JP6399859B2 - 真空機又は圧縮機、及びピストン - Google Patents

真空機又は圧縮機、及びピストン Download PDF

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Description

本発明は、真空機又は圧縮機、及びピストンに関する。
ピストンが往復動する真空機又は圧縮機が知られている。ピストンの先端には、貫通孔が形成され、この貫通孔を開閉する逆止弁がピストンに固定されているものがある。この逆止弁は、ピストンの往復動に連動して貫通孔を開閉するように弾性変形を繰り返す。特許文献1には、関連した装置が開示されている。
特開2008−95700号公報
このような逆止弁が変形量の大きい弾性変形を繰り返すと、逆止弁の耐久性が低下するおそれがある。また、逆止弁の変形量が大きいと弾性限界を超えて塑性変形し、適切に貫通孔を閉じることができなくなるおそれもある。
そこで本発明は、逆止弁の性能の低下を抑制する真空機又は圧縮機、及びピストンを提供することを目的とする。
上記目的は、クランクケースと、前記クランクケースに固定されたシリンダ本体と、前記シリンダ本体の先端に固定されたシリンダヘッドと、前記シリンダ本体内を往復動するピストンと、を備え、前記ピストンは、ピストンロッド、前記ピストンロッドの先端に固定され前記シリンダ本体及びシリンダヘッドと共にチャンバを画定するピストンヘッド、前記ピストンロッドと前記ピストンヘッドとの間に形成された空間内に配置された逆止弁、を含み、前記ピストンロッド及びピストンヘッドは、前記空間に連通した貫通孔をそれぞれ有し、前記逆止弁は、前記ピストンロッド及びピストンヘッドの一方の前記貫通孔を開閉するように前記空間内で弾性変形可能である、真空機又は圧縮機によって達成できる。また、上記目的は、ピストンロッドと、前記ピストンロッドの先端に固定されたピストンヘッドと、前記ピストンロッドと前記ピストンヘッドとの間に形成された空間内に配置された逆止弁と、を備え、前記ピストンロッド及びピストンヘッドは、前記空間に連通した貫通孔をそれぞれ有し、前記逆止弁は、前記ピストンロッド及びピストンヘッドの一方の前記貫通孔を開閉するように前記空間内で弾性変形可能である、ピストンによって達成できる。
本発明によれば、逆止弁の性能の低下を抑制する真空機又は圧縮機、及びピストンを提供できる。
図1は、真空機の正面図である。 図2は、真空機の側面図である。 図3は、真空機の背面図である。 図4は、図3の部分拡大図である。 図5は、比較例の真空機の部分断面図である。 図6は、圧縮機の正面図である。 図7は、圧縮機の背面図である。 図8は、図7の部分拡大図である。 図9は、比較例の圧縮機の部分断面図である。
図1〜3は、それぞれ真空機Aの正面図、側面図、背面図である。尚、図1、3では一部分の断面を示している。真空機Aは、4つのシリンダ10a〜10d、4つのシリンダ10a〜10dが固定されたクランクケース20、クランクケース20の上部に配置されたモータM、を含む。シリンダ10a〜10dは、クランクケース20の周囲に固定されている。シリンダ10aは、クランクケース20に固定されたシリンダ本体12a、シリンダ本体12aに固定されたシリンダヘッド15aを含む。シリンダ本体12aとシリンダヘッド15aとの間には仕切板14aが介在している。同様に、シリンダ10b〜10dもそれぞれシリンダ本体12b〜12d、シリンダヘッド15b〜15dを含む。シリンダ本体12b〜12dのそれぞれと、シリンダヘッド15b〜15dのそれぞれとの間には、仕切板14b〜14dが介在している。仕切板14a〜14dは、仕切壁部の一例である。シリンダ10a等やクランクケース20は金属製であり、具体的には放熱性がよいアルミ製である。クランクケース20にはノズルNが固定されている。ノズルNはクランクケース20内に導入された空気を外部へと排出する。また、シリンダヘッド15aには、開口Ha1、Ha2が設けられている。同様に、シリンダヘッド15b〜15dには、それぞれ、開口Hb1、Hb2、Hc1、Hc2、Hd1、Hd2が設けられている。
