JP6414777B2 - 押込量調整装置、及び押込量調整装置を備えた研磨装置 - Google Patents

Description

本発明は、工具本体の押込量を調整する押込量調整装置、及びこの押込量調整装置を備えた研磨装置に関する。

航空機や自動車の外装面には、耐候性の向上や装飾等を目的として塗装が施されている。外装面への塗装では、塗料の密着性を向上させるために前処理として母材上に下地材を塗布して下地層を形成し、下地層の上から塗料を塗布することで塗膜を形成している。このような塗装が施された航空機や自動車の外装面を再塗装する方法としては、再塗装したい部位の塗膜のみを研磨工具等で剥離させ、下地層を残した状態で再び塗料を塗布する方法が用いられている。このように研磨工具で塗膜のみを剥離させ下地層を残すことで、再塗装の際に下地層を再び形成する手間を低減することができる。

再塗装時に塗膜を剥離するための研磨工具として、例えば、特許文献１には、研磨ディスクを回転させながら加工対象物の表面を研磨し、研磨により生じる粉塵を同時に吸引し除去することが可能な小型の研磨工具が開示されている。このような研磨工具は、小型でありながら研磨と同時に粉塵の除去ができるため、作業性に優れている。

米国特許第６９６９３１１号明細書

しかしながら、特許文献１に記載の研磨工具では、作業者が適正な力で均一に研磨工具を加工対象面に押し付けながら研磨しなければ、加工対象面を平滑な面にすることができない。即ち、研磨工具が部分的に強く当たるなど加工対象面に対して不均一な力が働いてしまうと、研磨される量にばらつきが生まれ、加工品質を落としたり、研磨工具の一部のみに磨減が生じたりしてしまう。また、作業者の技量が未熟な場合、研磨工具の塗膜への押し付け荷重が過大となり塗装面での剥離速度が大きくなることで、下地層も大幅に剥離させてしまうおそれがある。そのため、作業者の技量によって加工品質がばらついてしまい、作業者の技量が未熟であると加工対象面を安定して加工できないという問題を有している。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、加工対象面を容易に、かつ、安定して加工することが可能な押込量調整装置、及び研磨装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を提案している。
本発明の一態様に係る押込量調整装置は、加工対象面に当接可能とされる工具本体を支持する把持部と、前記把持部と前記工具本体との間に設けられて、該工具本体を加工対象面に対して近接する方向、及び離間する方向へ移動させる移動機構と、を備え、前記移動機構は、前記工具本体が前記加工対象面に当接した状態で、該加工対象面に対して一定の力を作用させることが可能であり、前記工具本体を前記加工対象面に対して近接する方向、及び離間する方向へ進退させることが可能であり、前記工具本体を前記加工対象面に沿ってトラバース移動した際の移動速度を検出する検出部と、前記検出部で検出した前記移動速度が所定よりも遅くなった場合にのみ、前記工具本体を前記加工対象面から離間する方向に動作させるように前記移動機構を制御する制御部と、をさらに備える。

このような押込量調整装置によれば、加工対象面の加工を行う際には、移動機構によって工具本体を加工対象面に近接させて当接させ、加工対象面に対して作用させる力を一定に保つことで、作業者の技量によらずに加工対象面を安定して加工することが可能となる。さらに、移動機構によって加工対象面から工具本体を離間させることで、所望のタイミングで作業者の技量によらずに加工対象面の加工を停止、終了することが可能となる。
また、このような押込量調整装置によれば、工具本体がトラバース移動する際、加工の始端位置、終端位置、及び折り返し位置で工具本体の移動速度が遅くなると、この速度に基づいて制御部及び移動機構によって工具本体を加工対象面から離間する方向に退避させ、工具本体から加工対象面に作用する押し付け力を低減することが可能となる。従って、作業者の技量によらず、トラバース移動の移動速度が小さくなる位置において、必要以上に加工対象面を加工してしまうことがなくなり、加工のし過ぎや、加工対象面の加工度合の不均一性の発生を抑制することができる。

また、前記移動機構は、前記工具本体が前記加工対象面に当接した状態から、該加工対象面に対して離間するように前記工具本体に付勢力を付与する付勢部材を有していてもよい。

このように付勢部材を用いることで、加工対象面の加工を停止、終了させる際には、例えば移動機構を駆動する外部動力（電力や流体力）を作用させなくとも、付勢部材の付勢力のみによって工具本体を加工対象面から離間させることが可能である。よって、このような外部動力が何らかの原因によって供給されなくなった場合、付勢部材の付勢力によって工具本体を加工対象面から離間させ、加工を停止、終了することが可能となる。

また、前記移動機構は、流体の圧力によって駆動されるアクチュエータと、前記アクチュエータへ流体を供給する流体供給部と、を有していてもよい。

このような流体供給部によれば、工具本体を流体の力を用いて加工対象面に当接させるため、加工対象面に凹凸がある場合などで工具本体に加工対象面からの衝撃が生じた際にも、液体の管路等における減衰作用によってこのような衝撃を吸収することが可能となる。

また、前記流体供給部は、前記流体として気体を前記アクチュエータに向かって流通させる気体部と、前記流体として液体を前記アクチュエータに導入して該アクチュエータを駆動する液体部と、前記気体部と前記液体部との間に設けられ、前記気体の圧力を前記液体の圧力に変換する気液変換部と、を有していてもよい。

このように、気体の圧力を液体の圧力に変換してアクチュエータを駆動する。即ち、アクチュエータには気体よりも粘性の高い液体が導入されることになるため、工具本体からの振動を減衰することが可能となる。さらに、気体部を用いることで例えば気体として簡単に利用可能な工場エア等を用いることができる。よって、押込量調整装置の設置位置の自由度が高まることや、容易に圧力の高い気体を得ることができるため、コストを抑えることができる。
また、流体供給部で流体として気体と液体とを併用することで、流体として液体のみを用いる場合に比べて、仮に液体に漏れが生じたとしても漏れ量を最抑えることができる。
よって、液体が漏れた際のメンテナンスが容易となり、漏れによる影響を抑制することができる。
さらに、気体として例えば工場エアを用いることが可能となるため、押込量調整装置の設置位置の自由度が高まることや、容易に圧力の高い気体を得ることができるためコストを抑えることができる。

また、前記流体供給部は、前記流体の流動抵抗を増大する絞り部を有していてもよい。

このような絞り部によって減衰作用をさらに増大させることができる。

また、前記流体供給部は、前記絞り部と並列して設けられたバイパス流路と、前記アクチュエータから前記流体が排出された際に、該バイパス流路を開放可能な弁装置と、を有していてもよい。

