JP6389626B2 - Electrostatic spinning film forming equipment - Google Patents

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JP6389626B2 JP2014055274A JP2014055274A JP6389626B2 JP 6389626 B2 JP6389626 B2 JP 6389626B2 JP 2014055274 A JP2014055274 A JP 2014055274A JP 2014055274 A JP2014055274 A JP 2014055274A JP 6389626 B2 JP6389626 B2 JP 6389626B2
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Description

本発明の実施形態は、例えばエレクトロスピニング法を用いて被成膜物上に成膜する成膜装置に関する。   Embodiments described herein relate generally to a film forming apparatus that forms a film on an object to be formed using, for example, an electrospinning method.

ナノファイバを、ジェットＥＳＤ(Electro-Spray Deposition)法やエレクトロスピニング法を用いて基材上に塗布する技術が提案されている。また、エレクトロスピニング法を用いてシート上にナノファイバを塗布して、ナノファイバ膜を成膜するナノファイバ膜製造装置が提案されている。   Techniques for applying nanofibers onto a substrate using a jet ESD (Electro-Spray Deposition) method or an electrospinning method have been proposed. In addition, a nanofiber film manufacturing apparatus has been proposed in which nanofibers are coated on a sheet using an electrospinning method to form a nanofiber film.

この種のナノファイバ膜製造装置では、シートに設定される非堆積領域（未塗工部）上に、電圧が印加される導電体を設けて非堆積領域上にナノファイバ膜が成膜されることを防止する技術が用いられている。導電体を設けることによって、非堆積領域上に降り注ぐナノファイバを、導電体に帯電した電荷によって反発させて、非堆積領域上に堆積することを防止し、非堆積領域上にナノファイバ膜が成膜されることを防止している。   In this type of nanofiber film manufacturing apparatus, a conductor to which a voltage is applied is provided on a non-deposition region (uncoated portion) set on a sheet, and a nanofiber film is formed on the non-deposition region. Technology to prevent this is used. By providing a conductor, nanofibers that pour onto the non-deposition region are repelled by charges charged in the conductor and prevented from depositing on the non-deposition region, and a nanofiber film is formed on the non-deposition region. Prevents filming.

特開２０１０−１２１２２１号公報JP 2010-121221 A 特開２０１１−８４８４２号公報JP 2011-84842 A

上述した、非堆積領域に導電体を設ける技術は、ナノファイバを反発することによってナノファイバの被堆積領域への堆積を防止する技術であり、堆積領域（塗工部）にナノファイバを導くものではない。   The above-described technology for providing a conductor in a non-deposition region is a technology for preventing nanofibers from being deposited on the deposition region by repelling the nanofibers, and guiding the nanofibers to the deposition region (coating part). is not.

例えばシートの側面等、被成膜物において成膜材料を吐出する吐出部に対向していない面に成膜することが求められる場合がある。吐出部から吐出された成膜材料を、上述の側面のように、被成膜物において吐出部に対向していない面に塗布することは比較的難しい。   For example, in some cases, it is required to form a film on a surface of the film-deposited material such as a side of the sheet that is not opposed to the discharge unit that discharges the film-forming material. It is relatively difficult to apply the film-forming material discharged from the discharge part to the surface of the film formation object that does not face the discharge part, such as the above-described side surface.

このように、被成膜物に設定される塗工部の位置によっては、当該塗工部に成膜材料を塗布することが難しくなる場合がある。   As described above, depending on the position of the coating portion set on the deposition target, it may be difficult to apply the film forming material to the coating portion.

本発明が解決しようとする課題は、被成膜物に設定される塗工部上に成膜できる成膜装置を提供することである。   The problem to be solved by the present invention is to provide a film forming apparatus capable of forming a film on a coating part set on an object to be formed.

実施形態によれば、静電紡糸成膜装置は、成膜材料を吐出する吐出部と、前記吐出部に前
記成膜材料を供給する供給装置と、前記吐出部に供給された前記成膜材料に所定の電圧を
印加する電圧印加装置と、前記吐出部から吐出された前記成膜材料を、塗工部と、これに
隣接する未塗工部とを同一面内に有する被成膜物の前記塗工部に導く案内装置と、を備え
る。前記案内装置は、前記吐出部から吐出された前記成膜材料を前記塗工部に導く第１の
気流を形成する第１の気流発生装置を有し、前記第１の気流発生装置、前記吐出部はいず
れも前記被成膜物に対して一方の側に配置され、前記第１の気流は前記未塗工部から前記
塗工部に向かって形成されることで前記成膜材料を前記未塗工部に導かず、かつ前記成膜
材料を前記塗工部に導く。 According to the embodiment, the electrospinning film forming apparatus includes a discharge unit that discharges a film forming material, a supply device that supplies the film forming material to the discharge unit, and the film forming material that is supplied to the discharge unit. A voltage applying device that applies a predetermined voltage to the coating portion, and the film forming material ejected from the ejection portion.
And a guide device that guides the film-forming object having an adjacent uncoated part in the same plane to the coated part. The guide device includes a first airflow generation device that forms a first airflow that guides the film forming material discharged from the discharge portion to the coating portion, and the first airflow generation device, the discharge Department
Re is also arranged on one side with respect to the deposition target object, the first air stream is the non-application of the film forming material by being formed toward the coated portion from the previous SL uncoated area The film forming material is guided to the coating part without being guided to the working part.

第１の実施形態に係る成膜装置を示す斜視図。The perspective view which shows the film-forming apparatus which concerns on 1st Embodiment. 図１中のＦ２−Ｆ２線に沿って示す同成膜装置の断面図。Sectional drawing of the film-forming apparatus shown along the F2-F2 line in FIG. 同成膜装置の搬送装置上に設置された電極の一部を示す平面図。The top view which shows a part of electrode installed on the conveying apparatus of the film-forming apparatus. 第２の実施形態に係る成膜装置を、図２と同様に示す断面図。Sectional drawing which shows the film-forming apparatus which concerns on 2nd Embodiment similarly to FIG. 第３の実施形態に係る成膜装置を、図２と同様に示す断面図。Sectional drawing which shows the film-forming apparatus which concerns on 3rd Embodiment similarly to FIG. 第４の実施形態に係る成膜装置を、図２と同様に示す断面図。Sectional drawing which shows the film-forming apparatus which concerns on 4th Embodiment similarly to FIG. 第５の実施形態に係る成膜装置を示す斜視図。The perspective view which shows the film-forming apparatus which concerns on 5th Embodiment. 図７中のＦ８−Ｆ８線に沿って示す同成膜装置の断面図Sectional drawing of the same film-forming apparatus shown along line F8-F8 in FIG. 第６の実施形態に係る成膜装置を、図２と同様に示す断面図。Sectional drawing which shows the film-forming apparatus which concerns on 6th Embodiment similarly to FIG.

第１の実施形態に係る成膜装置を、図１，２，３を用いて説明する。図１は、成膜装置１０を示す斜視図である。図１に示すように、成膜装置１０は、一例としてエレクトロスピニング法を用いて、被成膜物の一例である電池の電極２０上に、セパレータ３０を成膜する装置である。電極２０は、シート形状であり、一方向に長い。   A film forming apparatus according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a perspective view showing a film forming apparatus 10. As shown in FIG. 1, the film forming apparatus 10 is an apparatus that forms a separator 30 on an electrode 20 of a battery, which is an example of an object to be formed, using an electrospinning method as an example. The electrode 20 has a sheet shape and is long in one direction.

成膜装置１０は、電極２０を搬送方向Ａに沿って送る搬送装置４０と、電極２０に電気的に接続されて電極２０の電位を減少する除電装置５０と、電極２０に向かって成膜材料の一例である液Ｌを吐出する吐出装置（吐出部）６０と、吐出装置６０に液Ｌを供給する液供給装置７０と、吐出装置６０に供給された液Ｌに電圧を印加する電圧印加装置８０と、気流制御装置（案内装置）９０と、成膜装置１０の動作を制御する制御装置１２０を有する。   The film forming apparatus 10 includes a transport device 40 that sends the electrode 20 along the transport direction A, a static elimination device 50 that is electrically connected to the electrode 20 to reduce the potential of the electrode 20, and a film forming material toward the electrode 20. A discharge device (discharge unit) 60 that discharges the liquid L, a liquid supply device 70 that supplies the liquid L to the discharge device 60, and a voltage application device that applies a voltage to the liquid L supplied to the discharge device 60. 80, an airflow control device (guide device) 90, and a control device 120 that controls the operation of the film forming device 10.

搬送装置４０は、電極２０を巻き取る巻き取りローラ装置４１と、回転自由に設けられる従動ローラ４５を有している。巻き取りローラ装置４１は、回動可能に形成される巻き取りローラ４２と、巻き取りローラ４２を回転回動するローラ駆動装置４３を有している。   The conveying device 40 includes a take-up roller device 41 that winds up the electrode 20 and a driven roller 45 that is freely rotatable. The take-up roller device 41 includes a take-up roller 42 formed to be rotatable and a roller driving device 43 that rotates and rotates the take-up roller 42.

巻き取りローラ４２と従動ローラ４５は、それぞれの軸線が互いに平行となる姿勢で、離間して配置されている。従動ローラ４５から巻き取りローラ４２に向かう方向が、搬送方向Ａである。電極２０の搬送方向Ａに沿う一端は、巻き取りローラ４２に固定されている。電極２０の搬送方向Ａに沿う他端は、従動ローラ４５に固定されている。電極２０は、従動ローラ４５に巻回されている。   The winding roller 42 and the driven roller 45 are arranged apart from each other in such a posture that their respective axes are parallel to each other. A direction from the driven roller 45 toward the take-up roller 42 is a conveyance direction A. One end of the electrode 20 along the conveyance direction A is fixed to the take-up roller 42. The other end of the electrode 20 along the conveyance direction A is fixed to the driven roller 45. The electrode 20 is wound around a driven roller 45.

