JP2017104951A - 研磨ヘッドの評価方法、ウェーハの研磨方法、及び面圧分布評価体 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の研磨ヘッドの評価方法により、2つの研磨ヘッド(研磨ヘッドA、研磨ヘッドB)の評価をそれぞれ行った。その後、評価した研磨ヘッドA、研磨ヘッドBをそれぞれ用いて、同一の研磨条件で直径300mmの面取り加工済みのシリコンウェーハの研磨を行った。
従来の評価方法によって研磨ヘッドA、Bを評価した。即ち、比較例では、まず、センサーシートを、定盤に貼り付けられた研磨布上に載せた。その後、センサーシートが貼り付けられていないウェーハを保持した研磨ヘッドを下降させ、研磨布上のセンサーシートに研磨ヘッドを着座させた。その状態で、研磨時と同じエア圧で荷重をかけて、静止状態のウェーハの面圧分布を測定した。
4…データ処理部、 5…感圧部、
10…研磨ヘッド、 11…研磨布、 12…定盤、 13…バックパッド、
W…ウェーハ。
Claims (13)
- 研磨ヘッドに保持されたウェーハの表面を研磨布に摺接する研磨方法で用いられる前記研磨ヘッドを評価する方法であって、
前記研磨布に相対する側の面に、面圧分布を測定するためのセンサーシートが貼り付けられた測定用ウェーハの、前記センサーシートを貼り付けた面の反対側の面を前記研磨ヘッドによって保持し、
前記研磨ヘッドに保持された前記測定用ウェーハに貼り付けられた前記センサーシートを、前記研磨布に押し当てながら、前記研磨ヘッドを回転させ、
前記センサーシートによって測定される面圧分布の変動を評価することを特徴とする研磨ヘッドの評価方法。 - 前記センサーシートの主面形状は、前記測定用ウェーハの主面形状と同一の形状を有するものを用いることを特徴とする請求項1に記載の研磨ヘッドの評価方法。
- 前記測定用ウェーハとして、面取り加工が施された円形状のものを用い、前記センサーシートとして、前記円形状の測定用ウェーハの直径よりも該測定用ウェーハの面取り幅分だけ小さい直径を有する円形状のものを用いることを特徴とする請求項1に記載の研磨ヘッドの評価方法。
- 前記センサーシートを、両面テープによる接着方式、又は、真空吸着方式によって前記測定用ウェーハに貼り付けることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の研磨ヘッドの評価方法。
- 前記センサーシートとして、面圧を感知する感圧部を全面に有するものを用いることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の研磨ヘッドの評価方法。
- 前記センサーシートとして、面圧を感知する感圧部を前記センサーシートの前記研磨布に押し当てられる面の外周部の少なくとも1箇所又は前記外周部の全面に有するものを用いることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の研磨ヘッドの評価方法。
- 研磨ヘッドに保持されたウェーハの表面を研磨布に摺接することによって、前記ウェーハを研磨する方法であって、
請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の研磨ヘッドの評価方法によって評価した研磨ヘッドを用いることを特徴とするウェーハの研磨方法。 - 研磨ヘッドに保持され、研磨布に押し当てられた際の面圧分布を測定するための面圧分布評価体であって、
測定用ウェーハと、
該測定用ウェーハの片面に貼り付けられたセンサーシートとから成るものであることを特徴とする面圧分布評価体。 - 前記センサーシートの主面形状は、前記測定用ウェーハの主面形状と同一の形状を有するものであることを特徴とする請求項8に記載の面圧分布評価体。
- 前記測定用ウェーハが、面取り加工が施された円形状のものであり、前記センサーシートが、前記円形状の測定用ウェーハの直径よりも該測定用ウェーハの面取り幅分だけ小さい直径を有する円形状のものであることを特徴とする請求項8に記載の面圧分布評価体。
- 前記センサーシートが、両面テープ、又は、真空吸着によって前記測定用ウェーハに貼り付けられたものであることを特徴とする請求項8から請求項10のいずれか1項に記載の面圧分布評価体。
- 前記センサーシートが、面圧を感知する感圧部を全面に有するものであることを特徴とする請求項8から請求項11のいずれか1項に記載の面圧分布評価体。
- 前記センサーシートが、面圧を感知する感圧部を、前記センサーシートの前記研磨布に押し当てられる面の外周部の少なくとも1箇所又は前記外周部の全面に有するものであることを特徴とする請求項8から請求項11のいずれか1項に記載の面圧分布評価体。
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