このようなバイパス流路、及び弁装置によって、アクチュエータから流体が排出される際に、アクチュエータから絞り弁を介さずにバイパス流路に流体を流通させることができる。従って、速やかに流体の排出を行うことで、速やかに工具本体を加工対象面から離間させることができる。

また、前記検出部は、前記移動速度を検出する速度センサを有していてもよい。

検出部に速度センサを用いることで、容易に、工具本体のトラバース移動の移動速度を検出することができる。

また、前記検出部は、前記工具本体のトラバース移動の様子を撮影することで前記移動速度を検出するカメラを有していてもよい。

検出部にカメラを用いることで、容易に、工具本体のトラバース移動の移動速度を検出することができる。

また、本発明の一態様に係る研磨装置は、上記の押込量調整装置と、前記押込量調整装置によって支持されるとともに前記加工対象面の研磨加工を行う工具本体と、を備えている。

このような研磨装置によれば、押込量調整装置を備えていることで、加工対象面の加工を行う際には加工対象面に対して作用させる力を一定に保ち、作業者の技量によらずに加工対象面を安定して加工することが可能となる。さらに、所望のタイミングで作業者の技量によらずに加工対象面の加工を停止、終了することが可能となる。

また、上記の研磨装置は、前記加工対象面上の予め定められた経路をデータとして記憶する記憶部と、前記工具本体をトラバース移動可能とする駆動部と、前記データに基づいて前記経路に沿って前記工具本体を自動でトラバース移動させる駆動制御部と、を有するトラバース機構をさらに備えていてもよい。

このように工具本体のトラバース移動を自動化することで、加工対象面をより容易に、かつ、より安定して加工することが可能である。

本発明の押込量調整装置、及び研磨装置によれば、移動機構を設けたことで、加工対象面を容易に、かつ、安定して加工することが可能である。

本発明の第一実施形態に係る研磨装置を説明する斜視図である。 本発明の第一実施形態に係る研磨装置を説明する上面図である。 本発明の第一実施形態に係る研磨装置を説明する側面図である。 本発明の第一実施形態に係る研磨装置を説明する概略図であって、（ａ）は研磨加工の前後の状態を示し、（ｂ）は研磨加工を行っている状態を示す。 本発明の第一実施形態の第一変形例に係る研磨装置を説明する概略図である。 本発明の第一実施形態に係る研磨装置をトラバース移動させた際の、移動範囲と、移動速度及び加工対象面へ付与される荷重との関係を示すグラフである。 本発明の第一実施形態の第二変形例に係る研磨装置を説明する概略図である。 本発明の第一実施形態の第三変形例に係る研磨装置を説明する概略図である。 本発明の第一実施形態の第四変形例に係る研磨装置を説明する概略図である。 本発明の第一実施形態の第五変形例に係る研磨装置を説明する概略図であって、（ａ）は研磨工具が把持部に対して真っ直ぐに保たれた状態を示し、（ｂ）は、研磨工具が把持部に対して傾斜した状態を示している。 本発明の第二実施形態に係る研磨装置を説明する斜視図である。 本発明の第二実施形態の第一変形例に係る研磨装置を説明する側面図である。 本発明の第二実施形態の第二変形例に係る研磨装置を説明する側面図である。

〔第一実施形態〕
以下、本発明に係る第一実施形態の研磨装置１について説明する。
本実施形態の研磨装置１は、研磨ディスク部１０ａを有する公知の加工工具である研磨工具１０（工具本体）と、研磨工具１０を支持して加工対象面２０に対して研磨加工を行う際に使用される押込量調整装置３とを備えている。

本実施形態で使用する研磨工具１０としては、図１から図３に示すような３Ｍ社製のダブルアクションサンダーを用いている。そして、研磨工具１０は、加工対象面２０に当接可能とされた円盤状の研磨ディスク部１０ａと、研磨ディスク部１０ａを回転させるエアモータ（不図示）に空気を供給するエア源１０ｃと、エア源１０ｃから上記エアモータへの空気の供給量を調整する電磁バルブ１０ｄと、研磨工具１０の上部に配置されるレバー１０ｆと、レバー１０ｆと連動し電磁バルブ１０ｄの開閉量を調整するスイッチ部１０ｅと、を有している。

研磨工具１０では、上部からレバー１０ｆが押しこまれることでスイッチ部１０ｅによって電磁バルブ１０ｄが開放され、上記エアモータにエア源１０ｃから空気が供給されて研磨ディスク部１０ａが回転し、加工対象面２０を研磨する。そして、研磨ディスク部１０ａでは、レバー１０ｆによってスイッチ部１０ｅが押されることで電磁バルブ１０ｄの開閉量が調整され、上記エアモータへの空気の供給量が調整されて回転数が調整可能となっている。

加工対象面２０は、塗装が施された加工対象物の塗装面である。即ち、下地層の上から下地層と色の異なる塗料が吹き付けられることで形成された塗膜の表面である。本実施形態では、再塗装するために下地層を残して塗膜のみを研磨し剥離する場合に研磨工具１０を用いることを想定している。

押込量調整装置３は、図１から図４に示すように、研磨工具１０を支持する把持部４と、把持部４と研磨工具１０との間に設けられた移動機構６０とを備えている。

把持部４は、研磨ディスク部１０ａを加工対象面２０に押し付ける際に、作業者によって把持可能であるとともに研磨工具１０に一体に固定されて研磨工具１０を支持している。
この把持部４は、研磨工具１０の外周に沿って配置される外周把持部材４２を有している。

外周把持部材４２は、薄板状をなす金属板によって形成され、一端を切り欠かれたリング状をなして研磨工具１０の外周に沿って配置されている。

移動機構６０は、把持部４と研磨ディスク部１０ａとの間に配されて、研磨ディスク部１０ａを加工対象面２０に対して近接する方向、及び離間する方向に移動させる。そして、研磨ディスク部１０ａが加工対象面２０に当接した状態で加工対象面２０に対して一定の力Ｆを作用させるように、把持部４に対する研磨ディスク部１０ａの相対位置を調整する。

この移動機構６０は、把持部４と研磨ディスク部１０ａとの間に配されて流体の圧力によって駆動されるアクチュエータ６１、及び研磨ディスク部１０ａに付勢力を付与する付勢部材６２と、アクチュエータ６１へ流体を供給する流体供給部６５と、アクチュエータ６１及び付勢部材６２と、把持部４との間に介在されるとともに研磨工具１０を加工対象面２０上に支持する支持部５１とを有している。