除電装置５０は、ローラ４２，４５上に設置される電極２０に電気的に接続可能に形成される接続線５１と、接続線５１に接続される接地部５２を有している。本実施形態では、一例として、接続線５１は、従動ローラ４５に接続されている。従動ローラ４５は、電極２０にたまる電荷を接続線５１に伝達可能に形成されている。接地部５２は、搬送装置４０から離れた位置に設けられている。接続線５１は、電極２０の電荷を接地部５２に逃がすことが可能に形成されている。   The static eliminator 50 includes a connection line 51 formed so as to be electrically connectable to the electrode 20 installed on the rollers 42 and 45, and a grounding part 52 connected to the connection line 51. In the present embodiment, as an example, the connection line 51 is connected to the driven roller 45. The driven roller 45 is formed so that charges accumulated in the electrode 20 can be transmitted to the connection line 51. The grounding unit 52 is provided at a position away from the transfer device 40. The connection line 51 is formed so that the electric charge of the electrode 20 can be released to the ground part 52.

吐出装置６０は、セパレータ３０を形成する材料である液Ｌを吐出可能に形成されるノズル６１を複数有している。これら複数のノズル６１は、搬送装置４０の上方において巻き取りローラ４２と従動ローラ４５の間に、搬送方向Ａに沿って直線状に並んで配置されている。これら複数のノズル６１は、等間隔離間して配置されている。１つのノズル６１による液Ｌの塗布可能範囲については、後で具体的に説明する。   The discharge device 60 has a plurality of nozzles 61 formed so as to be able to discharge the liquid L that is a material for forming the separator 30. The plurality of nozzles 61 are arranged in a straight line along the transport direction A between the take-up roller 42 and the driven roller 45 above the transport device 40. The plurality of nozzles 61 are arranged at regular intervals. The range where the liquid L can be applied by one nozzle 61 will be described in detail later.

液供給装置７０は、液Ｌを蓄えるタンクと当該タンクから液Ｌを送るポンプなどを有する液供給源７１と、液供給源７１内の液を各ノズル６１に供給可能に形成される液供給配管７２を有している。液供給配管７２は、各ノズル６１に連結されている。   The liquid supply device 70 includes a liquid supply source 71 having a tank for storing the liquid L, a pump for sending the liquid L from the tank, and the like, and a liquid supply pipe formed so that the liquid in the liquid supply source 71 can be supplied to each nozzle 61. 72. The liquid supply pipe 72 is connected to each nozzle 61.

電圧印加装置８０は、各ノズル６１に電気的に接続される基部８１と、基部８１に電圧を印加する電源装置８２を有している。基部８１は、例えば板形状であり、各ノズル６１を収容する収容孔８３が形成されている。ノズル６１は、その周面が収容孔８３の周縁に接触した状態で、基部８１に固定されている。ノズル６１と基部８１は、ノズル６１に供給された液Ｌに、電源装置８２から供給される電圧を印加可能に形成されている。   The voltage application device 80 includes a base portion 81 that is electrically connected to each nozzle 61, and a power supply device 82 that applies a voltage to the base portion 81. The base 81 has a plate shape, for example, and is formed with an accommodation hole 83 for accommodating each nozzle 61. The nozzle 61 is fixed to the base 81 in a state where the peripheral surface thereof is in contact with the peripheral edge of the accommodation hole 83. The nozzle 61 and the base 81 are formed so that a voltage supplied from the power supply device 82 can be applied to the liquid L supplied to the nozzle 61.

除電装置５０によって電極２０が除電されることにより、各ノズル６１から吐出された液Ｌは、当該液Ｌに印加された電圧と電極２０の間の電位差により、電極２０に導かれ、電極２０上に到達するまでの間にナノファイバＮとなり、電極２０上に塗布される。そして、塗布されたナノファイバＮによって、電極２０上に成膜される。形成される膜は、ナノファイバＮによって形成される不織布状であり、セパレータ３０になる。このように、エレクトロスピニング法により、電極２０上にセパレータ３０が成膜される。   When the electrode 20 is neutralized by the static eliminator 50, the liquid L discharged from each nozzle 61 is guided to the electrode 20 by the potential difference between the voltage applied to the liquid L and the electrode 20, and on the electrode 20. Until it reaches nanofiber N, and is applied onto electrode 20. Then, a film is formed on the electrode 20 by the applied nanofiber N. The film to be formed is a nonwoven fabric formed by the nanofibers N and becomes the separator 30. Thus, the separator 30 is formed on the electrode 20 by electrospinning.

ここで、電極２０について具体的に説明する。図２は、図１に示すＦ２−Ｆ２線に沿って示す、成膜装置１０断面図である。図２は、成膜装置１０を、搬送方向Ａに垂直に切断した状態を示している。   Here, the electrode 20 will be specifically described. FIG. 2 is a cross-sectional view of the film forming apparatus 10 taken along the line F2-F2 shown in FIG. FIG. 2 shows a state in which the film forming apparatus 10 is cut perpendicular to the transport direction A.

図２に示すように、電極２０は、例えばアルミニウムを主材料として形成される集電シート２１と、集電シート２１の第１の主面２２上に設けられる第１の活物質層２３と、集電シート２１の第２の主面２４上に設けられる第２の活物質層２５を有している。活物質層２３，２５は、活物質と導電剤とが、バインダによって集電シート２１上に定着されることによって、形成される。   As shown in FIG. 2, the electrode 20 includes, for example, a current collector sheet 21 formed of aluminum as a main material, a first active material layer 23 provided on the first main surface 22 of the current collector sheet 21, It has the 2nd active material layer 25 provided on the 2nd main surface 24 of the current collection sheet | seat 21. FIG. The active material layers 23 and 25 are formed by fixing the active material and the conductive agent on the current collector sheet 21 with a binder.

集電シート２１の第１の主面２２には、セパレータ３０を形成する液Ｌを塗布しない未塗工部１４０が設定されている。言い換えると、未塗工部１４０は、セパレータ３０を成膜しない範囲である。   On the first main surface 22 of the current collector sheet 21, an uncoated portion 140 that does not apply the liquid L that forms the separator 30 is set. In other words, the uncoated portion 140 is a range where the separator 30 is not formed.

未塗工部１４０は、第１の主面２２の一端部に設定されている。活物質層２３は、第１の主面２２において、未塗工部以外の部分上に積層されている。第１の活物質層２３の側縁２３ｂは、集電シート２１の他端２１ａまで延びている。同様に、第２の活物質層２５の端２５ａは、集電シート２１の他端２１ａまで延びている。   The uncoated portion 140 is set at one end of the first main surface 22. The active material layer 23 is laminated on a portion other than the uncoated portion in the first main surface 22. The side edge 23 b of the first active material layer 23 extends to the other end 21 a of the current collector sheet 21. Similarly, the end 25 a of the second active material layer 25 extends to the other end 21 a of the current collector sheet 21.

第１の主面２２では、未塗工部１４０と第１の活物質層２３の間には、第１の活物質層２３の側面２６が露出している。活物質層２３，２５の他端の側面２７，２８と、集電シート２１の他端の側面２９とは、面一に形成されている。側面２７，２８，２９は、電極２０の側面２０ａを形成している。   On the first main surface 22, the side surface 26 of the first active material layer 23 is exposed between the uncoated portion 140 and the first active material layer 23. The side surfaces 27 and 28 at the other end of the active material layers 23 and 25 and the side surface 29 at the other end of the current collector sheet 21 are formed flush with each other. The side surfaces 27, 28 and 29 form the side surface 20 a of the electrode 20.

電極２０において、セパレータ３０を形成すべくナノファイバＮが塗布される塗工部１５０は、第１の活物質層２３の表面２３ａと、第１の活物質層２３の側面２６，２７と、集電シート２１の側面２８と、第２の活物質層２５の側面２９である。   In the electrode 20, the coating part 150 to which the nanofibers N are applied to form the separator 30 includes a surface 23 a of the first active material layer 23, side surfaces 26 and 27 of the first active material layer 23, These are the side surface 28 of the electric sheet 21 and the side surface 29 of the second active material layer 25.

ここで、後述される気流制御装置９０の作用が影響しない状態での、吐出装置６０による、電極２０に対するナノファイバＮの塗布可能範囲について、説明する。なお、気流制御装置９０の作用が影響しない状態とは、気流制御装置９０が動作していない状態である。塗布可能範囲とは、不織布形状のナノファイバＮを塗布可能な範囲である。   Here, the range in which the nanofibers N can be applied to the electrode 20 by the discharge device 60 in a state where the action of the airflow control device 90 described later is not affected will be described. The state where the action of the airflow control device 90 is not affected is a state where the airflow control device 90 is not operating. The application range is a range in which the non-woven nanofiber N can be applied.

図３は、搬送装置４０上に設置された電極２０の一部を示す平面図である。図３には、１つのノズル６１による、気流制御装置９０の作用が影響しない状態での塗布可能範囲１６０を、２点鎖線で示している。   FIG. 3 is a plan view showing a part of the electrode 20 installed on the transfer device 40. In FIG. 3, a coating possible range 160 in a state where the action of the airflow control device 90 by one nozzle 61 is not affected is indicated by a two-dot chain line.

図３に示すように、１つのノズル６１による塗布可能範囲１６０は、例えば略矩形である。塗布可能範囲１６０の形状は、例えばノズル６１の形状によって決定されている。塗布可能範囲１６０は、電極２０が巻き取りローラ４２と従動ローラ４５に対して所定の設置状態で設置された状態において、幅方向Ｗの両側縁１６１，１６２が、塗工部１５０の幅方向Ｗの両側縁１５１，１５２よりも外側に位置している。塗工部１５０の側縁１５２は、第１の活物質層２３の側縁２３ｂである。所定の設置状態は、電極２０を搬送装置４０に設置する際に予め決定されている。なお、幅方向Ｗは、電極２０の上面に沿って搬送方向Ａに垂直な方向である。   As shown in FIG. 3, the application possible range 160 by one nozzle 61 is substantially rectangular, for example. The shape of the coatable range 160 is determined by the shape of the nozzle 61, for example. In the state where the electrode 20 is installed in a predetermined installation state with respect to the take-up roller 42 and the driven roller 45, the application possible range 160 is such that both side edges 161, 162 in the width direction W are in the width direction W of the coating unit 150. It is located outside the both side edges 151,152. The side edge 152 of the coating unit 150 is the side edge 23 b of the first active material layer 23. The predetermined installation state is determined in advance when the electrode 20 is installed in the transfer device 40. The width direction W is a direction perpendicular to the transport direction A along the upper surface of the electrode 20.

言い換えると、塗布可能範囲１６０は、電極２０の幅方向Ｗにおいては、内側に塗工部１５０を収容する大きさを有している。具体的には、幅方向Ｗの一方では、塗布可能範囲１６０を規定する側縁１６１は、未塗工部１４０内に位置する。また、幅方向Ｗの他方では、塗布可能範囲１６０を規定する側縁１６２は、電極２０の外側に位置する。   In other words, the coatable range 160 has a size that accommodates the coating part 150 on the inner side in the width direction W of the electrode 20. Specifically, on one side in the width direction W, the side edge 161 that defines the coatable range 160 is located in the uncoated portion 140. Further, on the other side in the width direction W, the side edge 162 that defines the coatable range 160 is located outside the electrode 20.

塗布可能範囲１６０のうち、未塗工部１４０上に突出する範囲を第１の突出範囲１６３とする。第１の突出範囲１６３は、塗布可能範囲１６０の側縁１６１と塗工部１５０の側縁１５１の間に規定される範囲である。塗布可能範囲１６０のうち、電極２０の外側に突出する範囲を第２の突出範囲１６４とする。第２の突出範囲１６４は、塗布可能範囲１６０の側縁１６２と塗工部１５０の側縁１５２、つまり第１の活物質層２３の側縁２３ｂの間に規定される範囲である。   A range that protrudes on the uncoated part 140 in the application range 160 is defined as a first protruding range 163. The first protruding range 163 is a range defined between the side edge 161 of the coatable range 160 and the side edge 151 of the coating unit 150. A range that protrudes outside the electrode 20 in the application possible range 160 is a second protruding range 164. The second protruding range 164 is a range defined between the side edge 162 of the coatable range 160 and the side edge 152 of the coating portion 150, that is, the side edge 23 b of the first active material layer 23.

図３に示す塗布可能範囲１６０は、１つのノズル６１に設定される範囲である。本実施形態では、複数のノズル６１が電極２０の搬送方向Ａに沿って並んでいる。さらに、電極２０は、搬送方向Ａに搬送される。このため、実際には、各ノズル６１の塗布可能範囲１６０が搬送方向Ａにつながること、かつ、電極２０が搬送されることによって、気流制御装置９０の作用が影響しない状態での吐出装置６０の塗布可能範囲は、塗工部１５０を内側に収容する大きさを有するようになる。具体的には、塗工部１５０を規定する周縁は、吐出装置６０による塗布可能範囲、つまり、各ノズル６１の塗布可能範囲１６０が合わさった範囲の周縁の内側に位置する。   An applicable range 160 shown in FIG. 3 is a range set for one nozzle 61. In the present embodiment, the plurality of nozzles 61 are arranged along the conveyance direction A of the electrode 20. Further, the electrode 20 is transported in the transport direction A. Therefore, in practice, the application range 160 of each nozzle 61 is connected to the transport direction A, and the electrode 20 is transported, so that the action of the airflow control device 90 is not affected. The coatable range has a size that accommodates the coating part 150 inside. Specifically, the peripheral edge that defines the coating unit 150 is located inside the peripheral area of the range that can be applied by the discharge device 60, that is, the range in which the applicable area 160 of each nozzle 61 is combined.

成膜装置１０の説明に戻る。図１，２に示すように、気流制御装置９０は、制御装置１２０によって動作が制御される第１の送風装置（塗り分け気流発生装置）１００と、制御装置１２０によって動作が制御される第２の送風装置（回り込み気流発生装置）１１０を有している。   Returning to the description of the film forming apparatus 10. As shown in FIGS. 1 and 2, the airflow control device 90 includes a first blower device (painted airflow generation device) 100 whose operation is controlled by the control device 120 and a second whose operation is controlled by the control device 120. The air blower (around airflow generator) 110 is provided.

第１の送風装置１００は、送風可能に形成される第１の送風口部１０１と、第１の送風口部１０１に、送風される気体の一例である空気を供給可能に形成される第１の空気供給装置１０２と、第１の空気供給装置１０２から第１の送風口部１０１に空気を導くことを可能に形成される第１の空気配管１０３を有している。   The 1st air blower 100 is formed so that supply of the air which is an example of the air blown to the 1st air outlet part 101 formed so that ventilation is possible and the 1st air outlet part 101 is possible. Air supply device 102 and a first air pipe 103 formed so as to be able to guide air from the first air supply device 102 to the first air blowing port portion 101.

第１の送風口部１０１は、巻き取りローラ４２から従動ローラ４５まで延びる長さを有しており、ローラ４２，４５の間上において、未塗工部１４０の近傍に配置されている。第１の送風口部１０１は、その下端に第１の送風口１０４が形成されている。第１の送風口１０４から送風される。   The first air blowing port portion 101 has a length extending from the take-up roller 42 to the driven roller 45, and is disposed in the vicinity of the uncoated portion 140 between the rollers 42 and 45. As for the 1st ventilation port part 101, the 1st ventilation port 104 is formed in the lower end. The air is blown from the first air outlet 104.

図２に示すように、第１の送風口部１０１の位置と姿勢は、第１の送風口１０４からの送風が、第１の主面２２の未塗工部１４０側から塗工部１５０である第１の活物質層２３の表面２３ａに向かう位置と姿勢に調整されており、固定されている。具体的には、第１の送風口部１０１は、未塗工部１４０に、幅方向外側から内側に向かって斜め下方に送風している。   As shown in FIG. 2, the position and posture of the first air blowing port portion 101 are such that the air blown from the first air blowing port 104 is applied from the uncoated portion 140 side of the first main surface 22 to the coating portion 150. The position and attitude toward the surface 23a of a certain first active material layer 23 are adjusted and fixed. Specifically, the first blower port portion 101 blows the uncoated portion 140 obliquely downward from the outer side in the width direction toward the inner side.

より具体的には、第１の送風口部１０１の位置と姿勢は、第１の送風口１０４からの送風によって形成される気流１０５によって、第１の突出範囲１６３内に降り注ぐナノファイバＮの一部が第１の活物質層２３の表面２３ａ上に移動し、残りの部分が、移動する際に第１の活物質層２３の側面２６に塗布される位置と姿勢に調整されている。言い換えると、第１の送風装置１００は、ナノファイバＮを、塗工部１５０に導く気流１０５を形成する。上述の位置と姿勢は、例えば実験によって得ることができる。   More specifically, the position and posture of the first air blowing port portion 101 are the same as those of the nanofibers N that flow into the first protruding range 163 by the air flow 105 formed by the air blowing from the first air blowing port 104. The portion moves onto the surface 23 a of the first active material layer 23, and the remaining portion is adjusted to the position and posture applied to the side surface 26 of the first active material layer 23 when moving. In other words, the first blower 100 forms an air flow 105 that guides the nanofiber N to the coating unit 150. The above-described position and posture can be obtained by, for example, experiments.

第１の空気供給装置１０２は、例えばコンプレッサを有しており、第１の送風口部１０１に空気を供給する。第１の送風口１０４からの送風の強さは、第１の空気供給装置１０２から供給される空気の圧力によって決定される。第１の空気供給装置１０２によって供給される空気の圧力は、気流１０５によって、第１の活物質層２３の表面２３ａ上に降り注ぐナノファイバＮが吹き飛ばされる等、第１の活物質層２３上に降り注ぐナノファイバＮに対し、電極２０の品質を悪化させる影響がないものに設定されている。   The first air supply device 102 has, for example, a compressor, and supplies air to the first air blowing port portion 101. The strength of the air blowing from the first air outlet 104 is determined by the pressure of the air supplied from the first air supply device 102. The pressure of the air supplied by the first air supply device 102 is applied to the first active material layer 23 such that the nanofibers N falling on the surface 23a of the first active material layer 23 are blown off by the air flow 105. The nanofiber N is poured so that the quality of the electrode 20 is not deteriorated.

第２の送風装置１１０は、送付可能に形成される第２の送風口部１１１と、第２の送風口部１１１に、送風される気体の一例である空気を供給可能に形成される第２の空気供給装置１１２と、第２の空気供給装置１１２が吐出した空気を第２の送風口部１１１に供給可能に形成される第２の空気配管１１３を有している。   The second blower device 110 is formed so as to be able to supply air, which is an example of gas to be blown, to the second blower port portion 111 formed so as to be capable of being sent and the second blower port portion 111. The air supply device 112 and the second air pipe 113 formed so as to be able to supply the air discharged from the second air supply device 112 to the second air blowing port portion 111 are provided.

図１に示すように、第２の送風口部１１１は、巻き取りローラ４２から従動ローラ４５まで延びる長さを有している。第２の送風口部１１１の下端には、第２の送風口１１４が形成されている。第２の送風口１１４から送風される。第２の送風口１１４は、巻き取りローラ４２から従動ローラ４５までの範囲に形成されている。第２の送風口部１１１は、電極２０を、第１の送風口部１０１との間に幅方向Ｗに挟む位置に配置されている。   As shown in FIG. 1, the second air blowing port 111 has a length extending from the take-up roller 42 to the driven roller 45. A second air outlet 114 is formed at the lower end of the second air outlet 111. The air is blown from the second blower opening 114. The second air blowing port 114 is formed in a range from the winding roller 42 to the driven roller 45. The second blower port portion 111 is disposed at a position where the electrode 20 is sandwiched between the first blower port portion 101 and the first blower port portion 101 in the width direction W.

図２に示すように、第２の送風口部１１１の位置と姿勢は、第２の送風口１１４からの送風によって形成される気流１１５が、第１の活物質層２３の表面２３ａに対して垂直に上方から下方に進むとともに、第１の活物質層２３に接触しないように設定されている。さらに、第２の送風口部１１１の位置と姿勢は、第２の送風口部１１１からの送風によって形成される気流１１５によって、第２の突出範囲１６４上に降り注ぐナノファイバＮが、電極２０の側面２０ａに回り込んで側面２０ａ上に塗布可能となる位置と姿勢に設定されている。言い換えると、第２の送風装置１１０は、ナノファイバＮを、塗工部１５０に導く気流１１５を形成している。上述の位置と姿勢は、例えば実験によって得ることができる。   As shown in FIG. 2, the position and posture of the second air blowing port 111 are such that the air flow 115 formed by the air blowing from the second air blowing port 114 is relative to the surface 23 a of the first active material layer 23. It is set not to contact the first active material layer 23 while proceeding vertically from above to below. Furthermore, the position and posture of the second air blowing port 111 are such that the nanofiber N that pours onto the second projecting range 164 by the air flow 115 formed by the air blowing from the second air blowing port 111 is The position and posture are set so as to go around the side surface 20a and allow application on the side surface 20a. In other words, the second blower 110 forms an air flow 115 that guides the nanofiber N to the coating unit 150. The above-described position and posture can be obtained by, for example, experiments.

第２の空気供給装置１１２は、例えばコンプレッサを有しており、圧縮空気を吐出可能に形成されている。第２の空気配管１１３は、第２の空気供給装置１１２と第２の送風口部１１１に連結されており、第２の空気供給装置１１２が吐出した空気を第２の送風口部１１１に導くことが可能に形成されている。   The second air supply device 112 has, for example, a compressor and is formed so as to be able to discharge compressed air. The second air pipe 113 is connected to the second air supply device 112 and the second air blowing port 111, and guides the air discharged by the second air supply device 112 to the second air blowing port 111. It is possible to be formed.

制御装置１２０は、搬送装置４０のローラ駆動装置４３と、液供給装置７０の液供給源７１の動作と、電圧印加装置８０の電源装置８２の動作と、第１の送風装置１００の第１の空気供給装置１０２の動作と、第２の送風装置１１０の第２の空気供給装置１１２の動作を制御可能に形成されている。   The control device 120 operates the roller drive device 43 of the transport device 40, the operation of the liquid supply source 71 of the liquid supply device 70, the operation of the power supply device 82 of the voltage application device 80, and the first of the first blower device 100. The operation of the air supply device 102 and the operation of the second air supply device 112 of the second blower device 110 are controllable.

次に、成膜装置１０の動作を説明する。電極２０は、所定の設置状態で、搬送装置４０に設置されている。具体的には、電極２０は、その長手方向が搬送方向Ａに沿い、未塗工部１４０が第１の送風口部１０１側に位置し、塗工部１５０が幅方向Ｗに１つのノズル６１による塗布可能範囲１６０内に収容されて第１の突出範囲１６３と第２の突出範囲１６４が形成される状態で、巻き取りローラ４２と従動ローラ４５に固定されている。なお、成膜されていない電極２０は、従動ローラ４５に複数層巻回されている。   Next, the operation of the film forming apparatus 10 will be described. The electrode 20 is installed in the transfer device 40 in a predetermined installation state. Specifically, the electrode 20 has a longitudinal direction along the transport direction A, the uncoated portion 140 is positioned on the first air blowing port 101 side, and the coated portion 150 has one nozzle 61 in the width direction W. In the state where the first projecting range 163 and the second projecting range 164 are formed by being accommodated in the applicable range 160, the winding roller 42 and the driven roller 45 are fixed. Note that the electrode 20 that is not formed is wound around the driven roller 45 by a plurality of layers.

作業者が成膜装置１０の動作を開始する開始スイッチを押す等して、成膜装置１０の動作を開始する。動作が開始されると、上述した各装置の動作を開始する。   The operator starts the operation of the film forming apparatus 10 by pressing a start switch for starting the operation of the film forming apparatus 10 or the like. When the operation is started, the operation of each device described above is started.

ローラ駆動装置４３の動作が開始されることによって、巻き取りローラ４２が回転する。巻き取りローラ４２が回転すると、電極２０が巻き取られるとともに、電極２０に引っ張られることによって、従動ローラ４５に巻回されていた電極２０が繰り出される。このことによって、電極２０が搬送方向Ａに搬送される。   When the operation of the roller driving device 43 is started, the winding roller 42 rotates. When the take-up roller 42 rotates, the electrode 20 is taken up and pulled by the electrode 20, whereby the electrode 20 wound around the driven roller 45 is fed out. As a result, the electrode 20 is transported in the transport direction A.

液供給装置７０と電源装置８２の動作が開始されることによって、各ノズル６１にナノファイバＮを形成する液Ｌが供給される。また、各ノズル６１に供給された液Ｌは、電圧が印加された後に吐出される。   When the operations of the liquid supply device 70 and the power supply device 82 are started, the liquid L that forms the nanofiber N is supplied to each nozzle 61. Moreover, the liquid L supplied to each nozzle 61 is discharged after a voltage is applied.

第１の空気供給装置１０２の動作が開始されることによって、第１の送風口１０４からの送風によって気流１０５が形成される。また、第２の空気供給装置１１２の動作が開始されることによって、第２の送風口１１４からの送風によって気流１１５が形成される。   When the operation of the first air supply device 102 is started, an air flow 105 is formed by the air blowing from the first air blowing port 104. Further, when the operation of the second air supply device 112 is started, the air flow 115 is formed by the air blowing from the second air blowing port 114.

図２に示すように、各ノズル６１から吐出された液Ｌは、電極２０に到達するまでの間にナノファイバＮを形成する。ナノファイバＮは、塗工部１５０の一部である、第１の活物質層２３の表面２３ａ上に降り注ぐ。表面２３ａ上に降り注いだナノファイバＮは、不織布状の膜を形成する。   As shown in FIG. 2, the liquid L discharged from each nozzle 61 forms nanofibers N before reaching the electrode 20. The nanofiber N falls on the surface 23 a of the first active material layer 23, which is a part of the coating part 150. The nanofibers N that have poured onto the surface 23a form a non-woven fabric film.

第１の突出範囲１６３上に降り注ぐナノファイバＮの一部は、気流１０５によって、未塗工部１４０側から第１の活物質層２３の表面２３ａ上に移動して、表面２３ａ上に降り注ぐ。第１の突出範囲１６３上に降り注ぐナノファイバＮの残りの部分は、気流１０５によって未塗工部１４０から第１の活物質層２３側に移動するときに、第１の活物質層２３の側面２６に塗布される。このことにより、塗工部１５０の一部である、第１の活物質層２３の側面２６上に不織布状の膜が成膜される。   A part of the nanofiber N that falls on the first protruding range 163 moves from the uncoated part 140 side to the surface 23a of the first active material layer 23 by the air flow 105, and falls on the surface 23a. When the remaining part of the nanofiber N that falls on the first protruding range 163 moves from the uncoated part 140 to the first active material layer 23 side by the air flow 105, the side surface of the first active material layer 23 26 is applied. As a result, a non-woven fabric film is formed on the side surface 26 of the first active material layer 23, which is a part of the coating unit 150.

第２の突出範囲１６４上に降り注ぐナノファイバＮは、気流１１５によって、第１の活物質層２３の側面２７と、集電シート２１の側面２８と、第２の活物質層２５の側面２９に回り込むことによって、これら側面２７，２８，２９上に塗布される。   The nanofibers N falling on the second projecting range 164 are caused by the air flow 115 to the side surface 27 of the first active material layer 23, the side surface 28 of the current collector sheet 21, and the side surface 29 of the second active material layer 25. By wrapping around, it is applied on these side surfaces 27, 28 and 29.

このように、気流１０５，１１５によって、未塗工部１４０にナノファイバＮが堆積することがなく、塗工部１５０上にのみナノファイバＮが堆積することによって、塗工部１５０上にのみナノファイバＮによる不織布状のセパレータ３０が成膜される。   As described above, the nanofibers N are not deposited on the uncoated portion 140 by the airflows 105 and 115, and the nanofibers N are deposited only on the coated portion 150, so that the nanofibers N are deposited only on the coated portion 150. A non-woven separator 30 made of fiber N is formed.

電極２０においてセパレータ３０が成膜された部分は、巻き取りローラ４２に巻き取られる。   The portion of the electrode 20 on which the separator 30 is formed is taken up by the take-up roller 42.

このように構成される成膜装置１０によれば、電極２０の周囲の気流を制御することによって、言い換えると、電極２０の周囲に、塗工部１５０に向かう気流を形成することによって、ナノファイバＮを、未塗工部１４０に導くことなく、塗工部１５０に導くことができる。   According to the film forming apparatus 10 configured in this way, by controlling the airflow around the electrode 20, in other words, by forming the airflow around the electrode 20 toward the coating unit 150, the nanofiber N can be guided to the coating part 150 without being guided to the uncoated part 140.

また、気流を制御することによって、第１の活物質層２３の側面２６，２７と、集電シート２１の側面２８と、第２の活物質層２５の側面２９のように、ノズル６１に対向していない面にも、ナノファイバＮを導くことができる。   Further, by controlling the air flow, the side surfaces 26 and 27 of the first active material layer 23, the side surface 28 of the current collector sheet 21, and the side surface 29 of the second active material layer 25 face the nozzle 61. The nanofiber N can also be guided to the surface that is not.

また、気流制御装置９０の作用が影響していない状態における、吐出装置６０によるナノファイバＮの塗布可能範囲は、その内側に塗工部１５０を収容する大きさを有しており、第１の突出範囲１６３と第２の突出範囲１６４を有している。第１の突出範囲１６３を有することによって、気流１０５により、ナノファイバＮを第１の活物質層２３の側面２６に塗布することができる。第２の突出範囲１６４を有することによって、気流１１５により、ナノファイバＮを、第１の活物質層２３の側面２７と、集電シート２１の側面２８と、第２の活物質層２５の側面２９に塗布することができる。   In addition, the range in which the nanofiber N can be applied by the discharge device 60 in a state where the action of the airflow control device 90 is not affected has a size that accommodates the coating portion 150 inside thereof, A protruding range 163 and a second protruding range 164 are provided. By having the first protruding range 163, the nanofiber N can be applied to the side surface 26 of the first active material layer 23 by the air flow 105. By having the second projecting range 164, the nanofiber N is caused to flow into the side surface 27 of the first active material layer 23, the side surface 28 of the current collector sheet 21, and the side surface of the second active material layer 25 by the air flow 115. 29 can be applied.

次に、第２の実施形態に係る成膜装置を、図４を用いて説明する。なお、第１の実施形態と同様の機能を有する構成は、第１の実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。本実施形態では、気流制御装置９０が第１の実施形態と異なる。他の構造は同じである。上記異なる点について、具体的に説明する。   Next, a film forming apparatus according to the second embodiment will be described with reference to FIG. In addition, the structure which has the same function as 1st Embodiment attaches | subjects the code | symbol same as 1st Embodiment, and abbreviate | omits description. In this embodiment, the airflow control device 90 is different from that of the first embodiment. Other structures are the same. The above different points will be specifically described.

図４は、本実施形態の成膜装置１０を、図２と同様に示す断面図である。図４に示すように、本実施形態の第１の送風装置１００は、さらに、反射壁部１０６を有している。反射壁部１０６は、第１の送風口部１０１の近傍に配置されており、第１の送風口部１０１の第１の送風口１０４からの送風を受けて、未塗工部１４０側から第１の活物質層２３の表面２３ａ側に向かって反射可能に形成されている。   FIG. 4 is a cross-sectional view showing the film forming apparatus 10 of the present embodiment in the same manner as FIG. As shown in FIG. 4, the first blower device 100 of the present embodiment further has a reflection wall portion 106. The reflection wall portion 106 is disposed in the vicinity of the first air blowing port portion 101, receives air from the first air blowing port 104 of the first air blowing port portion 101, and receives the air from the uncoated portion 140 side. The first active material layer 23 is formed so as to be able to reflect toward the surface 23a side.

本実施形態では、第１の送風口部１０１の位置と姿勢、および、反射壁部１０６の位置と姿勢は、反射壁部１０６で反射された送風によって形成される気流１０７が、第１の実施形態で説明された第１の送風口部１０１からの送風によって形成される気流１０５と同じ機能を有するように調整されている。ここで言う同じ機能とは、第１の突出範囲１６３上に降り注ぐナノファイバＮを、未塗工部１４０側から第１の活物質層２３の表面２３ａ及び側面２６に導くことが可能となる機能である。   In the present embodiment, the position and posture of the first air blowing port portion 101 and the position and posture of the reflecting wall portion 106 are the same as those in the first embodiment. It has adjusted so that it may have the same function as the airflow 105 formed by the ventilation from the 1st ventilation port part 101 demonstrated by the form. Here, the same function refers to a function that can guide the nanofiber N that falls on the first protruding range 163 from the uncoated portion 140 side to the surface 23a and the side surface 26 of the first active material layer 23. It is.

本実施形態では、第１の実施形態と同様の効果が得られる。また、本実施形態のように、反射壁部１０６によって反射された送風によって形成される気流１０７を用いることに加えて、第１の送風口部１０１から反射壁部１０６までの経路において、送風によって形成される気流１０８を利用することもできる。   In the present embodiment, the same effect as in the first embodiment can be obtained. Moreover, in addition to using the airflow 107 formed by the airflow reflected by the reflecting wall portion 106 as in the present embodiment, in the path from the first air outlet portion 101 to the reflecting wall portion 106 by the airflow. The airflow 108 that is formed can also be used.

例えば、本実施形態では、第１の送風口部１０１から反射壁部１０６に向かう送風によって形成される気流１０８は、第１の実施形態で説明された気流１０５に比較して、未塗工部１４０から第１の活物質層２３に向かう成分が小さい。   For example, in this embodiment, the air flow 108 formed by the air flow from the first air blowing port portion 101 toward the reflection wall portion 106 is an uncoated portion compared to the air flow 105 described in the first embodiment. A component from 140 toward the first active material layer 23 is small.

このため、この気流１０７による、ナノファイバＮを未塗工部１４０から第１の活物質層２３側に移動する作用が、小さくなる。言い換えると、ノズル６１と電極２０との間の空間の上方において、ナノファイバＮが第２の送風装置１１０側に移動し過ぎることを防止できる。このことは、塗工部１５０上に均一に成膜することに対して有効である。   For this reason, the effect | action which moves the nanofiber N to the 1st active material layer 23 side from the uncoated part 140 by this airflow 107 becomes small. In other words, it is possible to prevent the nanofiber N from moving too far toward the second blower 110 above the space between the nozzle 61 and the electrode 20. This is effective for forming a uniform film on the coating unit 150.

このように、反射壁部１０６を用いることによって、１つの送風口部からの送風によって形成される気流の向きを多段的に変更することができるので、例えば、ノズル６１から電極２０までの間の範囲の各位置において適切な気流を形成することができる。   In this way, by using the reflection wall portion 106, the direction of the airflow formed by the air blowing from one air blowing port portion can be changed in a multistage manner. For example, between the nozzle 61 and the electrode 20 An appropriate air flow can be formed at each position in the range.

なお、本実施形態では、第１の送風装置１００が反射壁部１０６を有しているが、例えば、第２の送風装置１１０が反射壁部を有してもよい。また、本実施形態では、１つの反射壁部１０６が用いられているが、反射壁部１０６の数は、１つに限定されるものではない。   In the present embodiment, the first blower 100 has the reflective wall 106, but the second blower 110 may have the reflective wall, for example. In the present embodiment, one reflection wall portion 106 is used, but the number of reflection wall portions 106 is not limited to one.

次に、第３の実施形態に係る成膜装置を、図５を用いて説明する。なお、本実施形態において第１の実施形態と同様の機能を有する構成は、第１の実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。本実施形態では、吐出装置６０が第１の実施形態と異なる。他の構造は、第１の実施形態と同じである。上記異なる点を具体的に説明する。   Next, a film forming apparatus according to the third embodiment will be described with reference to FIG. In the present embodiment, configurations having functions similar to those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals as those of the first embodiment, and description thereof is omitted. In the present embodiment, the ejection device 60 is different from the first embodiment. Other structures are the same as those in the first embodiment. The different points will be specifically described.

図５は、本実施形態の成膜装置１０を、図２と同様に示す断面図である。図５に示すように、本実施形態では、吐出装置６０は、ノズル６１に換えて、複数のノズル６２を有する。   FIG. 5 is a cross-sectional view showing the film forming apparatus 10 of the present embodiment in the same manner as FIG. As shown in FIG. 5, in the present embodiment, the ejection device 60 has a plurality of nozzles 62 instead of the nozzles 61.

ノズル６２は、搬送方向Ａに、図１に示すノズル６１の配列と同様に複数並ぶとともに、電極２０の幅方向Ｗに複数並んでいる。言い換えると、複数のノズル６２は、搬送方向Ａと幅方向Ｗとにマトリクス状に配置されている。図５に示すように、本実施形態では、一例として、３つのノズル６２が幅方向Ｗに並んでいる。幅方向Ｗに並ぶ複数のノズル６２の列が、搬送方向Ａに複数配置されている。   A plurality of nozzles 62 are arranged in the transport direction A in the same manner as the arrangement of the nozzles 61 shown in FIG. 1 and a plurality of nozzles 62 are arranged in the width direction W of the electrode 20. In other words, the plurality of nozzles 62 are arranged in a matrix in the transport direction A and the width direction W. As shown in FIG. 5, in the present embodiment, as an example, three nozzles 62 are arranged in the width direction W. A plurality of rows of nozzles 62 arranged in the width direction W are arranged in the transport direction A.

本実施形態のノズル６２は、第１の実施形態で用いられたノズル６１よりも小さい。それゆえ、本実施形態のノズル６２の塗布可能範囲は、第１の実施形態のノズル６１の塗布可能範囲１６０よりも小さい。本実施形態のノズル６２は、図５に示すように幅方向Ｗに並ぶ複数のノズル６２の各々の塗布可能範囲を合わせたものが、図３に示すように第１の実施形態のノズル６１の塗布可能範囲１６０と同じになる。   The nozzle 62 of this embodiment is smaller than the nozzle 61 used in the first embodiment. Therefore, the applicable range of the nozzle 62 of this embodiment is smaller than the applicable range 160 of the nozzle 61 of the first embodiment. As shown in FIG. 5, the nozzle 62 according to the present embodiment is a combination of the applicable ranges of the plurality of nozzles 62 arranged in the width direction W as shown in FIG. It becomes the same as the application possible range 160.

本実施形態では、第１の実施形態と同様の効果が得られる。また、本実施形態では、小さいノズル６２を複数用いることによって、塗布可能範囲を細かく調整することができるので、塗工部１５０上への成膜の精度を向上することができる。   In the present embodiment, the same effect as in the first embodiment can be obtained. Further, in the present embodiment, by using a plurality of small nozzles 62, the applicable range can be finely adjusted, so that the accuracy of film formation on the coating unit 150 can be improved.

なお、本実施形態に、第２の実施形態で説明された反射壁部１０６を有する気流制御装置９０が用いられてもよい。   In addition, the airflow control apparatus 90 which has the reflective wall part 106 demonstrated in 2nd Embodiment may be used for this embodiment.

次に、第４の実施形態に係る成膜装置を、図６を用いて説明する。なお、第１の実施形態と同様の機能を有する構成は、第１の実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。本実施形態では、吐出装置６０が第１の実施形態と異なる。他の構造は、第１の実施形態と同じである。上記異なる点について具体的に説明する。   Next, a film forming apparatus according to the fourth embodiment will be described with reference to FIG. In addition, the structure which has the same function as 1st Embodiment attaches | subjects the code | symbol same as 1st Embodiment, and abbreviate | omits description. In the present embodiment, the ejection device 60 is different from the first embodiment. Other structures are the same as those in the first embodiment. The different points will be specifically described.

図６は、本実施形態の成膜装置１０を、図２と同様に示す断面図である。図６に示すように、本実施形態では、ノズル６１に代えて、第３の実施形態で説明されたノズル６２が用いられる。   FIG. 6 is a cross-sectional view showing the film forming apparatus 10 of the present embodiment in the same manner as FIG. As shown in FIG. 6, in this embodiment, the nozzle 62 described in the third embodiment is used instead of the nozzle 61.

本実施形態では、ノズル６２は、図１に示すノズル６１の配列と同様に、搬送方向Ａに沿って複数配置されている。また、吐出装置６０は、各ノズル６２を幅方向Ｗに、第１位置Ｐ１と２点鎖線で示す第２の位置Ｐ２の間で移動可能に支持する移動装置６３を有している。   In the present embodiment, a plurality of nozzles 62 are arranged along the transport direction A, similarly to the arrangement of the nozzles 61 shown in FIG. Further, the discharge device 60 includes a moving device 63 that supports each nozzle 62 in the width direction W so as to be movable between the first position P1 and the second position P2 indicated by a two-dot chain line.

移動装置６３は、ノズル６２を幅方向Ｗに移動することによって、ノズル６２の塗布可能範囲を、幅方向Ｗに調整可能となる。本実施形態では、移動装置６３は、ノズル６２を移動することによって、ノズル６２による塗布可能範囲を、第１の実施形態のノズル６１の塗布可能範囲１６０と同じにする。本実施形態では、第３の実施形態と同様の効果が得られる。   The moving device 63 can adjust the application range of the nozzle 62 in the width direction W by moving the nozzle 62 in the width direction W. In the present embodiment, the moving device 63 moves the nozzle 62 so that the application possible range by the nozzle 62 is the same as the application possible range 160 of the nozzle 61 of the first embodiment. In the present embodiment, the same effect as in the third embodiment can be obtained.

なお、本実施形態では、電圧印加装置８０の基部８１の収容孔８３は、ノズル６２の移動を可能にするために、幅方向Ｗに長く形成されている。なお、本実施形態に、第２の実施形態で説明された反射壁部１０６を有する気流制御装置９０が用いられてもよい。   In the present embodiment, the accommodation hole 83 of the base 81 of the voltage application device 80 is formed long in the width direction W in order to allow the nozzle 62 to move. In addition, the airflow control apparatus 90 which has the reflective wall part 106 demonstrated in 2nd Embodiment may be used for this embodiment.

次に、第５の実施形態に係る成膜装置を、図７，８を用いて説明する。なお、第１の実施形態と同様の機能を有する構成は、第１の実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。本実施形態では、気流制御装置９０に代えて、第１の帯電体２００と第２の帯電体２１０を有している。他の構造は、第１の実施形態と同じである。上記異なる点について具体的に説明する。   Next, a film forming apparatus according to a fifth embodiment will be described with reference to FIGS. In addition, the structure which has the same function as 1st Embodiment attaches | subjects the code | symbol same as 1st Embodiment, and abbreviate | omits description. In the present embodiment, instead of the airflow control device 90, a first charged body 200 and a second charged body 210 are provided. Other structures are the same as those in the first embodiment. The different points will be specifically described.

図７は、第５の実施形態の成膜装置１０を示す斜視図である。図７に示すように、本実施形態では、成膜装置１０は、気流制御装置９０に代えて、第１の帯電体２００と、第２の帯電体２１０を有している。図８は、図７に示すＦ８−Ｆ８線に沿って示す成膜装置１０の断面図である。図８は、成膜装置１０を、搬送方向Ａに対して垂直に切断した状態を示している。   FIG. 7 is a perspective view showing the film forming apparatus 10 of the fifth embodiment. As shown in FIG. 7, in the present embodiment, the film forming apparatus 10 includes a first charged body 200 and a second charged body 210 instead of the airflow control device 90. FIG. 8 is a sectional view of the film forming apparatus 10 taken along line F8-F8 shown in FIG. FIG. 8 shows a state in which the film forming apparatus 10 is cut perpendicular to the transport direction A.

図７，８に示すように、第１の帯電体２００は、一例として板形状である。第１の帯電体２００は、搬送方向Ａに沿って未塗工部１４０よりも長く形成されており、未塗工部１４０の搬送方向Ａの一端から他端までの範囲に上下方向に対向している。なお、第１の帯電体２００は、未塗工部１４０の幅方向Ｗの外端から第１の活物質層２３の側面２６の近傍までの範囲に対向している。第１の帯電体２００は、帯電しており、電荷を有している。   As shown in FIGS. 7 and 8, the first charged body 200 has a plate shape as an example. The first charged body 200 is formed to be longer than the uncoated portion 140 along the transport direction A, and is opposed to the vertical direction in the range from one end to the other end of the uncoated portion 140 in the transport direction A. ing. The first charged body 200 faces the range from the outer end of the uncoated portion 140 in the width direction W to the vicinity of the side surface 26 of the first active material layer 23. The first charged body 200 is charged and has a charge.

第２の帯電体２１０は、電極２０の側面２０ａに対向する位置に配置されている。言い換えると、電極２０は、一対の帯電体２００，２１０に挟まれている。第２の帯電体２１０は、搬送方向Ａに沿ってローラ４２，４５間よりも長く形成されており、ローラ４２，４５間において電極２０の側面２０ａに対して幅方向に対向している。第２の帯電体２１０は、帯電しており、電荷を有している。   The second charged body 210 is disposed at a position facing the side surface 20 a of the electrode 20. In other words, the electrode 20 is sandwiched between a pair of charged bodies 200 and 210. The second charged body 210 is formed longer in the conveyance direction A than between the rollers 42 and 45, and faces the side surface 20 a of the electrode 20 in the width direction between the rollers 42 and 45. The second charged body 210 is charged and has a charge.

本実施形態では、第１の突出範囲１６３上に降り注ぐナノファイバＮは、第１の帯電体２００によって反発されて、未塗工部１４０側から塗工部１５０側に移動される。第１の帯電体２００の位置と電荷の量は、第１の突出範囲１６３に降り注ぐナノファイバＮの一部が第１の帯電体２００によって反発されて第１の活物質層２３の表面２３ａ上に移動して表面２３ａ上に降り注ぐとともに、残りの部分が第１の活物質層２３の側面２６に塗布可能に設定されている。上述の第１の帯電体２００の位置と帯電量は、実験等によって得ることができる。   In the present embodiment, the nanofibers N falling on the first protruding range 163 are repelled by the first charged body 200 and moved from the uncoated portion 140 side to the coated portion 150 side. The position of the first charged body 200 and the amount of charge are such that a part of the nanofiber N falling on the first protruding range 163 is repelled by the first charged body 200 and is on the surface 23 a of the first active material layer 23. The remaining portion is set to be able to be applied to the side surface 26 of the first active material layer 23. The position and charge amount of the first charged body 200 described above can be obtained by experiments or the like.

第２の帯電体２１０の位置と帯電量は、第２の突出範囲１６４上に降り注ぐナノファイバＮが第２の帯電体２１０によって反発されて、電極２０の側面２０ａに回り込んで、側面２０ａ、つまり側面２７，２８，２９に塗布可能に設定されている
本実施形態では、電極２０を第１の帯電体２００と第２の帯電体２１０の間に配置することによって、第１の帯電体２００と第２の帯電体２１０で反発されたナノファイバＮを、塗工部１５０に効率よく導くことができる。 The position and amount of charge of the second charged body 210 are such that the nanofibers N falling on the second protruding range 164 are repelled by the second charged body 210 and wrap around the side surface 20a of the electrode 20 to form the side surface 20a, That is, the side surfaces 27, 28, and 29 can be applied. In this embodiment, the first charged body 200 is disposed by arranging the electrode 20 between the first charged body 200 and the second charged body 210. The nanofiber N repelled by the second charged body 210 can be efficiently guided to the coating unit 150.

この点について、具体的にする。例えば、塗工部に対して一方側にのみに帯電体が配置されている場合では、電極２０において帯電体が配置される側のみ、ナノファイバが堆積することを防止できるが、これは、堆積を防止するものであって、塗工部に導くものではない。さらに、電極２０の大きさによっては、電極２０の一方側に配置された帯電体によって反発されたナノファイバが塗工部を超えた位置まで移動する場合も考えられる。   This point is made concrete. For example, in the case where the charged body is disposed only on one side with respect to the coating portion, the nanofiber can be prevented from being deposited only on the side where the charged body is disposed in the electrode 20. It does not lead to the coating part. Furthermore, depending on the size of the electrode 20, there may be a case where the nanofiber repelled by the charged body arranged on one side of the electrode 20 moves to a position beyond the coating portion.

しかしながら、本実施形態では、第１の帯電体２００と第２の帯電体２１０の間に塗工部１５０を配置することによって、第１の帯電体２００と第２の帯電体２１０によって反発されたナノファイバＮが、両側から塗工部１５０上に導かれるようになるので、反発されたナノファイバが塗工部１５０を越えた位置まで移動することが防止され、ナノファイバＮを塗工部１５０に効率よく導くことができる。   However, in the present embodiment, the coating unit 150 is disposed between the first charged body 200 and the second charged body 210 so that the first charged body 200 and the second charged body 210 are repelled. Since the nanofiber N is guided from both sides onto the coating unit 150, the repelled nanofiber is prevented from moving to a position beyond the coating unit 150, and the nanofiber N is applied to the coating unit 150. Can be efficiently guided to.

また、第１の帯電体２００の位置を調整することによって、第１の活物質層２３の側面２６のようにノズル６１に対向していない面にも、ナノファイバＮを塗布することができる。同様に、第２の帯電体２１０の位置を調整することによって、電極２０の側面２０ａのようにノズル６１に対向していない面にも、ナノファイバＮを塗布することができる。   Further, by adjusting the position of the first charged body 200, the nanofiber N can be applied to a surface that does not face the nozzle 61, such as the side surface 26 of the first active material layer 23. Similarly, by adjusting the position of the second charged body 210, the nanofiber N can be applied to a surface that does not face the nozzle 61, such as the side surface 20 a of the electrode 20.

なお、本実施形態の成膜装置１０においても、第３，４の実施形態で説明された吐出装置６０が用いられても良い。   In the film forming apparatus 10 of the present embodiment, the discharge device 60 described in the third and fourth embodiments may be used.

次に、第６の実施形態に係る成膜装置を、図９を用いて説明する。なお、第１の実施形態と同様の機能を有する構成は、第１の実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。本実施形態では、さらに、第３の送風装置２２０と、第１のパンチングメタル（整流器）２３０と、第２のパンチングメタル（整流器）２４０を有している。   Next, a film forming apparatus according to the sixth embodiment will be described with reference to FIG. In addition, the structure which has the same function as 1st Embodiment attaches | subjects the code | symbol same as 1st Embodiment, and abbreviate | omits description. The present embodiment further includes a third blower 220, a first punching metal (rectifier) 230, and a second punching metal (rectifier) 240.

図９は、本実施形態の成膜装置１０を図２と同様に示す断面図である。図２は、成膜装置１０を、搬送方向Ａに垂直に切断した状態を示している。図９に示すように、成膜装置１０は、第３の送風装置２２０と、第１のパンチングメタル２３０と、第２のパンチングメタル２４０を有している。   FIG. 9 is a sectional view showing the film forming apparatus 10 of the present embodiment in the same manner as FIG. FIG. 2 shows a state in which the film forming apparatus 10 is cut perpendicular to the transport direction A. As shown in FIG. 9, the film forming apparatus 10 includes a third blower 220, a first punching metal 230, and a second punching metal 240.

第３の送風装置２２０は、送風可能に形成される第３の送風口部２２１と、送風可能に形成される第４の送風口部２２２と、送風口部２２１，２２２に空気を供給可能に形成される第３の空気供給装置２２３と、第３の空気供給装置２２３と送風口部２２１，２２２に連結される空気配管２２４を有している。   The third blower device 220 can supply air to the third blower port portion 221 formed to be blown, the fourth blower port portion 222 formed to be blown, and the blower port portions 221 and 222. A third air supply device 223 is formed, and an air pipe 224 connected to the third air supply device 223 and the air outlet portions 221 and 222 is provided.

第３の送風口部２２１は、第１の活物質層２３の上方においてノズル６１に対して第１の送風口部１０１側に配置されている。第３の送風口部２２１は、第１の送風口部１０１とノズル６１の間に配置されている。第３の送風口部２２１は、従動ローラ４５から巻き取りローラ４２まで延びている。第３の送風口部２２１の下端には第３の送風口２２５が形成されている。第３の送風口２２５から送風される。   The third blower port portion 221 is disposed on the first blower port portion 101 side with respect to the nozzle 61 above the first active material layer 23. The third air outlet 221 is disposed between the first air outlet 101 and the nozzle 61. The third blower opening 221 extends from the driven roller 45 to the take-up roller 42. A third air outlet 225 is formed at the lower end of the third air outlet 221. The air is blown from the third air outlet 225.

第４の送風口部２２２は、第１の活物質層２３の上方においてノズル６１に対して第２の送風口部１１１側に配置されている。第４の送風口部２２２は、第２の送風口部１１１とノズル６１の間に配置されている。第４の送風口部２２２は、従動ローラ４５から巻き取りローラ４２間で伸びている。第４の送風口部２２２の下端には第４の送風口２２６が形成されている。第４の送風口２２６から送風される。   The fourth blower port portion 222 is disposed on the second blower port portion 111 side with respect to the nozzle 61 above the first active material layer 23. The fourth air outlet 222 is disposed between the second air outlet 111 and the nozzle 61. The fourth blower port portion 222 extends from the driven roller 45 to the take-up roller 42. A fourth air outlet 226 is formed at the lower end of the fourth air outlet 222. The air is blown from the fourth blower port 226.

第３の空気供給装置２２３は、例えばコンプレッサを有しており、空気を吐出可能に形成されている。空気配管２２４は、第３の空気供給装置２２３と送風口部２２１，２２２に連結されており、第３の空気供給装置２２３が吐出した空気を、送風口部２２１，２２２に送ることが可能に形成されている。   The third air supply device 223 has, for example, a compressor and is formed so that air can be discharged. The air pipe 224 is connected to the third air supply device 223 and the air outlet portions 221 and 222, and can send the air discharged by the third air supply device 223 to the air outlet portions 221 and 222. Is formed.

第１のパンチングメタル２３０は、第３の送風口部２２１と第１の活物質層２３の間に配置されている。第１のパンチングメタル２３０は、板形状であり、第１の活物質層２３の表面２３ａに平行である。第１のパンチングメタル２３０には複数の貫通孔２３１が形成されている。第１のパンチングメタル２３０の貫通孔２３１は、第１の活物質層２３の表面２３ａに垂直な方向に、第１のパンチングメタル２３０を貫通している。第１の活物質層２３の表面２３ａに垂直な方向は、本実施形態では、一例として、上下方向である。   The first punching metal 230 is disposed between the third air blowing port 221 and the first active material layer 23. The first punching metal 230 has a plate shape and is parallel to the surface 23 a of the first active material layer 23. A plurality of through holes 231 are formed in the first punching metal 230. The through hole 231 of the first punching metal 230 passes through the first punching metal 230 in a direction perpendicular to the surface 23 a of the first active material layer 23. In the present embodiment, the direction perpendicular to the surface 23a of the first active material layer 23 is the vertical direction, for example.

第２のパンチングメタル２４０は、第４の送風口部２２２と第１の活物質層２３の間に配置されている。第２のパンチングメタル２４０は、板形状であり、第１の活物質層２３の表面２３ａに平行である。第２のパンチングメタル２４０には複数の貫通孔２４１が形成されている。第２のパンチングメタル２４０の貫通孔２４１は、第１の活物質層２３の表面２３ａに垂直な方向に、第２のパンチングメタル２４０を貫通している。   The second punching metal 240 is disposed between the fourth air blowing port 222 and the first active material layer 23. The second punching metal 240 has a plate shape and is parallel to the surface 23 a of the first active material layer 23. A plurality of through holes 241 are formed in the second punching metal 240. The through hole 241 of the second punching metal 240 passes through the second punching metal 240 in a direction perpendicular to the surface 23 a of the first active material layer 23.

次に、第３の送風装置２２０の動作と、パンチングメタル２３０，２４０の動作を説明する。成膜装置１０の動作を開始するスイッチが操作されると、第３の空気供給装置２２３から送風口部２２１，２２２に空気が供給され、送風口２２５，２２６から第１の活物質層２３の表面２３ａに向かって送風される。   Next, the operation of the third blower 220 and the operations of the punching metals 230 and 240 will be described. When a switch for starting the operation of the film forming apparatus 10 is operated, air is supplied from the third air supply device 223 to the air outlet portions 221 and 222, and the first active material layer 23 is supplied from the air outlets 225 and 226. Air is blown toward the surface 23a.

第３の送風口２２５からの送風は、第１のパンチングメタル２３０を通過することによって整流される。送風は、整流されることによって、上下方向に平行な気流２３２を形成する。第４の送風口２２６からの送風は、第２のパンチングメタル２４０を通過することによって整流される。送風は、整流されることによって、上下方向に平行な気流２４２を形成する。気流２３２，２４２は、第１の活物質層２３の表面２３ａに当たる。   The air blown from the third blower opening 225 is rectified by passing through the first punching metal 230. The blown air is rectified to form an air flow 232 parallel to the vertical direction. The air blown from the fourth blower opening 226 is rectified by passing through the second punching metal 240. The air flow is rectified to form an air flow 242 parallel to the vertical direction. The air currents 232 and 242 strike the surface 23 a of the first active material layer 23.

パンチングメタル２３０，２４０によって整流された気流２３２，２４２が第１の活物質層２３の表面２３ａに当たることによって、表面２３ａ上の風圧が均される。このため、表面２３ａ上に成膜されるセパレータ３０の厚みが不均一になることを防止することができる。   When the airflows 232 and 242 rectified by the punching metals 230 and 240 hit the surface 23a of the first active material layer 23, the wind pressure on the surface 23a is equalized. For this reason, it can prevent that the thickness of the separator 30 formed into a film on the surface 23a becomes non-uniform | heterogenous.

なお、第２〜５の実施形態に、第３の送風装置２２０と、パンチングメタル２３０，２４０と同様のパンチングメタルが用いられてもよい。第２〜５の実施形態に用いられる場合では、パンチングメタルは、各実施形態のノズルに干渉しないように適宜変形されてもよい。要するに、塗工面において吐出装置に対向する面上の風圧を一定にするように、送風装置とパンチングメタルとは適宜変更されて用いることができる。   In the second to fifth embodiments, the third blower 220 and a punching metal similar to the punching metals 230 and 240 may be used. In the case of being used in the second to fifth embodiments, the punching metal may be appropriately modified so as not to interfere with the nozzles of the respective embodiments. In short, the blower and the punching metal can be appropriately changed and used so that the wind pressure on the surface facing the discharge device on the coating surface is constant.

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省力、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
以下に、本願出願の当初の特許請求範囲に記載された発明を付記する。
［１］
成膜材料を吐出する吐出部と、
前記吐出部から吐出された前記成膜材料を、前記被成膜物に設定される塗工部に導く案内装置と
を具備することを特徴とする成膜装置。
［２］
前記案内装置は、前記成膜材料を前記塗工部に導く気流を形成する気流制御装置である
ことを特徴とする［１］に記載の成膜装置。
［３］
前記気流制御装置は、前記被成膜物に設定される未塗工部側から前記塗工部側に向かう気流を発生する塗り分け気流発生装置を具備する
ことを特徴とする［２］に記載の成膜装置。
［４］
前記塗り分け用気流発生装置は、送風装置である
ことを特徴とする［３］に記載の成膜装置。
［５］
前記塗り分け用気流発生装置は、送風する送風装置と、前記送風装置からの送風を受けて前記未塗工部側から前記塗工部側へ反射させる反射壁部を具備する
ことを特徴とする［２］に記載の成膜装置。
［６］
前記塗工部は、前記被成膜物において前記吐出部から前記被成膜物に向かう方向に沿う側面を備え、
前記気流調整装置は、前記被成膜物の前記側面に対向する位置に、前記吐出装置から前記被成膜物に向かう方向に沿う気流を発生させる回り込み気流発生装置を具備する
ことを特徴とする［２］に記載の成膜装置。
［７］
前記案内装置は、前記吐出部と前記被成膜物との間において、前記塗工部を挟んで一方に配置される第１の帯電体と、他方に配置される第２の帯電体を具備することを特徴とする［１］に記載の成膜装置。
［８］
前記第１の帯電体、または、前記第２の帯電体は、前記被成膜物に設定される未塗工部に、前記吐出部から前記被成膜物に向かう方向に沿って重なる位置に設置される
ことを特徴とする［７］に記載の成膜装置。
［９］
前記塗工部は、前記被成膜物において前記吐出部から前記被成膜物に向かう方向に沿う側面を備え、
前記第１帯電体、または、前記第２の帯電体は、前記被成膜物の前記側面側に配置される
ことを特徴とする［７］に記載の成膜装置。
［１０］
前記案内装置が動作していない状態において、前記吐出部による前記被成膜物への前記成膜材料の塗布可能範囲は、内側に前記塗工部の全域を含む大きさに設定される
ことを特徴とする［１］に記載の成膜装置。
［１１］
前記吐出部から前記被成膜物に向かう方向に沿って、前記塗工部に送風する送風装置と、
前記送風装置からの送風を整流する整流器と
を具備することを特徴とする［１］に記載の成膜装置。
［１２］
前記整流器は、パンチングメタルである
ことを特徴とする［１１］に記載の成膜装置。
Although several embodiments of the present invention have been described, these embodiments are presented by way of example and are not intended to limit the scope of the invention. These novel embodiments can be implemented in various other forms, and various labor savings, replacements, and changes can be made without departing from the scope of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are included in the invention described in the claims and the equivalents thereof.
The invention described in the initial claims of the present application will be appended below.
[1]
A discharge part for discharging a film forming material;
A guide device for guiding the film-forming material discharged from the discharge unit to a coating unit set on the film-forming object;
A film forming apparatus comprising:
[2]
The guide device is an airflow control device that forms an airflow that guides the film forming material to the coating unit.
The film-forming apparatus as described in [1] characterized by the above-mentioned.
[3]
The airflow control device includes a separate airflow generation device that generates an airflow from an uncoated portion side set to the film-forming object toward the coated portion side.
The film-forming apparatus as described in [2] characterized by the above-mentioned.
[4]
The separate airflow generation device is a blower device
The film-forming apparatus as described in [3] characterized by the above-mentioned.
[5]
The separate airflow generation device includes a blower that blows air and a reflection wall that receives the air blown from the blower and reflects the air from the uncoated portion to the coated portion.
The film-forming apparatus as described in [2] characterized by the above-mentioned.
[6]
The coating unit includes a side surface along a direction from the discharge unit toward the film formation object in the film formation object,
The airflow adjusting device includes a wraparound airflow generating device that generates an airflow along a direction from the discharge device toward the film formation object at a position facing the side surface of the film formation object.
The film-forming apparatus as described in [2] characterized by the above-mentioned.
[7]
The guide device includes a first charged body disposed on one side of the coating unit and a second charged body disposed on the other side of the coating unit between the discharge unit and the deposition target. The film forming apparatus according to [1], wherein:
[8]
The first charged body or the second charged body overlaps with an uncoated portion set on the film formation object along a direction from the discharge section toward the film formation object. Installed
The film-forming apparatus as described in [7] characterized by the above-mentioned.
[9]
The coating unit includes a side surface along a direction from the discharge unit toward the film formation object in the film formation object,
The first charged body or the second charged body is disposed on the side surface side of the film formation object.
The film-forming apparatus as described in [7] characterized by the above-mentioned.
[10]
In a state where the guide device is not in operation, a range in which the film forming material can be applied to the film formation by the discharge unit is set to a size including the entire area of the coating unit on the inside.
The film-forming apparatus as described in [1] characterized by the above-mentioned.
[11]
A blower that blows air to the coating part along the direction from the discharge part toward the film-forming object,
A rectifier for rectifying the air blown from the blower;
The film-forming apparatus as described in [1] characterized by comprising.
[12]
The rectifier is punching metal
The film-forming apparatus as described in [11] characterized by the above-mentioned.

１０…成膜装置、６０…吐出装置（吐出部）、９０…気流制御装置（案内装置）、１００…第１の送風装置（塗り分け気流発生装置）、１０６…反射壁部、１１０…第２の送風装置（回り込み気流発生装置）、１４０…未塗工部、１５０…塗工部、２００…第１の帯電体（案内装置）、２１０…第２の帯電体（案内装置）、２３０…第１のパンチングメタル（整流器）、２４０…第２のパンチングメタル（整流器）、Ｌ…液（成膜材料）。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Film-forming apparatus, 60 ... Discharge apparatus (discharge part), 90 ... Airflow control apparatus (guide apparatus), 100 ... 1st ventilation apparatus (painting airflow generation apparatus), 106 ... Reflecting wall part, 110 ... 2nd Blowing device (around airflow generating device), 140 ... uncoated portion, 150 ... coated portion, 200 ... first charged body (guide device), 210 ... second charged body (guide device), 230 ... first 1 punching metal (rectifier), 240 ... second punching metal (rectifier), L ... liquid (film forming material).

Claims (7)

成膜材料を吐出する吐出部と、
前記吐出部に前記成膜材料を供給する供給装置と、
前記吐出部に供給された前記成膜材料に所定の電圧を印加する電圧印加装置と、
前記吐出部から吐出された前記成膜材料を、塗工部と、これに隣接する未塗工部とを同一面内に有する被成膜物の前記塗工部に導く案内装置と、
を具備し、
前記案内装置は、前記吐出部から吐出された前記成膜材料を前記塗工部に導く第１の気流を形成する第１の気流発生装置を有し、
前記第１の気流発生装置、前記吐出部はいずれも前記被成膜物に対して一方の側に配置され、
前記第１の気流は前記未塗工部から前記塗工部に向かって形成されることで前記成膜材料を前記未塗工部に導かず、かつ前記成膜材料を前記塗工部に導く
ことを特徴とする静電紡糸成膜装置。 A discharge part for discharging a film forming material;
A supply device for supplying the film forming material to the discharge unit;
A voltage application device for applying a predetermined voltage to the film forming material supplied to the ejection unit;
A guide device for guiding the film-forming material discharged from the discharge unit to the coating unit of the film-forming object having a coating unit and an uncoated part adjacent to the coating unit;
Comprising
The guide device includes a first air flow generation device that forms a first air flow that guides the film forming material discharged from the discharge unit to the coating unit,
The first airflow generation device and the discharge unit are both arranged on one side with respect to the film formation object,
The first air stream is formed from the uncoated part toward the coated part, so that the film forming material is not guided to the uncoated part and the film forming material is guided to the coated part. An electrospinning film forming apparatus. 前記第１の気流発生装置は、送風装置である
ことを特徴とする請求項１に記載の静電紡糸成膜装置。 The electrostatic spinning film forming apparatus according to claim 1, wherein the first airflow generation device is a blower. 前記第１の気流発生装置は、送風する送風装置と、前記送風装置からの送風を受けて前記未塗工部側から前記塗工部側へ反射させる反射壁部を具備する
ことを特徴とする請求項１に記載の静電紡糸成膜装置。 The first airflow generation device includes a blower that blows air and a reflection wall that receives the air blown from the blower and reflects the air from the uncoated portion side to the coated portion side. The electrospinning film forming apparatus according to claim 1. 前記案内装置は、前記成膜材料を前記塗工部に導く第２の気流を形成する第２の気流発生装置を有し、
前記第２の気流発生装置、前記吐出部はいずれも前記成膜物に対して一方の側に配置され、
前記第２の気流は前記塗工部に接触しないように、前記第２の気流発生装置が配置された一方の側から他方の側に向かって形成されることで前記成膜材料を前記塗工部に導く
ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のうちのいずれか１項に記載の静電紡糸成膜装置。 The guide device includes a second air flow generation device that forms a second air flow for guiding the film forming material to the coating unit,
The second airflow generation device and the discharge unit are both arranged on one side with respect to the film-formed product,
The second air stream is formed from one side where the second air stream generator is disposed to the other side so that the second air stream does not come into contact with the coating part, so that the coating material is applied to the coating material. The electrostatic spinning film forming apparatus according to claim 1, wherein the electrostatic spinning film forming apparatus is guided to a section. 前記案内装置が動作していない状態において、前記吐出部による前記被成膜物への前記成膜材料の塗布可能範囲は、内側に前記塗工部の全域を含む大きさに設定される
ことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の静電紡糸成膜装置。 In a state where the guide device is not in operation, a range in which the film forming material can be applied to the film formation by the discharge unit is set to a size including the entire area of the coating unit on the inside. electrospinning film forming apparatus according to any one of claims 1 to 4, characterized. 前記吐出部から前記被成膜物に向かう方向に沿って、前記塗工部に送風する送風装置と
前記送風装置からの送風を整流する整流器と
を具備することを特徴とする請求項１乃至請求項５のうちのいずれか１項に記載の静電紡糸成膜装置。 Along the direction toward the film-forming material from the discharge portion, the air blowing device for blowing air to the coated portion and characterized by comprising a rectifier for rectifying the blown from the blower claims 1 to Item 6. The electrospinning film forming apparatus according to any one of Items 5 to 5 . 前記整流器は、パンチングメタルである
ことを特徴とする請求項６に記載の静電紡糸成膜装置。 The electrospinning film forming apparatus according to claim 6 , wherein the rectifier is a punching metal.
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