JP6392451B2 - 圧接型半導体素子用スタック - Google Patents
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Description
図3は、図2に示す圧接型半導体素子用スタックにスペーサ20が無い場合(図3(1)スペーサ無参照)の圧接型半導体素子用スタック200のチップ10aの配置位置及びスペーサ有りの場合(図3(2)スペーサ有参照)の圧接型半導体素子用スタック100のチップ10aの配置位置を示す要部断面図である。
L3=L2+Ds
=L1・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・(1)
L1:絶縁座用金具7aの加圧面からその加圧面の直近に配置されたチップ10a上面までの距離
L2:スペーサ20が無い場合の絶縁座用金具7bの加圧面からその加圧面の直近に配置されたチップ10a下面までの距離
L3:スペーサ20が有る場合の絶縁座用金具7bの加圧面からその加圧面の直近に配置されたチップ10a下面までの距離
Ds:スペーサ20の厚さ
実施例1では、上述したように、絶縁座用金具7aから直近に配置された圧接型半導体素子10のチップ10aの上面まで距離L1と、絶縁座用金具7bの加圧面の直近に配置された圧接型半導体素子10のチップ10aの下面までの距離L2を、同じ距離にするために、上記距離が短い側の絶縁座8bと水冷フィン9との間に距離L1と距離L2の差に等しい厚さ(=Ds)を有するスペーサ20を配置することにより、距離の差(=Ds)を吸収することができる。その結果、圧接型半導体素子10の切欠き部10bの圧力抜けによる熱破壊を防止することができる。
L1:絶縁座用金具7aの加圧面からその加圧面の直近に配置されたチップ10aの上面までの距離
L4:絶縁座用金具7bの加圧面からその加圧面の直近に配置されたチップ10aの下面までの距離
実施例2では、上述したように、絶縁座用金具7aの加圧面から直近に配置された圧接型半導体素子10のチップ10aの上面まで距離L1と、絶縁座用金具7bの加圧面の直近に配置された圧接型半導体素子10のチップ10aの下面までの距離L2を、同じ距離にするために、上記距離が短い側の絶縁座8bに当接する水冷フィン9の厚さを厚くした水冷フィン9Bを用いることにより、距離の差を吸収することができる。その結果、圧接型半導体素子10の切欠き部10bの圧力抜けによる熱破壊を防止することができる。
L1:絶縁座用金具7aの加圧面からその加圧面の直近に配置されたチップ10aの上面までの距離
L5:絶縁座用金具7bの加圧面からその加圧面の直近に配置されたチップ10aの下面までの距離
実施例3では、上述したように、絶縁座用金具7aの加圧面から直近に配置された圧接型半導体素子10のチップ10aの上面まで距離L1と、絶縁座用金具7bの加圧面から直近に配置された圧接型半導体素子10のチップ10aの下面までの距離L2を、同じ距離にするために、上記距離が短い側の絶縁座8Aの厚さを厚くすることにより、距離の差吸収することができる。その結果、圧接型半導体素子10の切欠き部10bの圧力抜けによる熱破壊を防止することができる。
3a 台座
4a、4b 弾性体
5a、5b 台座
6a、6b 円錐加圧体
7a、7b 絶縁座用金具
8a、8b 絶縁座
9 水冷フィン
10 圧接型半導体素子(マルチチップ半導体素子)
11a、11b ステー
20 スペーサ
30 加圧部
100 スペーサを有する圧接型半導体素子用スタック
110 水冷フィンの厚さを厚くした圧接型半導体素子用スタック
120 絶縁座の厚さを厚くした圧接型半導体素子用スタック
200 従来技術に係る圧接型半導体素子用スタック
Claims (7)
- 複数のチップが同一平面上に配置されたマルチチップ半導体素子で構成された圧接型半導体素子及びこの圧接型半導体素子の両面に配置したヒートシンクを、交互に積層配置し、当該積層配置した圧接型半導体素子及びヒートシンクの間の圧接力が所定の圧接力になるように加圧する加圧手段を備えた圧接型半導体素子用スタックであって、