流体供給部６５は、アクチュエータ６１側に配された液体部６６と、アクチュエータ６１から離間する側に配された気体部６７と、これら液体部６６と気体部６７との間に設けられた気液変換部７３とを有しており、これら気体部６７と気液変換部７３とは流体の流通可能な配管７７ａによって、また、気液変換部７３と液体部６６とは流体の流通可能な配管７７ｂによって接続されている。

気体部６７は、上記流体として空気Ａ（気体）を、例えば工場エア等を空気源として導入する。気体部６７には、配管７７ａ上に空気Ａの圧力を調整可能な減圧弁７１、及び、気液変換部７３と減圧弁７１との間には、空気Ａの流路、即ち配管７７ａの開閉を行なう電磁弁装置７０が設けられている。

これら電磁弁装置７０、及び減圧弁７１は不図示の制御装置で制御され、アクチュエータ６１への流体の供給圧力、及び供給の有無を切り替えることで、アクチュエータ６１の動作を制御する。なお、本実施形態では、電磁弁装置７０は、電源がＯＦＦで閉状態となる。

液体部６６は、流体として油Ｏ（液体）をアクチュエータ６１に導入しアクチュエータ６１を駆動する。

気液変換部７３は、気体部６７から導入された空気Ａの圧力を、液体部６６における油Ｏの圧力に変換する。

ここで、液体部６６は、気液変換部７３とアクチュエータ６１との間に設けられた絞り部７４と、この絞り部７４に並列に設けられたバイパス流路７５と、バイパス流路７５に設けられた弁装置７６とをさらに有している。

絞り部７４は、油Ｏの流動抵抗を増大して工具振動の減衰を利かせるようにして、配管７７ｂの内径、即ち、空気Ａの流路の断面積が一部縮径するように設けられた部材であり、例えば配管７７ｂよりも内径が小さな配管である。

バイパス流路７５は、絞り部７４を介さずに油Ｏを流通させる流路を形成する配管７７ｃとなっている。
また、弁装置７６はいわゆる逆止弁であって、液体部６６から気体部６７に向かう方向にのみバイパス流路７５を開放し、油Ｏを流通させる。

アクチュエータ６１は、複数が研磨ディスク部１０ａの周方向に互いに等間隔に設けられている。なお、本実施形態ではこのアクチュエータ６１は三つが設けられている。

各々のアクチュエータ６１は、筒状のシリンダ８０と、シリンダ８０に対して摺動しながら把持部４から研磨工具１０に向かって進退可能に設けられたピストン８１とを有している。

シリンダ８０の側面であって、ピストン８１よりも研磨工具１０側の位置には給油ポート８０ａが形成されている、給油ポート８０ａには液体部６６からの配管７７ｂが接続されており、液体部６６から油Ｏが導入されるようになっている。油Ｏがシリンダ８０内に導入されると、ピストン８１を把持部４に向かって押し上げることで、把持部４に対する研磨ディスク部１０ａの相対位置を調整する。

ここで上述したように、ピストン８１の移動量は、気体部６７に設けられた電磁弁装置７０及び減圧弁７１を上記制御装置によって制御することで、調整可能となっている。

付勢部材６２は、例えばコイルバネ等の弾性部材であって、シリンダ８０内のピストン８１よりも把持部４側で、シリンダ８０の底面とピストン８１との間に介在されている。
この付勢部材６２は、研磨ディスク部１０ａが加工対象面２０に対して一定の力Ｆで加工対象面２０に当接している状態で、研磨ディスク部１０ａが加工対象面２０から離間するように付勢力を付与している。

より具体的には、付勢部材６２は、液体部６６からの油Ｏの圧力がシリンダ８０内に作用しない状態で、付勢部材６２の付勢力によって研磨工具１０を把持部４側に持ち上げ可能な程度に、研磨工具１０の自重等を考慮してバネ定数が決定されている。
なお、付勢部材には、ゴム部材や板バネ等、様々な弾性部材を適用可能である。

支持部５１は、各アクチュエータ６１に対応するように、把持部４の周りに離間して複数配置されている。なお本実施形態では、三つが互いに周方向に等間隔に離間して配置されている。（なお、図示都合上、図４では三つの支持部５１のうち、二つのみが記載されている。）

各々の支持部５１は、研磨加工の前後にわたって加工対象面２０上に接触して研磨工具１０を加工対象面２０上に支持する。また研磨加工を行う前後の初期状態では、支持部５１が加工対象面２０上に接触した状態で、研磨ディスク部１０ａが加工対象面２０から離間するように、支持部５１が研磨ディスク部１０ａよりも加工対象面２０側に突出するように設けられている（図４（ａ）参照）。

この支持部５１は、加工対象面２０に当接した状態で回転する球面ローラ部５１ａと、球面ローラ部５１ａと一体に接続される支持部ロッド５１ｂと、支持部ロッド５１ｂを外周把持部材４２に固定する支持部接続部材５１ｃとを有している。

球面ローラ部５１ａは、回転可能に配置された球状部材を有しており、加工対象面２０に当接して球状部材が回転することで、加工対象面２０上で研磨装置１全体を移動可能としている。

支持部ロッド５１ｂは、球面ローラ部５１ａから鉛直方向上方に円柱状をなして延びる棒部材であり、球面ローラ部５１ａが設けられた端部とは反対側の端部に、雄ねじ部５１ｂ１が形成されている。

支持部接続部材５１ｃは、矩形板状の金属板で、雌ねじ部５１ｃ１が形成された孔部が一方の端部に形成されている。そして、この雌ねじ部５１ｃ１に支持部ロッド５１ｂの雄ねじ部５１ｂ１が螺合することで、支持部接続部材５１ｃが支持部ロッド５１ｂに固定されている。また、この支持部接続部材５１ｃは、雌ねじ部５１ｃ１の形成されていない側の他方の端部で外周把持部材４２に固定されている。

ここで、本実施形態では、押込量調整装置３は加工対象面２０の状態を検出する加工状態検出部７をさらに備えている。

加工状態検出部７は、支持部５１の支持部ロッド５１ｂに取り付けられる色差センサーであり、加工対象面２０の色差を測定し、信号を出力することで加工対象面２０の状態を検出している。

加工状態検出部７は、球面ローラ部５１ａよりも加工対象面２０から離れるように配置されて支持部５１の支持部ロッド５１ｂに固定されており、球面ローラ部５１ａが加工対象面２０に当接しても加工状態検出部７である色差センサーが加工対象面２０から一定の距離だけ離間するよう配置されている。さらに、この加工状態検出部７は、研磨ディスク部１０ａの径方向外側に各支持部ロッド５１ｂから突出するように設けられており、研磨ディスク部１０ａがいずれの方向に移動した場合であっても、研磨加工を行う前に、加工対象面２０の色差を測定することが可能とされている。

また、加工状態検出部７は、信号を不図示の制御装置に出力し、この制御装置によって移動機構６０の電磁弁装置７０や減圧弁７１の制御が行われ、研磨加工の実施や、停止、終了が選択されるようになっている。

即ち、加工状態検出部７である色差センサーでの検出結果が、予め定めた閾値を超えている場合に、塗膜の剥離が終了したものとして信号を出力する。本実施形態の場合、加工対象面２０の塗膜の色と下地層との色との色差から、予め閾値となる色差の値を決定しておき、塗膜が剥離され下地層が露出したか否かを判定する。

ここで、本実施形態では、押込量調整装置３は、図１から図４に示すように、把持部４と研磨工具１０との間に設けられた進退機構９０と、研磨工具１０のトラバース移動の移動速度を検出する検出部９１と、検出部９１の検出信号に基づいて進退機構９０の動作を制御する制御部９５とをさらに備えている。
なお、これら進退機構９０、検出部９１、及び制御部９５は必ずしも設けられなくてもよい。

進退機構９０は、把持部４と研磨ディスク部１０ａとの間に配されて、研磨ディスク部１０ａを加工対象面２０に対して近接する方向、及び離間する方向に移動させる。そして、研磨ディスク部１０ａが加工対象面２０に当接した状態で加工対象面２０に対して荷重（力Ｆ）を作用させるように、把持部４に対する研磨ディスク部１０ａの相対位置を調整する。
本実施形態では、移動機構６０が進退機構９０の機能を兼ねており、即ち、進退機構９０はアクチュエータ６１、付勢部材６２、流体供給部６５、及び支持部５１を有している。また、図示の例では、移動機構６０と進退機構９０とは一体となっているが、これら移動機構６０と進退機構９０とは別体で設けられてもよい。

検出部９１は、研磨工具１０が加工対象面２０に沿って移動するトラバース移動を行う際の、研磨工具１０の移動速度を検出する速度センサ９２を有している。
この速度センサ９２には、例えば支持部５１の球面ローラ部５１ａに設けられたロータリエンコーダや、研磨工具１０にレーザー光を照射し、その反射光から研磨工具１０の移動速度を検出するレーザードップラー速度計等、種々の公知の速度計を適用することができる。

さらに図５に示すように、検出部９１は、速度センサ９２に代え、研磨工具１０のトラバース移動の様子を撮影するカメラ９３を有していてもよい。カメラ９３は、研磨加工作業を行う作用場の外部に設置される。
この場合、検出部９１では、撮影した動画から研磨工具１０の移動速度を検出し、検出信号を生成するようになっている。

制御部９５は、検出部９１からの研磨工具１０の移動速度の検出信号に基づいて、電磁弁装置７０で流体の圧力を調整する。具体的には、研磨工具１０の移動速度が小さくなるにつれて、進退機構９０に対して、研磨工具１０を加工対象面２０から離間する方向に退避するように制御を行う。これにより、上記の荷重（力Ｆ）が低減される。

より詳細には図６に示す通りとなっており、トラバース移動（Ｘ方向への移動）の折り返し位置Ｐ１、Ｐ２で研磨工具１０の移動速度Ｖが０となるとともに、位置Ｐ１から位置Ｐ２（又は位置Ｐ２から位置Ｐ１）に向かって移動速度は徐々に増大して最大となった後に徐々に減少する。
そして、このような移動速度Ｖの変化に対応するように、位置Ｐ１、Ｐ２で研磨工具１０から加工対象面２０に付与される荷重（力Ｆ）が最小となっているとともに、位置Ｐ１から位置Ｐ２（又は位置Ｐ２から位置Ｐ１）に向かって荷重（力Ｆ）は徐々に増大して最大となった後に徐々に減少するように、制御部９５が進退機構９０を動作させる。

このような研磨装置１によると、まず、加工対象面２０の研磨加工を行う際には図４（ａ）に示すように、加工対象面２０に支持部５１の球面ローラ部５１ａを接触させる。その後、電磁弁装置７０を開状態として、図４（ｂ）に示すように気体部６７からの空気Ａの圧力を、気液変換部７３で油Ｏの圧力に変換し、液体部６６によって油Ｏをアクチュエータ６１へ導入する。

この際、減圧弁７１によって空気Ａの圧力を調整することで油Ｏの圧力の調整を行い、アクチュエータ６１を移動させ、加工対象面２０に研磨ディスク部１０ａから作用する荷重を設定する。そして、研磨ディスク部１０ａから加工対象面２０に対して一定の力Ｆを作用させ、研磨加工中はこの状態を維持する。

このように、アクチュエータ６１、即ち、押込量調整装置３の移動機構６０によって、加工対象面２０の研磨加工を行う際には研磨工具１０を把持部４に対して相対移動させることができる。そして、研磨ディスク部１０ａを加工対象面２０に近接させて当接させ、加工対象面２０に対して作用させる力Ｆを一定に保つことができる。従って、作業者の技量によらずに加工対象面２０を安定して加工することが可能となる。

さらに、アクチュエータ６１によって研磨工具１０を把持部４に対して相対移動させ、加工対象面２０から研磨ディスク部１０ａを離間させることで、所望のタイミングで作業者の技量によらずに加工対象面２０の加工を停止、終了することが可能となる。

また、アクチュエータ６１のシリンダ８０内に付勢部材６２を設けたことで、加工対象面２０の研磨加工を終了させる際には、電磁弁装置７０に電気信号を与えて閉状態とすると、アクチュエータ６１への油Ｏの供給が停止し、アクチュエータ６１へ油Ｏの圧力が作用しなくなる。この際、付勢部材６２の付勢力がピストン８１に作用して、シリンダ８０に対してピストン８１を加工対象面２０側に向かって押し下げ、油Ｏをシリンダ８０内から排出する。この結果、研磨工具１０が把持部４側に持ち上げられ、研磨ディスク部１０ａが加工対象面２０から離間する。

このように、付勢部材６２の付勢力のみによって、油Ｏの排出を行って、研磨ディスク部１０ａを加工対象面２０から離間させることができる。従って、油Ｏを排出する機構を別途設けなくともよく、簡易な構成で研磨加工を停止、終了させることができる。

また、付勢部材６２の付勢力のみによって研磨ディスク部１０ａを加工対象面２０から離間させることが可能であることで、仮に、電磁弁装置７０への電源に不具合が生じ、電磁弁装置７０に電力が供給されず電磁弁装置７０がＯＦＦの状態となった場合にも、自動的に研磨ディスク部１０ａを加工対象面２０から離間させることができる。即ち、研磨工具１０が安全側に動作するフェールセーフ機能を研磨装置１に付加することができる。

さらに、研磨ディスク部１０ａを空気Ａ及び油Ｏの圧力、即ち流体の力を用いて加工対象面２０に当接させるため、加工対象面２０に凹凸がある場合などで、研磨ディスク部１０ａに加工対象面２０からの衝撃が生じた際には、流体の減衰作用によってこのような衝撃を吸収することが可能となる。

また、空気Ａの圧力を油Ｏの圧力に変換してアクチュエータ６１を駆動する。即ち、アクチュエータ６１には粘性流体である油Ｏが導入されることになる。このため、研磨ディスク部１０ａからの振動を減衰することが可能となり、アクチュエータ６１がダンピング機能を有することになる。

さらに、流体として空気Ａと油Ｏとを併用することで、油Ｏのみを用いる場合に比べ、仮に油Ｏが漏れたとしても、漏れ量を最小限に抑えることができるため、メンテナンスが容易となる。さらに、空気Ａとして工場エア等を用いることが可能となるため、押込量調整装置３の設置位置の自由度が高まることや、容易に圧力の高い気体を得ることができるためコストを抑えることができる。

また、液体部６６には絞り部７４が設けられているため、研磨ディスク部１０ａからの振動を減衰する作用を増大させることができる。

さらに、絞り部７４と並列してバイパス流路７５が設けられ、弁装置７６によってこのバイパス流路７５を油Ｏの排出時に開放する。よって、油Ｏがアクチュエータ６１から絞り部７４を介さずにバイパス流路７５を流通し、油Ｏをアクチュエータ６１から油Ｏを速やかに排出することができる。従って、速やかに研磨ディスク部１０ａを加工対象面２０から離間させることができる。

ここで、仮に進退機構９０が設けられていない場合、研磨加工の始端位置や終端位置、もしくは、折り返し位置で研磨工具１０が停留する時間が長くなり、これらの位置で加工対象面２０を必要以上に研磨してしまう可能性や、加工対象面２０の研磨度合の不均一性が大きくなってしまう可能性がある。特に作業者の技量が未熟な場合、研磨工具１０が一か所に停留する時間を短くするように研磨工具１０を動作させることが難しく、研磨のし過ぎや、研磨度合の不均一性が顕著になる。このため、作業者の技量によって加工品質がばらついてしまい、作業者の技量が未熟であると加工対象面を安定して加工できないという問題が生じる。

そして本実施形態では、進退機構９０が設けられている。よって、研磨工具１０がトラバース移動する際、研磨加工の始端位置、終端位置、及び折り返し位置で研磨工具１０の移動速度が遅くなると、この速度に基づいて制御部９５及び進退機構９０によって研磨工具１０を加工対象面２０から離間させる方向に移動させることができる。この結果、研磨工具１０から加工対象面２０に作用する押し付け力Ｆを低減することが可能となる。

従って、作業者の技量によらず、始端位置、終端位置、及び折り返し位置において、必要以上に同じ位置で加工対象面２０を加工してしまうことがなくなり、研磨のし過ぎや、加工対象面２０の研磨加工度合いの不均一性の発生を抑制することができる。

本実施形態の研磨装置１によると、把持部４と研磨工具１０との間に移動機構６０を設けたことで、加工対象面２０を容易に、かつ、安定して研磨加工することが可能である。

ここで、例えば、図７に示すように、バイパス流路７５には設けられた弁装置７６Ａとして、逆止弁の代わりに電気式の遮断弁を用いてもよい。この場合、シリンダ８０内の圧力が高くなっている場合であっても、油Ｏの逆流を抑制し、油Ｏによる振動減衰効果を向上させることができる。

また、図８に示すように、上述のアクチュエータ６１に代え、各アクチュエータ１０１は、第一シリンダ１１０及び第一ピストン１１１と、第二シリンダ１２０及び第二ピストン１２１とを並列に設けた構成となっていてもよい。

即ち、第一シリンダ１１０に給油ポート８０ａが形成され、この給油ポート８０ａに液体部６６が接続されている。
ここで、液体部６６には、気体部６７とは別系統で油Ｏを供給可能とするオイルリザーバ１０５が設けられており、オイルリザーバ１０５と給油ポート８０ａとが絞り部７４及びバイパス流路７５を介して接続されている。

また第二シリンダ１２０には給油ポート８０ａと同様の給気ポート１２０ａが形成され、この給気ポート１２０ａに気体部６７が接続されている。

さらに、第二シリンダ１２０のみに、シリンダ８０同様に付勢部材６２を設ける。そして、第一ピストン１１１と第二ピストン１２１とを剛結する。

このような構成によって、アクチュエータ１０１でも、上述したアクチュエータ６１と同様にダンピング効果を有しつつ、研磨ディスク部１０ａを動作させることが可能となる。

さらに、図９に示すように、上述のアクチュエータ６１に代え、各アクチュエータ２０１は、内部に空圧室Ｓ１と油圧室Ｓ２との二つの空間が形成されたシリンダ２２０とこれら二つの空間にわたってシリンダ２２０内に設けられたピストン２２１とを有していてもよい。

より具体的には、シリンダ２２０には、加工対象面２０側（図９の紙面に向かって下側）と、把持部４側（図７の紙面に向かって上側）との間で内部を区画するフランジ状の区画部２２０ｂが設けられている。この区画部２２０ｂによって、シリンダ２２０の内部の空間のうち加工対象面２０側の空間が油圧室Ｓ２とされ、把持部４側の空間が空圧室Ｓ１とされている。

ピストン２２１は、空圧室Ｓ１と油圧室Ｓ２との間にわたって、シリンダ２２０に対して相対移動可能に配されている。
このピストン２２１は、空圧室Ｓ１内に設けられてシリンダ２２０内面との間で摺動可能な円板状をなす第一摺動部２２１ａと、油圧室Ｓ２内に設けられてシリンダ２２０内面との間で摺動可能な円板状をなす第二摺動部２２１ｂと、区画部２２０ｂを貫通してこれら第一摺動部２２１ａと第二摺動部２２１ｂとを接続する接続部２２１ｃとを有している。

ここでシリンダ２２０には、空圧室Ｓ１に対応する位置で給気ポート１２０ａが形成され、油圧室Ｓ２に対応する位置で給油ポート２２０ａが形成されている。給油ポート２２０ａとしては、区画部２２０ｂと第二摺動部２２１ｂとの間に配された第一給油ポート２２０ａ１、及び、第二摺動部２２１ｂとシリンダ２２０の底面との間に配された第二給油ポート２２０ａ２の合計二つが形成されている。

