JP6412730B2 - エッジ位置検出装置、幅測定装置、及びその校正方法 - Google Patents
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Description
図1〜図5を参照して、第1の実施形態のエッジ位置検出装置について説明する。図1は、本実施形態のエッジ位置検出装置の校正の原理の概要を説明する図である。
(1)予め校正テーブルを作成する(校正点間座標を結ぶ校正折線を求める)。
(2)設定した光学座標で測定基準面の座標と結像面の座標との座標関係を示す真の校正カーブLrcを計算により求める。(図1(b)参照。)
(3)校正折線Lmの校正点間座標と、真の校正カーブLrcから求めた仮想校正点Prとの差を誤差として求め、この誤差を仮想校正点誤差テーブルとして記憶しておく。
(4)CCDカメラで検出したピクセルアドレスに対応するエッジ位置座標を、
校正テーブルを参照して求める。
(5)そして求めたエッジ位置について、仮想校正点誤差テーブルを参照して、補正されたエッジ位置を求める。(図1(c)参照)
即ち、CCDカメラの光学的な配置から、校正済みの校正点間の中央部Pmと幾何学的計算によって求まる真の校正カーブの仮想校正点Prとの差(誤差)を算出し、この誤差分を差し引いた位置を補正されたエッジ位置とする。
x =−tan(θ+α1)・(y−H0)+Xc
y=0のとき、x=Xc+H0・tanθ+dx1 だから、
Xc+H0・tanθ+dx1 = H0・tan(θ+α1)+Xc
H0・tanθ+dx1 = H0・tan(θ+α1)
dx1 = H0・tan(θ+α1)−H0・tanθ
dx1 = H0・[tan(θ+α1)−tanθ]
α1=tan-1(1・dx/H0・cosθ) を代入すると、
dx1 = H0・[tan(θ+ tan-1(1・dx/H0・cosθ))−tanθ]
直線Ca2の方程式は、
x =−tan(θ+α2)・(y−H0)+Xc
y=0のとき、x=Xc+H0・tanθ+dx1+dx2 だから、
Xc+H0・tanθ+dx1+dx2 = H0・tan(θ+α2)+Xc
H0・tanθ+dx1+dx2 = H0・tan(θ+α2)
dx1+dx2 = H0・tan(θ+α2)−H0・tanθ
dx1+dx2 = H0・[tan(θ+α2)−tanθ]
α2=tan-1(2・dx/H0・cosθ) を代入すると、
dx1+dx2 = H0・[tan(θ+ tan-1(2・dx/H0・cosθ))−tanθ]
結局、一般式は、
x = dx1+dx2+dxi+Xc+H0・tanθ
= H0・[tan(θ+ tan-1(i・dx/H0・cosθ))−tanθ] +Xc+H0・tanθ ・・・(1)
となる。
x−Xc+H0・tanθ= H0・[tan(θ+ tan-1(i・dx/H0・cosθ))−tanθ]
(x−Xc+H0・tanθ)/H0 = tan(θ+ tan-1(i・dx/H0・cosθ))−tanθ
(x−Xc+H0・tanθ)/H0+tanθ = tan(θ+ tan-1(i・dx/H0・cosθ))
tan-1 [(x−Xc+H0・tanθ)/H0+tanθ] = θ+ tan-1(i・dx/H0・cosθ)
tan[tan-1 [(x−Xc+H0・tanθ)/H0+tanθ]−θ] = i・dx/H0・cosθ
H0・[tan[tan-1 [(x−Xc+H0・tanθ)/H0+tanθ]−θ]] /(dx・cosθ) = i
よって、
i = H0・[tan[tan-1 [(x−Xc+H0・tanθ)/H0+tanθ]−θ]] /(dx・cosθ)・(2)
求めた座標からピクセルアドレスを算出する関数 i = g-1(x) と、ピクセルアドレスから座標を算出する関数 x = g(i) が求まったら、既存の校正折線Lmを示す関数 x = f(i) (逆関数 i = f-1(x) ) に対して以下のような操作を行う。
これら校正点の中間位置座標 xnc = (xn + xn+1)/2 に対するピクセルアドレス f-1(xnc) を求める。
