JP6398939B2 - テンプレートの測定方法及び評価方法 - Google Patents
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Description
測定用ウェーハを準備し、該測定用ウェーハの厚さを測定する工程と、前記テンプレートを基準面上に載置する工程と、前記測定用ウェーハを前記テンプレートの凹部に収納する工程と、前記テンプレートの環状部材と前記測定用ウェーハに押さえ治具を用いて荷重をかけた状態で、前記基準面からの前記環状部材及び前記測定用ウェーハの高さを測定する工程と、測定した前記測定用ウェーハの厚さと、前記環状部材及び前記測定用ウェーハの高さから、前記押さえ治具を用いて荷重をかけた状態における前記テンプレートの凹部の深さを算出する工程とを有することを特徴とするテンプレートの測定方法を提供する。
前記押さえ治具として、前記テンプレートの環状部材と前記測定用ウェーハに接する面がコの字にえぐられているものを用い、
前記押さえ治具のコの字のえぐられている部分で、前記環状部材及び前記測定用ウェーハの高さを測定することが好ましい。
上記本発明のテンプレートの測定方法で測定された、前記荷重をかけた状態における前記テンプレートの凹部の深さの値と、前記テンプレートを用いて研磨を行った前記ウェーハの研磨後のフラットネスとの相関関係を予め求めておき、
次に、評価対象のテンプレートについて、上記本発明のテンプレートの測定方法で、前記荷重をかけた状態における前記評価対象のテンプレートの凹部の深さの値を測定し、該測定した値から、前記相関関係を用いて前記評価対象のテンプレートの評価を行うことを特徴とするテンプレートの評価方法を提供する。
まず、以下のようにして、本発明のテンプレートの測定方法を実施した。
測定用ウェーハを準備し、外周から5mmの位置に8点のマーキングを行い、株式会社ミツトヨのデジタルハイトゲージで、マーキングの外側2mm(外周から3mm)の位置の厚さを測定した。
従来のポケット深さの測定方法により、テンプレートのポケット深さの測定を行った。まず、株式会社ミツトヨのマイクロメーターを使用して、本発明とは異なり荷重をかけることもなく、図14に示すように、環状部の高さB´及び、バッキングパッド部の高さC´を測定した。このとき、1枚のテンプレートでそれぞれ8方向の測定を行い、この8点の平均値をそれぞれ環状部の高さB´及びバッキングパッド部の高さC´とした。
5…両面テープ、 11…押さえ治具、 12…コの字にえぐられてる部分、
21…片面研磨装置、 22…研磨布、 23…定盤、 24…研磨剤供給機構、
25、25a、25b…研磨ヘッド、 26…研磨剤、 27…プレート、
28…ラバー、 W…ウェーハ。
Claims (3)
- ウェーハを研磨する際に該ウェーハを保持するために用いられ、環状部材とバッキングパッドとが貼り合わせられ、前記環状部材の内周面と前記バッキングパッドの上面とで前記ウェーハを収納して保持する凹部が形成されたテンプレートを測定する方法であって、
測定用ウェーハを準備し、該測定用ウェーハの厚さを測定する工程と、前記テンプレートを基準面上に載置する工程と、前記測定用ウェーハを前記テンプレートの凹部に収納する工程と、前記テンプレートの環状部材と前記測定用ウェーハに押さえ治具を用いて荷重をかけた状態で、前記基準面からの前記環状部材及び前記測定用ウェーハの高さを測定する工程と、測定した前記測定用ウェーハの厚さと、前記環状部材及び前記測定用ウェーハの高さから、前記押さえ治具を用いて荷重をかけた状態における前記テンプレートの凹部の深さを算出する工程とを有し、
前記環状部材及び前記測定用ウェーハの高さを測定する工程において、
前記押さえ治具として、前記テンプレートの環状部材と前記測定用ウェーハに接する面がコの字にえぐられているものを用い、
前記押さえ治具のコの字のえぐられている部分で、前記環状部材及び前記測定用ウェーハの高さを測定することを特徴とするテンプレートの測定方法。 - 前記押さえ治具を用いて荷重をかける際に、前記押さえ治具による単位面積あたりの荷重を、前記ウェーハの研磨時に単位面積あたりにかかる荷重とすることを特徴とする請求項1に記載のテンプレートの測定方法。
- ウェーハを研磨する際に該ウェーハを保持するために用いられるテンプレートを評価する方法であって、
請求項2に記載の方法で測定された、前記荷重をかけた状態における前記テンプレートの凹部の深さの値と、前記テンプレートを用いて研磨を行った前記ウェーハの研磨後のフラットネスとの相関関係を予め求めておき、
次に、評価対象のテンプレートについて、請求項2に記載の方法で、前記荷重をかけた状態における前記評価対象のテンプレートの凹部の深さの値を測定し、該測定した値から、前記相関関係を用いて前記評価対象のテンプレートの評価を行うことを特徴とするテンプレートの評価方法。
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