給気ポート１２０ａには気体部６７が接続され、給油ポート２２０ａには液体部６６が接続されている。

給油ポート２２０ａについては、第一給油ポート２２０ａ１がオイルリザーバ１０５に直接接続され、第二給油ポート２２０ａ２がオイルリザーバ１０５に絞り部７４及びバイパス流路７５を介して接続されている。

さらに、空圧室Ｓ１内のみに付勢部材６２が設けられている。

このような構成によって、アクチュエータ２０１でも、上述したアクチュエータ６１、１０１と同様にダンピング効果を有しつつ、研磨ディスク部１０ａを動作させることが可能となる。

また、図１０に示すように、アクチュエータ３０１が上述したものとは異なっていてもよい。即ち、複数のアクチュエータ３０１のうちの一つのみがピストン８１が揺動しないように固定された固定アクチュエータ３１１となっており、残りがピストン８１が揺動する可動アクチュエータ３２１となっている。
なお、図１０では図示の都合上、可動アクチュエータ３２１は一つのみを示している。

固定アクチュエータ３１１では、把持部４に対してピストン８１が剛結されるとともに、研磨工具１０に対してシリンダ８０が球面ジョイント３５０を介して接続されている。
なお、図１０の例では、把持部４に雌ねじ３３０を形成し、アクチュエータ６１におけるピストン８１に雄ねじ３４０を形成し、これらを螺合させることで把持部４に固定アクチュエータ３１１を剛結している。
ここで、把持部４からは、この固定アクチュエータ３１１におけるシリンダ８０に向かって延びて、シリンダ８０を加工対象面２０に向かって直動させるようにガイドするリニアガイド３６０が設けられている。

可動アクチュエータ３２１では、把持部４に対してピストン８１が球面ジョイント３５０を介して接続されていもとともに、シリンダ８０も研磨工具１０にはユニバーサルジョイント又は球面ジョイント３５０を介して接続されている。

ここで、例えば、加工対象面２０が平面ではなく球面である場合や、加工対象面２０が傾斜していたり、うねりが生じたりしている場合には、図１０（ａ）のように加工対象面２０の広がる方向に対して研磨工具１０が傾斜しない状態から、図１０（ｂ）に示すような研磨工具１０が傾斜する状態とすることで、研磨ディスク部１０ａの片当たりを防ぐ必要がある。

このような場合であっても、アクチュエータ３０１を採用することで、加工対象面２０の状態に追従して研磨工具１０も傾斜することが可能となり、加工対象面２０の状態に合わせて研磨加工が可能となる。

さらに、アクチュエータ３０１を採用することで、作業者が研磨を加速させるべく、研磨ディスク部１０ａを、積極的に片当て状態を模擬することも可能である。

また、このように一つのアクチュエータ３０１（固定アクチュエータ３１１）のみを把持部４に剛結することで、研磨工具１０が図１０（ｂ）に示す状態になった場合でも、支持部５１に研磨工具１０が接触してしまうことを回避できる。
さらに、固定アクチュエータ３１１がリニアガイド３６０によって支持されていることで、把持部４に対する研磨工具１０のねじれを抑制することができる。

〔第二実施形態〕
次に、図１１を参照して、本発明の第二実施形態の研磨装置４０１について説明する。
第一実施形態と同様の構成要素には同一の符号を付して詳細説明を省略する。
本実施形態の研磨装置４０１は、トラバース機構４０２をさらに備えている点で、第一実施形態の研磨装置１とは異なっている。

トラバース機構４０２は、加工対象面２０に接触して加工対象面２０から離間する方向に延びる支持脚４０５と、支持脚４０５によって加工対象面２０から離間する位置で支持されたテーブル４０６とを有している。

テーブル４０６は、互いに離間して配されて平行に延びる板状をなす一対の第一支持部４０７と、一対の第一支持部４０７同士の間にわたって配されるとともに、第一支持部４０７の延びる方向（以下、Ｙ方向とする）に移動するように、第一支持部４０７に対して相対移動可能に支持された第二支持部１０８とを有している。

第二支持部４０８は、Ｙ方向に直交するＸ方向に延びる板状をなしている。第二支持部４０８には、研磨工具１０及び押込量調整装置３が吊り下げられており、研磨工具１０が加工対象面２０に対向して配置されている。この第二支持部４０８には、例えばブラケット（不図示）が設けられ、このブラケット、及び後述する第一駆動部４１２ａの構成部品によって第二支持部４０８に研磨工具１０及び押込量調整装置３が吊り下げられる。

支持脚４０５は、一対の第一支持部４０７のＹ方向の両端部の位置で第一支持部４０７に取り付けられて、加工対象面２０に向かって延びる棒状をなす部材である。
各々の支持脚４０５の先端にはローラ４１０（球面ローラや車輪等）が設けられ、このローラ４１０が加工対象面２０上を転動可能になっている。

ここで、トラバース機構４０２はさらに、予め定められた研磨工具１０の移動経路をデータとして記憶する記憶部４１１と、研磨工具１０及び押込量調整装置３をＸ方向及びＹ方向に移動可能とする駆動部４１２と、記憶部４１１のデータに基づいて駆動部４１２を制御する駆動制御部４１３とを有している。

記憶部４１１は、上記の移動経路の所定のデータを記憶している。
この所定のデータには、例えば、モーションキャプチャ等を用いて熟練作業者の手動での作業時における研磨工具１０の移動軌跡を取得したもの等を用いることができるが、これに限定されるものではない。

駆動部４１２は、例えば研磨工具１０及び押込量調整装置３と第二支持部４０８との間の間に介在されて設けられた第一駆動部４１２ａと、第一支持部４０７と第二支持部４０８との間に介在されて設けられた第二駆動部４１２ｂとを有している。

第一駆動部４１２ａは、図示は省略するが、例えば第二支持部４０８の下面に設けられたレールと、押込量調整装置３（または研磨工具１０）に設けられて上記レール上を転動する車輪と、車輪を転動させる電動モータとを有している。

第二駆動部４１２ｂは、図示は省略するが、例えば第一支持部４０７の上面に設けられたレールと、第二支持部４０８に設けられて上記レール上を転動する車輪と、車輪を転動させる電動モータとを有している。

これにより、駆動部４１２は、研磨工具１０及び押込量調整装置３を加工対象面２０上でＸ方向、Ｙ方向にトラバース移動可能としている。ここで、トラバース移動とは、加工対象面に沿う方向の移動を示す。

駆動制御部４１３は、記憶部４１１のデータに基づいて上記の各経路に沿って研磨工具１０を自動でＸ方向、Ｙ方向にトラバース移動させるように、駆動部４１２を制御する。
本実施形態では、駆動制御部４１３は、記憶部４１１及び第一駆動部４１２ａの構成部品と一体に設けられている。

本実施形態の研磨装置４０１によると、トラバース機構４０２を設けることで、作業者の技量によらず、予め定められた経路に沿って研磨工具１０を加工対象面２０上で、自動でトラバース移動させることが可能となる。このため、必要以上に同じ位置で加工対象面２０を加工してしまうことがなくなる。

ここで、例えば手動で研磨加工を行った場合、加工の始端位置や終端位置、もしくは、折り返し位置（図６に示す位置Ｐ１、Ｐ２参照）では、研磨工具１０が停留する時間が長くなり、加工対象面２０を必要以上に加工してしまう可能性や、加工の不均一性が大きくなる可能性が生じてしまう。
特に作業者の技量が未熟な場合、研磨工具１０が一か所に停留する時間を短くするように研磨工具１０を動作させることが難しく、加工対象面２０の加工し過ぎや、加工対象面２０の加工の不均一性が顕著になる。

そこで、トラバース機構４０２を設け、記憶部４１１に例えば熟練の作業者による手動での研磨加工時における研磨工具１０の移動軌跡のデータを記憶し、このデータに基づく経路に沿って自動でトラバース移動させることで、上述した加工対象面２０の加工し過ぎや、加工対象面２０の加工の不均一性のような問題を解決することが可能となる。

ここで、本実施形態の研磨装置４０１には、トラバース機構４０２に代えて、図１２に示すトラバース機構４０２Ａを設けてもよい。
即ち、トラバース機構４０２Ａの各々の支持脚４０５の先端には、ローラ４１０に代えて、加工対象面２０に吸着可能な吸盤４１０Ａが設けられている。

このような吸盤４１０Ａによって、加工対象面２０が鉛直方向に沿って延在している場合であっても、加工対象面２０上にテーブル４０６を固定することができ、研磨加工を容易に行うことができる。
なお、加工対象面２０が水平方向に沿って延在している場合であっても、吸盤４１０Ａによって研磨加工を容易に行うことができる。

ここで、図１２に示す研磨装置４０１には、テーブル４０６（例えば支持脚４０５等）を上方から吊り下げて、研磨工具１０、押込量調整装置３、及びトラバース機構４０２Ａの落下を防止するロープ、バランサ等（エアバランサ）の保持部材４２０が設けられていてもよい。

また、本実施形態の研磨装置４０１には、トラバース機構４０２に代えて、図１３に示すトラバース機構４０２Ｂを設けてもよい。
即ち、トラバース機構４０２Ｂの駆動部４１２Ｂは、アーム４３０、及び、走行路ＲＯ上を走行可能な走行部４３１を有するマニピュレータとなっている。
アーム４３０は研磨工具１０及び押込量調整装置３を把持しており、アーム４３０及び走行部４３１は、これら研磨工具１０を加工対象面２０上のＸ方向及びＹ方向の任意の方向に、記憶部４１１のデータに基づいて自動でトラバース移動を可能としている。
このような駆動部４１２Ｂを用いる場合でも、加工対象面２０の加工し過ぎや、加工の不均一性の発生を効果的に抑制することができる。

以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、実施形態における各構成及びそれらの組み合わせ等は一例であり、本発明の趣旨から逸脱しない範囲内で、構成の付加、省略、置換、およびその他の変更が可能である。また、本発明は実施形態によって限定されることはなく、クレームの範囲によってのみ限定される。

例えば、アクチュエータ６１（１０１、２０１、３０１）における給油ポート（８０ａ、１２０ａ、２２０ａ）が、ピストン８１（１１１、２２１）が初期状態（例えば研磨加工前であって、加工対象面２０から研磨ディスク部１０ａが離間している状態）に対応する位置にある場合にピストン８１によって閉塞されるようにしておいてもよい。このような位置に給油Ｏポートを形成しておくことで、作業者がピストン８１を軽く移動させることで、給油ポート８０ａが開口し、液体部６６からの油Ｏがシリンダ８０内へ導入され始める。即ち、作業者の動作がトリガとなって、半自動でアクチュエータ６１を駆動し、研磨工具１０を動作させることが可能となる。

また、付勢部材６２、流体供給部６５を設けずに、電気で駆動するアクチュエータを用いて、電気的に研磨工具１０の位置を制御してもよい。

また、上述の実施形態では、流体供給部６５が気体部６７と液体部６６とを組み合わせた構成となっているが、例えば気体部６７のみや、液体部６６のみから構成されていてもよい。さらに、気体として空気Ａ以外の気体を用いてもよいし、液体として油Ｏ以外の液体を用いてもよい。

さらに、把持部４及び研磨工具１０を支持する部材として加工対象面２０上に接触する支持部５１を設け、この支持部５１にアクチュエータ６１（１０１、２０１、３０１）を設けていたが、例えば、支持部５１に代えて工場の設備に直接アクチュエータ６１を取り付けてもよい。このようにすることで、研磨装置１をハンディな装置ではなく、据付型の装置とすることができる。

また、把持部４は、加工に際して工具本体である研磨ディスク部１０ａから加工対象面２０に対して作用する力では変形しない剛性を有する材料によって形成されていればよく、金属材料や樹脂材料等の種類は問わない。

また、加工状態検出部７は、本実施形態の色差センサーに限定されるものでない。例えば、小型カメラを支持部５１に取り付けることによって、加工対象面２０の状態を目視で確認することで検出を行ってもよい。さらに、研磨加工によって塗膜から剥離された粉塵を吸引し、この粉塵を用いて加工対象面２０の状態を算出することで検出を行ってもよい。また、研磨工具１０とは別に離れた場所にカメラを設置しておき、加工対象面２０を広範囲にわたって確認することで加工対象面２０の状態を検出してもよい。即ち、加工対象面２０の状態を検出する方法としては、色の変化に限定されるものではなく、例えば、光学分析や表面温度等によって検出してもよい。

さらに、例えばＬＥＤ等を用いて、研磨工具１０の周辺の加工対象面２０の状態の変化を検出すると同時に、作業者に研磨加工の足りない部分を知らせるようにしてもよい。

また、研磨工具１０の周辺の加工対象面２０の状態の変化を検出すると同時に、研磨ディスク部１０ａの回転を停止したり回転数を変化させたりしてもよいし、移動機構６０によってアクチュエータ６１（１０１、２０１、３０１）を動作させて、加工対象面２０に対して研磨ディスク部１０ａを持ち上げたり、押し付けたりしてもよい。

