JP6428536B2 - 塗膜を形成したシート材の製造装置、および塗膜を形成したシート材の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、塗膜を形成したシート材の製造装置、および塗膜を形成したシート材の製造方法に関する。

塗膜を形成したシート材を製造する装置として、シート材を吸着保持した状態において回転することによってシート材を搬送する吸着ローラーを用いる装置がある（特許文献１を参照）。この製造装置は、吸着ローラーの周囲に、シート材に塗布材料を塗布する塗布装置と、塗布された塗布材料を乾燥させる乾燥装置とを配置し、塗膜を形成したシート材を吸着ローラーから離脱させて巻き取っている。吸着ローラーは、一般的に、多孔質体から形成されている。

吸着ローラーによってシート材を吸着保持し、塗布材料を塗布する場合、巻取り工程までに塗膜が乾燥していないと、製造装置としては成立しない。生乾きに起因する品質不良として、クラック（割れ）、膜厚不良（バラツキ、ムラ、ピンホール）、巻取り時の裏面付着、要求性能の低下などがある。装置に生じる不良として、装置内への塗布液の付着、セミドライ粒子の大気拡散の懸念がある。つまり、塗膜が乾燥するまでの時間が必要となる。乾燥する時間は、吸着ローラーの直径によって定まる円周長で決定される。乾燥する時間を確保するため、搬送速度（塗布速度）に制約が生じ、生産性の低下、タクトの低下を招いてしまう。よって、搬送速度（塗布速度）を上げるには、吸着ローラーの大径化が必要となる。

特開２０１２−１０４４０５公報

円筒形状の多孔質体を形成する場合、使用するプレス機および焼結炉の大きさの制限から、形成可能な多孔質体の直径寸法には制約がある。このため、多孔質体から形成する吸着ローラーは、直径寸法の上限に制約がある。

塗布された塗布材料を乾燥装置によって乾燥させるために必要となる乾燥時間に基づいて、シート材の搬送速度、つまり吸着ローラーの回転速度が定まる。生産性を高めるために吸着ローラーの回転速度を早くした場合には、乾燥時間を確保するために、吸着ローラーを大径にして円周長を長くする必要がある。

しかしながら、上述したように、多孔質体から形成する吸着ローラーは直径寸法の上限に制約があることから、吸着ローラーの回転速度を無条件に早くすることはできない。この結果、生産性を高めることが阻害されている。

そこで、本発明の目的は、多孔質体から形成された吸着ローラーであっても、直径寸法の上限に制約を受けることがなく、吸着ローラーの大径化を通して生産性を高めることが可能な、塗膜を形成したシート材の製造装置、および塗膜を形成したシート材の製造方法を提供することにある。

上記目的を達成する本発明に係る塗膜を形成したシート材の製造装置は、シート材を吸着保持した状態において回転することによって前記シート材を搬送する吸着ローラーと、前記吸着ローラーに前記シート材を供給する供給機構と、前記吸着ローラーから前記シート材を離脱させる離脱機構と、を有する。製造装置は、さらに、前記吸着ローラーに吸着保持された前記シート材に塗布材料を塗布する塗布部と、前記吸着ローラーの周囲のうち前記塗布部よりも前記シート材の搬送方向に沿って下流側の位置に配置され、塗布された塗布材料を乾燥させる乾燥部と、前記シート材を前記吸着ローラーに吸着保持させる負圧を生じさせる吸引部と、を有している。前記吸着ローラーは、前記吸引部に接続されるチャンバを有する回転自在なフレームと、多孔質体から形成され前記チャンバに連通した状態において前記フレームに取り付けられる複数個の保持部材と、を有している。そして、前記フレームに取り付けられた前記複数個の保持部材によって前記吸着ローラーの周面を形成している。

上記目的を達成する本発明に係る塗膜を形成したシート材の製造方法は、負圧を生じさせる吸引部に接続されたチャンバを有する回転自在なフレームと、多孔質体から形成され前記チャンバに連通した状態において前記フレームに取り付けられる複数個の保持部材とを有し、前記複数個の保持部材によって周面を形成してなる吸着ローラーに、シート材を供給する。前記シート材を吸着保持した状態において前記吸着ローラーを回転することによって前記シート材を搬送する。前記吸着ローラーに吸着保持された前記シート材に塗布部によって塗布材料を塗布し、前記吸着ローラーの周囲のうち前記塗布部よりも前記シート材の搬送方向に沿って下流側の位置において、塗布された前記塗布材料を乾燥部によって乾燥する。そして、前記塗布材料が乾燥した前記シート材を前記吸着ローラーから離脱させる。

本発明に係る塗膜を形成したシート材の製造装置および製造方法によれば、半径以下の大きさの複数の多孔質体の保持部材から吸着ローラーの周面を形成することができるので、大型のプレス機や焼結炉が不要になり、容易に大直径の多孔質体からなる吸着ローラーを形成することができる。大径の吸着ローラーを備えることによって、円周長の距離が長くなり、塗布材料の乾燥時間を十分に取ることができる。シート材の搬送速度を速くすることができるため、生産速度を向上することができる。したがって、多孔質体から形成された吸着ローラーであっても、直径寸法の上限に制約を受けることがなく、吸着ローラーの大径化を通して生産性を高めることが可能な、塗膜を形成したシート材の製造装置、および塗膜を形成したシート材の製造方法を提供することができる。

実施形態に係る塗膜を形成したシート材の製造装置を示す斜視図である。 実施形態に係る塗膜を形成したシート材の製造装置を示す概略構成図である。 塗膜を形成したシート材の製造装置の制御系を示すブロック図である。 図４（Ａ）（Ｂ）は、吸着ローラーを示す斜視図および一部分解して示す斜視図である。 図５（Ａ）（Ｂ）は、吸着ローラーのフレームおよび保持部材を示す斜視図である。 吸着ローラーにおける負圧経路を示す断面図である。 吸引部の負圧経路を示す概略構成図である。 多孔質体の複数個の保持部材を備える吸着ローラーの製造工程を示すフローチャートである。 図９（Ａ）〜（Ｅ）は、多孔質体の複数個の保持部材をフレームに組み付けて吸着ローラーを製造している様子を示す斜視図である。 吸引部によって吸着ローラーにおけるそれぞれの吸引室を吸引する状況を切り替える手順を示すフローチャートである。 吸引室を吸引する吸引力の制御例の一例を説明するための説明図である。 吸引室を吸引する吸引力の制御例の他の例を説明するための説明図である。 図１３（Ａ）（Ｂ）は、隣り合う保持部材同士の間にシート材を吸着できない隙間が存在する場合に、塗布部がシート材に塗布材料を間欠的に塗布する形態を説明する説明図、および隙間を検知する様子を示す斜視図である。 フレームの改変例を示す斜視図 図１５（Ａ）は、フレームの他の改変例を示す斜視図、図１５（Ｂ）は、図１５（Ａ）に示されるフレームとともに使用するガイドフレームを示す斜視図である。 図１６（Ａ）（Ｂ）は、フレームのさらに他の改変例を示す斜視図、および保持部材を組み付けた状態を示す要部断面図である。 保持部材の改変例を示す斜視図である。 図１８（Ａ）（Ｂ）は、保持部材の他の改変例を示す断面図である。 １個の吸引室当たりの保持部材の数を改変した例を示す斜視図である。 吸着ローラーにおける負圧経路の改変例を示す断面図である。 吸着ローラーにおける負圧経路の他の改変例を示す断面図である。 吸引部の負圧経路の改変例を示す概略構成図である。 図２３（Ａ）は、フレームの改変例を示す斜視図、図２３（Ｂ）は、図２３（Ａ）において符号２３Ｂによって囲まれた部分を示す拡大図、図２３（Ｃ）は、同フレーム示す断面図、図２３（Ｄ）は、図２３（Ｃ）において符号２３Ｄによって囲まれた部分を示す拡大図である。 図２３に示されるフレームを適用した吸着ローラーにおける負圧経路を示す断面図である。 図２３に示されるフレームを適用した吸着ローラーにおける負圧経路の改変例を示す断面図である。 図２３に示されるフレームを適用した吸着ローラーにおける負圧経路の他の改変例を示す断面図である。 吸引部の負圧経路の改変例を示す概略構成図である。 図２８（Ａ）は、フレームの改変例および当該フレームを適用した吸着ローラーの要部を示す斜視図、図２８（Ｂ）は、吸着ローラーを構成するローラー構成体を示す斜視図、図２８（Ｃ）は、フレームを構成する分割フレームを示す斜視図、図２８（Ｄ）は、ローラー構成体同士を接合する位置を示す図である。 分割フレームに保持部材を取り付けた複数のローラー構成体から吸着ローラーを組み立てて、吸着ローラーを形成する概略手順を示すフローチャートである。 図３０（Ａ）は、シート材を吸着ローラーに吸着させる工程における不具合例を示す図、図３０（Ｂ）は、シート材の巻き癖を説明するための斜視図、図３０（Ｃ）は、図３０（Ｂ）の３０Ｃ−３０Ｃ線に沿う断面図である。 吸着ローラーの改変例を、保持部材の一部を取り外した状態において示す斜視図である。 吸引部の負圧経路を示す概略構成図である。 図３３（Ａ）は、吸着ローラーの回転軸の周方向に沿う吸引室を吸引する吸引力の制御例を説明するための説明図、図３３（Ｂ）は、吸着ローラーの回転軸の軸方向に沿う吸引室を吸引する吸引力の制御例を説明するための説明図である。 シート材を吸着ローラーから離脱させる工程における不具合例を示す図である。 吸引部の負圧経路および正圧供給経路を示す概略構成図である。 図３６（Ａ）は、吸着ローラーの回転軸の周方向に沿う吸引室に正圧を供給する制御例を説明するための説明図、図３６（Ｂ）は、吸着ローラーの回転軸の軸方向に沿う吸引室に正圧を供給する制御例を説明するための説明図である。 フレームの改変例を示す斜視図である。 図３７に示されるフレームを適用した吸着ローラー示す断面図である。 吸着ローラーの改変例を一部分解して示す斜視図である。 図４０（Ａ）（Ｂ）は、吸着ローラーに組み込まれる吸引制御プレートを示す正面図である。 図４１（Ａ）（Ｂ）は、吸着ローラーに組み込まれるガイドプレートを示す正面図である。 図４２（Ａ）（Ｂ）は、吸引動作の説明に供する説明図である。 吸引部の負圧経路および乾燥ガス供給経路を示す概略構成図である。 図４４（Ａ）（Ｂ）は、吸引室が吸着ローラーの回転軸の周方向および軸方向の両方向に沿って区画されている場合における、シート材の吸着および乾燥ガスの供給を説明する説明図である。 図４５（Ａ）（Ｂ）は、供給機構の改変例（１）を説明する図である。 図４６（Ａ）（Ｂ）は、供給機構の改変例（２）を説明する図である。 図４７（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）は、離脱機構の改変例を説明する図である。 吸着ローラーに吸着させたシート材に対する第１の乾燥工程に加えて、吸着ローラーから離脱させたシート材に対する第２の乾燥工程を実施可能な構造を有するシート材の製造装置の概略構成図である。 図４９（Ａ）〜（Ｄ）は、図４８に示されるシート材の製造装置によって実施される乾燥工程を説明するための図である。 乾燥工程長が比較的長い構造を有するシート材の製造装置の概略構成図である。 図５０に示されるシート材の製造装置に乾燥工程後に実施する後工程を付加した状態を説明するための図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の好ましい実施形態を説明するが、本発明の技術的範囲は特許請求の範囲の記載に基づいて定められるべきであり、以下の形態のみに制限されない。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、図面の寸法比率は、説明の都合上誇張されており、実際の比率とは異なる場合がある。

図１および図２は、実施形態に係る塗膜を形成したシート材の製造装置２００を示す斜視図および概略構成図である。

図１および図２を参照して、塗膜を形成したシート材の製造装置２００は、概説すると、塗膜を形成する前のシート材１１が巻回された原料ローラー２０と、塗膜を形成した後のシート材１１を巻き取る製品ローラー３０とを有する。製造装置２００はさらに、吸着ローラー４０と、供給機構８０と、離脱機構９０と、塗布部１００と、乾燥部１１０と、吸引部１２０とを有する。吸着ローラー４０は、シート材１１を吸着保持した状態において回転することによってシート材１１を搬送する。図示する実施形態においては、供給機構８０および離脱機構９０は、ローラー部材を適用している。供給機構としての巻出しローラー８０は、シート材１１を介して吸着ローラー４０に接触し、吸着ローラー４０にシート材１１を供給する。離脱機構としての巻取りローラー９０は、シート材１１を介して吸着ローラー４０に接触し、吸着ローラー４０からシート材１１を離脱させる。塗布部１００は、吸着ローラー４０に吸着保持されたシート材１１に塗布材料を塗布する。乾燥部１１０は、吸着ローラー４０の周囲のうち塗布部１００よりもシート材１１の搬送方向に沿って下流側の位置に配置され、塗布された塗布材料を乾燥させる。吸引部１２０は、シート材１１を吸着ローラー４０に吸着保持させる負圧を生じさせる。そして、吸着ローラー４０は、吸引部１２０に接続されるチャンバ５１を有する回転自在なフレーム５０と、多孔質体から形成されチャンバ５１に連通した状態においてフレーム５０に取り付けられる複数個の保持部材６０と、を有する。フレーム５０に取り付けられた複数個の保持部材６０によって、吸着ローラー４０の周面を形成している。製造装置２００はさらに、シート材１１が離脱している保持部材６０を冷却する冷却部１３０をさらに有する。以下、製造装置２００の構成について詳述する。

本実施形態では、シート材１１として、たとえば、燃料電池用電極膜（ＣＣＭ）の電解質膜を例に挙げて説明する。この場合の塗布材料は、塗膜としての電極触媒層１５を形成するための触媒インクである。

電解質膜１１は親水性（浸透性）が高く、水分を吸収し電解質膜１１が膨潤する特性がある。膨潤により、塗膜面の膜厚不均一化、収縮、シワ、クラック（割れ）が発生する。

電解質膜１１への触媒インクの塗布には、電解質膜１１を膨潤させずに、装置側支持体（たとえば、ローラー）に保持（支持）したまま、サポートシート１３を貼り付けて巻き取ってしまい、電解質膜１１が膨潤してしまう時間を作らないような製造工程が必要となる。つまり、吸着ローラー４０に電解質膜１１を貼り付けて巻出し→触媒インクの塗布→触媒インクの乾燥→電解質膜１１の巻取りの一連の工程のすべてを、吸着ローラー４０によって完結させることが必要である。

図３は、製造装置２００の制御系を示すブロック図である。

図３を参照して、コントローラー１４０は、製造装置２００における構成機器の作動を制御する。コントローラー１４０は、ＣＰＵ、メモリー、入出力部などから構成されている。コントローラー１４０は、原料ローラー２０、巻出しローラー８０、吸着ローラー４０、巻取りローラー９０、および製品ローラー３０などのローラー駆動を制御し、塗布部１００、乾燥部１１０、吸引部１２０、および冷却部１３０などの各部の作動を制御する。コントローラー１４０には、各種センサーが接続され、制御に必要なデータを表す信号、たとえば吸着ローラー４０の回転位置を表す信号、負圧圧力を表す信号などが入力される。

図１および図２を再び参照して、製造装置２００は、原料シート１０から、巻出しローラー８０によってサポートシート１２を剥離する。巻出しローラー８０から巻き出された電解質膜１１は、吸着ローラー４０によって吸引支持され、塗布部１００によって触媒インクが塗布されて成膜される。乾燥部１１０によって、触媒インクが乾燥され、電極触媒層１５が塗膜として形成される。電極触媒層１５を形成した後の電解質膜１１は、巻取りローラー９０によってサポートシート１３が貼り合わされて製品シート１４となる。製品シート１４は、製品ローラー３０に巻き取られる。

原料ローラー２０は、電解質膜１１にサポートシート１２を貼り合わせた原料シート１０をロール状に巻回している。原料シート１０は、サポートシート１２の側を内側にして原料ローラー２０に巻回される。

巻出しローラー８０は、原料ローラー２０から原料シート１０を巻出す。巻出しローラー８０は、サポートシート１２を剥離しながら、電解質膜１１を吸着ローラー４０に押し付け、吸着、支持させるのを補助する。サポートシート巻取りローラー８１は、巻出しローラー８０にて剥離されたサポートシート１２を巻き取る。巻出しローラー８０は、吸着ローラー４０の回転速度の影響を受けないように、アキュームローラーとする。原料ローラー２０およびサポートシート巻取りローラー８１の回転数を可変させることによって、電解質膜１１に付与する張力を制御することができる。巻出しローラー８０の形成材料は特に限定されないが、たとえば、樹脂やゴムなどから形成される弾性部材から形成することができる。

巻取りローラー９０は、電極触媒層１５が形成された電解質膜１１にサポートシート１３を貼り付け、送り出す。サポートシート巻出しローラー９１は、サポートシート１３を供給する。供給されたサポートシート１３は、巻取りローラー９０によって電極触媒層１５の上に貼り付けられる。電極触媒層１５が形成された電解質膜１１にサポートシート１３を貼り合わせて、製品シート１４が形成される。製品シート１４は、製品ローラー３０に巻き取られる。巻取りローラー９０は、吸着ローラー４０の回転速度の影響を受けないように、アキュームローラーとする。サポートシート巻出しローラー９１および製品ローラー３０の回転数を可変させることによって、電極触媒層１５が形成された電解質膜１１に付与する張力を制御することができる。巻取りローラー９０は、吸着ローラー４０に対する押し付け圧力を制御可能に構成している。巻取りローラー９０は、ヒーターが内蔵され、加熱温度を制御可能に構成している。巻取りローラー９０は、押し付け圧力および温度が制御され、電極触媒層１５が形成された電解質膜１１にサポートシート１３を、押し付け圧力および熱を作用させることによって貼り合わせることができる。

製品ローラー３０は、電極触媒層１５が形成された電解質膜１１にサポートシート１３を貼り合わせた製品シート１４をロール状に巻回している。製品シート１４は、サポートシート１３の側を内側にして製品ローラー３０に巻回される。

塗布部１００の形式などは特に限定されないが、たとえば、スリットダイコータ、インクジェット、スプレー、グラビアコータ、ナイフコータなどを選択することができる。塗布方法としては、べた塗り、間欠塗布の何れをも採用できる。間欠塗工を採用する場合において、塗布部１００をスリットダイコータから構成するときには、間欠塗布バルブの切り替え制御や塗布冶具の駆動制御、サブポンプの吐出制御などによって、塗布エリア、未塗布エリアを塗り分けることができる。塗布部１００をインクジェットやスプレーから構成するときには、塗布冶具からの吐出のオン／オフ制御によって、塗布エリア、未塗布エリアを塗り分けることができる。塗布部１００をグラビアコータから構成するときには、グラビア版にメッシュの有無を設けておき、吸着ローラー４０の後述する連結部の位置と、グラビア版のメッシュ無し位置とを合わせるように、グラビアローラーの回転速度と吸着ローラー４０の搬送速度とを制御する。

乾燥部１１０の形式などは特に限定されないが、たとえば、熱風乾燥、スリットノズル乾燥、ＩＲ乾燥、ＩＨ乾燥などを選択することができる。

吸引部１２０の形式などは特に限定されないが、たとえば、真空ポンプと、真空ポンプをフレーム５０内のチャンバ５１に接続する配管やバルブなどを有する。真空ポンプによってチャンバ５１内の空気を吸引することによって、電解質膜１１を吸着ローラー４０に吸着保持させる負圧を生じさせる。

冷却部１３０は、乾燥部１１０によって熱せられた吸着ローラー４０を冷却する。塗布部１００によって塗布成膜するときの精度に影響を与えないようにするためである。冷却部１３０の形式などは特に限定されないが、たとえば、冷却用のエアーを供給するポンプやブロワーなどから構成されるエアー供給装置１３１と、エアーの温度を調整する温度調整装置１３２とを有する（後述する図７を参照）。エアー供給装置１３１によって、電解質膜１１が離脱している保持部材６０にエアーを通過させることによって保持部材６０を冷却する。

エアーは、吸引部１２０と吸着ローラー４０とを接続する配管を使用して吸着ローラー４０に導く。この場合、エアーは、チャンバ５１から保持部材６０を通って外部雰囲気へと流れる。

エアー供給装置１３１は、エアーの温度を所望の温度に冷却または加熱することができる。エアーの温度は、塗布材料を塗布する作業に対して保持部材６０が温度影響を与えない温度にまで冷却可能な温度に設定される。

冷却部１３０にさらに加湿装置を設けることができる。この場合には、電解質膜１１が離脱している保持部材６０を冷却し、かつ、保持部材６０の含水率を調整することができる。

図４（Ａ）（Ｂ）は、吸着ローラー４０を示す斜視図および一部分解して示す斜視図、図５（Ａ）（Ｂ）は、吸着ローラー４０のフレーム５０および保持部材６０を示す斜視図である。

吸着ローラー４０は、吸引部１２０に接続されるチャンバ５１を有する回転自在なフレーム５０と、多孔質体から形成されチャンバ５１に連通した状態においてフレーム５０に取り付けられる複数個の保持部材６０と、を有している。フレーム５０に取り付けられた複数個の保持部材６０によって吸着ローラー４０の周面を形成している。吸着ローラー４０はさらに、隣り合う保持部材６０の周方向端面同士を接合するとともにフレーム５０に接合する連結部７０を有する。

保持部材６０を多孔質体から形成する場合において、円筒形状を有する１個の多孔質体から保持部材６０を形成する場合には、吸着ローラー４０の径方向の寸法は、円筒形状を有する多孔質体を製造可能な寸法に制限される。一方、本実施形態にあっては、複数個の保持部材６０によって吸着ローラー４０の周面を形成するため、吸着ローラー４０の直径は、多孔質体を製造可能な寸法に制限されることがない。

フレーム５０は、ステンレスなどの金属材料から形成することができる。異物の発生を抑制する観点から、鉄材を使用するときに無電解Ｎｉめっき等の表面処理を施すことができる。フレーム５０は、回転軸４１となるシャフト４１が貫通させる軸穴５２を中心に設けている。回転軸４１をフレーム５０に一体的に形成することもできる。シャフト４１の形状や材質等は特に限定されず、吸着ローラー４０を組み込んだ装置における具体的構成との関連において適宜選択することができる。フレーム５０の外周表面部に、保持部材６０を取り付ける部位を設けている。フレーム５０の軸方向に沿う両側端面は、ガイドプレート４２によって覆われている。これによって、フレーム５０内部のチャンバ５１が密閉される。ガイドプレート４２によって、保持部材６０の軸方向に沿う両端面も密閉される。ガイドプレート４２は、ステンレスなどの金属材料から形成することができる。異物の発生を抑制する観点から、鉄材を使用するときに無電解Ｎｉめっき等の表面処理を施すことができる。

本実施形態におけるフレーム５０のチャンバ５１は、区画された複数個の吸引室５３を有し、それぞれの吸引室５３に少なくとも１つの保持部材６０が臨んでいる。吸引部１２０は、それぞれの吸引室５３に接続されている。

さらに詳しくは、図５（Ａ）に示すように、フレーム５０は、保持部材６０が取り付けられる外周表面部に、保持部材６０と連通自在な窓形状を有する吸引溝５４が形成されている。フレーム５０は、隣り合う吸引溝５４同士の間に、径方向外方に若干突出するガイド５５が形成されている。ガイド５５が保持部材６０の周方向端面６１に当接することによって、保持部材６０を支持固定する。それぞれの吸引溝５４が臨むように、フレーム５０内部のチャンバ５１が複数個の吸引室５３に区画分けされている。吸引室５３の数に制約はない。図示例にあっては、チャンバ５１は、８個の吸引室５３に区画分けされている。

保持部材６０は、図５（Ｂ）に示すように、吸着ローラー４０の回転軸４１に直交する断面において見て、周方向端面６１が台形形状を有している。円筒体であるフレーム５０に保持部材６０を組み込む場合において、保持部材６０の周方向端面６１が台形形状を有しているので、フレーム５０の外周表面部への組み込みが容易になる。また、保持部材６０の端面を台形形状に仕上げる加工も容易である。

保持部材６０の表面６２は、吸着ローラー４０の回転軸４１に直交する断面において見て、平坦面に形成されている。表面６２が平坦面であるので、保持部材６０の形成が容易となる。

保持部材６０は、精度を出す必要があるため、弾性変形せず、ある程度の剛性を有する材料から形成される。保持部材６０は、たとえば、発泡金属、セラミック、樹脂などから形成される多孔質体から形成される。成形性、加工精度、装置ハンドリング性などの観点から、多孔質セラミックを好適に用いることができる。多孔質セラミックは、たとえば、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）、炭化ケイ素（ＳｉＣ）、ジルコニア（ＺｒＯ_２）、炭化チタン（ＴｉＣ）、あるいはこれらの混合材料など、種々の材料を用いることができる。

多孔質体の特性としての気孔サイズや気孔率は、吸引保持の対象となるシート材１１に合わせて、適宜の寸法および気孔率を選択することができる。

連結部７０は、たとえば、接着剤や熱硬化樹脂、ＵＶ硬化樹脂などを用いることができる。連結部７０の形成材料は、乾燥工程において熱にさらされることから、熱耐性を有する材料から形成する。連結部７０の形成材料は、塗工工程において塗布材料が付着する虞があることから、水耐性を有する材料から形成する。

保持部材６０をフレーム５０に組み付けるにあたっては、多孔質体である保持部材６０に応力がかかって割れを生じさせないような止め方が必要である。そこで、連結部７０としては、ネジ止めや、クリップを用いた係止ではなく、上述した接着剤などを用いて止めることが好ましい。

保持部材６０のそれぞれは、フレーム５０に対して交換自在に取り付けられている。保持部材６０の目詰まりなどによって電解質膜１１の吸着不良が生じた場合、目詰まりなどが生じた特定の保持部材６０のみを、新たな保持部材６０に付け替えることができる。

図６は、吸着ローラー４０における負圧経路５６を示す断面図である。

図６を参照して、フレーム５０のチャンバ５１を複数個の吸引室５３に区画した本実施形態においては、吸引室５３内を負圧にする負圧経路５６は、回転軸４１内に形成した軸方向経路５７と、回転軸４１の外周面に開口され軸方向経路５７に連通する径方向経路５８とを有する。回転軸４１の外周面は、吸引室５３を構成する底壁となる。軸方向経路５７は、ロータリージョイント５９内の通路を介して、吸引部１２０の負圧経路１２１に接続される。ロータリージョイント５９は、たとえば、ＣＫＤ株式会社製ＲＪＦシリーズ、あるいはＳＭＣ株式会社製ＭＱＲシリーズを用いることができる。

吸着ローラー４０の回転軸４１には、吸着ローラー４０の回転角度を検出するエンコーダー１４１が取り付けられている。エンコーダー１４１はコントローラー１４０に接続され、検出した吸着ローラー４０の回転角度に関する信号がコントローラー１４０に入力される。

図７は、吸引部１２０の負圧経路１２１を示す概略構成図である。

図７を参照して、吸引部１２０の負圧経路１２１は、それぞれの吸引室５３毎に設けられた電空レギュレーター１２２と、それぞれの電空レギュレーター１２２が接続される１台の真空ポンプ１２３とを有する。電空レギュレーター１２２を設ける場合は、真空ポンプ１２３は１台でよく、かつ一定量を吸引し続ければよい。このため、複数の真空ポンプ１２３を用いる場合に比較して、稼働エネルギーを低減できる。それぞれの電空レギュレーター１２２は、プログラム制御にて、吸引圧力値を任意に設定することができる。それぞれ電空レギュレーター１２２は、コントローラー１４０に接続され、コントローラー１４０から吸引圧力値を示す制御信号などが入力される。このような構成によって、それぞれの吸引室５３の吸引量を独立に制御し、それぞれの吸引室５３を吸引する状況を切り替えることができる。

吸引部１２０の負圧経路１２１は、切替バルブ１２４を介して、真空ポンプ１２３と、冷却部１３０のエアー供給装置１３１とに選択的に接続することができる。コントローラー１４０は、切替バルブ１２４の作動を制御し、接続先を、真空ポンプ１２３またはエアー供給装置１３１に自動的に切り替える。これによって、多孔質体からなる保持部材６０を通しての電解質膜１１の吸引と、多孔質体からなる保持部材６０を通してのエアー供給とを切り替えることができる。冷却部１３０は温度調整装置１３２を有しているので、熱風から冷風まで所望の温度のエアーを保持部材６０に供給することができる。

図８は、多孔質体の複数個の保持部材６０を備える吸着ローラー４０の製造工程を示すフローチャート、図９（Ａ）〜（Ｅ）は、多孔質体の複数個の保持部材６０をフレーム５０に組み付けて吸着ローラー４０を製造している様子を示す斜視図である。

図８を参照して、多孔質体の保持部材６０は、種々の材料を準備し（ステップＳ１）、混合および造粒し（ステップＳ２）、プレス機によって多孔質体の狙いの形状に成形する（ステップＳ３）。プレス機は、たとえば、株式会社神戸製鋼所製の冷間静水圧加圧（ＣＩＰ）や熱間静水圧加圧（ＨＩＰ）などを用いる。その後、焼結炉にて焼き固め（ステップＳ４）、多孔質体の保持部材６０を得る。焼結炉は、たとえば、中外炉工業株式会社製や大同特殊鋼株式会社製の装置を用いる。

図９をも参照して、保持部材６０を形成した後、多孔質体の保持部材６０を、フレーム５０にローラー形状に組付ける（ステップＳ５、図９（Ａ）（Ｂ））。

フレーム５０に組み付けた保持部材６０の表面６２を、ローラー研削加工機によって研削加工し、円筒形状化し、精度出しする（ステップＳ６、図９（Ｃ）（Ｄ））。保持部材６０の加工精度として、たとえば、偏心度が設定値以下となるように精度出しする。偏心度寸法は塗膜厚さのばらつきなどに影響を及ぼす。また、保持部材６０の表面形状は吸引保持によってシート材１１に転写される。したがって、偏心度寸法や保持部材６０の表面形状の面粗さは、対象となるシート材１１に要求される偏心度寸法や面粗さに応じて定める。ローラー研削機は、たとえば、東芝機械株式会社製のＫＷＡ−Ｄシリーズを用いる。

精度出しされたフレーム５０および保持部材６０を用いて、吸着ローラー４０を製造する（ステップＳ７、図９（Ｅ））。

次に、本実施形態の作用を説明する。

図２を参照して、製造装置２００全体の動作を概説する。製造装置２００は、原料シート１０から、巻出しローラー８０によってサポートシート１２を剥離する。巻出しローラー８０から巻き出された電解質膜１１は、吸着ローラー４０によって吸引支持され、塗布部１００によって触媒インクが塗布されて成膜される。乾燥部１１０によって、触媒インクが乾燥され、電極触媒層１５が塗膜として形成される。電極触媒層１５を形成した後の電解質膜１１は、巻取りローラー９０によってサポートシート１３が貼り合わされて製品シート１４となる。製品シート１４は、製品ローラー３０に巻き取られる。

本実施形態では、製造装置２００における吸着ローラー４０は、吸引部１２０に接続されるチャンバ５１を有する回転自在なフレーム５０と、多孔質体から形成されチャンバ５１に連通した状態においてフレーム５０に取り付けられる複数個の保持部材６０と、を有している。そして、フレーム５０に取り付けられた複数個の保持部材６０によって吸着ローラー４０の周面を形成している。

多孔質体の保持部材６０をフレーム５０に組み付けるという構成によって、大径の吸着ローラー４０を得ることができ、大型のプレス機や大型の焼結炉が不要となる。したがって、大型な吸着ローラー４０を、容易に、かつ、いかようにも製作できる。

電解質膜１１を吸着ローラー４０によって吸着保持しながら、触媒インクの塗布およびその乾燥を行う場合、乾燥工程が終了するまで電解質膜１１を吸着ローラー４０に支持しておく必要がある。多孔質体の径寸法が製作上制限される場合には、生産性を高めるために搬送速度を速くすると、乾燥時間が短くなってしまう。このため、吸着ローラー４０の回転速度を無条件に早くすることはできず、生産性を高めることが阻害されてしまう。一方、本実施形態にあっては、大径の吸着ローラー４０を製作できることから、生産性を高めるために搬送速度を速くする場合には、吸着ローラー４０を大径にして円周長を長くすることによって、十分に長い乾燥時間（乾燥距離）を簡単に確保することができる。このため、燃料電池用電極膜の生産速度を上げることができる。

図１０は、吸引部１２０によって吸着ローラー４０におけるそれぞれの吸引室５３を吸引する状況を切り替える手順を示すフローチャートである。図１１は、吸引室５３を吸引する吸引力の制御例の一例を説明するための説明図である。以下の説明において、８個の吸引室５３を区別する必要があるときには、図１１に付すように、第１の吸引室５３（１）、第２の吸引室５３（２）、第３の吸引室５３（３）、第４の吸引室５３（４）、第５の吸引室５３（５）、第６の吸引室５３（６）、第７の吸引室５３（７）、および第８の吸引室５３（８）という。

コントローラー１４０は、吸引部１２０によってそれぞれの吸引室５３を吸引する状況を切り替えるように、吸引部１２０の作動を制御する。

コントローラー１４０は、シート材１１が接触している保持部材６０が臨んでいる吸引室５３を吸引し、シート材１１が離脱している保持部材６０が臨んでいる吸引室５３の吸引を停止するように、吸引部１２０の作動を制御する。

コントローラー１４０は、吸引する吸引室５３を表したテーブルを参照しつつ、吸引力の制御を行う。まず、この参照テーブルＴ１を概説する。コントローラー１４０は、基準となる回転位置に第何番目の吸引室５３が位置しているかを検出し、参照テーブルＴ１を参照して、そのときに吸引しなければならない吸引室５３を特定する。制御例の一例において参照される参照テーブルＴ１を以下の表１に示す。なお、基準となる吸引室５３の回転位置は、図１１において、巻出しローラー８０を通って供給されるシート材１１が接触し始める保持部材６０が臨んでいる第１の吸引室５３（１）が位置している回転位置とする。

図１０を参照して、吸引部１２０によって吸着ローラー４０におけるそれぞれの吸引室５３を吸引する状況を切り替える手順を説明する。

コントローラー１４０は、エンコーダー１４１によって吸着ローラー４０の回転角度を検出し、基準となる回転位置に第何番目の吸引室５３が位置しているかを検出する（ステップＳ１１）。図１１に示される状態では、基準となる回転位置に、第１の吸引室５３（１）が位置している。

コントローラー１４０は、参照テーブルＴ１を参照し、基準となる回転位置に位置する吸引室５３の番号に基づいて、吸引しなければならない吸引室５３を読み込む（ステップＳ１２）。参照テーブルＴ１から、基準となる回転位置に第１の吸引室５３（１）が位置する場合、吸引する吸引室５３の番号として、「１、２、３、４、５、６」を読み込み、吸引力の設定として、「１００％」を読み込み、吸引しない吸引室５３の番号として「７、８」を読み込む。

コントローラー１４０は、吸引する吸引室５３の番号、吸引しない吸引室５３の番号、および吸引力の設定に基づいて、真空ポンプ１２３および電空レギュレーター１２２の動作を制御する（ステップＳ１３）。コントローラー１４０は、第１、２、３、４、５、６の吸引室５３（１）（２）（３）（４）（５）（６）用の電空レギュレーター１２２の吸引圧力値に、１００％の吸引力に相当する吸引圧力値を設定する。コントローラー１４０は、第７、８の吸引室５３（７）（８）用の電空レギュレーター１２２の吸引圧力値に、吸引圧力値として０（ゼロ）を設定する。

それぞれの電空レギュレーター１２２は、設定された吸引圧力値に基づいて動作し、それぞれの吸引室５３の吸引量を独立に制御し、それぞれの吸引室５３を吸引する状況を切り替える。図１１に示すように、第１、２、３、４、５、６の吸引室５３（１）（２）（３）（４）（５）（６）用の電空レギュレーター１２２は、第１、２、３、４、５、６の吸引室５３（１）（２）（３）（４）（５）（６）を１００％の吸引力によって吸引する。これによって、巻出しローラー８０から供給された電解質膜１１を、第１、２、３、４、５、６の吸引室５３（１）（２）（３）（４）（５）（６）に臨む保持部材６０の表面６２に吸着保持する。電解質膜１１は、巻取りローラー９０によって、第７、８の吸引室５３（７）（８）に臨む保持部材６０の表面６２から離脱している。第７、８の吸引室５３（７）（８）用の電空レギュレーター１２２は、第７、８の吸引室５３（７）（８）を吸引しない。

電極触媒層１５を備える電解質膜１１の製造を終了するまで（ステップＳ１４：ＹＥＳ）、ステップＳ１１〜Ｓ１３の処理を繰り返し、それぞれの吸引室５３（１）〜５３（８）を吸引する状況を切り替える。

図１１に示すように、吸着ローラー４０は、チャンバ５１を複数個の吸引室５３に区画することによって、吸引室５３毎に吸引量を独立制御することができる。電解質膜１１を吸着する吸引室５３から、吸引がリークする吸引室５３が区画分けされている。このため、電解質膜１１を吸着ローラー４０全周に吸着しない製造装置２００であっても、電解質膜１１を吸着しなければならない吸引室５３は、吸引力が低下することなく電解質膜１１を吸着保持することができる。

電解質膜１１を吸着保持する必要のない吸引室５３については、吸引を停止していることから吸引エネルギーの無駄を無くすことができる。

冷却部１３０は、乾燥部１１０によって熱せられた吸着ローラー４０を冷却する。電解質膜１１を吸着保持する必要のない吸引室５３については、コントローラー１４０は、切替バルブ１２４の作動を制御し、接続先を、真空ポンプ１２３からエアー供給装置１３１に切り替える。エアーは、吸引室５３から保持部材６０を通って外部雰囲気へと流れる。温度調整装置１３２によって、エアーの温度は、触媒インクを塗布する作業に対して保持部材６０が温度影響を与えない温度にまで冷却可能な温度に設定される。このように、各吸引室５３の吸引配管から、温度制御されたエアーを供給することによって、巻取り工程後に電解質膜１１を吸引しない範囲で、乾燥部１１０によって温度上昇した多孔質体の保持部材６０に冷却エアーを流す。保持部材６０を冷却することによって、塗布工程への温度影響をなくすことができる。

吸着ローラー４０は、複数個の保持部材６０をフレーム５０に取り付ける構成であり、保持部材６０のそれぞれは、フレーム５０に対して交換自在に取り付けられている。電極触媒層１５の付着や塵埃の詰りなどによって多孔質体の吸着不良が発生した場合、吸着ローラー４０の全体を交換する必要はない。吸着不良が発生した保持部材６０のみを交換し、その新たな保持部材６０に対して表面ローラー研削加工を施すことによって、吸着ローラー４０を復旧させることができる。

図１２は、吸引室５３を吸引する吸引力の制御例の他の例を説明するための説明図である。以下の説明において、８個の吸引室５３を区別する必要があるときには、図１２に付すように、第１の吸引室５３（１）、第２の吸引室５３（２）、第３の吸引室５３（３）、第４の吸引室５３（４）、第５の吸引室５３（５）、第６の吸引室５３（６）、第７の吸引室５３（７）、および第８の吸引室５３（８）という。

コントローラー１４０は、巻出しローラー８０を通って供給されるシート材１１が接触し始める保持部材６０が臨んでいる吸引室５３を吸引する吸引力を、シート材１１が接触し続けている保持部材６０が臨んでいる吸引室５３を吸引する吸引力よりも強い吸引力とするように、吸引部１２０の作動を制御する。

コントローラー１４０は、巻取りローラー９０を通って離脱されるシート材１１が離れ始める保持部材６０が臨んでいる吸引室５３を吸引する吸引力を、シート材１１が接触し続けている保持部材６０が臨んでいる吸引室５３を吸引する吸引力よりも弱い吸引力とするように、吸引部１２０の作動を制御する。

コントローラー１４０は、吸引する吸引室５３を表したテーブルを参照しつつ、吸引力の制御を行う。制御例の他の例において参照される参照テーブルＴ２を以下の表２に示す。なお、基準となる吸引室５３の回転位置は、図１２おいて、巻出しローラー８０を通って供給されるシート材１１が接触し始める保持部材６０が臨んでいる第１の吸引室５３（１）が位置している回転位置とする。

制御例の他の例において、吸引部１２０によって吸着ローラー４０におけるそれぞれの吸引室５３を吸引する状況を切り替える手順は、図１０に示した制御例の一例と同様である。

コントローラー１４０は、エンコーダー１４１によって吸着ローラー４０の回転角度を検出し、基準となる回転位置に第何番目の吸引室５３が位置しているかを検出する（ステップＳ１１）。図１２に示される状態では、基準となる回転位置に、第１の吸引室５３（１）が位置している。

コントローラー１４０は、参照テーブルＴ２を参照し、基準となる回転位置に位置する吸引室５３の番号に基づいて、吸引しなければならない吸引室５３を読み込む（ステップＳ１２）。参照テーブルＴ２から、基準となる回転位置に第１の吸引室５３（１）が位置する場合、吸引する吸引室５３の番号として、「２、３、４、５」を読み込み、吸引力の設定として、「通常」を読み込む。吸引する吸引室５３の番号として、「１」を読み込み、吸引力の設定として、「通常」よりも強い値が設定される「強」を読み込む。吸引する吸引室５３の番号として、「６」を読み込み、吸引力の設定として、「通常」よりも弱い値が設定される「弱」を読み込む。吸引しない吸引室５３の番号として「７、８」を読み込む。

コントローラー１４０は、吸引する吸引室５３の番号、吸引しない吸引室５３の番号、および吸引力の設定に基づいて、真空ポンプ１２３および電空レギュレーター１２２の動作を制御する（ステップＳ１３）。コントローラー１４０は、第２、３、４、５の吸引室５３（２）（３）（４）（５）用の電空レギュレーター１２２の吸引圧力値に、「通常」の吸引力に相当する吸引圧力値を設定する。コントローラー１４０は、第１の吸引室５３（１）用の電空レギュレーター１２２の吸引圧力値に、「強」の吸引力に相当する吸引圧力値を設定する。コントローラー１４０は、第６の吸引室５３（６）用の電空レギュレーター１２２の吸引圧力値に、「弱」の吸引力に相当する吸引圧力値を設定する。コントローラー１４０は、第７、８の吸引室５３（７）（８）用の電空レギュレーター１２２の吸引圧力値に、吸引圧力値として０（ゼロ）を設定する。

それぞれの電空レギュレーター１２２は、設定された吸引圧力値に基づいて動作し、それぞれの吸引室５３の吸引量を独立に制御し、それぞれの吸引室５３を吸引する状況を切り替える。図１２に示すように、第２、３、４、５の吸引室５３（２）（３）（４）（５）用の電空レギュレーター１２２は、第２、３、４、５の吸引室５３（２）（３）（４）（５）を「通常」の吸引力によって吸引する。第１の吸引室５３（１）用の電空レギュレーター１２２は、第１の吸引室５３（１）を「強」の吸引力によって吸引する。第６の吸引室５３（６）用の電空レギュレーター１２２は、第６の吸引室５３（６）を「弱」の吸引力によって吸引する。これによって、巻出しローラー８０から供給された電解質膜１１を、第１、２、３、４、５、６の吸引室５３（１）（２）（３）（４）（５）（６）に臨む保持部材６０の表面６２に吸着保持する。ただし、第１の吸引室５３（１）は、第２、３、４、５の吸引室５３（２）（３）（４）（５）よりも強い吸引力によって電解質膜１１を吸引し、第６の吸引室５３（６）は、第２、３、４、５の吸引室５３（２）（３）（４）（５）よりも弱い吸引力によって電解質膜１１を吸引している。電解質膜１１は、巻取りローラー９０によって、第７、８の吸引室５３（７）（８）に臨む保持部材６０の表面６２から離脱している。第７、８の吸引室５３（７）（８）用の電空レギュレーター１２２は、第７、８の吸引室５３（７）（８）を吸引しない。

電極触媒層１５を備える電解質膜１１の製造を終了するまで（ステップＳ１４：ＹＥＳ）、ステップＳ１１〜Ｓ１３の処理を繰り返し、それぞれの吸引室５３（１）〜５３（８）を吸引する状況を切り替える。

図１２に示すように、吸着ローラー４０は、チャンバ５１を複数個の吸引室５３に区画することによって、図１１に示した例と同様に、吸引室５３毎に吸引量を独立制御することができる。巻出しローラー８０の箇所においては、吸着ローラー４０への初期吸着のために吸引力を強くし、巻取りローラー９０箇所においては、吸着ローラー４０から離脱させるために吸引力を落としている。このように制御することによって、電解質膜１１のハンドリングが容易になり、電解質膜１１にシワや破れなどの不具合を生じさせることなく、製品シート１４を得ることができる。

また、図１１に示した例と同様に、電解質膜１１を吸着保持する必要のない吸引室５３については、吸引を停止していることから吸引エネルギーの無駄を無くすことができる。

図１３（Ａ）（Ｂ）は、隣り合う保持部材６０同士の間にシート材１１を吸着できない隙間Ｓが存在する場合に、塗布部１００がシート材１１に塗布材料を間欠的に塗布する形態を説明する説明図、および隙間Ｓを検知する様子を示す斜視図である。

図１３（Ａ）を参照して、吸着ローラー４０は隣り合う保持部材６０同士の間に連結部７０を有し、シート材１１を吸着できない隙間Ｓが存在する。連結部７０が存在する箇所は電解質膜１１を吸引することができず、電解質膜１１に膨潤や収縮などが発生する可能性がある。

そこで、隣り合う保持部材６０同士の間に電解質膜１１を吸着できない隙間Ｓが存在する場合においては、塗布部１００は、電解質膜１１に触媒インクを間欠的に塗布し、隙間Ｓの部分に対応する部位を未塗布範囲とする。塗布部１００は、触媒インクを間欠的に塗布する間欠塗工機構を有する。図１３（Ｂ）に示すように、電解質膜１１を吸着できない隙間Ｓは、反射光の強弱などの違いによって材質の相違を検知する光学センサー１４２を用いて検知することができる。隙間Ｓを検知した信号に基づいて、塗布部１００は、電解質膜１１に触媒インクを間欠的に塗布する。隙間Ｓの部分に対応する部位を未塗布範囲とすることによって、電解質膜１１に膨潤や収縮などを発生させることがない。

以上説明したように、本実施形態に係る塗膜を形成したシート材１１の製造装置２００にあっては、吸着ローラー４０は、吸引部１２０に接続されるチャンバ５１を有する回転自在なフレーム５０と、多孔質体から形成されチャンバ５１に連通した状態においてフレーム５０に取り付けられる複数個の保持部材６０と、を有している。そして、フレーム５０に取り付けられた複数個の保持部材６０によって吸着ローラー４０の周面を形成している。

また、本実施形態に係る塗膜を形成したシート材１１の製造方法にあっては、上記のように構成した吸着ローラー４０にシート材１１を供給し、シート材１１を吸着保持した状態において吸着ローラー４０を回転することによってシート材１１を搬送する。吸着ローラー４０に吸着保持されたシート材１１に塗布部１００によって塗布材料を塗布し、吸着ローラー４０の周囲のうち塗布部１００よりもシート材１１の搬送方向に沿って下流側の位置において、塗布された塗布材料を乾燥部１１０によって乾燥する。そして、塗布材料が乾燥したシート材１１を吸着ローラー４０から離脱させている。

このように構成することによって、半径以下の大きさの複数の多孔質体の保持部材６０から吸着ローラー４０の周面を形成することができるので、大型のプレス機や焼結炉が不要になり、容易に大直径の多孔質体からなる吸着ローラー４０を形成することができる。大径の吸着ローラー４０を備えることによって、円周長の距離が長くなり、触媒インクの乾燥時間を十分に取ることができる。電解質膜１１の搬送速度を速くすることができるため、生産速度を向上することができる。したがって、多孔質体から形成された吸着ローラー４０であっても、直径寸法の上限に制約を受けることがなく、吸着ローラー４０の大径化を通して生産性を高めることが可能な、塗膜を形成したシート材１１の製造装置２００、および塗膜を形成したシート材１１の製造方法を提供することができる。

フレーム５０のチャンバ５１は、区画された複数個の吸引室５３を有し、それぞれの吸引室５３に少なくとも１つの保持部材６０が臨んでおり、吸引部１２０は、それぞれの吸引室５３に接続されている。

このように構成することによって、個々の吸引室５３は密閉空間となるため、電解質膜１１を吸引していない吸引室５３から吸引がリークしたとしても、電解質膜１１を吸引している吸引室５３の吸引力は低下しない。この結果、電解質膜１１を確実に搬送することができる。

製造装置２００は、吸引部１２０によってそれぞれの吸引室５３を吸引する状況を切り替えるように、吸引部１２０の作動を制御するコントローラー１４０を有している。

このように構成することによって、それぞれの吸引室５３毎に吸引量を独立して制御することができ、吸引室５３を吸引する状況を種々変更できる。電解質膜１１に付与する張力を可変制御できることから、電解質膜１１をより確実に搬送することができる。

コントローラー１４０は、電解質膜１１が接触している保持部材６０が臨んでいる吸引室５３を吸引し、電解質膜１１が離脱している保持部材６０が臨んでいる吸引室５３の吸引を停止するように、吸引部１２０の作動を制御する。

このように構成することによって、電解質膜１１を巻取ることによって電解質膜１１を吸引しなくなった範囲では吸引を停止することから、電解質膜１１を確実に搬送しつつ、吸引エネルギーの無駄をなくすことができる。

コントローラー１４０は、巻出しローラー８０を通って供給される電解質膜１１が接触し始める保持部材６０が臨んでいる吸引室５３を吸引する吸引力を、電解質膜１１が接触し続けている保持部材６０が臨んでいる吸引室５３を吸引する吸引力よりも強い吸引力とするように、吸引部１２０の作動を制御する。

このように構成することによって、巻出しローラー８０の箇所では吸引力が強くなるので、吸着ローラー４０への電解質膜１１の初期吸着が確実なものとなる。

コントローラー１４０は、巻取りローラー９０を通って離脱される電解質膜１１が離れ始める保持部材６０が臨んでいる吸引室５３を吸引する吸引力を、電解質膜１１が接触し続けている保持部材６０が臨んでいる吸引室５３を吸引する吸引力よりも弱い吸引力とするように、吸引部１２０の作動を制御する。

このように構成することによって、巻取りローラー９０の箇所では吸引力が弱くなるので、吸着ローラー４０から電解質膜１１を離脱させ易くなり、電解質膜１１のハンドリングが容易になる。電解質膜１１にシワや破れなどの不具合を生じさせることなく、製品シート１４を得ることができる。

製造装置２００は、電解質膜１１が離脱している保持部材６０を冷却する冷却部１３０をさらに有している。

このように構成することによって、電解質膜１１を吸引しない範囲で、乾燥工程によって温度上昇した保持部材６０を冷却して、塗布工程への温度影響をなくすことができる。

冷却部１３０は、電解質膜１１が離脱している保持部材６０にエアーを通過させることによって保持部材６０を冷却する。

このように構成することによって、電解質膜１１を吸引しない範囲で、保持部材６０にエアーを通過させて、保持部材６０を冷却することができる。

冷却部１３０は、エアーを、吸引部１２０と吸着ローラー４０とを接続する配管を使用して吸着ローラー４０に導く。

このように構成することによって、吸引部１２０と吸着ローラー４０とを接続する配管を、吸引用および冷却用に共用できることから、配管系の簡素化を図ることができる。

エアーの温度は、塗布材料を塗布する作業に対して保持部材６０が温度影響を与えない温度にまで冷却可能な温度である。

このように構成することによって、温度制御されたエアーによって保持部材６０を冷却でき、塗布工程への温度影響を確実になくすことができる。

隣り合う保持部材６０同士の間に電解質膜１１を吸着できない隙間Ｓが存在する場合において、塗布部１００は、電解質膜１１に塗布材料を間欠的に塗布し、隙間Ｓの部分に対応する部位を未塗布範囲とする。

電解質膜１１に吸着ローラー４０の吸引力が作用することによって、電解質膜１１へ触媒インクを塗布したときに生じる電解質膜１１の膨潤、収縮、シワ、クラック（割れ）を抑制しているが、隙間Ｓの部分では電解質膜１１を吸着できない。そこで、上記のように構成することによって、電解質膜１１を吸着できない隙間Ｓの部分において、電解質膜１１の膨潤などの不具合の発生を回避することができる。

保持部材６０のそれぞれは、フレーム５０に対して交換自在に取り付けられている。

このように構成することによって、詰りや汚れが発生した保持部材６０のみを交換することが可能なため、吸着ローラー４０全体を交換する場合に比較して、ランニングコストを大幅に削減できる。

保持部材６０の表面６２は、吸着ローラー４０の回転軸４１に直交する断面において見て、平坦面に形成されている。

このように構成することによって、表面６２が平坦面であるので、保持部材６０の形成が容易となる。

電解質膜１１は、燃料電池の電極触媒層１５用の電解質膜１１であり、塗布材料は、触媒インクである。

このように構成することによって、燃料電池用電極膜（ＣＣＭ）の生産性を高めることが可能となる。

（フレームの改変例）
図１４は、フレーム５０ａの改変例を示す斜視図、図１５（Ａ）は、フレーム５０ｂの他の改変例を示す斜視図、図１５（Ｂ）は、図１５（Ａ）に示されるフレーム５０ｂとともに使用するガイドフレーム５０ｃを示す斜視図、図１６（Ａ）（Ｂ）は、フレーム５０ｄのさらに他の改変例を示す斜視図、および保持部材６０を組み付けた状態を示す要部断面図である。

フレームは、吸引部１２０に接続されるチャンバ５１を有する回転自在な構造を有し、かつ、多孔質体から形成されチャンバ５１に連通した状態において複数個の保持部材６０が取り付けられる構造を有している限りにおいて、適宜の構造に改変することができる。

図１４に示すフレーム５０ａは、フレーム５０ａ内部の吸引室５３の数を吸引溝５４の数に対して減少させている。すなわち、チャンバ５１は２個の吸引室５３に区画され、１個の吸引室５３に対して、４個の吸引溝５４が形成され、４個の保持部材６０が組み付けられる。

図１５（Ａ）に示すフレーム５０ｂは、多孔質体（発泡金属、セラミック、樹脂など）とし、フレーム５０ｂ内部のチャンバ５１を１つの吸引室５３としている。１つの吸引室５３を多孔質体で埋めることによって、保持部材６０および中心軸を保持しながら、保持部材６０と連通する。１つの吸引室５３を埋める多孔質体は、１個に限られず、複数個に分割されていてもよく、吸着ローラー４０の大径化を阻害するものではない。フレーム５０ｂが多孔質体の場合には、図１５（Ｂ）に示すようなガイドフレーム５０ｃをともに使用することができる。ガイドフレーム５０ｃの内部に、多孔質体のフレーム５０ｂが嵌め込まれる。ガイドフレーム５０ｃを使用することによって、保持部材６０の取り付け位置精度が向上する。また、ガイドフレーム５０ｃを使用することによって、保持部材６０を支持固定する補助的な機能、連結部７０を補助する機能が発揮される。また、保持部材６０を組み付ける作業が簡便になる。

図１６（Ａ）に示すフレーム５０ｄは、回転軸４１と、回転軸４１から半径方向に放射状に伸びている板材５０ｅとを有している。このフレーム５０ｄには、吸引溝５４は形成されていない。図１６（Ｂ）に示すように、保持部材６０は、板材５０ｅの径方向外方の端部同士の間に嵌まり込んで組み付けられている。

（保持部材の改変例）
図１７は、保持部材６０ａの改変例を示す斜視図、図１８（Ａ）（Ｂ）は、保持部材６０ｂの他の改変例を示す断面図である。図１９は、１個の吸引室５３当たりの保持部材６０ｃの数を改変した例を示す斜視図である。

保持部材は、多孔質体から形成されチャンバ５１に連通した状態においてフレーム５０に取り付けられる構造を有している限りにおいて、適宜の構造に改変することができる。

図１７に示す保持部材６０ａは、吸着ローラー４０の回転軸４１に直交する断面において見て、瓦形状を有している。保持部材６０ａの表面６２は、吸着ローラー４０の回転軸４１に直交する断面において見て、円弧面に形成されている。表面６２が円弧面であるので、フレーム５０に保持部材６０を組み付けた後に円筒形状化する研削加工を省略することができる。保持部材６０ａが瓦形状を有しているので、円筒体であるフレーム５０に組み込んでいく場合、フレーム５０への組み込みが容易である。

図１８（Ａ）（Ｂ）は、保持部材６０ｂの側端面の形状を改変したものである。保持部材６０ｂの側端面のうち隣り合う他の保持部材６０ｂに向かい合う側端面６３は、他の保持部材６０ｂの側端面６３と径方向において重なり合う形状を有する。

図１８（Ａ）に示す側端面６３は、互いに向かい合う傾斜面に形成されている。台形形状の底辺を上下に組み合わせることによって、保持部材６０の側端面６３同士が径方向において重なり合い、隙間Ｓを極小にすることができる。

図１８（Ｂ）に示す側端面６３は、段違い形状の突起部６４を有している。段違い形状の突起部６４を上下に組み合わせることによって、保持部材６０の側端面同士が径方向において重なり合い、隙間Ｓを極小にすることができる。

多孔質体の保持部材を台形形状（図５（Ｂ）、図１８（Ａ））、瓦形状（図１７）、段違い形状（図１８（Ｂ））に焼結し、これらを任意に組み合わせて使用することによって、隙間Ｓの幅を極小とすることができる。

このように、保持部材６０ｂの側端面６３のうち隣り合う他の保持部材６０ｂに向かい合う側端面６３を、他の保持部材６０ｂの側端面６３と径方向において重なり合う形状にすることによって、保持部材６０ｂ間の隙間Ｓや、当該隙間Ｓに充填される連結部７０を極小にすることができる。

保持部材６０は、回転軸４１方向には１部品であることが望ましい。しかしながら、図１９に示すように、１個の吸引室５３当たり、保持部材６０ｃは、円周方向に複数（図１９においては２個）の部品に分かれてもよい。

（吸着ローラー４０における負圧経路の改変例）
図２０は、吸着ローラー４０における負圧経路５６ａの改変例を示す断面図、図２１は、吸着ローラー４０における負圧経路５６ｂの他の改変例を示す断面図である。

吸引室５３内を負圧にする負圧経路は、吸着ローラー４０の構成に応じて適宜改変することができる。

図２０を参照して、フレーム５０のチャンバ５１を複数個の吸引室５３に区画した場合において、吸引室５３内を負圧にする負圧経路５６ａは、吸引室５３を区画するガイドプレート４２を貫通して設けられた負圧形成配線５７ａと、負圧形成配線５７ａが回転軸４１内に集約された軸内配線５８ａとを有する。軸内配線５８ａは、ロータリージョイント５９内の通路を介して、吸引部１２０の負圧経路１２１に接続される。

図２１を参照して、吸引室５３が１つの場合や多孔質体である場合において、吸引室５３内を負圧にする負圧経路５６ｂは、回転軸４１内に形成した軸方向通路５７ｂと、回転軸４１の外周面に開口され軸方向通路に連通する複数個の通気口５８ｂとを有する。軸方向通路５７ｂは、吸引部１２０の負圧経路１２１に接続される。

（吸引部１２０における負圧経路の改変例）
図２２は、吸引部１２０の負圧経路１２１ａの改変例を示す概略構成図である。

吸引部１２０の負圧経路は、それぞれの吸引室５３の吸引量を独立に制御し、それぞれの吸引室５３を吸引する状況を切り替えることができる限りにおいて、適宜の構成に改変することができる。

図２２を参照して、吸引部１２０の負圧経路１２１ａは、それぞれの吸引室５３毎に設けられた複数台の真空ポンプ１２３を有する。それぞれの真空ポンプ１２３は、コントローラー１４０に接続され、コントローラー１４０から真空度を示す制御信号などが入力される。このような構成によって、それぞれの吸引室５３の吸引量を独立に制御し、それぞれの吸引室５３を吸引する状況を切り替えることができる。

（その他の改変例）
上述した実施形態では、シート材として電解質膜１１を例に挙げたが、本発明はこの場合に限定されるものではない。たとえば、シート材１１として、樹脂シート（ＰＴＦＥ、ＰＥＴなど）、金属フィルム（アルミ、銅など）を適用することができる。

フレーム５０に保持部材６０を組み付けた後に、保持部材６０の平坦面を円弧形状に切削加工する例を示したが、本発明はこの場合に限定されるものではない。保持部材６０の平坦面をそのまま用いるようにし、吸着ローラー４０を多角形状とすることができる。

（フレームの他の改変例）
図２３（Ａ）は、フレーム２５０の改変例を示す斜視図、図２３（Ｂ）は、図２３（Ａ）において符号２３Ｂによって囲まれた部分を示す拡大図、図２３（Ｃ）は、同フレーム２５０を示す断面図、図２３（Ｄ）は、図２３（Ｃ）において符号２３Ｄによって囲まれた部分を示す拡大図である。図２４は、図２３に示されるフレーム２５０を適用した吸着ローラー４０ａにおける負圧経路２６０を示す断面図である。

隣り合う保持部材６０の周方向端面６１同士を連結部７０によって接合する例を示したが、本発明はこの場合に限定されるものではない。図２３（Ａ）〜（Ｄ）に示すように、隣り合う保持部材６０の間に連結部７０を設けず、隙間Ｓが残る状態とする。そして、前記隙間Ｓに臨むフレーム２５０の外周面（たとえば、ガイド２５５の径方向外方の端面）に、シート材１１を吸引する負圧を供給する吸引口２５６を設ける。端部にガイド２５５が形成された板材２５７の中に、吸引口２５６に連通する径方向経路２６２が形成されている。図２４に示すように、隙間Ｓに負圧を供給する負圧経路２６０は、回転軸４１内に形成した軸方向経路２６１と、板材２５７内に形成した径方向経路２６２とを有する。軸方向経路２６１は、吸引部１２０の負圧経路１２１に接続される。そして、前記隙間Ｓの空気を、吸引口２５６および保持部材６０の周方向端面６１から吸引することによって、保持部材６０上における吸着に加えて、保持部材６０が存在しない隙間Ｓの部位においてシート材１１を吸着することができる。巻出しローラー８０から巻取りローラー９０に至るまで全面にわたって、吸着ローラー４０ａの表面にシート材１１を吸着保持することができる。この結果、シート材１１を安定的に保持しつつ搬送することができる。

吸引口２５６は、円形形状のほか、楕円や矩形形状でもよい。図示する吸引口２５６は比較的小さく多数配列されている。一方、大きな開口を形成し、その中に、多孔質体を挿入、組み込み、圧入するなどして、貫通通路を形成することができる。また、大きな開口を形成し、メッシュやパンチングプレートによって蓋をするような構造にすることもできる。なお、吸引口２５６の孔の大きさは、シート材１１としての例えば電解質膜が吸引口２５６内に引き込まれないような孔径に設定することが好ましい。

このように、フレーム２５０は、隣り合う保持部材６０の間に存在する隙間Ｓに開口する吸引口２５６を有し、吸引口２５６が吸引部１２０に接続され、隙間Ｓを覆うシート材１１を吸着する負圧を生じさせる構造を有する。

このように構成することによって、隣り合う保持部材６０の間の隙間Ｓからなる継ぎ目（ガイド２５５の幅を有する）が存在していても、吸引口２５６から供給される負圧によって、シート材１１を吸引できない箇所がなくなり、搬送されているシート材１１を全面にわたって吸着保持することができる。この結果、シート材１１を安定的に保持しつつ搬送することができる。

図２５は、図２３に示されるフレーム２５０を適用した吸着ローラー４０ａにおける負圧経路２６０ａの改変例を示す断面図である。

この改変例では、吸引口２５６に連通する径方向経路２６２は、板材２５７内においてヘッダー管のように一箇所に集約され、集約経路２６３となっている。隙間Ｓに負圧を供給する負圧経路２６０ａは、軸方向経路２６１と、軸方向経路２６１に連通する集約経路２６３とを有する。軸方向経路２６１は、ロータリージョイント５９内の通路を介して、吸引部１２０の負圧経路１２１に接続される。

図２６は、図２３に示されるフレーム２５０を適用した吸着ローラー４０ａにおける負圧経路２６０ｂの他の改変例を示す断面図である。

この他の改変例では、負圧経路２６０ｂは、集約経路２６３が吸引室５３を区画するガイドプレート４２を貫通して設けられた負圧形成配線２６３ａと、負圧形成配線２６３ａが回転軸４１内に集約された軸内配線２６３ｂとを有する。軸内配線２６３ｂは、ロータリージョイント５９内の通路を介して、吸引部１２０の負圧経路１２１に接続される。

図２７は、吸引部１２０の負圧経路１２１ｂの改変例を示す概略構成図である。

吸引部１２０の負圧経路１２１は、前述したように、それぞれの吸引室５３の吸引量を独立に制御し、それぞれの吸引室５３を吸引する状況を切り替えることができる（図７を参照）。これと同様に、吸引部１２０の負圧経路１２１ｂは、それぞれの吸引室５３およびそれぞれの隙間Ｓの吸引量を独立に制御し、それぞれの隙間Ｓを吸引する状況をも切り替えることができる。

図２７を参照して、吸引部１２０の負圧経路１２１ｂは、それぞれの吸引室５３毎に設けられた複数台の真空ポンプ１２３、それぞれの隙間Ｓ毎に設けられた複数台の真空ポンプ２６４を有する。それぞれの真空ポンプ１２３、２６４は、コントローラー１４０に接続され、コントローラー１４０から真空度を示す制御信号などが入力される。このような構成によって、それぞれの吸引室５３およびそれぞれの隙間Ｓの吸引量を独立に制御し、それぞれの吸引室５３およびそれぞれの隙間Ｓを吸引する状況を切り替えることができる。

なお、隙間Ｓは比較的容積が小さいことから、吸引量を一定にしても、シート材１１の吸着に与える影響が少ない場合がある。このような場合には、吸引口２５６に連通する負圧経路を集合させ、１台の真空ポンプによって負圧を形成することもできる。

（フレームのさらに他の改変例）
図２８（Ａ）は、フレーム２５０ａの改変例および当該フレーム２５０ａを適用した吸着ローラー４０ｂの要部を示す斜視図、図２８（Ｂ）は、吸着ローラー４０ｂを構成するローラー構成体２６５を示す斜視図、図２８（Ｃ）は、フレーム２５０ａを構成する分割フレーム２６６を示す斜視図、図２８（Ｄ）は、ローラー構成体２６５同士を接合する位置を示す図である。図２９は、分割フレーム２６６に保持部材６０を取り付けた複数のローラー構成体２６５を組み立てて、吸着ローラー４０ｂを形成する概略手順を示すフローチャートである。

吸着ローラー４０のフレーム５０が単体として形成されている場合を示したが、本発明はこの場合に限定されるものではない。図２８（Ａ）〜（Ｄ）に示すように、最小単位となる分割フレーム２６６を形成しておき、複数個の分割フレーム２６６を組み合わせることによって、１つのフレーム２５０ａを形成することができる。分割フレーム２６６を用いることによって、最小単位となるローラー構成体２６５を形成しておき、複数個のローラー構成体２６５を組み合わせることによって、１つの吸着ローラー４０ｂを形成することができる。分割フレーム２６６およびローラー構成体２６５は、吸着ローラー４０ｂの回転軸４１に直交する断面において見て、扇形状を有している。ローラー構成体２６５は、吸引室５３および吸引溝５４が形成された分割フレーム２６６と、吸引室５３に臨むように分割フレーム２６６に取り付けられた保持部材６０とを有する。保持部材６０は、接着剤などを用いて吸引溝５４に取り付けられている。そして、複数個のローラー構成体２６５は、隣り合う保持部材６０の周方向端面６１同士を接触させた状態で結合されている。なお、図示例では、分割フレーム２６６およびローラー構成体２６５の個数を８個としたが、この場合に限定されず、適宜の個数の分割フレーム２６６およびローラー構成体２６５からフレーム２５０ａ、吸着ローラー４０ｂを形成することができる。

図２９を参照して、吸着ローラー４０ｂを形成するには、まず、分割フレーム２６６の形状加工を行う（ステップＳ２１）。分割フレーム２６６の吸引室５３、吸引溝５４は仕上げ加工まで実施する。保持部材６０の大きさは、分割フレーム２６６のサイズより若干大き目とするのが望ましい。次に、接着剤などの連結手段を用いて、保持部材６０を吸引溝５４に取り付け、分割フレーム２６６と保持部材６０との一体部品であるローラー構成体２６５を形成する（ステップＳ２２）。次に、分割フレーム２６６の連結面２６６ａに対して、分割フレーム２６６および保持部材６０ごと同時に平面研削加工を実施する（ステップＳ２３）。図２８（Ｂ）に符号２６７ａ付した線分は、分割フレーム２６６および保持部材６０を同時に平面研削加工する範囲を示している。分割フレーム２６６の連結面２６６ａ同士を接着剤によって接合することによって、隣り合う分割フレーム２６６を一体化する。図２８（Ｄ）に符号２６７ｂを付した線分は、隣り合う分割フレーム２６６を接合する範囲を示している。そして、分割フレーム２６６同士の接合を周方向に繰り返すことによって、ローラー構成体２６５を組み立てて、吸着ローラー４０ｂを形成する（ステップＳ２４）。

フレーム２５０ａは、複数個の分割フレーム２６６の結合体となっている。ローラー構成体２６５は、個々の分割フレーム２６６に対して保持部材６０を先に連結し、１部品としておくことによって、保持部材６０を取付けるためのガイド５５（図５を参照）が不要になる。さらに、ローラー構成体２６５は分割フレーム２６６と保持部材６０との一体部品であり、分割フレーム２６６と保持部材６０とを共加工することによって、隣り合うローラー構成体２６５の接合面を、高精度に平面加工することが可能である。このため、保持部材６０同士の間を隙間が生じることなく精度良く面合わせすることができる。保持部材６０同士を接着剤によって接合する作業も不要である。これにより、巻出しローラー８０から巻取りローラー９０に至るまで全面にわたって、吸着ローラー４０ｂの表面にシート材１１を吸着保持することができる。この結果、シート材１１を安定的に保持しつつ搬送することができる。

このように、フレーム２５０ａは、吸引室５３が形成された複数個の分割フレーム２６６を有し、吸着ローラー４０ｂは、吸引室５３に臨むように保持部材６０を分割フレーム２６６に取り付けた複数個のローラー構成体２６５を有している。そして、吸着ローラー４０ｂは、複数個のローラー構成体２６５が隣り合う保持部材６０の周方向端面６１同士を接触させた状態に結合された構造を有する。

分割フレーム２６６に保持部材６０を取り付けて一部品であるローラー構成体２６５としておくことによって、保持部材６０の周方向端面６１を高精度に仕上げることができる。このように構成することによって、隣り合う保持部材６０の間には隙間からなる継ぎ目が存在せず、シート材１１を吸引できない箇所がなくなり、搬送されているシート材１１を全面にわたって吸着保持することができる。

（シート材吸着開始時の不具合対策例）
図３０（Ａ）は、シート材１１を吸着ローラー４０に吸着させる工程における不具合例を示す図、図３０（Ｂ）は、シート材の巻き癖を説明するための斜視図、図３０（Ｃ）は、図３０（Ｂ）の３０Ｃ−３０Ｃ線に沿う断面図である。図３１は、吸着ローラー４０ｃの改変例を、保持部材６０の一部を取り外した状態において示す斜視図である。図３２は、吸引部１２０の負圧経路１２１ｃを示す概略構成図である。

図３０（Ａ）に示すように、巻出しローラー８０によって、原料シート１０からサポートシート１２が剥離され、巻き出されたシート材１１が吸着ローラー４０によって吸引支持される。シート材１１を吸着ローラー４０に吸着させる巻出し（吸着）工程において、エアーの巻き込みや混入、シワの発生などの不具合が生じる。このような不具合が生じる原因は、サポートシート１２とシート材１１との接合力（剥離力）に対して、吸着ローラー４０の吸引力が弱く、その結果、シート材１１が撓んでしまい、吸着ローラー４０表面との間に比較的大きな空間が発生するためである（図３０（Ａ）の符号２６８ａを付した部位を参照）。特に、図３０（Ｂ）（Ｃ）に示すように、原料シート１０に巻き癖が付いていたり、巻きロール材状態において応力が不均一に作用したりした場合には、巻き出されたシート材１１も、ローラー軸方向に沿う両端縁の反り（カール２６８ｂ）が発生し易い。この結果、シート材１１の両端縁を含む部分においては吸着ローラー４０の吸引力が負けてしまい、シワの発生などの上記の不具合が顕著に現れる。

図３１を参照して、吸着ローラー４０ｃは、シート材１１吸着開始時のシワの発生などの不具合に対する対策を施した構造を有している。吸着ローラー４０ｃは、ローラー構成体２６５を、吸着ローラー４０ｃの回転軸４１の周方向に結合するとともに、円筒高さ方向つまり吸着ローラー４０ｃの回転軸４１の軸方向に結合した構造を有する。ローラー構成体２６５は、図２８（Ｂ）に示したローラー構成体２６５と同様に、分割フレーム２６６に保持部材６０が連結されている。複数個のローラー構成体２６５は、周方向に隣り合う保持部材６０の周方向端面６１同士を接触させた状態で結合され、円筒高さ方向に隣り合う保持部材６０の軸方向端面同士を接触させた状態で結合されている。したがって、吸着ローラー４０ｃの吸引室５３は、吸着ローラー４０ｃの回転軸の周方向および軸方向の両方向に沿って区画されている。なお、図示例では、ローラー構成体２６５の個数を周方向に８個、円筒高さ方向に２個としたが、この場合に限定されず、適宜の個数のローラー構成体２６５から吸着ローラー４０ｃを形成することができる。

図３２を参照して、吸引部１２０の負圧経路１２１ｃは、吸着ローラー４０ｃの回転軸４１の周方向および軸方向の両方向に沿って区画されたそれぞれの吸引室５３毎に設けられた複数台の真空ポンプ２６９を有する。それぞれの真空ポンプ２６９は、コントローラー１４０に接続され、コントローラー１４０から真空度を示す制御信号などが入力される。このような構成によって、それぞれの吸引室５３の吸引量を独立に制御し、それぞれの吸引室５３を吸引する状況を切り替えることができる。吸引する態様を実現できるようにいくつかの吸引室５３をグループ化し、それぞれのグループ毎に真空ポンプ２６９を設けて、それぞれの吸引室５３を吸引する状況をグループ毎に切り替えることもできる。なお、図３２においては、ローラー構成体２６５を周方向に８個結合し、円筒高さ方向に２個を結合した状態において、負圧経路１２１ｃを図示してある。

図３３（Ａ）は、吸着ローラー４０ｃの回転軸４１の周方向に沿う吸引室５３を吸引する吸引力の制御例を説明するための説明図、図３３（Ｂ）は、吸着ローラー４０ｃの回転軸４１の軸方向に沿う吸引室５３を吸引する吸引力の制御例を説明するための説明図である。以下の説明において、回転軸の周方向に沿う８個の吸引室５３を区別するときには、図３３（Ａ）に付すように、第１の周方向吸引室５３（ｖ１）、第２の周方向吸引室５３（ｖ２）、第３の周方向吸引室５３（ｖ３）、第４の周方向吸引室５３（ｖ４）、第５の周方向吸引室５３（ｖ５）、第６の周方向吸引室５３（ｖ６）、第７の周方向吸引室５３（ｖ７）、および第８の周方向吸引室５３（ｖ８）という。また、回転軸の軸方向に沿う５個の吸引室５３を区別するときには、図３３（Ｂ）に付すように、第１の軸方向吸引室５３（ｈ１）、第２の軸方向吸引室５３（ｈ２）、第３の軸方向吸引室５３（ｈ３）、第４の軸方向吸引室５３（ｈ４）、および第５の軸方向吸引室５３（ｈ５）という。

巻出し（吸着）工程において、シワの発生などの不具合を生じることなく、原料シート１０からサポートシート１２を剥離し、シート材１１を吸着ローラーに吸着させるためには、吸着開始のシート材１１を通常の吸引力よりも強い吸引力によって吸着させることが必要である。また、ローラー軸方向に沿う両端縁の反り（カール２６８ｂ）が発生し易いことから、吸着ローラー４０の吸引力が負けないようにすることも必要である。

そこで、コントローラー１４０は、吸着ローラー４０ｃの回転軸４１の周方向および軸方向の両方向に沿って区画された吸引室５３を吸引する吸引力を次のように制御する。

図３３（Ａ）を参照して、コントローラー１４０は、回転軸４１の周方向に沿って区画された吸引室５３のうちシート材１１が接触する保持部材６０が臨んでいる吸引室５３に関して、これらの吸引室５３を吸引する吸引力を、巻出しローラー８０を通って供給されるシート材１１が接触し始めるときには、シート材１１が接触し続けているときに比べて強い吸引力とするように、吸引部１２０の作動を制御する。

図示するように、コントローラー１４０は、シート材１１が接触し始める第１の周方向吸引室５３（ｖ１）を吸引する吸引力を、シート材１１が接触し続けている第２〜第６の周方向吸引室５３（ｖ２）〜５３（ｖ６）を吸引する吸引力よりも強い吸引力とするように、吸引部１２０の作動を制御する。図示例にあっては、シート材１１の吸着に遅れが生じないようにするため、第８の周方向吸引室５３（ｖ８）を吸引する吸引力も強い吸引力としている。

吸着ローラー４０ｃの回転軸４１の周方向に沿って区画された吸引室５３を吸引する吸引力を上記のように制御することによって、吸着開始のシート材１１を通常の吸引力よりも強い吸引力によって吸着させることができる。この結果、巻出し（吸着）工程において、エアーの巻き込みや混入、シワの発生などの不具合を生じることなく、原料シート１０からサポートシート１２を剥離し、シート材１１を吸着ローラー４０ｃに吸着させることができる。

図３３（Ｂ）を参照して、コントローラー１４０は、回転軸４１の軸方向に沿って区画された吸引室５３のうちシート材１１における軸方向に沿う両端縁が接触する保持部材６０が臨んでいる吸引室５３に関して、これらの吸引室５３を吸引する吸引力を、巻出しローラー８０を通って供給されるシート材１１が接触し始めるときには、シート材１１が接触し続けているときに比べて強い吸引力とするように、吸引部１２０の作動を制御する。

図３３（Ｂ）には、複数の吸引室５３が８行５列に表される。行方向は、最下段から最上段に向けて順に、第８の周方向吸引室５３（ｖ８）、第１〜第７の周方向吸引室５３（ｖ１）〜５３（ｖ７）を示している。列方向は、左から右に向けて順に、第１〜第５の軸方向吸引室５３（ｈ１）〜５３（ｈ５）を示している。セル内に吸引力の「強」「中」を示す。空白のセルは吸引力が通常の状態を示している。「中」が付されたセルは吸引力が通常の状態より強く、「強」が付されたセルは吸引力が「中」の状態よりもさらに強い。

第１の軸方向吸引室５３（ｈ１）および第５の軸方向吸引室５３（ｈ５）は、シート材１１の両端縁が接触する保持部材６０が臨んでいる吸引室５３に相当する。図示するように、コントローラー１４０は、シート材１１が接触し始める第１の周方向吸引室５３（ｖ１）の行（下から２段目）において、第１、第５の軸方向吸引室５３（ｈ１）、５３（ｈ５）を吸引する吸引力を、シート材１１が接触し続けている第４〜第６の周方向吸引室５３（ｖ４）〜５３（ｖ６）の行（下から５〜７段目）において、第１、第５の軸方向吸引室５３（ｈ１）、５３（ｈ５）を吸引する吸引力よりも強い吸引力とするように、吸引部１２０の作動を制御する。図示例にあっては、シート材１１の吸着に遅れが生じないようにするため、第８の周方向吸引室５３（ｖ８）の行（最下行）において、第１〜第５の軸方向吸引室５３（ｈ１）〜５３（ｈ５）を吸引する吸引力も強い吸引力としている。第１の周方向吸引室５３（ｖ１）の行（下から２段目）においては、第２〜第４の軸方向吸引室５３（ｈ１）〜５３（ｈ５）を吸引する吸引力も強い吸引力としている。第２の周方向吸引室５３（ｖ２）の行（下から３段目）においては、第１、第５の軸方向吸引室５３（ｈ１）、５３（ｈ５）を吸引する吸引力は強い吸引力のままとし、第２〜第４の軸方向吸引室５３（ｈ２）〜５３（ｈ４）を吸引する吸引力は、通常の吸引力よりも強く、第１、第５の軸方向吸引室５３（ｈ１）、５３（ｈ５）の吸引力よりも弱い中程度の吸引力としている。第３の周方向吸引室５３（ｖ３）の行（下から４段目）においては、第１、第５の軸方向吸引室５３（ｈ１）、５３（ｈ５）を吸引する吸引力は強い吸引力のままとし、第２、第４の軸方向吸引室５３（ｈ２）、５３（ｈ４）を吸引する吸引力は中程度の吸引力とし、第３の軸方向吸引室５３（ｈ３）を吸引する吸引力は通常の吸引力としている。第４の周方向吸引室５３（ｖ４）の行（下から５段目）においては、第１、第５の軸方向吸引室５３（ｈ１）、５３（ｈ５）を吸引する吸引力を中程度の吸引力に下げ、第２〜第４の軸方向吸引室５３（ｈ２）〜５３（ｈ４）を吸引する吸引力は通常の吸引力としている。第５〜第７の周方向吸引室５３（ｖ５）〜５３（ｖ７）の行（下から６〜８段目）においては、第１〜第５の軸方向吸引室５３（ｈ１）〜５３（ｈ５）を吸引する吸引力をすべて通常の吸引力としている。第１〜第５の軸方向吸引室５３（ｈ１）〜５３（ｈ５）を吸引する吸引力についての上述した制御は一例にすぎず、シート材１１の反り等の状態に応じて、第１〜第５の軸方向吸引室５３（ｈ１）〜５３（ｈ５）の吸引力を適宜可変させることができる。

吸着ローラー４０ｃの回転軸４１の軸方向に沿って区画された吸引室５３を吸引する吸引力を上記のように制御することによって、シート材１１の両端縁を含む部分において反り（カール２６８ｂ）が発生していたとしても、吸着ローラー４０ｃの吸引力が負けることがない。この結果、巻出し（吸着）工程において、エアーの巻き込みや混入、シワの発生などの不具合を生じることなく、原料シート１０からサポートシート１２を剥離し、シート材１１を吸着ローラー４０ｃに吸着させることができる。

このように、吸引室５３は、吸着ローラー４０ｃの回転軸４１の周方向および軸方向の両方向に沿って区画されている。そして、コントローラー１４０は、回転軸４１の周方向に沿って区画された吸引室５３のうちシート材１１が接触する保持部材６０が臨んでいる吸引室５３、および回転軸の軸方向に沿って区画された吸引室５３のうちシート材１１における軸方向に沿う両端縁が接触する保持部材６０が臨んでいる吸引室５３に関して、これらの吸引室５３を吸引する吸引力を、シート材１１が接触し始めるときには、シート材１１が接触し続けているときに比べて強い吸引力とするように、吸引部１２０の作動を制御する。

このように構成することによって、吸着開始のシート材１１を通常の吸引力よりも強い吸引力によって吸着させることができ、さらに、シート材１１の両端縁を含む部分において反り（カール２６８ｂ）が発生していたとしても、吸着ローラー４０ｃの吸引力が負けることがなくなる。この結果、巻出し（吸着）工程において、エアーの巻き込みや混入、シワの発生などの不具合を生じることなく、原料シート１０からサポートシート１２を剥離し、シート材１１を吸着ローラー４０ｃに吸着させることができる。

（シート材離脱時の不具合対策例（１））
図３４は、シート材１１を吸着ローラー４０から離脱させる工程における不具合例を示す図、図３５は、吸引部１２０の負圧経路１２１ｄおよび正圧供給経路２７０を示す概略構成図である。

図３４に示すように、巻取りローラー９０によって、シート材１１にサポートシート１３が貼り付けられ、製品シート１４として吸着ローラー４０から離脱される。シート材１１を吸着ローラー４０から離脱させる巻取り（離脱）工程において、エアーの巻き込みや混入、シワの発生などの不具合が生じる。このような不具合が生じる原因は、サポートシート１３とシート材１１との接合力（貼り付け力）よりも、吸着ローラー４０の吸引力が強く、その結果、シート材１１が撓んでしまい、吸着ローラー４０表面との間に比較的大きな空間が発生するためである（図３４の符号２６８ｃを付した部位を参照）。巻取り（離脱）工程においては、シート材１１に作用させる張力の制御、シート材１１の送り速度の制御、シート材１１のロール幅方向に均一な張力を付与する制御などが難しい。このため、巻取りローラー９０の位置を、シート材１１の最適な離脱位置に合わせるのが困難であることも、不具合が生じる原因となる。

吸着ローラー４０ｃは、図３１に示したものと同様であり、ローラー構成体２６５を、吸着ローラー４０ｃの回転軸４１の周方向に結合するとともに、円筒高さ方向つまり吸着ローラー４０ｃの回転軸４１の軸方向に結合した構造を有する。

図３５を参照して、吸引部１２０の負圧経路１２１ｄは、吸着ローラー４０ｃの回転軸４１の周方向および軸方向の両方向に沿って区画されたそれぞれの吸引室５３毎に設けられた電空レギュレーター１２２と、それぞれの電空レギュレーター１２２が接続される１台の真空ポンプ１２３とを有する。電空レギュレーター１２２を設ける場合は、真空ポンプ１２３は１台でよく、かつ一定量を吸引し続ければよい。このため、複数の真空ポンプ１２３を用いる場合に比較して、稼働エネルギーを低減できる。それぞれの電空レギュレーター１２２は、プログラム制御にて、吸引圧力値を任意に設定することができる。それぞれ電空レギュレーター１２２は、コントローラー１４０に接続され、コントローラー１４０から吸引圧力値を示す制御信号などが入力される。このような構成によって、それぞれの吸引室５３の吸引量を独立に制御し、それぞれの吸引室５３を吸引する状況を切り替えることができる。

吸引部１２０の負圧経路１２１ｄは、切替バルブ１２４を介して、真空ポンプ１２３と、正圧を供給する供給部としてのコンプレッサ２７１とに選択的に接続することができる。コンプレッサ２７１によって供給されるガスの種類は特に限定されないが、エアーを用いることができる。コントローラー１４０は、コンプレッサ２７１によってそれぞれの吸引室５３に正圧を供給する状況を切り替えるように、コンプレッサ２７１の作動を制御する。つまり、コントローラー１４０は、切替バルブ１２４の作動を制御し、接続先を、真空ポンプ１２３またはコンプレッサ２７１に自動的に切り替える。これによって、吸引室５３の吸引と、吸引室５３への正圧の供給とを切り替えることができる。なお、図３５においては、周方向に沿って区画された吸引室５３についてのみ、吸引部１２０の負圧経路１２１ｄおよび正圧供給経路２７０を示している。吸着ローラー４０ｃは円筒高さ方向にもローラー構成体２６５が結合されている。図示省略するが、円筒高さ方向に関しても、同様の負圧経路１２１ｄおよび正圧供給経路２７０が設けられている。これによって、任意の箇所において、任意の風量によって、シート材１１へ正圧を掛けることができる。

図３６（Ａ）は、吸着ローラー４０ｃの回転軸４１の周方向に沿う吸引室５３に正圧を供給する制御例を説明するための説明図、図３６（Ｂ）は、吸着ローラー４０ｃの回転軸４１の軸方向に沿う吸引室５３に正圧を供給する制御例を説明するための説明図である。

巻取り（離脱）工程において、シワの発生などの不具合を生じることなく、シート材１１にサポートシート１３を貼り付け、吸着ローラー４０ｃから離脱させるためには、離脱時のサポートシート１３とシート材１１との接合力（貼り付け力）よりも吸着ローラー４０ｃの吸引力を弱くさせることが必要である。

そこで、コントローラー１４０は、吸着ローラー４０ｃの回転軸４１の周方向および軸方向の両方向に沿って区画された吸引室５３への正圧の供給、および吸引室５３を吸引する吸引力を次のように制御する。

図３６（Ａ）を参照して、コントローラー１４０は、回転軸４１の周方向に沿って区画された吸引室５３のうちシート材１１が離脱する保持部材６０が臨んでいる吸引室５３に関して、これらの吸引室５３に正圧２７１ａを供給するようにコンプレッサ２７１の作動を制御する。

図示するように、コントローラー１４０は、シート材１１が離脱し始める第６の周方向吸引室５３（ｖ６）に正圧２７１ａを供給するようにコンプレッサ２７１の作動を制御する。図示例にあっては、シート材１１の離脱に遅れが生じないようにするため、第７の周方向吸引室５３（ｖ７）にも正圧２７１ａを供給している。

吸着ローラー４０ｃの回転軸４１の周方向に沿って区画された吸引室５３への正圧の供給を上記のように制御することによって、離脱時のサポートシート１３とシート材１１との接合力（貼り付け力）よりも吸着ローラー４０の吸引力を弱くさせることができる。この結果、巻取り（離脱）工程において、エアーの巻き込みや混入、シワの発生などの不具合を生じることなく、シート材１１にサポートシート１３を貼り付け、吸着ローラー４０ｃから離脱させることができる。吸着ローラー４０ｃの吸引挙動から、正圧によるエアーの噴射挙動へと変化することによって、吸着ローラー４０ｃからのシート材１１の離脱を促進させ、サポートシート１３へのシート材１１の接合を促進させることができる。

図３６（Ｂ）を参照して、コントローラー１４０は、回転軸４１の軸方向に沿って区画された吸引室５３のうちシート材１１における軸方向に沿う両端縁が接触する保持部材６０が臨んでいる吸引室５３よりも内側の吸引室５３に関して、これらの吸引室５３に正圧を供給するようにコンプレッサ２７１の作動を制御する。

図３６（Ｂ）には、複数の吸引室５３が８行５列に表される。行方向は、最下段から最上段に向けて順に、第７、第６、第５、第４、第３、第２、第１、第８の周方向吸引室５３（ｖ７）、５３（ｖ６）、５３（ｖ５）、５３（ｖ４）、５３（ｖ３）、５３（ｖ２）、５３（ｖ１）、５３（ｖ８）を示している。列方向は、左から右に向けて順に、第１〜第５の軸方向吸引室５３（ｈ１）〜５３（ｈ５）を示している。セル内に正圧２７１ａの「強」「中」「弱」を示す。空白のセルは負圧が供給されている状態を示している。「中」が付されたセルは正圧が「弱」の状態より強く、「強」が付されたセルは正圧が「中」の状態よりもさらに強い。

第１の軸方向吸引室５３（ｈ１）および第５の軸方向吸引室５３（ｈ５）は、シート材１１の両端縁が接触する保持部材６０が臨んでいる吸引室５３に相当し、第２〜第４の軸方向吸引室５３（ｈ２）〜５３（ｈ４）は、シート材１１の両端縁が接触する保持部材６０が臨んでいる吸引室５３よりも内側の吸引室５３に相当する。第１、第５の軸方向吸引室５３（ｈ１）、５３（ｈ５）よりも内側の第２〜第４の軸方向吸引室５３（ｈ２）〜５３（ｈ４）に正圧２７１ａを供給する理由は、次のとおりである。吸引室５３に供給した正圧２７１ａのエアーが保持部材６０を通過し、保持部材６０とシート材１１との間を通って、シート材１１の両端縁から雰囲気中に排出されるエアー流れを形成するためである。このようなエアー流れを形成できる限りにおいて、正圧２７１ａの供給形態を適宜採用できる。たとえば、外側の第１、第５の軸方向吸引室５３（ｈ１）、５３（ｈ５）に供給する正圧に比べて、内側の第２〜第４の軸方向吸引室５３（ｈ２）〜５３（ｈ４）に供給する正圧を強くすることによって、上記のエアー流れを形成できる。図示するように、コントローラー１４０は、シート材１１が離脱する第６の周方向吸引室５３（ｖ６）の行（下から２段目）において、外側の第１、第５の軸方向吸引室５３（ｈ１）、５３（ｈ５）に供給する正圧よりも、内側の第２〜第４の軸方向吸引室５３（ｈ２）〜５３（ｈ４）に供給する正圧を強くするように、コンプレッサ２７１の作動を制御する。第５の周方向吸引室５３（ｖ５）の行（下から３段目）、第４の周方向吸引室５３（ｖ４）の行（下から４段目）、第３の周方向吸引室５３（ｖ３）の行（下から５４段目）においても、上記のエアー流れを形成するように、それぞれの吸引室５３に供給する正圧の強さを制御する。図示例にあっては、シート材１１の離脱に遅れが生じないようにするため、第７の周方向吸引室５３（ｖ７）の行（最下行）において、第１〜第５の軸方向吸引室５３（ｈ１）〜５３（ｈ５）に供給する正圧を強い正圧としている。第１〜第５の軸方向吸引室５３（ｈ１）〜５３（ｈ５）に供給する正圧についての上述した制御は一例にすぎず、シート材１１の離脱の状態に応じて、第１〜第５の軸方向吸引室５３（ｈ１）〜５３（ｈ５）への正圧の供給を適宜可変させることができる。

吸着ローラー４０ｃの回転軸４１の軸方向に沿って区画された吸引室５３への正圧２７１ａの供給を上記のように制御することによって、離脱時のサポートシート１３とシート材１１との接合力（貼り付け力）よりも吸着ローラー４０ｃの吸引力を弱くさせることができる。この結果、巻取り（離脱）工程において、エアーの巻き込みや混入、シワの発生などの不具合を生じることなく、シート材１１にサポートシート１３を貼り付け、吸着ローラー４０ｃから離脱させることができる。シート材１１の中央部分から両端縁外方へのエアーの流れを形成することによって、サポートシート１３へのシート材１１の接合が良好になる。

コントローラー１４０は、切替バルブ１２４の作動を制御し、接続先を、真空ポンプ１２３またはコンプレッサ２７１に切り替えている。したがって、正圧２７１ａを供給する吸引室５３に関しては、コントローラー１４０は、これらの吸引室５３の吸引を停止するように吸引部１２０の作動を制御している。吸引を停止して正圧２７１ａを供給することから、真空ポンプ１２３やコンプレッサ２７１の稼働エネルギーのロスを低減できる。

このように、吸引室５３は、吸着ローラー４０ｃの回転軸４１の周方向および軸方向の両方向に沿って区画されている。シート材の製造装置は、それぞれの吸引室５３に正圧２７１ａを供給するコンプレッサ２７１（供給部）をさらに有し、コントローラー１４０は、コンプレッサ２７１によってそれぞれの吸引室５３に正圧２７１ａを供給する状況を切り替えるように、コンプレッサ２７１の作動を制御する。そして、コントローラー１４０は、回転軸４１の周方向に沿って区画された吸引室５３のうちシート材１１が離脱する保持部材６０が臨んでいる吸引室５３、および回転軸４１の軸方向に沿って区画された吸引室５３のうちシート材１１における軸方向に沿う両端縁が接触する保持部材６０が臨んでいる吸引室５３よりも内側の吸引室５３に関して、これらの吸引室５３に正圧２７１ａを供給するようにコンプレッサ２７１の作動を制御する。

このように構成することによって、離脱時のサポートシート１３とシート材１１との接合力（貼り付け力）よりも吸着ローラー４０ｃの吸引力を弱くさせることができる。この結果、巻取り（離脱）工程において、エアーの巻き込みや混入、シワの発生などの不具合を生じることなく、シート材１１にサポートシート１３を貼り付け、吸着ローラー４０ｃから離脱させることができる。シート材１１を離脱させる噴射を吸引室５３毎に微細に制御できるので、シート材１１の離脱性ないし剥離性を良好にすることができる。

また、正圧を供給する吸引室５３に関して、これらの吸引室５３の吸引を停止するように吸引部１２０の作動を制御する。

このように構成することによって、吸引量が減少するので、シート材１１を容易に離脱させることが可能となる。また、吸引を停止して正圧を供給することから、真空ポンプ１２３やコンプレッサ２７１の稼働エネルギーのロスを低減できる。

（シート材離脱時の不具合対策例（２））
図３７は、フレーム２５０ｂの改変例を示す斜視図、図３８は、図３７に示されるフレーム２５０ｂを適用した吸着ローラー４０ｄを示す断面図である。

シート材離脱時の不具合対策例（２）は、振り子のような動作によってシート材１１が離脱するときの吸引を停止するようにした点において、正圧２７１ａの供給をコントローラー１４０によって制御するようにした不具合対策例（１）と相違する。

図３７および図３８を参照して、不具合対策例（２）の構成を概説すると、フレーム２５０ｂは、それぞれの吸引室５３内に回動自在に取り付けられてフレーム２５０ｂの回転に伴って回動するシャッタ２８０を有している。シャッタ２８０は、離脱されるシート材１１が離れ始める保持部材６０が臨んでいる吸引室５３内において、保持部材６０と吸引部１２０との連通を遮断する位置に回動する構造を有している。

さらに詳しくは、フレーム２５０ｂは、周方向に８個の吸引室５３（５３（１）〜５３（８）の総称）を区画形成している。それぞれの吸引室５３に保持部材６０が臨むように取り付けられている。シャッタ２８０は、プレート形状を有し、吸引室５３を区画する壁部２８１に、基端部２８０ａが蝶番のような回動機構を介して回動自在に接続されている。基端部２８０ａは、壁部２８１の両面のうち、フレーム２５０ｂの回転方向に沿う下流側の壁面に接続されている。基端部２８０ａは、壁部２８１の径方向長さのほぼ中央位置において、フレーム２５０ｂの回転軸４１と平行に延びて接続されている。フレーム２５０ｂの回転軸の軸方向に沿って、シャッタ２８０の幅は、吸引室５３の内幅とほぼ同等である。基端部２８０ａに対向する先端部には、ウエイト２８０ｂが取り付けられている。シャッタ２８０は、吸引室５３のそれぞれに、１枚ずつ設けられている。基端部２８０ａが接続される回動機構はフリー回転軸であり、フレーム２５０ｂの回転位置に応じて、シャッタ２８０は回動する。

シャッタ２８０の初期状態を、基端部２８０ａが接続された壁部２８１に、ウエイト２８０ｂが寄り掛かった状態とする（吸引室５３（８）、５３（１）〜５３（３）における状態）。フレーム２５０ｂの図３８中時計回り方向への回転に伴って、シャッタ２８０は、初期状態から、ウエイト２８０ｂが重力の作用を受けて壁部２８１から離れる時計回り方向に回動する（吸引室５３（４）における状態）。ウエイト２８０ｂは、基端部２８０ａが接続された壁部２８１に向かい合う隣の壁部２８１に倒れ込む。この状態において、シャッタ２８０は、吸引室５３を、保持部材６０に面する空間と、フレーム２５０ｂの回転軸４１に面する空間とに仕切る（吸引室５３（５）、５３（６）における状態）。フレーム２５０ｂがさらに回転すると、ウエイト２８０ｂは、隣の壁部２８１から離れ、吸引室５３内において自由に垂れ下がる（吸引室５３（７）における状態）。この状態において、シャッタ２８０は、吸引室５３の仕切りを開放する。フレーム２５０ｂがさらに回転すると、ウエイト２８０ｂは基端部２８０ａが接続された壁部２８１に寄り掛かり、初期状態に戻る（吸引室５３（８）における状態）。

吸着ローラー４０ｄにおける負圧経路５６は、図６に示したように、回転軸４１内に形成した軸方向経路５７と、回転軸４１の外周面に開口され軸方向経路５７に連通する径方向経路５８とを有する。

したがって、シャッタ２８０が吸引室５３を仕切ったときには、シャッタ２８０は、保持部材６０と吸引部１２０との連通を遮断する位置に回動することになる。

シャッタ２８０は、巻取りローラー９０を通って離脱されるシート材１１が離れ始める保持部材６０が臨んでいる吸引室５３（６）内において、保持部材６０と吸引部１２０との連通を遮断する位置に回動している。これによって、離脱時のサポートシート１３とシート材１１との接合力（貼り付け力）よりも吸着ローラー４０の吸引力を弱くさせることができる。この結果、巻取り（離脱）工程において、エアーの巻き込みや混入、シワの発生などの不具合を生じることなく、シート材１１にサポートシート１３を貼り付け、吸着ローラー４０から離脱させることができる。図示例にあっては、シート材１１の離脱に遅れが生じないようにするため、吸引室５３（５）内においても、シャッタ２８０は、保持部材６０と吸引部１２０との連通を遮断する位置に回動している。

シャッタ２８０が任意の角度、位置にて、ウエイト２８０ｂが重量によって垂れ下がることによって、吸引室５３内に蓋をする。蓋をすることによって、保持部材６０と吸引部１２０との連通を遮断する。また、シャッタ２８０は、ウエイト２８０ｂに作用する重力によって回動駆動するため、任意の角度、位置にて、再度、吸引室５３内の蓋を開放することになり、吸引室５３の吸引を再開できる。このように、吸引室５３に設けたシャッタ２８０の振り子のような簡単な動作によって、巻取り（離脱）工程において、任意の角度、位置にて、シート材１１の吸引を停止することができる。

（シート材離脱時の不具合対策例（３））
図３９は、吸着ローラー４０ｅの改変例を一部分解して示す斜視図、図４０（Ａ）（Ｂ）は、吸着ローラー４０ｅに組み込まれる吸引制御プレート２９０を示す正面図、図４１（Ａ）（Ｂ）は、吸着ローラー４０ｅに組み込まれるガイドプレート２９２を示す正面図、図４２（Ａ）（Ｂ）は、吸引動作の説明に供する説明図である。

シート材離脱時の不具合対策例（３）は、非回転の吸引制御プレート２９０と吸着ローラー４０ｅの回転に同期して回転するガイドプレート２９２との組み合わせによってシート材１１が離脱するときの吸引を停止するようにした点において、正圧２７１ａの供給をコントローラー１４０によって制御するようにした不具合対策例（１）、振り子のような動作によってシート材１１が離脱するときの吸引を停止するようにした不具合対策例（２）と相違する。

図３９〜図４２を参照して、不具合対策例（３）の構成を概説すると、吸着ローラー４０ｅは、吸引室５３に連通する開口領域２９０ａと、吸引室５３との連通を遮断する非開口領域２９０ｂとを有する非回転の吸引制御プレート２９０と、吸引制御プレート２９０の開口領域２９０ａを介して吸引室５３のそれぞれに連通する複数の開口穴２９３が形成されたガイドプレート２９２と、をさらに有する。ガイドプレート２９２は、吸着ローラー４０ｅの回転に同期して回転し、開口穴２９３に吸引部１２０が接続されている。吸引制御プレート２９０およびガイドプレート２９２は、吸着ローラー４０ｅにシート材１１を吸着させる位置においては、ガイドプレート２９２の開口穴２９３が吸引制御プレート２９０の開口領域２９０ａに面し、吸着ローラー４０ｅからシート材１１を離脱させる位置においては、ガイドプレート２９２の開口穴２９３が吸引制御プレート２９０の非開口領域２９０ｂに面する構造を有している。

さらに詳しくは、図４０（Ａ）（Ｂ）を参照して、吸引制御プレート２９０は、円盤形状を有し、円弧形状を有する複数の溝２９１が貫通して形成されている。複数の溝２９１は、任意のピッチで径方向に離れつつ、同心円状に開口している。吸引制御プレート２９０は、任意の角度範囲には溝が形成されていない。溝２９１が形成されている部分が開口領域２９０ａに相当し、溝が形成されていない部分が非開口領域２９０ｂに相当し、吸引を停止する範囲となる。

図４１（Ａ）（Ｂ）を参照して、ガイドプレート２９２は、円盤形状を有し、複数の開口穴２９３が貫通して形成されている。開口穴２９３は、一定の角度ピッチ（ｘ）にて開口している。この角度（ｘ）は、隣り合う吸引室５３がなす角度と同角度である。開口穴２９３は、１ピッチずれる毎に、径方向外方にずれている。この開口穴ずれ量（ｙ）は、吸引制御プレート２９０の溝２９１のピッチずれ量（ｚ）と同等である。開口穴２９３の径は、溝２９１の溝幅と同等以下の寸法である。

フレーム２５０および保持部材６０は、図２３に示されるものと同様に構成される。フレーム２５０およびガイドプレート２９２は、回転軸４１によって回転する。吸引制御プレート２９０は、架台等により固定され、非回転体である。

吸引制御プレート２９０およびガイドプレート２９２の形成材料は特に限定されないが、たとえば、ステンレスから形成することができる。吸引制御プレート２９０とガイドプレート２９２との間、および吸引制御プレート２９０とフレーム５０との間は、面精度を高精密にする必要がある。そのため、硬度が高く、面精度の仕上げが容易な材料を選定することが好ましい。また、クリーンルーム等において使用するような場合においては、グリス、油等の潤滑油を使用しないことから、耐摩耗性に優れた材料を選定することが好ましい。

図４２（Ａ）（Ｂ）を参照して、吸引制御プレート２９０の溝２９１の位置と、ガイドプレート２９２の開口穴２９３の位置との関係から、吸引制御プレート２９０の溝２９１を形成した範囲では、順繰りに、ガイドプレート２９２の開口穴２９３が角度ピッチ毎に切り替わっていく。このように、ガイドプレート２９２の開口穴２９３が吸引制御プレート２９０の開口領域２９０ａに面すると、吸引室５３の吸引が継続され、吸着ローラー４０ｅにシート材１１が吸着される。

吸引制御プレート２９０の溝２９１が無い範囲に、ガイドプレート２９２の開口穴２９３が差し掛かると、吸引室５３と吸引部１２０との連通が遮断される。このように、ガイドプレート２９２の開口穴２９３が吸引制御プレート２９０の非開口領域２９０ｂに面すると、吸引室５３の吸引が停止され、吸着ローラー４０ｅからシート材１１を離脱させやすくなる。なお、吸引室５３の吸引が停止されるが、シート材１１によって保持部材６０の表面が覆われている。このため、吸引室５３は、真空状態がある程度維持されている。しかしながら、吸引室５３の吸引が停止されているので、吸着ローラー４０ｅからシート材１１を離脱させる工程における剥離力によって、真空状態が容易に開放ないしブレイクされ、シート材１１を容易に剥離することができる。この結果、巻取り（離脱）工程において、エアーの巻き込みや混入、シワの発生などの不具合を生じることなく、シート材１１にサポートシート１３を貼り付け、吸着ローラー４０ｅから離脱させることができる。

また、フレーム２５０とガイドプレート２９２との間に、吸引制御プレート２９０を設けることによって、任意の角度、位置にて、吸引室５３の吸引を停止することができる。このように、非回転の吸引制御プレート２９０と回転するガイドプレート２９２との組み合わせによって、巻取り（離脱）工程において、任意の角度、位置にて、シート材１１の吸引を停止することができる。

（塗布材料乾燥時の不具合対策例（１））
図４３は、吸引部１２０の負圧経路１２１ｅおよび乾燥ガス供給経路３００を示す概略構成図である。

乾燥部１１０は、塗布された触媒インクを、その表面側から、熱風乾燥などによって乾燥させている。塗布された塗布材料を表面側のみから乾燥させた場合、乾燥した表面のみが収縮し、引張が発生し、クラックやピンホールなどの不具合が発生する虞がある。クラック等の不具合の発生を抑制するためには、塗布された塗布材料を表面側から乾燥させるだけでなく、裏面側からも乾燥させることが有効である。

塗布材料乾燥時の不具合対策例（１）として、図２３に示されるフレーム２５０を適用した吸着ローラー４０ａの場合を例に挙げて説明する。図２３に示したように、吸着ローラー４０ａのフレーム２５０は、隣り合う保持部材６０の間に存在する隙間Ｓに開口する吸引口２５６を有している。吸引口２５６が吸引部１２０に接続され、隙間Ｓを覆うシート材１１を吸着する負圧を生じさせる構造を有する。

図４３を参照して、シート材の製造装置は、それぞれの吸引室５３に乾燥ガスを供給する乾燥ガス供給部としてのコンプレッサ３０１をさらに有する。コントローラー１４０は、コンプレッサ３０１によってそれぞれの吸引室５３に乾燥ガスを供給する状況を切り替えるように、コンプレッサ３０１の作動を制御する。また、このシート材の製造装置は、吸引口２５６から隙間Ｓに乾燥ガスを供給自在な構造を有する。シート材の製造装置は、乾燥ガスの温度を調整する温度調整部３０２をさらに有する。コントローラー１４０は、乾燥ガスの温度を調整するように、温度調整部３０２の作動を制御する。温度調整部３０２は、ヒーターおよび冷却器を含み、吸引室５３および隙間Ｓに供給される乾燥ガスの温度を熱風から冷風まで所望の温度に設定できる。シート材１１を吸着ローラー４０ａに吸着させたまま乾燥工程を実施するため、乾燥ガスの正圧は、シート材１１の吸着を阻害しない適切な強さに設定する。

吸引部１２０の負圧経路１２１ｅは、それぞれの吸引室５３毎に設けられた電空レギュレーター１２２と、それぞれの電空レギュレーター１２２が接続される１台の真空ポンプ１２３とを有する。この負圧経路１２１ｅにあっては、１台の電空レギュレーター１２２は、１つの吸引室５３に接続されるとともに、１つの吸引口２５６に接続されている。それぞれの電空レギュレーター１２２は、プログラム制御にて、吸引圧力値を任意に設定することができる。それぞれ電空レギュレーター１２２は、コントローラー１４０に接続され、コントローラー１４０から吸引圧力値を示す制御信号などが入力される。このような構成によって、それぞれの吸引室５３およびそれぞれの隙間Ｓの吸引量を独立に制御し、それぞれの吸引室５３およびそれぞれの隙間Ｓを吸引する状況を切り替えることができる。

吸引部１２０の負圧経路１２１ｅは、切替バルブ１２４を介して、真空ポンプ１２３と、乾燥ガス供給部としてのコンプレッサ３０１とに選択的に接続することができる。コンプレッサ３０１によって供給される乾燥ガスの種類は特に限定されないが、エアーを用いることができる。コントローラー１４０は、コンプレッサ３０１によってそれぞれの吸引室５３に乾燥ガスを供給する状況を切り替えるように、コンプレッサ３０１の作動を制御する。つまり、コントローラー１４０は、切替バルブ１２４の作動を制御し、接続先を、真空ポンプ１２３またはコンプレッサ３０１に自動的に切り替える。これによって、吸引室５３の吸引と、吸引室５３および隙間Ｓへの乾燥ガスの供給とを切り替えることができる。

コントローラー１４０は、シート材１１が接触している保持部材６０が臨んでいる吸引室５３に乾燥ガスを供給するように乾燥ガス供給部３００の作動を制御する。吸引室５３に供給された乾燥ガスは、保持部材６０を通過し、シート材１１の裏面に接触する。さらに、乾燥ガスは、吸引口２５６から隙間Ｓに供給され、隙間Ｓを覆うシート材１１の裏面に接触する。これによって、シート材１１を吸着ローラー４０ａに吸着させたまま、シート材１１に塗布された塗布材料は、表面側においては乾燥部１１０によって乾燥され、裏面側においては乾燥ガスによって乾燥される。塗布材料を表面側から乾燥させるだけでなく、裏面側からも乾燥させることができるため、クラックやピンホールなどの不具合の発生を抑えることができる。

温度調整部３０２によって乾燥ガスの温度を任意に可変でき、裏面側からの加熱量を簡単に調整することができる。このため、裏面側の乾燥の程度を簡単に調整することができる。

なお、吸引室５３および隙間Ｓの両方に乾燥ガスを供給する例を示したが、シート材１１を吸着している面積を考慮して、吸引室５３のみに乾燥ガスを供給する構造とすることができる。

（塗布材料乾燥時の不具合対策例（２））
図４４（Ａ）（Ｂ）は、吸引室５３が吸着ローラー４０ｃの回転軸４１の周方向および軸方向の両方向に沿って区画されている場合における、シート材１１の吸着および乾燥ガスの供給を説明する説明図である。

塗布材料乾燥時の不具合対策例（２）は、シート材１１が接触している保持部材６０が臨んでいる吸引室５３のうち一部の吸引室５３に乾燥ガスを供給するようにした点において、シート材１１が接触している保持部材６０が臨んでいる吸引室５３のすべてに乾燥ガスを供給するようにした不具合対策例（１）と相違する。

図４４（Ａ）（Ｂ）を参照して、不具合対策例（２）を概説すると、吸引室５３は、吸着ローラー４０ｃの回転軸４１の周方向および軸方向の両方向に沿って区画され、コントローラー１４０は、シート材１１が接触している保持部材６０が臨んでいる吸引室５３のうち一部の吸引室５３に乾燥ガスを供給するように、乾燥ガス供給部３０１の作動を制御している。

図３１に示したように、吸着ローラー４０ｃは、吸引室５３が吸着ローラー４０ｃの回転軸４１の周方向および軸方向の両方向に沿って区画されている。図３３（Ａ）及び図３６（Ａ）に示したように、シート材１１が接触している保持部材６０が臨んでいる周方向の吸引室５３は、第１〜第６の周方向吸引室５３（ｖ１）〜５３（ｖ６）である。塗布材料は、第１の周方向吸引室５３（ｖ１）と第２の周方向吸引室５３（ｖ２）との間の位置においてシート材１１に塗布される。このような場合には、第２の周方向吸引室５３（ｖ２）から第６の周方向吸引室５３（ｖ６）までの位置において、乾燥ガスを供給することができる。

吸引部１２０の負圧経路１２１ｅおよび乾燥ガス供給経路３００は、図４３に示したものと同様に構成される。ただし、吸着ローラー４０ｃは円筒高さ方向にもローラー構成体２６５が結合されている。したがって、円筒高さ方向に関しても、同様の負圧経路１２１ｅおよび乾燥ガス供給経路３００が設けられている。これによって、任意の箇所において、任意の風量によって、乾燥ガスを供給することができる。

図４４（Ａ）（Ｂ）には、シート材１１が接触している保持部材６０が臨んでいる吸引室５３が５行５列に表される。行方向は、最下段から最上段に向けて順に、第２〜第６の周方向吸引室５３（ｖ２）〜５３（ｖ６）を示し、列方向は、左から右に向けて順に、第１〜第５の軸方向吸引室５３（ｈ１）〜５３（ｈ５）を示している。

図４４（Ａ）に示す例にあっては、コントローラー１４０は、シート材１１が接触している保持部材６０が臨んでいる吸引室５３のうち、符号「ｄ」を付した一部の吸引室５３に乾燥ガスを供給するように乾燥ガス供給部３００の作動を制御する。コントローラー１４０は、符号「ｓ」を付した残りの吸引室５３については吸引し、シート材１１を吸着している。符号「ｄ」を付した一部の吸引室５３に供給された乾燥ガスは、保持部材６０を通過し、シート材１１の裏面に接触する。これによって、シート材１１を吸着ローラー４０ｃに吸着させたまま、シート材１１に塗布された塗布材料は、表面側においては乾燥部１１０によって乾燥され、裏面側においては乾燥ガスによって乾燥される。塗布材料を表面側から乾燥させるだけでなく、裏面側からも乾燥させることができるため、クラックやピンホールなどの不具合の発生を抑えることができる。

図４４（Ｂ）に示す例にあっては、コントローラー１４０は、シート材１１が接触している保持部材６０が臨んでいる吸引室５のうち、符号「ｄ（強）」「ｄ（弱）」を付した一部の吸引室５３に乾燥ガスを供給するように乾燥ガス供給部３００の作動を制御する。「ｄ（強）」を付した吸引室５３は、「ｄ（弱）」を付した吸引室５３に比べて、乾燥ガスの正圧が強い。乾燥ガスの正圧が強い吸引室５３（「ｄ（強）」）が中央部分に寄るように設定されている。乾燥ガスがシート材１１の中央部分から周囲に向けて流れるようにするためである。コントローラー１４０は、符号「ｓ（強）」「ｓ（弱）」を付した残りの吸引室５３については吸引し、シート材１１を吸着している。「ｓ（強）」を付した吸引室５３は、「ｓ（弱）」を付した吸引室５３に比べて、吸引力が強い。符号「ｄ（強）」「ｄ（弱）」を付した一部の吸引室５３に供給された乾燥ガスは、保持部材６０を通過し、シート材１１の裏面に接触する。これによって、シート材１１を吸着ローラー４０ｃに吸着させたまま、シート材１１に塗布された塗布材料は、表面側においては乾燥部１１０によって乾燥され、裏面側においては乾燥ガスによって乾燥される。塗布材料を表面側から乾燥させるだけでなく、裏面側からも乾燥させることができるため、クラックやピンホールなどの不具合の発生を抑えることができる。

図４４（Ａ）（Ｂ）に示したように、吸引および乾燥ガスの噴射を吸引室５３の場所によって可変することができ、図４４（Ｂ）に示したように、吸引力の強弱および乾燥ガスの正圧の強弱を吸引室５３の場所によって可変することができる。乾燥ガスの正圧の強弱を可変とすることによって、裏面側からの加熱量を簡単に調整することができ、裏面側の乾燥の程度を簡単に調整することができる。

（供給機構の改変例（１）（２））
図４５（Ａ）（Ｂ）は、供給機構の改変例（１）を説明する図、図４６（Ａ）（Ｂ）は、供給機構の改変例（２）を説明する図である。

吸着ローラー４０にシート材１１を供給する供給機構として、シート材１１を介して吸着ローラー４０に接触する巻出しローラー８０を例に挙げたが、供給機構はこの場合に限定されるものではない。供給機構の改変例（１）（２）は、ブレード部材を適用した点において、ローラー部材を適用した上述した実施形態と相違する。

供給機構としてローラー部材（巻出しローラー８０）を適用した場合、ローラー部材の回転軸が吸着ローラー４０の回転軸に対して平行な状態から偏心した状態になることがある。このようなときには、ローラー部材の吸着ローラー４０に対する押付け力が、回転軸方向の位置によって異なってくる。この結果、シート材１１が偏って押されてしまって形状が変化し、シート材１１の厚みが回転軸方向の位置によってばらつくという不具合が生じる。

図４５（Ａ）（Ｂ）を参照して、供給機構の改変例（１）にあっては、供給機構に、シート材１１を介して吸着ローラー４０に押付けられるブレード部材としての押付けブレード３１０を適用している。ブレード部材を押付ける方式とすることによって、シート材１１を押付ける面は、駆動精度や、駆動機構部品の公差の影響を受けることなく、ブレード部材の製作精度のみによって定まる高精度の真直度を備えた面となる。また、高精度に押付けることができるので、ブレード材質を金属系材料から選択することができ、より一層高精度にブレード部材を製作することができる。このように押付けブレード３１０を適用することによって、シート材１１の形状が安定し、シート材１１の厚みを回転軸方向の位置に拘わらず均一にできる。

図４６（Ａ）（Ｂ）を参照して、供給機構の改変例（２）にあっては、供給機構に、シート材１１を吸着ローラー４０に押付けるガス３１１ａ（たとえば、エアー）を噴出するブレード部材としてのエアーブレード３１１を適用している。エアーブレード３１１のエアー吹出口はナイフ形状を有する。ブレード部材からガス３１１ａを吹き付ける方式とすることによって、シート材１１を吸着ローラー４０に押付けて、シート材１１の吸着ローラー４０への吸着を補助することができる。サポートシート１２の剥離力が強い場合には、吸着ローラー４０の吸引力を強くし、シート材１１の吸着ローラー４０への吸着をさらに補助する。エアーブレード３１１から噴出するエアー３１１ａによって、シート材１１に対して非接触な状態において、吸着ローラー４０にシート材１１を均一に押付けることができる。このようにエアーブレード３１１を適用することによって、シート材１１の形状が安定し、シート材１１の厚みを回転軸方向の位置に拘わらず均一にできる。

（離脱機構の改変例）
図４７（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）は、離脱機構の改変例を説明する図である。

吸着ローラー４０からシート材１１を離脱させる離脱機構として、シート材１１を介して吸着ローラー４０に接触する巻取りローラー９０を例に挙げたが、離脱機構はこの場合に限定されるものではない。離脱機構の改変例は、ブレード部材を適用した点において、ローラー部材を適用した上述した実施形態と相違する。

離脱機構としてローラー部材（巻取りローラー９０）を適用した場合、ローラー部材の回転軸が吸着ローラー４０の回転軸に対して平行な状態から偏心した状態になることがある。このようなときには、ローラー部材の吸着ローラー４０に対する押付け力が、回転軸方向の位置によって異なってくる。この結果、サポートシート１３が偏って押されてしまってサポートシート１３が剥がれたり、シート材１１上の塗膜が偏って押されてしまって形状が変化し、塗膜の厚みが回転軸方向の位置によってばらついたりするという不具合が生じる。

図４７（Ａ）（Ｂ）を参照して、離脱機構の改変例にあっては、離脱機構に、シート材１１を介して吸着ローラー４０に押付けられるブレード部材としての押付けブレード３２０を適用している。ブレード部材を押付ける方式とすることによって、シート材１１を押付ける面は、回転精度や、回転体部品の公差の影響を受けることなく、ブレード部材の製作精度のみによって定まる高精度の真直度を備えた面となる。また、高精度に押付けることができるので、ブレード材質を金属系材料から選択することができ、熱伝達率も向上する。このように押付けブレード３２０を適用することによって、サポートシート１３が剥がれず、また、塗膜の形状が変化し、塗膜の厚みを回転軸方向の位置に拘わらず均一にできる。

図４７（Ｃ）に示すように、押付けブレード３２０を微量の首振り動作が可能な構造としたり、図４７（Ｄ）に示すように、押付けブレード３２０を微量の上下動作が可能な構造としたりすることができる。これらの動作に伴う摩擦効果によって、シート材１１のサポートシート１３への貼り付け（接着）を補助することができる。

（乾燥工程の変形例（１））
図４８は、吸着ローラー４０に吸着させたシート材１１に対する第１の乾燥工程に加えて、吸着ローラー４０から離脱させたシート材１１に対する第２の乾燥工程を実施可能な構造を有するシート材の製造装置２００ａの概略構成図、図４９（Ａ）〜（Ｄ）は、図４８に示されるシート材の製造装置２００ａによって実施される乾燥工程を説明するための図である。

吸着ローラー４０から離脱させたシート材１１に対して乾燥処理を実施しない実施形態について説明したが、本発明はこの場合に限定されるものではない。吸着ローラー４０から離脱させたシート材１１を製品ローラー３０に巻き取るまでの間に、乾燥処理を実施してもよい。

図４８を参照して、シート材の製造装置２００ａは、吸着ローラー４０に吸着させたシート材１１に対する第１の乾燥工程に加えて、吸着ローラー４０から離脱させ製品ローラー３０に巻き取るまでのシート材１１に対する第２の乾燥工程を実施可能な構造を有する。シート材の製造装置２００ａは、第１の乾燥工程を実施する乾燥部１１０と、第２の乾燥工程を実施する他の乾燥部３３０と、サポートシート１３を貼り合せたシート材１１を搬送させる搬送部３３１と、を有する。他の乾燥部３３０は、乾燥部１１０と同様に形式などは特に限定されないが、たとえば、熱風乾燥、スリットノズル乾燥、ＩＲ乾燥、ＩＨ乾燥などを選択することができる。搬送部３３１は、搬送ローラーやベルトコンベヤーなどから構成される。塗布材料の乾燥は、第１の乾燥工程と、第２の乾燥工程との２段式に行う。このように２段式の乾燥の場合、第１の乾燥工程における温度条件と、第２の乾燥工程における温度条件とをそれぞれ所望の温度条件に適宜設定することができる。なお、図示例では、乾燥の形態として２段式としたが、吸着ローラー４０から離脱させ製品ローラー３０に巻き取るまでのシート材１１に対する乾燥工程を２以上設けることによって、乾燥の形態を３段式以上にすることができる。

吸着ローラー４０上のシート材１１に対する加熱によって、フレーム５０や多孔質体から形成された保持部材６０も温められて熱変形が生じ、吸着ローラー４０の偏芯量が増大する虞がある。吸着ローラー４０の偏芯量が増大すると、上述したようにシート材１１の厚みのばらつきなどを招いてしまう。そこで、第１の乾燥工程は、吸着ローラー４０の偏芯量を増大させない程度の加温状態、または常温において行う。第２の乾燥工程は、シート材１１にサポートシート１３を貼り合せた後に、必要な加温状態において行う。

図４９（Ａ）（Ｂ）に示すように、シート材１１上に塗布された塗布材料（塗膜１５）は、第１の乾燥工程において、ごく表面部分１５ａだけが、収縮やクラックが発生しない程度に乾燥される。次いで、図４９（Ｃ）（Ｄ）に示すように、吸着ローラー４０から離脱させたシート材１１はサポートシート１３が貼り合わされ、その後、第２の乾燥工程においてサポートシート１３ごと十分に乾燥される。

このように、シート材の製造装置２００ａは、離脱機構としての巻取りローラー９０よりもシート材１１の搬送方向に沿って下流側の位置に配置され、塗布された塗布材料を乾燥させる他の乾燥部３３０をさらに有している。

このように構成すれば、吸着ローラー４０上のシート材１１に対する乾燥処理を実施する乾燥部１１０の温度条件と、離脱後のシート材１１に対する乾燥処理を実施する他の乾燥部３３０の温度条件とをそれぞれ所望の温度条件に適宜設定することができる。たとえば、乾燥部１１０における乾燥温度を、他の乾燥部３３０における乾燥温度よりも低く設定し、吸着ローラー４０の偏芯量を抑えてシート材１１の厚みの均一化を図ることができる。

（乾燥工程の変形例（２））
図５０は、乾燥工程長が比較的長い構造を有するシート材の製造装置２００ｂの概略構成図、図５１は、図５０に示されるシート材の製造装置２００ｂに乾燥工程後に実施する後工程を付加した状態を説明するための図である。

上述したように、吸着ローラーは大径化を図ることができる。大径の複数個の吸着ローラーに多孔質ベルトを掛け渡すことによって、設置するスペースの省スペース化を図りながら、乾燥工程長が比較的長い構造を有するシート材の製造装置２００ｂを提供することができる。

図５０を参照して、シート材の製造装置２００ｂは、複数個の吸着ローラー３４０と、多孔質ベルト３４１と、供給機構３４２と、離脱機構３４３と、塗布部３４４と、乾燥部３４５と、吸引部３４６とを有する。複数個の吸着ローラー３４０は、多孔質ベルト３４１が掛け渡され、シート材１１を多孔質ベルト３４１上に吸着保持した状態において回転することによってシート材１１を搬送する。供給機構としての巻出しローラー３４２は、シート材１１を介して多孔質ベルト３４１に接触し、多孔質ベルト３４１にシート材１１を供給する。離脱機構としての巻取りローラー３４３は、シート材１１を介して多孔質ベルト３４１に接触し、多孔質ベルト３４１からシート材１１を離脱させる。塗布部３４４は、多孔質ベルト３４１に吸着保持されたシート材１１に塗布材料を塗布する。乾燥部３４５は、多孔質ベルト３４１のうち塗布部３４４よりもシート材１１の搬送方向に沿って下流側の位置に配置され、塗布された塗布材料を乾燥させる。吸引部３４６は、シート材１１を多孔質ベルト３４１に吸着保持させる負圧を生じさせる。そして、吸着ローラー３４０のそれぞれは、吸引部３４６に接続されるチャンバ５１を有する回転自在なフレーム５０と、多孔質体から形成されチャンバ５１に連通した状態においてフレーム５０に取り付けられる複数個の保持部材６０と、を有する。フレーム５０に取り付けられた複数個の保持部材６０によって、吸着ローラー３４０の周面を形成している。