En=g(f-1(xnc)) − xnc・・・・・(3)
となる。
x=((xnc-En)-xn)/(f-1(xnc)-in)・(i-in)+ xn
となり、これに、xcn = (xn + xn+1)/2
を代入すると、
x=(((xn + xn+1)/2-En)-xn)/(f-1((xn + xn+1)/2)-in)・(i-in)+xn
が求まる
以下、同様に、座標(f-1(xnc), (xnc-En)、(in+1, xn+1)の2点を通る式は、
x=((xn+1)-(xnc-En))/(in+1 - f-1(xnc))・(i- f-1(xnc))+ (xnc-En)
となり、これに、xcn = (xn + xn+1)/2
を代入すると、
x=((xn+1)-((xn + xn+1)/2-En))/(in+1 - f-1((xn + xn+1)/2))・(i- f-1((xn + xn+1)/2))+ ((xn + xn+1)/2-En)
が求まる。
第2の実施形態では、第1の実施形態で説明したエッジ位置検出装置30の2台を1組として、ステレオ方式で被測定物13bの幅両端部の夫々のエッジ値を測定して、幅を測定する幅測定装置40について、図6及び図7を参照して説明する。
2 エッジ位置演算部
3 浮き上がり補正演算部
4 幅演算部
13、13a、13b 被測定物
14、14b 校正板
16、16a、16b 下部光源
21 エッジ検出部
22 エッジ位置座標演算部
22a 校正テーブル
23 校正点間補間処理部
23a 仮想交点誤差テーブル
30 エッジ位置検出装置
40 幅測定装置
Claims (8)
- 被測定物のエッジ部を撮像するCCDカメラと、前記被測定物の測定基準面において、複数のエッジ基準位置を設定するための校正板と、
前記校正板のエッジ基準位置の撮像信号と、複数のエッジ位置基準位置(校正点)と、を予め対応付けした校正テーブルを備え、前記CCDカメラの撮像信号から、前記被測定物のエッジ位置を、前記校正テーブルを参照して求めるエッジ位置演算部と、を備えるエッジ位置検出装置であって、
前記CCDカメラはラインスキャン形のCCDカメラであって、当該CCDカメラの光軸は、前記被測定物の測定基準面の鉛直軸に対して予め定める角度傾斜させて、当該CCDカメラのエッジ位置測定範囲において、前記被測定物の端部下部角を常に撮像するように設定し、
前記エッジ位置演算部は、前記CCDカメラの撮像信号からエッジ位置に対応するピクセルアドレスを求めるエッジ検出部と、
前記校正テーブルを備え、当該校正テーブルを参照して、校正点間の中央位置座標を求めるエッジ位置座標演算部と、
前記校正点間を結ぶ真の校正カーブを前記CCDカメラの幾何学的な設定条件に基づいて計算により求め、前記校正点間を結ぶ校正折線と、前記中央位置座標に対応する前記真の校正カーブの仮想校正点座標との差を求め、各校正点間の差を仮想校正点誤差(En)テーブルとして作成しておく校正点間補間処理部と、を備え、
前記CCDカメラは、前記被測定物の端部下部角を撮像し、前記エッジ検出部は、撮像した当該端部下部角の撮像信号からピクセルアドレスを求め、
前記エッジ位置座標演算部は、前記校正テーブルを参照して、前記ピクセルアドレスに対応する測定基準(校正テーブル)座標での2つの校正点を求め、
前記校正点間補間処理部は、求めた前記ピクセルアドレスに対応する、前記仮想校正点誤差を参照して校正点補間演算を行い補正されたエッジ位置を求め、
前記エッジ位置検出装置は、前記CCDカメラで検出したカメラピクセルアドレスに対応する前記被測定物のエッジ位置を、前記校正テーブル及び前記仮想校正点誤差テーブルを参照して、仮想的に校正点を増やしてエッジ位置の測定誤差を軽減するようにしたことを特徴とするエッジ位置検出装置。 - さらに、前記被測定物の下部に下部光源を備え、当該下部光源の幅方向の寸法は、前記CCDカメラの視野の延長線の範囲をカバーするようにして、下部光源の幅方向寸法を小さく抑えるようにした請求項1に記載のエッジ位置検出装置。