さらに、加工対象面２０の状態に関わりなく、研磨工具１０の動作を停止させたり起動させたりするスイッチや、保守点検用、動作チェック用のスイッチを設けてもよい。

また、上述の実施形態では、研磨ディスク部１０ａが回転することで加工対象面２０の研磨加工を行うようになっている回転式の研磨装置について説明したが、研磨ディスク部１０ａが振動や揺動することで研磨加工を行う振動式や揺動式の研磨装置に上述の実施形態の構成を適用してもよい。

ここで、検出部９１では、速度センサ９２に代え、加速度センサを有していてもよい。
この場合、検出部９１では、例えば、加速度センサからの検出信号が急激に変化して減速度が大きくなった際に研磨工具１０の速度が遅くなったと判断し、一方、加速度センサからの検出信号の変化が小さい場合には、研磨工具１０の速度は一定と判断する。このようにして、検出部９１が研磨工具１０の移動速度の検出信号を生成するようになっている。
加速度センサは、例えば、機械式のセンサ、光学式のセンサ、静電容量型等の半導体式のセンサなど、種々の公知の加速度計を適用することができる。

また、制御部９５は、例えば、検出部９１の移動速度の検出信号が、所定の値より小さくなった場合、即ち、研磨工具１０の移動速度が所定よりも遅くなった場合にのみ、進退機構９０を動作させて、研磨工具１０を加工対象面２０から離間させる方向に退避させてもよい。

上記の押込量調整装置、及び研磨装置よると、移動機構を設けたことで、加工対象面を容易に、かつ、安定して加工することが可能である。

１…研磨装置
３…押込量調整装置
４…把持部
７…加工状態検出部
１０…研磨工具
１０ａ…研磨ディスク部
１０ｃ…エア源
１０ｄ…電磁バルブ
１０ｆ…レバー
１０ｅ…スイッチ部
２０…加工対象面
４２…外周把持部材
５１…支持部
５１ａ…球面ローラ部
５１ｂ…支持部ロッド
５１ｂ１…雄ねじ部
５１ｃ…支持部接続部材
５１ｃ１…雌ねじ部
６０…移動機構
６１…アクチュエータ
６２…付勢部材
６５…流体供給部
６６…液体部
６７…気体部
７０…電磁弁装置
７１…減圧弁
７３…気液変換部
７４…絞り部
７５…バイパス流路
７６…弁装置
７６Ａ…弁装置
７７ａ、７７ｂ、７７ｃ…配管
８０…シリンダ
８０ａ…給油ポート
８１…ピストン
９０…進退機構
９１…検出部
９２…速度センサ
９３…カメラ
９５…制御部
１０１…アクチュエータ
１０５…オイルリザーバ
１１０…第一シリンダ
１１１…第一ピストン
１２０…第二シリンダ
１２０ａ…給気ポート
１２１…第二ピストン
２０１…アクチュエータ
２２０…シリンダ
２２０ａ…給油ポート
２２０ａ１…第一給油ポート
２２０ａ２…第二給油ポート
２２０ｂ…区画部
２２１…ピストン
２２１ａ…第一摺動部
２２１ｂ…第二摺動部
２２１ｃ…接続部
Ｓ１…空圧室
Ｓ２…油圧室
３０１…アクチュエータ
３１１…固定アクチュエータ
３２１…可動アクチュエータ
３３０…雌ねじ部
３４０…雄ねじ部
３５０…ユニバーサルジョイント又は球面ジョイント
４０１…研磨装置
４０２、４０２Ａ、４０２Ｂ…トラバース機構
４０５…支持脚
４０６…テーブル
４０７…第一支持部
４０８…第二支持部
４１０…ローラ
４１１…記憶部
４１２、４１２Ｂ…駆動部
４１２ａ…第一駆動部
４１２ｂ…第二駆動部
４１３…駆動制御部
４１０Ａ…吸盤
４２０…保持部材
４３０…アーム
４３１…走行部
ＲＯ…走行路
Ｆ…力
Ａ…空気
Ｏ…油

Claims (10)

1. 加工対象面に当接可能とされる工具本体を支持する把持部と、
   前記把持部と前記工具本体との間に設けられて、該工具本体を加工対象面に対して近接する方向、及び離間する方向へ移動させる移動機構と、
   を備え、
   前記移動機構は、前記工具本体が前記加工対象面に当接した状態で、該加工対象面に対して一定の力を作用させることが可能であり、前記工具本体を前記加工対象面に対して近接する方向、及び離間する方向へ進退させることが可能であり、
   前記工具本体を前記加工対象面に沿ってトラバース移動した際の移動速度を検出する検出部と、
   前記検出部で検出した前記移動速度が所定よりも遅くなった場合にのみ、前記工具本体を前記加工対象面から離間する方向に動作させるように前記移動機構を制御する制御部と、
   をさらに備える押込量調整装置。
2. 前記移動機構は、前記工具本体が前記加工対象面に当接した状態から、該加工対象面に対して離間するように前記工具本体に付勢力を付与する付勢部材を有する請求項１に記載の押込量調整装置。
3. 前記移動機構は、流体の圧力によって駆動されるアクチュエータと、
   前記アクチュエータへ流体を供給する流体供給部と、
   を有する請求項１又は２に記載の押込量調整装置。
4. 前記流体供給部は、前記流体として気体を前記アクチュエータに向かって流通させる気体部と、
   前記流体として液体を前記アクチュエータに導入して該アクチュエータを駆動する液体部と、
   前記気体部と前記液体部との間に設けられ、前記気体の圧力を前記液体の圧力に変換する気液変換部と、
   を有する請求項３に記載の押込量調整装置。
5. 前記流体供給部は、前記流体の流動抵抗を増大する絞り部を有する請求項３又は４に記載の押込量調整装置。
6. 前記流体供給部は、前記絞り部と並列して設けられたバイパス流路と、
   前記アクチュエータから前記流体が排出された際に、該バイパス流路を開放可能な弁装置と、
   を有する請求項５に記載の押込量調整装置。
7. 前記検出部は、前記移動速度を検出する速度センサを有する請求項１から６のいずれか一項に記載の押込量調整装置。
8. 前記検出部は、前記工具本体のトラバース移動の様子を撮影することで前記移動速度を検出するカメラを有する請求項１から６のいずれか一項に記載の押込量調整装置。
9. 請求項１から８のいずれか一項に記載の押込量調整装置と、
   前記押込量調整装置によって支持されるとともに前記加工対象面の研磨加工を行う工具本体と、
   を備える研磨装置。
10. 前記加工対象面上の予め定められた経路をデータとして記憶する記憶部と、
    前記工具本体をトラバース移動可能とする駆動部と、
    前記データに基づいて前記経路に沿って前記工具本体を自動でトラバース移動させる駆動制御部と、
    を有するトラバース機構をさらに備える請求項９に記載の研磨装置。

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