved thermoelectric energy converters and manufacturing method thereof | |
JP2018113330A (ja) | 熱電変換素子およびその製造方法 | |
KR102031961B1 (ko) | 금속-절연체 전이 금속을 이용하는 열전소자 | |
Jia et al. | Resistive switching characteristics of Pt/Nb: SrTiO 3/LaNiO 3 heterostructure | |
Yasukawa et al. | Thermoelectric properties of the solid solutions BaPb1− xSbxO3 (x= 0–0.4) | |
KR102508548B1 (ko) | 열전 복합체 및 그 제조방법, 그리고 열전 복합체를 포함하는 열전 소자 및 반도체 소자. | |
KR102508546B1 (ko) | 2차원 전자 가스 및 2차원 정공 가스 기반의 열전 소자, 및 그 제조방법 | |
KR102597072B1 (ko) | 이성분계 산화물 2deg 및 2dhg 열전 소자 기반 능동 냉각 장치 및 그 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180814 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180816 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181015 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181023 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181105 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6439509 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |