JP6391762B2 - レンズウェーハを製造する方法および装置 - Google Patents
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Description
−特に前記装置の被着装置、特に精確に制御可能なディスペンサを用いて、型押し材料を下側のスタンプまたはウェーハ(レンズウェーハとマイクロレンズとのための支持ウェーハ)に被着させるステップと、
−少なくとも1つの離型エレメントを、下側のスタンプと、特にこの下側のスタンプに対して位置合わせされた上側のスタンプとの間に配置するステップと、
−型押し材料を、上側のスタンプによって(すなわち下側のスタンプと上側のスタンプとを互いに接近する方向に運動させることによって)型押しするステップと、
−型押し材料を硬化させるステップであって、離型エレメントの配置を硬化の前に行うステップ。
・金属
・セラミックス
・ガラス
・グラファイト
・ポリマ
・複合材料
2 下側のスタンプ
3 保持部
4 上側のスタンプ
5,5’5’’,5’’’,5IV 離型エレメント
5u 下側
5s,5s’ 端面
5h,5h’ 保持区分
6 レンズウェーハ
7 下側のレンズ型
8 上側のレンズ型
9 型押し材料
10 上側の型押しエレメント
11 下側の型押しエレメント
12,12’ 加圧区分
13 構造化されていない領域
14 構造化されていない領域
15 マイクロレンズ
16 離型凹部
d 厚さ
D 型押し厚さ
Claims (7)
- 多数のマイクロレンズ(15)を有するレンズウェーハ(6)を製造する装置であって、
−両スタンプ(2,4)の間に導入された流動性の型押し材料(9)からレンズウェーハ(6)を型押しするための上側のスタンプ(4)および下側のスタンプ(2)と、
−型押しされたレンズウェーハ(6)を硬化させる硬化手段と、
を備えた、レンズウェーハ(6)を製造する装置において、
硬化されたレンズウェーハ(6)を剥離させるための少なくとも1つの離型エレメント(5,5’,5’’,5’’’,5IV)が、硬化の前に前記下側のスタンプ(2)と前記上側のスタンプ(4)との間に配置可能であり、
少なくとも1つの前記離型エレメント(5,5’,5’’,5’’’,5 IV )は、前記下側のスタンプ(2)および/または前記上側のスタンプ(4)の表面に接触しており、
少なくとも1つの前記離型エレメント(5,5’,5’’,5’’’,5 IV )は、側方に配置可能であり、
前記離型エレメント(5,5’,5’’,5’’’,5 IV )は、前記レンズウェーハ(6)に対する接着を防止する付着防止層によりコーティングされていることを特徴とする、レンズウェーハ(6)を製造する装置。 - 前記離型エレメント(5,5’,5’’,5’’’,5IV)が、端面(5s,5s’)を備えた加圧区分(12,12’)を有し、該加圧区分(12,12’)の外側輪郭は、前記加圧区分(12,12’)が、前記マイクロレンズ(15)の成形のための下側のレンズ型(7)および/または上側のレンズ型(8)の外側に位置する構造化されていない領域に配置可能となるように成形されている、請求項1記載の装置。
- 前記離型エレメント(5,5’,5’’,5’’’,5IV)の前記端面(5s,5s’)が、少なくとも前記加圧区分(12,12’)において、2000μmよりも小さい一様な厚さ(d)を有する、請求項2記載の装置。
- 当該装置が、前記下側のスタンプ(2)の円周区分に当て付けるための少なくとも1つの前記下側の離型エレメント(5,5’,5’’,5’’’,5IV)と、前記上側のスタンプ(4)の円周区分に当て付けるための少なくとも1つの前記上側の離型エレメント(5,5’,5’’,5’’’,5IV)とを有する、請求項1から3までのいずれか1項記載の装置。
- 多数のマイクロレンズ(15)を有するレンズウェーハ(6)を製造する方法であって、以下のステップ、
−型押し材料(9)を下側のスタンプ(2)またはウェーハに被着させるステップと、
−少なくとも1つの離型エレメント(5,5’,5’’,5’’’,5IV)を、前記下側のスタンプ(2)と、該下側のスタンプ(2)に対して位置合わせされた上側のスタンプ(4)との間に配置するステップと、
−前記型押し材料(9)を前記上側のスタンプ(4)によって型押しするステップと、
−前記型押し材料(9)を硬化させるステップと、
を有する製造方法において、
前記離型エレメントの配置を、硬化の前に行い、
少なくとも1つの前記離型エレメント(5,5’,5’’,5’’’,5 IV )は、前記下側のスタンプ(2)および/または前記上側のスタンプ(4)の表面に接触させており、側方に配置し、
前記離型エレメント(5,5’,5’’,5’’’,5 IV )を、前記レンズウェーハ(6)に対する接着を防止する付着防止層によりコーティングすることを特徴とする、レンズウェーハ(6)の製造方法。 - 前記離型エレメント(5,5’,5’’,5’’’,5IV)の加圧区分(12,12’)を、前記上側のスタンプ(4)の構造化されていない領域(14)に配置する、請求項5記載の方法。
- レンズウェーハ(6)を、硬化のあとに前記離型エレメント(5,5’,5’’,5’’’,5IV)を用いて、前記下側のスタンプ(2)および/または前記上側のスタンプ(4)から剥離させる、請求項5または請求項6記載の方法。
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