図2に示すモータMは、不図示のコイル、ロータ40、不図示のステータ、プリント基板PB等を含む。ステータは、クランクケース20に固定されている。ステータには、複数のコイルが巻回されている。コイルは、プリント基板PBと電気的に接続されている。コイルが通電されることにより、ステータが励磁される。ロータ40は、回転軸42、ヨーク44、1つまたは複数の不図示の永久磁石、を有している。回転軸42は、クランクケース20内に配置された複数の軸受に回転可能に支持されている。回転軸42には、ヨーク44が固定されており、ヨーク44は回転軸42と共に回転する。ヨーク44は、略円筒状であり金属製である。ヨーク44の内周側面には、1つまたは複数の永久磁石が固定されている。永久磁石は、ステータの外周面と対向している。コイルが通電されることにより、ステータが励磁される。従って、永久磁石とステータとの間に磁気的吸引力、反発力が作用する。この磁力の作用により、ロータ40は回転する。このように、モータMはロータ40が回転するアウターロータ型のモータである。
ファンFは、ロータ40のヨーク44に固定されており、ロータ40と共に回転する。これにより、クランクケース20、シリンダ10a〜10dが冷却される。また、可動部分での摩擦による温度上昇なども抑制できる。
次にシリンダ10aの内部構造について説明する。図3に示すように、シリンダ本体12aは、クランクケース20の外周壁に形成された孔と連通するようにクランクケース20の外周壁に固定されている。また、シリンダ本体12aの先端には、仕切板14aを介してシリンダヘッド15aが固定されている。シリンダ本体12a内にはチャンバ13aが形成されている。チャンバ13aは、シリンダ本体12a、ピストンPaの先端部、仕切板14aによって画定される。モータMの回転に伴ってピストンPaが往復動することにより、チャンバ13aの容積が増減する。ピストンPaの根元部はクランクケース20内に位置しており、モータMから回転動力を受ける回転軸42に軸受を介して連結されている。詳細には、回転軸42の中心位置に対して偏心した位置でピストンPaの根元部が連結されており、回転軸42の一方向の回転に伴ってピストンPaは往復動する。他のシリンダ10b〜10d内にも、シリンダ10b〜10d内をそれぞれ移動する不図示のピストンが設けられている。これらピストンは、それぞれ位置位相が90度毎にずれている。これらピストンが往復動することにより、開口Ha1、Hb1、Hc1、Hd1を介してシリンダ10a〜10d及びクランクケース20内に空気が導入されてノズルNから排出される。
次にシリンダ10aの内部構造について詳細に説明する。図4は、図3の部分拡大図である。シリンダヘッド15aは、互いに仕切られた室18a、19aが設けられ、室18a、19aにそれぞれ連通した開口Ha1、Ha2が設けられている。仕切板14aには、室18aとチャンバ13aとを連通する孔部16aが形成されている。尚、仕切板14aには、室19aとチャンバ13aとを連通する貫通孔は形成されていないが、室19aとチャンバ13aとを連通する貫通孔が形成されこの貫通孔が塞がれていてもよい。
仕切板14aには、室18aから孔部16aを介してチャンバ13aへの空気の流れを許容するが逆方向の流れは規制する逆止弁V1が固定されている。逆止弁V1は、ピストンヘッド25aと対向する仕切板14aの内面にネジS1により固定されている。逆止弁V1の基端がネジS1により仕切板14aに固定されており、逆止弁V1の先端が自由端であって孔部16aを開閉するように弾性変形する。逆止弁V1は、チャンバ13aと室18aとの圧力差により弾性変形して孔部16aを開閉する。逆止弁V1は、チャンバ13a内に設けられている。逆止弁V1は、例えばステンレス等の金属製であるがこれに限定されない。
ピストンPaは、回転軸42に連結された根元部を有するピストンロッド21a、ピストンロッド21aの先端に不図示のネジにより固定されたピストンヘッド25a、を含む。ピストンロッド21aとピストンヘッド25aとの間には、シールリングCが挟まれている。シールリングCは、ピストンPaとシリンダ本体12aの内側面との間をシールするものであり、たとえばフッ素樹脂などの自己潤滑性に優れた材料により形成されている。
ピストンロッド21aの先端とピストンヘッド25aとの間には空間SPが形成されている。具体的には、ピストンロッド21aの先端に凹部23aが形成されており、凹部23aの周囲に段部24aが形成されている。ピストンヘッド25aは段部24aに嵌合して固定されている。ピストンヘッド25aには、空間SPに連通した貫通孔26aが形成されている。ピストンロッド21aには、空間SPに連通した貫通孔22aが形成されている。