前記加圧手段は、
前記積層配置された前記圧接型半導体素子及びヒートシンクの上面及び下面に配置された加圧体と、
前記加圧体によって加えられた圧力を外周面に分配する絶縁座用金具と、
前記絶縁座用金具の加圧面と当該絶縁座用金具の加圧面の直近に配置されたヒートシンクとの間に配置され、当該絶縁座用金具の加圧面に加えられた圧力により当該ヒートシンクを加圧する絶縁座と、を備え、
前記圧接型半導体素子は、
圧接面である一方のコレクタポスト面と、相対抗して配置された他方のエミッタポスト面と、当該コレクタポスト面又はエミッタポスト面の何れか一方のポスト面の周端部の一部に切欠き部を有し、
前記圧接型半導体素子を構成するチップが、前記コレクタポスト面とエミッタポスト面との間に前記圧接面と平行に配置され、かつ、前記コレクタポスト面から前記チップの表面までの距離と、前記エミッタポスト面から前記チップの裏面までの距離とが異なるとき、
前記上面加圧体によって加圧された前記絶縁座用金具の加圧面からその加圧面の直近に配置された圧接型半導体素子のチップの表面までの距離と、前記下面加圧体によって加圧された前記絶縁座用金具の加圧面からその加圧面の直近に配置された圧接型半導体素子のチップの裏面までの距離を等しくする手段を備えたことを特徴とする圧接型半導体素子用スタック。 - 前記絶縁座用金具の加圧面からその加圧面の直近に配置された圧接型半導体素子のチップ表面若しくは裏面までの距離を等しくする手段は、
前記上面加圧体によって加圧された前記絶縁座用金具の加圧面からその加圧面の直近に配置された圧接型半導体素子のチップの表面までの距離と、前記下面加圧体によって加圧された前記絶縁座用金具の加圧面からその加圧面の直近に配置された圧接型半導体素子のチップの裏面までの距離との差を、距離が短い側の前記絶縁座と前記ヒートシンクとの間に前記差に等しい厚さを有するスペーサを配置することにより吸収することを特徴とする請求項1記載の圧接型半導体素子用スタック。 - 前記絶縁座用金具の加圧面からその加圧面の直近に配置された圧接型半導体素子のチップ表面若しくは裏面までの距離を等しくする手段は、
前記上面加圧体によって加圧された前記絶縁座用金具の加圧面からその加圧面の直近に配置された圧接型半導体素子のチップの表面までの距離と、前記下面加圧体によって加圧された前記絶縁座用金具の加圧面からその加圧面の直近に配置された圧接型半導体素子のチップの裏面までの距離との差を、距離が短い側の前記ヒートシンクの厚さを可変することにより吸収することを特徴とする請求項1記載の圧接型半導体素子用スタック。 - 前記絶縁座用金具の加圧面からその加圧面の直近に配置された圧接型半導体素子のチップ表面若しくは裏面までの距離を等しくする手段は、
前記上面加圧体によって加圧された前記絶縁座用金具の加圧面からその加圧面の直近に配置された圧接型半導体素子のチップの表面までの距離と、前記下面加圧体によって加圧された前記絶縁座用金具の加圧面からその加圧面の直近に配置された圧接型半導体素子のチップの裏面までの距離との差を、絶縁座の厚さを可変することにより吸収することを特徴とする請求項1記載の圧接型半導体素子用スタック。 - 前記ヒートシンクは、
水冷フィンで構成されたことを特徴とする請求項1又は請求項3記載の圧接型半導体素子用スタック。 - 前記加圧体は、
球面加圧体又は円錐加圧体で構成された請求項1乃至請求項4記載の圧接型半導体素子用スタック。 - 前記絶縁座用金具は、
前記圧接面側にザグリ加工した切欠き部と、
前記ザグリ加工した切欠き部の反対面側に前記加圧体が球面加圧体の場合には当接する部分に被球面加圧面を備え、前記加圧体が円錐加圧体の場合には当接する部分に被円錐加圧面を備えた請求項1乃至請求項4記載の圧接型半導体素子用スタック。
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