JP6410817B2 - ガス処理装置 - Google Patents
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Description
実施形態をより詳細に説明する前に、最初に概要を説明する。実施形態は、ガススクラビングチャンバおよび静電集塵チャンバの両方が流体的に直列に連結されているが、一方が他方の内部に設けられるように同心状に配置された構造を提供する。換言すれば、一方のチャンバが他方のチャンバを入れ子式形態に包囲して、コンパクトな構造が得られるようにしている。両チャンバへの入口および出口の形状を制御することにより、チャンバ内の流れ距離を装置の長さの約2倍に延長できる。また、付加導管を用いることにより、両チャンバへの流れ距離および入口点を延長して、問題の多い残留物の堆積の低減を補助できる。このアプローチは、外側チャンバの少なくとも一部がその保持する内側チャンバにより形成されるため、部品数が大幅に減少されたよりコンパクトな装置を提供できる。
図1〜図3には、一実施形態によるガス処理装置(全体を参照番号10で示す)の構造が示されている。図1は、外形図および装置を通る排ガスの流れを示すガス処理装置10を通る断面図である。図2は、ガス処理装置10の幾つかのコンポーネンツを示す分解図である。図3は、ガス処理装置10を通る断面図である。
図4には、シーブ板40の構造がより詳細に示されている。理解されようが、流体(一般的には水)は、下降管70の周囲に配置された、流体をシーブ板40に搬送するための流体供給導管75を介し、シーブ板40の下面を通して供給される。シーブ板40は、孔45を通ってスクラビングチャンバ20内に流出する流体のヘッドを維持する。
シーブ板40により保持された流体はまた、内側壁80の表面を下方に流れる流体カーテンすなわち内側堰Wiを形成する。図5に示すように、流体は小さいギャップを通ってギャラリ47内に流入し、該ギャラリ47の下面から出て、内側壁80の外面に沿って下方に流れる。
図6には、外側堰Woを形成する構造が示されている。頂板120には、該頂板120により保持されるリングを形成するように配置される複数の堰セクション125が連結されている。各リングセクションは、流体を供給するカップリング129を受入れる多数の入口123を有している。各入口123は導管121を介して出口127と流体的に連結されており、該出口127は、外側壁90の内面に沿って下方に流れる外側堰Woを形成すべく、流体を堰セクション125から接線方向に噴射するように配置されている。
図7には、電極構造体アタッチメント装置がより詳細に示されている。理解されようが、電極構造体100は、頂板120の上面から延びているハウジング160により保持された導体170により保持されている。
図8には、電極構造体100の構造がより詳細に示されている。また、図8の下方部分には、内側壁80および外側壁90に対する電極構造100の関係を示す概略図が示されている。理解されようが、同心状に配置された多数の細長い電極140が設けられており、各電極140には、内側壁80または外側壁90のいずれかの方向を向いて半径方向に延びているスパイク150が設けられている。これらの電極スパイク150により形成される放電尖端の均一密度を維持するため、外側壁90を向いて延びる電極スパイク150の数と、内側壁80を向いて延びる電極スパイク150の数との比は、外側壁90の面積と内側壁80の面積との比に比例する。
図9には、内側壁80および外側壁90の構造がより詳細に示されている。理解されようが、内側壁80は外側壁90内に保持されている。
図10には、ガス入口およびサンプの構造がより詳細に示されている。理解されようが、処理すべき排ガスは、入口200を通って受入れられ、サンプ構造体210内に流入し、入口30を通ってガススクラバチャンバ20の下方部分内に供給される。また、サンプ構造体210内には、排ガスがスクラビングチャンバ20および静電集塵チャンバ60の両方の内部で処理されるときに排ガスから抽出された汚染物質を含有する流体が存在する。ガススクラビングチャンバ20からの流体は入口30を通ってサンプ構造体210内に流入し、一方、静電集塵チャンバ60からの流体は導管220を通ってサンプ構造体210内に流入する。
図11には、シーブ板40に供給される流体の供給が示されている。入口230は流体供給源に連結され、かつ流体を、導管240を介して、シーブ板40に流体を供給する供給導管75とのカップリングに搬送する。
図12は、他の実施形態による外側壁90Aを示し、この実施形態は、静電集塵チャンバ60の床上へのいかなるスラッジの堆積をも防止することを補助するテーパ状すなわち円錐状の床セクション95を有している。
20 ガススクラバチャンバ(ガススクラビングチャンバ)
40 シーブ板
60 静電集塵チャンバ(静電集塵装置)
70 下降管
80 内側壁(仕切り壁)
90、 90A 外側壁
95 床セクション
100 電極構造体
110 絶縁構造体
120 頂板
140 電極
170 導体
210 サンプ構造体
Wi 内側堰
Wo 外側堰
Claims (4)
- ガススクラバチャンバ(20)を有し、該ガススクラバチャンバは、該ガススクラバチャンバ内でスクラビングすべき製造プロセスツールから由来する排ガス流を受入れて、スクラビングされたガス流を形成すべく作動でき、
静電集塵チャンバ(60)を有し、該静電集塵チャンバは、該静電集塵チャンバ内で処理すべきスクラビングされたガス流を受入れるべく作動でき、前記静電集塵チャンバは第1チャンバを形成し、前記ガススクラバチャンバは第2チャンバ(20)を形成し、第1チャンバは第2チャンバを同心状に包囲するように構成されており、
前記第1チャンバおよび第2チャンバは共通壁(80)を共有し、
前記共通壁の内面は第2チャンバの外側壁を形成し、共通壁の外面は第1チャンバの内側壁を形成し、
前記第2チャンバ(20)は共通壁(80)の内面により形成された細長いチャンバを有し、第1チャンバ(60)は前記共通壁(80)の外面および包囲壁(90)の内面により形成された細長い環状チャンバを有し、
前記静電集塵チャンバは、前記共通壁(80)の外面と前記包囲壁(90)の内面との間に配置された細長い環状電極構造体(100)と、前記共通壁の外面および前記包囲壁の内面の両方に沿って周方向に流れる液体カーテンを形成すべく液体を放出する出口と、を有し、
前記ガススクラビングチャンバはヘッダタンクを有し、該ヘッドタンクは前記ガススクラビングチャンバの少なくとも一部を形成し、かつ、シーブ板(40)を有し、該ヘッダタンクは、受入れた液体のガススクラビングチャンバへの前記シーブ板(40)を通る定常流を供給すべく作動し、前記共通壁(80)の外面を流れ落ちる前記液体カーテンを供給し、
前記ガススクラビングチャンバは排ガス流を受入れるための排ガス流入口と、スクラビングされたガス流を、前記細長い環状電極構造体のための懸架構造体から離れて配置された前記静電集塵チャンバの入口に搬送する導管(70)と、を有し、
前記静電集塵チャンバは、処理されたガス流を供給するための処理されたガス流出口を有し、排ガス流入口および処理されたガス流出口は、ガススクラビングチャンバおよび静電集塵チャンバの両方の軸線方向長さに沿うガス流を生じさせるように配置されている、ことを特徴とするガス処理装置。 - 前記細長い環状電極構造体は、共通壁の外面と包囲壁の内面との間で一定距離に配置されていることを特徴とする請求項1記載のガス処理装置。
- 前記細長い環状電極構造体は、共通壁の外面および包囲壁の内面を向いて延びている放電尖端を有していることを特徴とする請求項1又は2記載のガス処理装置。
- 前記共通壁の外面を向いて延びている放電尖端の数と、包囲壁の内面を向いて延びている放電尖端の数との比は、共通壁の外面の面積と包囲壁の内面の面積との比に比例することを特徴とする請求項3記載のガス処理装置。
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