ピストンロッド21aの凹部23aと対向するピストンヘッド25aの内面には、ネジS2により逆止弁V2が固定されている。ネジS2は、固定部材の一例である。逆止弁V2の基端がネジS2によりピストンヘッド25aに固定され、逆止弁V2の先端が自由端であって貫通孔26aを開閉するように弾性変形する。逆止弁V2は、チャンバ13aとクランクケース20内との圧力差により弾性変形して貫通孔26aを開閉する。逆止弁V2は、空間SP内に設けられ、空間SP内で弾性変形可能である。逆止弁V2は、チャンバ13aから貫通孔26a、空間SP、貫通孔22aを介してクランクケース20内への空気の流れは許容するが逆方向の流れは規制する。逆止弁V2は、例えばステンレス等の金属製であるがこれに限定されない。逆止弁V2は、弾性変形可能な程度の厚みを有した板状の部材である。
ピストンPaの往復動によってチャンバ13aの容積が最小値から増大すると、外部の空気が開口Ha1を介して室18a内に導入され、逆止弁V1の先端が孔部16aから離れるように反って弾性変形して孔部16aを開いて空気がチャンバ13a内に導入される。チャンバ13aの容積が最大値から低下すると、逆止弁V2の先端が貫通孔26aから離れるように反って弾性変形して貫通孔26aを開き、チャンバ13a内の空気が貫通孔26a、空間SP、貫通孔22aを介してクランクケース20内に導入される。尚、この際には、チャンバ13aの内圧により逆止弁V1は孔部16aを閉じたままに維持される。このように、ピストンPaの往復動により外部からチャンバ13aを介してクランクケース20内に空気が導入される。尚、シリンダ10b〜10d内に配置されたピストンについても同様の構造を有している。従って、クランクケース20内にはこれらピストンの往復動によって外部から空気が導入される。
図4に示すように、逆止弁V2は、ピストンロッド21aの先端とピストンヘッド25aとの間に配置されている。このため、逆止弁V2の先端が貫通孔26aから離れるように反って弾性変形する際に、逆止弁V2の先端が凹部23aの底面に当接することにより、逆止弁V2のそれ以上の弾性変形は制限される。従って、逆止弁V2の最大の弾性変形量が一定に制限されている。例えば、このような逆止弁が変形量の大きい弾性変形を繰り返すと、逆止弁の耐久性が低下するおそれがある。また、逆止弁の変形量が大きいと弾性限界を超えて塑性変形し、適切に貫通孔を閉じることができなくなるおそれもある。このように逆止弁の性能が低下するおそれがある。本実施例では、逆止弁V2はピストンロッド21aとピストンヘッド25aとの間に配置されピストンロッド21aによって弾性変形量が制限されている。このため、弾性変形量が大きすぎることに伴う逆止弁V2の性能の低下を抑制できる。
また、貫通孔22aは、逆止弁V2をピストンヘッド25aに固定しているネジS2を逃がしている。具体的には、空間SP内に突出したネジS2の頭部との干渉を回避するように、ネジS2と略同軸上に貫通孔22aが形成されている。従って、ネジS2の突出量を考慮せずに、空間SPの厚みを設定できる。これにより、例えば空間SPの厚みをネジS2の頭部よりも薄く設定することもでき、ピストンロッド21aの先端とピストンヘッド25aとの合計の厚みを薄くすることもできる。
また、貫通孔26aは、チャンバ13aに突出したネジS1の頭部を逃がす位置に形成されている。このため、ネジS1とピストンヘッド25aとの干渉が回避される。これにより、ネジS1の頭部がチャンバ13aに突出しているような場合であっても、貫通孔26aがネジS1の頭部を逃がすことにより、チャンバ13aの容積の最小値をできる限り小さくすることができ、チャンバ13aの容積の最小値に対する最大値の比率を確保できる。これにより、多くの空気をクランクケース20内に導入することができる。ネジS1は、シリンダ側固定部材の一例である。
次に、真空機Aとは異なる構造を有した比較例の真空機Xについて説明する。図5は、比較例の真空機Xの部分断面図であり、図4に対応している。尚、類似する構成については類似する符号を付することにより重複する説明を省略する。シリンダ10xは、シリンダ本体12x、仕切板14x、シリンダヘッド15xを含む。逆止弁V1xは、不図示のネジにより仕切板14xの外面に固定され室18x内に設けられ、室18xから孔部16xを介してチャンバ13xへの空気の通過は許容するが逆方向の空気の通過は規制する。逆止弁V2xは、不図示のネジにより仕切板14xの内面に固定されチャンバ13x内に設けられ、チャンバ13xから孔部17xを介して室19xへの空気の通過は許容するが逆方向の通過は規制する。ピストンPxは、ピストンロッド21x、ピストンヘッド25x、シールリングCxを含む。ピストンロッド21xとピストンヘッド25xとの間には空間は設けられていない。