- 被測定物の両端のエッジ部を予め設定された間隔で設定して撮像する一対のCCDカメラと、前記被測定物の測定基準面において、前記被測定物のエッジ位置の測定範囲において複数の幅基準位置(校正点)を設定する校正板と、
前記校正板の幅基準位置の撮像信号と、前記複数の校正点と、を予め対応付けした校正テーブルを備え、
夫々の前記CCDカメラの撮像信号から、前記被測定物の幅両端部のエッジ位置を、前記校正テーブルを参照して求めるエッジ位置演算部と、を備え、
さらに、求めた当該幅両端部のエッジ位置信号から前記被測定物の幅を求める幅演算部と、を備える幅測定装置であって、
前記CCDカメラはラインスキャン形のCCDカメラであって、当該CCDカメラの光軸は、前記被測定物の測定基準面の鉛直軸に対して予め定める角度傾斜させて、当該CCDカメラのエッジ位置測定範囲において、前記被測定物の下部角を常に撮像するように設定し、
前記エッジ位置演算部は、前記CCDカメラの撮像信号からエッジ位置に対応するピクセルアドレスを求めるエッジ検出部と、
前記校正テーブルを備え、当該校正テーブルを参照して、校正点間の中央位置座標を求めるエッジ位置座標演算部と、
前記校正点間を結ぶ真の校正カーブを計算により求め、前記校正点間を結ぶ校正折線と、
前記中央位置座標に対応する前記真の校正カーブの仮想校正点座標との差を求め、各校正点間の差を仮想校正点誤差(En)テーブルとして作成しておく校正点間補間処理部と、を備え、
夫々の前記CCDカメラは、前記被測定物の幅両端部下部角を撮像し、前記エッジ検出部は、撮像した当該端部下部角の撮像信号からピクセルアドレスを求め、
前記エッジ位置座標演算部は、前記校正テーブルを参照して、前記ピクセルアドレスに対応する測定基準(校正テーブル)座標での2つの校正点を求め、
前記校正点間補間処理部は、求めた前記ピクセルアドレスに対応する、前記仮想校正点誤差テーブルを参照して校正点補間演算を行って補正されたエッジ位置を求め、
エッジ位置検出装置は、前記CCDカメラで検出したカメラピクセルアドレスに対応する前記被測定物のエッジ位置を、前記校正テーブル及び前記仮想校正点誤差テーブルを参照して、仮想的に校正点を増やして補正されたエッジ位置を求め、前記幅演算部は、補正された一対のエッジ位置から前記被測定物の幅を求めるようにしたことを特徴とする幅測定装置。 - さらに、前記被測定物の下部に下部光源を備え、当該下部光源の幅方向の寸法は、前記CCDカメラの視野の延長線の範囲をカバーするようにして、下部光源の幅方向寸法を小さく抑えるようにした請求項3に記載の幅測定装置。
- 前記被測定物の両端のエッジ部を予め設定された間隔で設定して撮像する一対の一方の端部のエッジ位置検出装置は、2台の前記CCDカメラと、当該2台のCCDカメラの光軸は、前記被測定物の測定基準面の鉛直軸に対して予め定める異なる角度傾斜させて、当該CCDカメラのエッジ位置測定範囲において、前記被測定物の端部下部角を常に異なる角度で撮像し、
前記2台のCCDカメラの夫々のエッジ位置を求める2台の前記エッジ位置演算部と、
更に、求めた2つのエッジ位置信号により、前記被測定物の浮き上がり量を補正する浮上り補正演算部と、
を備え、
前記幅測定装置は、前記エッジ位置を高精度で求めるとともに、前記被測定物の浮き上がり量を補正するようにしたことを特徴とする請求項3に記載の幅測定装置。 - 被測定物のエッジ部を撮像するCCDカメラと、前記被測定物の測定基準面において、複数のエッジ基準位置を設定するための校正板と、前記校正板のエッジ基準位置の撮像信号と、複数のエッジ位置基準位置(校正点)と、を予め対応付けした校正テーブルを備え、前記CCDカメラの撮像信号から、前記被測定物のエッジ位置を、前記校正テーブルを参照して求めるエッジ位置演算部と、を備えるエッジ位置検出装置の校正方法であって、
前記CCDカメラはラインスキャン形のCCDカメラであって、当該CCDカメラの光軸は、前記被測定物の測定基準面の鉛直軸に対して予め定める角度傾斜させて、当該CCDカメラのエッジ位置測定範囲において、前記被測定物の端部下部角を常に撮像するように設定し、