多孔質ベルト３４１は、たとえば多孔質樹脂から形成されている。吸着ローラー３４０、巻出しローラー３４２、巻取りローラー３４３、塗布部３４４、乾燥部３４５、および吸引部３４６は、それぞれ、吸着ローラー４０、巻出しローラー８０、巻取りローラー９０、塗布部１００、乾燥部１１０、および吸引部１２０と同様に構成されているため、詳細な説明は省略する。多孔質ベルト３４１の裏面側に面する空間は、吸引部３４６によって吸引され、シート材１１を多孔質ベルト３４１に吸着保持させる負圧が生じている。多孔質ベルト３４１の裏面側に面する空間は、多孔質ベルト３４１を吸着していない保持部材６０を通しても吸引される。

多孔質ベルト３４１の長さによって、シート材１１を吸着搬送できる長さを変えることができる。また、吸着ローラー３４０は吸着ローラー４０と同様に大径化を図ることができる。大径の複数個の吸着ローラー３４０に多孔質ベルト３４１を掛け渡すことによって、小径の複数個の吸着ローラーに掛け渡す場合に比べて、吸着ローラー３４０間の距離を短くでき、設置ペースの省スペース化を図ることができる。したがって、大径の複数個の吸着ローラー３４０に多孔質ベルト３４１を掛け渡すことによって、設置ペースの省スペース化を図りながら、十分な長さの乾燥工程長を確保できる。

また、シート材１１を吸着搬送できる長さを長くすることが容易なため、スリットダイコータなどからなる塗布部３４４は、横塗りに限らず、下塗り、上塗りなど、位置の制約を受けることなく所望の位置に設定することができる。

シート材１１を吸着搬送できる長さを長くすることが容易なことから、図５１に示すように、シート材の製造装置２００ｂは、乾燥工程後に実施する後工程３４７、３４８を、サポートシート１３を貼り合せる前に、付加することができる。後工程３４７、３４８は、たとえば、ガスケットの貼り付け工程や、ガス拡散層（ＧＤＬ）の貼り付け工程などである。このように、サポートシート１３を貼り合せることなく、シート材１１を次工程へ受け渡すことができる。

このようにシート材１１の製造装置２００ｂにあっては、吸着ローラー３４０は、吸着ローラー４０と同様に、吸引部３４６に接続されるチャンバ５１を有する回転自在なフレーム５０と、多孔質体から形成されチャンバ５１に連通した状態においてフレーム５０に取り付けられる複数個の保持部材６０と、を有している。そして、フレーム５０に取り付けられた複数個の保持部材６０によって吸着ローラー３４０の周面を形成している。そして、複数個の吸着ローラー３４０に多孔質ベルト３４１を掛け渡している。

また、本実施形態に係る塗膜を形成したシート材１１の製造方法にあっては、上記のように構成した複数の吸着ローラー３４０に掛け渡した多孔質ベルト３４１にシート材１１を供給し、シート材１１を多孔質ベルト３４１に吸着保持した状態において吸着ローラー３４０を回転することによってシート材１１を搬送する。多孔質ベルト３４１に吸着保持されたシート材１１に塗布部３４４によって塗布材料を塗布し、多孔質ベルト３４１のうち塗布部３４４よりもシート材１１の搬送方向に沿って下流側の位置において、塗布された塗布材料を乾燥部３４５によって乾燥する。そして、塗布材料が乾燥したシート材１１を多孔質ベルト３４１から離脱させている。

このように構成することによって、吸着ローラー３４０は吸着ローラー４０と同様に大径化を図ることができ、大径の複数個の吸着ローラー３４０に多孔質ベルト３４１を掛け渡すことによって、設置ペースの省スペース化を図りながら、十分な長さの乾燥工程長を確保可能な、塗膜を形成したシート材１１の製造装置２００ｂ、および塗膜を形成したシート材１１の製造方法を提供することができる。

１０ 原料シート、
１１ 電解質膜（シート材）、
１２ サポートシート、
１３ サポートシート、
１４ 製品シート、
１５ 電極触媒層（塗膜）、
２０ 原料ローラー、
３０ 製品ローラー、
４０、４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｄ、４０ｅ 吸着ローラー、
５０、５０ａ、５０ｂ、５０ｄ、２５０、２５０ａ、２５０ｂ フレーム、
５１ チャンバ、
５２ 軸穴、
５３ 吸引室、
５３（１）〜５３（８） 第１〜第８の吸引室、
５４ 吸引溝、
５５、２５５ ガイド、
５６、５６ａ、５６ｂ、２６０、２６０ａ、２６０ｂ 吸着ローラーの負圧経路、
５９ ロータリージョイント、
６０、６０ａ、６０ｂ、６０ｃ 保持部材、
６１ 周方向端面、
６２ 表面、
６３ 側端面、
６４ 突起部、
７０ 連結部、
８０ 巻出しローラー（供給機構、ローラー部材）、
９０ 巻取りローラー（離脱機構、ローラー部材）、
１００ 塗布部、
１１０ 乾燥部、
１２０ 吸引部、
１２１、１２１ａ、１２１ｂ、１２１ｃ、１２１ｄ、１２１ｅ 吸引部の負圧経路、
１２２ 電空レギュレーター、
１２３、２６４、２６９ 真空ポンプ、
１２４ 切替バルブ、
１３０ 冷却部、
１３１ エアー供給装置、
１３２ 温度調整装置、
１４０ コントローラー、
１４１ エンコーダー、
２００、２００ａ、２００ｂ 塗膜を形成したシート材の製造装置、
２５６ 吸引口、
２５７ 板材、
２６２ 径方向経路、
２６５ ローラー構成体、
２６６ 分割フレーム、
２６８ｂ カール、
２７０ 正圧供給経路、
２７１ コンプレッサ、
２７１ａ 正圧、
２８０ シャッタ、
２８０ｂ ウエイト、
２８０ａ 基端部、
２８１ 壁部、
２９０ 吸引制御プレート、
２９０ａ 開口領域、
２９０ｂ 非開口領域、
２９１ 溝、
２９２ ガイドプレート、
２９３ 開口穴、
３００ 乾燥ガス供給経路、
３０１ コンプレッサ（乾燥ガス供給部）、
３０２ 温度調整部、
３１０ 押付けブレード（供給機構、ブレード部材）、
３１１ エアーブレード（供給機構、ブレード部材）、
３１１ａ エアーブレードから噴出したガス、
３２０ 押付けブレード（離脱機構、ブレード部材）、
３３０ 他の乾燥部、
３３１ 搬送部、
３４０ 吸着ローラー、
３４１ 多孔質ベルト、
３４２ 巻出しローラー（供給機構）、
３４３ 巻取りローラー（離脱機構）、
３４４ 塗布部、
３４５ 乾燥部、
３４６ 吸引部、
３４７、３４８ 後工程、
Ｓ 隙間。

Claims (32)

1. シート材を吸着保持した状態において回転することによって前記シート材を搬送する吸着ローラーと、
   前記吸着ローラーに前記シート材を供給する供給機構と、
   前記吸着ローラーから前記シート材を離脱させる離脱機構と、
   前記吸着ローラーに吸着保持された前記シート材に塗布材料を塗布する塗布部と、
   前記吸着ローラーの周囲のうち前記塗布部よりも前記シート材の搬送方向に沿って下流側の位置に配置され、塗布された塗布材料を乾燥させる乾燥部と、
   前記シート材を前記吸着ローラーに吸着保持させる負圧を生じさせる吸引部と、を有し、
   前記吸着ローラーは、前記吸引部に接続されるチャンバを有する回転自在なフレームと、多孔質体から形成され前記チャンバに連通した状態において前記フレームに取り付けられる複数個の保持部材と、を有し、
   前記フレームに取り付けられた前記複数個の保持部材によって前記吸着ローラーの周面を形成してなる、塗膜を形成したシート材の製造装置。
2. 前記フレームのチャンバは、区画された複数個の吸引室を有し、それぞれの前記吸引室に少なくとも１つの前記保持部材が臨んでおり、
   前記吸引部は、それぞれの前記吸引室に接続されている、請求項１に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
3. 前記吸引部によってそれぞれの前記吸引室を吸引する状況を切り替えるように、前記吸引部の作動を制御するコントローラーを有する、請求項２に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
4. 前記コントローラーは、前記シート材が接触している前記保持部材が臨んでいる前記吸引室を吸引し、前記シート材が離脱している前記保持部材が臨んでいる前記吸引室の吸引を停止するように、前記吸引部の作動を制御する、請求項３に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
5. 前記コントローラーは、前記供給機構によって供給される前記シート材が接触し始める前記保持部材が臨んでいる前記吸引室を吸引する吸引力を、前記シート材が接触し続けている前記保持部材が臨んでいる前記吸引室を吸引する吸引力よりも強い吸引力とするように、前記吸引部の作動を制御する、請求項３または請求項４に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
6. 前記コントローラーは、前記離脱機構によって離脱される前記シート材が離れ始める前記保持部材が臨んでいる前記吸引室を吸引する吸引力を、前記シート材が接触し続けている前記保持部材が臨んでいる前記吸引室を吸引する吸引力よりも弱い吸引力とするように、前記吸引部の作動を制御する、請求項３〜請求項５のいずれか１項に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
7. 前記シート材が離脱している前記保持部材を冷却する冷却部をさらに有する、請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
8. 前記冷却部は、前記シート材が離脱している前記保持部材にエアーを通過させることによって前記保持部材を冷却する、請求項７に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
9. 前記エアーを、前記吸引部と前記吸着ローラーとを接続する配管を使用して前記吸着ローラーに導く、請求項８に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
10. 前記エアーの温度は、前記塗布材料を塗布する作業に対して前記保持部材が温度影響を与えない温度にまで冷却可能な温度である、請求項８または請求項９に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
11. 隣り合う前記保持部材同士の間に前記シート材を吸着できない隙間が存在する場合において、前記塗布部は、前記シート材に塗布材料を間欠的に塗布し、前記隙間の部分に対応する部位を未塗布範囲とする、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
12. 前記保持部材のそれぞれは、前記フレームに対して交換自在に取り付けられている、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
13. 前記保持部材の表面は、前記吸着ローラーの回転軸に直交する断面において見て、円弧面または平坦面に形成されている、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
14. 前記保持部材の側端面のうち隣り合う他の前記保持部材に向かい合う側端面は、他の前記保持部材の側端面と径方向において重なり合う形状を有する、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
15. 前記シート材は、燃料電池の電極触媒層用の電解質膜であり、
    前記塗布材料は、触媒インクである、請求項１〜１４のいずれか１項に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
16. 前記フレームは、隣り合う前記保持部材の間に存在する隙間に開口する吸引口を有し、前記吸引口が前記吸引部に接続され、前記隙間を覆う前記シート材を吸着する負圧を生じさせる構造を有する、請求項２に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
17. 前記フレームは、前記吸引室が形成された複数個の分割フレームを有し、
    前記吸着ローラーは、前記吸引室に臨むように前記保持部材を前記分割フレームに取り付けた複数個のローラー構成体を有し、複数個の前記ローラー構成体が隣り合う前記保持部材の周方向端面同士を接触させた状態に結合された構造を有する、請求項２に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
18. 前記吸引室は、前記吸着ローラーの回転軸の周方向および軸方向の両方向に沿って区画され、
    前記コントローラーは、前記回転軸の周方向に沿って区画された前記吸引室のうち前記シート材が接触する前記保持部材が臨んでいる前記吸引室、および前記回転軸の軸方向に沿って区画された前記吸引室のうち前記シート材における前記軸方向に沿う両端縁が接触する前記保持部材が臨んでいる前記吸引室に関して、これらの前記吸引室を吸引する吸引力を、前記シート材が接触し始めるときには、前記シート材が接触し続けているときに比べて強い吸引力とするように、前記吸引部の作動を制御する、請求項３に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
19. 前記吸引室は、前記吸着ローラーの回転軸の周方向および軸方向の両方向に沿って区画され、
    それぞれの前記吸引室に正圧を供給する供給部をさらに有し、
    前記コントローラーは、前記供給部によってそれぞれの前記吸引室に正圧を供給する状況を切り替えるように、前記供給部の作動を制御し、
    前記コントローラーは、前記回転軸の周方向に沿って区画された前記吸引室のうち前記シート材が離脱する前記保持部材が臨んでいる前記吸引室、および前記回転軸の軸方向に沿って区画された前記吸引室のうち前記シート材における前記軸方向に沿う両端縁が接触する前記保持部材が臨んでいる前記吸引室よりも内側の前記吸引室に関して、これらの前記吸引室に正圧を供給するように前記供給部の作動を制御する、請求項３に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
20. 正圧を供給する前記吸引室に関して、これらの前記吸引室の吸引を停止するように前記吸引部の作動を制御する、請求項１９に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
21. 前記フレームは、それぞれの前記吸引室内に回動自在に取り付けられて前記フレームの回転に伴って回動するシャッタを有し、
    前記シャッタは、離脱される前記シート材が離れ始める前記保持部材が臨んでいる前記吸引室内において、前記保持部材と前記吸引部との連通を遮断する位置に回動する構造を有する、請求項２に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
22. 前記吸引室に連通する開口領域と、前記吸引室との連通を遮断する非開口領域とを有する非回転の吸引制御プレートと、
    前記吸引制御プレートの前記開口領域を介して前記吸引室のそれぞれに連通する複数の開口穴が形成されたガイドプレートと、をさらに有し、
    前記ガイドプレートは、前記吸着ローラーの回転に同期して回転し、前記開口穴に前記吸引部が接続され、
    前記吸引制御プレートおよび前記ガイドプレートは、前記吸着ローラーに前記シート材を吸着させる位置においては、前記ガイドプレートの前記開口穴が前記吸引制御プレートの前記開口領域に面し、前記吸着ローラーから前記シート材を離脱させる位置においては、前記ガイドプレートの前記開口穴が前記吸引制御プレートの前記非開口領域に面する構造を有する、請求項２に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
23. それぞれの前記吸引室に乾燥ガスを供給する乾燥ガス供給部をさらに有し、
    前記コントローラーは、前記乾燥ガス供給部によってそれぞれの前記吸引室に前記乾燥ガスを供給する状況を切り替えるように、前記乾燥ガス供給部の作動を制御し、
    前記コントローラーは、前記シート材が接触している前記保持部材が臨んでいる前記吸引室に前記乾燥ガスを供給するように、前記乾燥ガス供給部の作動を制御する、請求項３に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
24. 前記乾燥ガスの温度を調整する温度調整部をさらに有し、
    前記コントローラーは、前記乾燥ガスの温度を調整するように、前記温度調整部の作動を制御する、請求項２３に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
25. 前記フレームが請求項１６に記載の構造を有し、前記吸引口から前記隙間に前記乾燥ガスを供給自在な構造を有する、請求項２３または請求項２４に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
26. 前記吸引室は、前記吸着ローラーの回転軸の周方向および軸方向の両方向に沿って区画され、
    前記コントローラーは、前記シート材が接触している前記保持部材が臨んでいる前記吸引室のうち一部の前記吸引室に前記乾燥ガスを供給するように、前記乾燥ガス供給部の作動を制御する、請求項２３または請求項２４に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
27. 前記供給機構は、前記シート材を介して前記吸着ローラーに接触するローラー部材、前記シート材を介して前記吸着ローラーに押付けられるブレード部材、または前記シート材を前記吸着ローラーに押付けるガスを噴出するブレード部材を適用してなる、請求項１〜請求項２６のいずれか１項に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
28. 前記離脱機構は、前記シート材を介して前記吸着ローラーに接触するローラー部材、または前記シート材を介して前記吸着ローラーに押付けられるブレード部材を適用してなる、請求項１〜請求項２６のいずれか１項に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
29. 前記離脱機構よりも前記シート材の搬送方向に沿って下流側の位置に配置され、塗布された前記塗布材料を乾燥させる他の乾燥部をさらに有する、請求項１に記載の塗膜を形成したシート材の製造装置。
30. 多孔質ベルトが掛け渡され、シート材を前記多孔質ベルト上に吸着保持した状態において回転することによって前記シート材を搬送する複数個の吸着ローラーと、
    前記多孔質ベルトに前記シート材を供給する供給機構と、
    前記多孔質ベルトから前記シート材を離脱させる離脱機構と、
    前記多孔質ベルトに吸着保持された前記シート材に塗布材料を塗布する塗布部と、
    前記多孔質ベルトのうち前記塗布部よりも前記シート材の搬送方向に沿って下流側の位置に配置され、塗布された塗布材料を乾燥させる乾燥部と、
    前記シート材を前記多孔質ベルトに吸着保持させる負圧を生じさせる吸引部と、を有し、
    前記吸着ローラーのそれぞれは、前記吸引部に接続されるチャンバを有する回転自在なフレームと、多孔質体から形成され前記チャンバに連通した状態において前記フレームに取り付けられる複数個の保持部材と、を有し、
    前記フレームに取り付けられた前記複数個の保持部材によって前記吸着ローラーの周面を形成してなる、塗膜を形成したシート材の製造装置。
31. 負圧を生じさせる吸引部に接続されたチャンバを有する回転自在なフレームと、多孔質体から形成され前記チャンバに連通した状態において前記フレームに取り付けられる複数個の保持部材とを有し、前記複数個の保持部材によって周面を形成してなる吸着ローラーに、シート材を供給し、
    前記シート材を吸着保持した状態において前記吸着ローラーを回転することによって前記シート材を搬送し、
    前記吸着ローラーに吸着保持された前記シート材に塗布部によって塗布材料を塗布し、
    前記吸着ローラーの周囲のうち前記塗布部よりも前記シート材の搬送方向に沿って下流側の位置において、塗布された前記塗布材料を乾燥部によって乾燥し、
    前記塗布材料が乾燥した前記シート材を前記吸着ローラーから離脱させる、塗膜を形成したシート材の製造方法。
32. 負圧を生じさせる吸引部に接続されたチャンバを有する回転自在なフレームと、多孔質体から形成され前記チャンバに連通した状態において前記フレームに取り付けられる複数個の保持部材とを有し、前記複数個の保持部材によって周面を形成してなる複数個の吸着ローラーに掛け渡された多孔質ベルトに、シート材を供給し、
    前記シート材を前記多孔質ベルト上に吸着保持した状態において前記吸着ローラーを回転することによって前記シート材を搬送し、
    前記多孔質ベルトに吸着保持された前記シート材に塗布部によって塗布材料を塗布し、
    前記多孔質ベルトのうち前記塗布部よりも前記シート材の搬送方向に沿って下流側の位置において、塗布された前記塗布材料を乾燥部によって乾燥し、
    前記塗布材料が乾燥した前記シート材を前記多孔質ベルトから離脱させる、塗膜を形成したシート材の製造方法。