ピストンPxの往復動により、開口Hx1、室18x、孔部16xを介してチャンバ13x内に空気が導入され、チャンバ13xから孔部17x、室19x、開口Hx2を介して空気が外部に排出される。真空機Xでは、クランクケース20x内には空気は導入されない。このため、空気の流通経路の大部分が真空機Xの外側に位置するシリンダヘッド15xの室18x、19x内を流れることになる。このため、空気の流れる音の漏れ量を低減するのには一定の限界がある。本実施例の真空機Aでは、図4に示したようにクランクケース20内を空気が流れる。このため、クランクケース20内を流れる空気の音が外部に漏れる漏れ量を抑制でき、騒音を抑制できる。また、本実施例の真空機Aでは、狭い空間であるチャンバ13aから広い空間であるクランクケース20に空気が流れるため車両用マフラーなどと同様の作用によっても騒音が抑制させる。
また、比較例の真空機Xにおいて、シリンダ本体、シリンダヘッド、ピストンを複数対備えている場合、各シリンダヘッドから排出された空気を合流させるための通路をクランクケース20xの外側に設けることが考えられる。しかしながら本実施例の真空機Aでは、各シリンダヘッド15a〜15dから導入された空気はクランクケース20内で合流する。このため、これら空気を合流するための特別な通路は不要である。従って、本実施例の真空機Aは、部品点数の増大が抑制され、装置の大型化も抑制されている。
また、比較例の真空機Xにおいては、クランクケース20x内に空気が流れない。本実施例の真空機Aではクランクケース20内を空気が流れノズルNから外部へと排出される。このため、クランクケース20内を冷却でき、クランクケース20内の部品の熱による劣化を抑制できる。
次に、本実施例の圧縮機A´について説明する。図6、7は、それぞれ圧縮機A´の正面図、背面図である。図6は、図1に対応し、図7は、図3に対応している。尚、類似する構成については類似する符号を付することにより重複する説明を省略する。圧縮機A´では、真空機Aとは異なり、ノズルNを介してクランクケース20内に空気が導入される。
図8は、図7の部分拡大図である。仕切板14a´には、室19aとチャンバ13aとを連通する孔部16a´が形成されている。仕切板14a´には、室18aとチャンバ13aとを連通する貫通孔は設けられていないが、室18aとチャンバ13aとを連通する貫通孔が形成されこの貫通孔が塞がれていてもよい。
仕切板14a´には、チャンバ13aから孔部16a´を介して室19aへの空気の流れを許容するが逆方向の流れは規制する逆止弁V1´が固定されている。逆止弁V1´は、シリンダヘッド15aと対向する仕切板14a´の外面にネジS1´により固定されている。ネジS1´と孔部16a´とは、回転軸42の軸心方向に並んでいる。従って、逆止弁V1´も、回転軸42の軸心方向が長手方向となる姿勢で仕切板14a´に固定されている。逆止弁V1´の基端がネジS1´により仕切板14a´に固定されており、逆止弁V1´の先端が自由端であって孔部16a´を開閉するように弾性変形する。逆止弁V1´は、チャンバ13aと室19aとの圧力差により弾性変形して孔部16a´を開閉する。逆止弁V1´は、室19a内に設けられている。
ピストンPa´は、ピストンロッド21a´、ピストンロッド21a´の先端に不図示のネジにより固定されたピストンヘッド25a´、ピストンロッド21a´とピストンヘッド25a´との間に挟まれたシールリングC´を備えている。ピストンヘッド25a´と対向するピストンロッド21a´の凹部23aの底面には、ネジS2´により逆止弁V2´が固定されている。ネジS2´は、固定部材の一例である。逆止弁V2´の基端がネジS2´によりピストンロッド21a´に固定され、逆止弁V2´の先端が自由端であって貫通孔22aを開閉するように弾性変形する。逆止弁V2´は、チャンバ13aとクランクケース20内との圧力差により弾性変形して貫通孔22aを開閉する。逆止弁V2´は、空間SP内に設けられ、空間SP内で弾性変形可能である。逆止弁V2´は、チャンバ13aから貫通孔26a、空間SP、貫通孔22aを介してクランクケース20内への空気の流れは許容するが逆方向の流れは規制する。