前記エッジ位置演算部は、前記CCDカメラの撮像信号からエッジ位置に対応するピクセルアドレスを求めるエッジ検出部と、前記校正テーブルを備え、当該校正テーブルを参照して、校正点間の中央位置座標を求めるエッジ位置座標演算部と、前記校正点間を結ぶ真の校正カーブを計算により求め、前記校正点間を結ぶ校正折線と、前記中央位置座標に対応する前記真の校正カーブの仮想校正点座標との差を求め、各校正点間の差を仮想校正点誤差(En)テーブルとして作成しておく校正点間補間処理部と、を備え、
前記CCDカメラは、前記被測定物の端部下部角を撮像し、前記エッジ検出部は、撮像した当該端部下部角の撮像信号からピクセルアドレスを求め、
前記エッジ位置座標演算部は、前記校正テーブルを参照して、前記ピクセルアドレスに対応する測定基準(校正テーブル)座標での2つの校正点を求め、
前記校正点間補間処理部は、求めた前記ピクセルアドレスに対応する、前記仮想校正点誤差を参照して校正点補間演算を行い補正されたエッジ位置を求め、
前記エッジ位置検出装置は、前記CCDカメラで検出したカメラピクセルアドレスに対応する前記被測定物のエッジ位置を、前記校正テーブル及び前記仮想校正点誤差テーブルを参照して、仮想的に校正点を増やしてエッジ位置の測定誤差を軽減するようにしたことを特徴とするエッジ位置検出装置のエッジ位置の校正方法。 - 被測定物の両端のエッジ部を予め設定された間隔で設定して撮像する一対のCCDカメラと、前記被測定物の測定基準面において、前記被測定物の両端部のエッジ位置の測定範囲において、当該両端部間の複数の幅エッジ基準位置(校正点)を設定する1枚の校正板と、
前記校正板の両端部のエッジ基準位置の撮像信号と、前記複数の校正点と、を予め対応付けした校正テーブルを備え、
夫々の前記CCDカメラの撮像信号から、前記被測定物の両端部のエッジ位置を、前記校正テーブルを参照して求めるエッジ位置演算部と、を備え、
さらに、求めた当該両端部のエッジ位置信号から前記被測定物の幅を求める幅演算部と、
を備える幅測定装置の校正方法であって、
前記CCDカメラはラインスキャン形のCCDカメラであって、当該CCDカメラの光軸は、前記被測定物の測定基準面の鉛直軸に対して予め定める角度傾斜させて、当該CCDカメラのエッジ位置測定範囲において、前記被測定物の下部角を常に撮像するように設定し、
前記エッジ位置演算部は、前記CCDカメラの撮像信号からエッジ位置に対応するピクセルアドレスを求めるエッジ検出部と、
前記校正テーブルを備え、当該校正テーブルを参照して、校正点間の中央位置座標を求めるエッジ位置座標演算部と、
前記校正点間を結ぶ真の校正カーブを計算により求め、前記校正点間を結ぶ校正折線と、
前記中央位置座標に対応する前記真の校正カーブの仮想校正点座標との差を求め、各校正点間の差を仮想校正点誤差(En)テーブルとして作成しておく校正点間補間処理部と、を備え、
夫々の前記CCDカメラは、前記被測定物の両端部下部角を撮像し、前記エッジ検出部は、撮像した当該端部下部角の撮像信号からピクセルアドレスを求め、
前記エッジ位置座標演算部は、前記校正テーブルを参照して、前記ピクセルアドレスに対応する測定基準(校正テーブル)座標での2つの校正点を求め、
前記校正点間補間処理部は、求めた前記ピクセルアドレスに対応する、前記仮想校正点誤差テーブルを参照して校正点補間演算を行って補正されたエッジ位置を求め、
エッジ位置検出装置は、前記CCDカメラで検出したカメラピクセルアドレスに対応する前記被測定物のエッジ位置を、前記校正テーブル及び前記仮想校正点誤差テーブルを参照して、仮想的に校正点を増やして補正されたエッジ位置を求め、前記幅演算部は、補正された一対のエッジ位置から前記被測定物の幅を求めるようにしたことを特徴とする幅測定装置の校正方法。 - 前記真の校正カーブは、前記CCDカメラの幾何学的な設定条件に基づいて、前記校正テーブルの座標と、前記CCDカメラのピクセルアドレス(座標)との座標変換関数を用いて求めるようにしたことを特徴とする請求項1に記載のエッジ位置検出装置。
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