ピストンPa´の往復動によってチャンバ13aの容積が最小値から増大すると、逆止弁V2´の先端が貫通孔22aから離れるように反って弾性変形して貫通孔22aを開いて、ノズルNを介してクランクケース20内に導入された空気が、貫通孔22a、空間SP、貫通孔26aを介してチャンバ13a内に導入される。チャンバ13aの容積が最大値から低下すると、逆止弁V1´の先端が孔部16a´から離れるように反って弾性変形して孔部16a´を開き、チャンバ13a内の空気が室19a内に導入されて開口Ha2から排出される。
逆止弁V2´の先端が貫通孔22aから離れるように反って弾性変形する際に、逆止弁V2´の先端がピストンヘッド25a´の内面に当接することにより、逆止弁V2´のそれ以上の弾性変形は制限される。従って、逆止弁V2´の最大の弾性変形量が一定に制限される。このため、弾性変形量が大きすぎることに伴う逆止弁V2´の性能の低下が抑制される。
また、貫通孔26aは、逆止弁V2´を固定しているネジS2´を逃がしている。具体的には、空間SP内に突出したネジS2´の頭部との干渉を回避するように、ネジS2´と略同軸上に貫通孔26aが形成されている。これにより、例えば空間SPの厚みをネジS2´の頭部よりも薄く設定することもでき、ピストンロッド21a´の先端とピストンヘッド25a´との合計の厚みを薄くできる。
また、貫通孔26aは、ピストンPa´の往復動に伴って、チャンバ13aに突出したネジS1´の下端部を逃がす位置に形成されている。このため、ネジS1´とピストンヘッド25a´との干渉が回避される。これにより、チャンバ13aの容積の最小値をできる限り小さくすることができ、多くの空気をクランクケース20から排出することができる。ネジS1´は、シリンダ側固定部材の一例である。
次に、圧縮機A´とは異なる構造を有した比較例の圧縮機X´について説明する。図9は、比較例の圧縮機X´の部分断面図である。図9は、圧縮機X´の側面図での部分断面図であり、回転軸に平行な断面で見た場合を示している。図9では、左側は圧縮機X´の上部であり、右側が底部である。尚、類似する構成については類似する符号を付することにより重複する説明を省略する。シリンダ10x´はシリンダ本体12x´、仕切板14x´、シリンダヘッド15x´を含む。逆止弁V1x´は、ネジS1x´により仕切板14x´の外面に固定され室19x´内に設けられ、チャンバ13x´から孔部17x´を介して室19x´への空気の通過は許容するが逆方向の空気の通過は規制する。逆止弁V2x´は、ネジS2x´によりピストンヘッド25x´の外面に固定されチャンバ13x´内に設けられ、クランクケース20x´内からチャンバ13x´への空気の通過は許容するが逆方向の空気の流れは規制する。ピストンPx´は、ピストンロッド21x´、ピストンヘッド25x´、シールリングCx´を含む。ピストンロッド21x´とピストンヘッド25x´との間には空間は設けられていない。貫通孔22x´、26x´は直接連通している。
ピストンPx´の往復動により、クランクケース20x´内の空気が貫通孔22x´、26x´を介してチャンバ13x´内に導入され、孔部17x´、室19x´を介して開口Hx2´から外部に排出される。図9に示すように、ピストンヘッド25x´の外面に逆止弁V2x´が固定されている。従って、チャンバ13x´の容積が増大する際に、逆止弁V2x´の先端は貫通孔26x´から離れるように反って弾性変形する。この際、逆止弁V2x´の弾性変形量を制限することはできない。従って、逆止弁V2x´の弾性変形量が大きくなり、性能が低下するおそれがある。
また、逆止弁V2x´が弾性変形することにより、逆止弁V2x´の先端が仕切板14x´の内面に接触して接触音が生じる恐れがある。特に、ピストンPx´が高速で往復動する場合に、逆止弁V2x´の弾性変形量が増大してピストンPx´の往復動に伴って逆止弁V2x´の先端が仕切板14x´の内面に接触して騒音が増大する恐れがある。本実施例の圧縮機A´では、逆止弁V2´の最大の弾性変形量が一定に制限されるため、逆止弁V2´のピストンヘッド25a´への接触音の増大も抑制されている。
また、逆止弁V2x´は、仕切板14x´の内面に対向するピストンヘッド25x´の外面に固定されている。このため、逆止弁V2x´の位置や大きさ、形状を考慮して、逆止弁V2x´に対向する仕切板14x´の内面の形状を設計する必要がある。これに対して、本実施例の圧縮機A´では、逆止弁V2´はピストンヘッド25a´とピストンロッド21a´との間に配置されるので、逆止弁V2´は仕切板14a´には接触することはない。このため、逆止弁V2´の位置や大きさ、形状を考慮することなく、仕切板14a´の内面の形状を設計できる。このため、仕切板14a´の設計の自由度が向上する。
以上本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、変形・変更が可能である。
本実施例の真空機A、圧縮機A´は、4対のシリンダ10a〜10d、ピストンを備えているがこれに限定されない。真空機、圧縮機は、1対、2対、又は3対のシリンダ、ピストンのみが設けられたものであってもよいし、5対以上のシリンダ、ピストンが設けられたものであってもよい。
本実施例の真空機Aは、空気が排出されるノズルN側に対象製品を接続することにより、圧縮機として機能する。本実施例の圧縮機A´は、空気を吸引するノズルN側に対象製品を接続することにより、真空機として機能する。
A 真空機
A´ 圧縮機
M モータ
10a〜10d シリンダ
12a〜12d シリンダ本体
15a〜15d シリンダヘッド
20 クランクケース
Pa ピストン
21a ピストンロッド
25a ピストンヘッド
22a、26a 貫通孔
SP 空間
V1、V2、V1´ V2´ 逆止弁
S2、S2´ ネジ(固定部材)
S1、S1´ ネジ(シリンダ側固定部材)

Claims (4)

  1. クランクケースと、
    前記クランクケースに固定されたシリンダ本体と、
    前記シリンダ本体の先端に固定されたシリンダヘッドと、
    前記シリンダ本体内を往復動するピストンと、を備え、
    前記ピストンは、ピストンロッド、前記ピストンロッドの先端に固定され前記シリンダ本体及びシリンダヘッドと共にチャンバを画定するピストンヘッド、前記ピストンロッドと前記ピストンヘッドとの間に形成された空間内に配置された逆止弁、を含み、
    前記ピストンロッド及びピストンヘッドは、前記空間に連通した貫通孔をそれぞれ有し、
    前記逆止弁は、前記ピストンロッド及びピストンヘッドの一方の前記貫通孔を開閉するように前記空間内で弾性変形可能であり、
    前記逆止弁は、前記ピストンロッド及びピストンヘッドの一方に固定部材により固定され、
    前記ピストンロッド及びピストンヘッドの他方の前記貫通孔は、前記固定部材を逃がしている、真空機又は圧縮機。
  2. 前記逆止弁は、前記ピストンロッド及びピストンヘッドの一方に接触して前記ピストンロッド及びピストンヘッドの一方の前記貫通孔を閉じ、前記ピストンロッド及びピストンヘッドの一方から離れて他方に接近するように弾性変形することにより、前記ピストンロッド及びピストンヘッドの一方の前記貫通孔を開く、請求項1の真空機又は圧縮機。
  3. 前記シリンダヘッドは、当該ピストンヘッドと共に前記チャンバを画定する仕切壁部を含み、
    前記仕切壁部には、前記チャンバに連通した連通孔が形成され、前記連通孔を開閉する開閉部材がシリンダ側固定部材により固定され、
    前記ピストンヘッドの前記貫通孔は、当該ピストンヘッドの往復動に伴って前記チャンバ内に突出した前記シリンダ側固定部材を逃がす、請求項1又は2の真空機又は圧縮機。
  4. ピストンロッドと、
    前記ピストンロッドの先端に固定されたピストンヘッドと、
    前記ピストンロッドと前記ピストンヘッドとの間に形成された空間内に配置された逆止弁と、を備え、
    前記ピストンロッド及びピストンヘッドは、前記空間に連通した貫通孔をそれぞれ有し、
    前記逆止弁は、前記ピストンロッド及びピストンヘッドの一方の前記貫通孔を開閉するように前記空間内で弾性変形可能であり、
    前記逆止弁は、前記ピストンロッド及びピストンヘッドの一方に固定部材により固定され、
    前記ピストンロッド及びピストンヘッドの他方の前記貫通孔は、前記固定部材を逃がしている、ピストン。
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