JP6388146B1 - 表面改質装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 電極チャンバーC内の放電電極Eは、複数の電極部材8,9からなる。そして、これら複数の電極部材8,9は支持部材4を挟持して対向配置されるとともに、これら複数の電極部材8,9の対向部分にすき間が形成され、このすき間をガス通路15として放電電極の先端に開放している。そして、上記ガス通路15にはマニホールドパイプ3から供給された置換ガスを、オリフィスを介して供給する。
【選択図】 図1
Description
電極チャンバー内に、放電電極を設けるとともに、この放電電極に対向して対向電極である処理ローラを設けている。
そして、電極チャンバー内に、表面改質の目的に応じた置換ガスを供給して、電極チャンバー内を置換ガスの雰囲気に保つとともに、放電電極に高周波電圧を印加して、放電電極と上記処理ローラとの間で電界を生成させる。
そして、電極チャンバー内の置換ガスの濃度に応じて表面改質の精度が異なるので、もし、置換ガスの濃度が不均一になると、濃度の濃いところと薄いところとでは、改質精度が相違してしまう。
このように大きな容積の電極チャンバーで、その中のガス濃度を一定に保つためには、置換ガスの供給量を多くせざるを得ず、その分、生産効率が悪くなってしまう。
例えば、特許文献1に開示された装置は、放電電極から置換ガスを直接供給するようにしている。このようにすれば、放電電極と処理ローラとの間の放電部分という局所に、置換ガスを直接供給できるので、その局所における置換ガスの濃度を一定に保ちやすくなる。しかも、電極チャンバー全体に置換ガスを充満させなくてもすむので、その分、置換ガスの使用量も抑制できる。
したがって、ガス供給源から供給された置換ガスは、スリットから放電部分である局所に直接供給されることになる。
また、放電部分という局所に置換ガスを供給できるので、置換ガスの供給量を少なくしたとしても、プラズマの生成にはほとんど影響を及ぼさない。
このように放電部分という局所に置換ガスを直接供給することによって、プラズマ生成能力を落とすことなく、置換ガスの供給量を減らせるという効果を期待できる。
このようにスリット内のガス圧の分布が不均一になると、結局は、場所によってガスの量が相違することになり、表面改質の精度もバラついてしまう。
また、マニホールドパイプ及び放電電極を複数本に分割し、これら複数本のマニホールドパイプ及び放電電極を例えば樹脂製フィルムの搬送方向に互い違いに並べながら、全部のマニホールドパイプ及び放電電極で、樹脂製フィルムの表面改質幅に相当する長さになるようにしてもよい。
さらに、処理基材によってはその幅方向の一部だけを表面改質する場合があるが、このときの放電電極は、上記表面改質を必要とする部分の幅分だけの長さを保持していればよい。ただし、この場合にも、放電電極を複数本に分割して用いてもよいのは当然である。
また、第3の発明は、複数のマニホールドパイプが、放電電極の長さ方向に直列に接続されている。
さらに、第4の発明は、上記マニホールドパイプが放電電極の幅方向に並列に複数設けられている。
そして、第6の発明は、上記オリフィスを構成する複数の小孔または1もしくは複数のスリットが、マニホールドパイプに直接形成されている。
また、上記スリットは、長さの短いものをマニホールドパイプの長さ方向に複数設けてもよい。
上記多孔質体には、焼結金属、合成樹脂、金属メッシュ、セラミック、不織布などが含まれるが、この発明においては、流通するガスに対して絞り効果を発揮するものであれば、その材質は特に限定されない。
この絞り部材は、マニホールドパイプとガス通路との間に設けられれば、その取り付け位置は特に限定されない。
上記多孔質体には、焼結金属、合成樹脂、金属メッシュ、セラミック、不織布などが含まれるが、多孔質体としては、流通するガスに対して絞り効果を発揮するものであれば、その材質は特に限定されない。
マニホールドパイプと支持部材とが相まって、放電電極を支持するので、放電電極を支持するための特別な部材を必要としない。
なお、上記支持部材を構成する多孔質体は、少なくとも支持部材として機能するための形態保持機能を備えていなければならない。形態保持機能さえ備えれば、焼結金属、合成樹脂、金属メッシュ、セラミック、不織布など、流通するガスに対して絞り効果を発揮できるものであれば、その材質は特に限定されない。
上記長尺物からなる処理基材とは、例えば樹脂製フィルムが典型的な例である。樹脂製フィルム以外では、長く連続する鋼鈑や板状の合成樹脂等が考えられる。
また、上記処理基材が処理ローラに巻き付く必要はなく、当該処理ローラの回転で処理基材が搬送されるものであれば、どのような処理ローラでもよい。
放電電極又は対向電極の少なくともいずれか一方を誘電体で囲うのは、上記処理基材が導電体からなる場合に有効である。処理基材が導電体の場合には、放電電極と対向電極との間に、抵抗の小さい導体で接続される短絡回路が構成されてしまう。
しかし、上記のように放電電極又は対向電極の少なくともいずれか一方を誘電体で囲えば、上記のような短絡回路が構成されなくなる。
また、上記マニホールドパイプが放電電極の支持機構を構成することによって、部材を兼用でき、その分、全体の構成を簡素化できる。
さらに、複数の電極部材の対向間隔をガス通路としているので、ガス通路を形成するための穴加工などが不要になる。しかも、それらの対向間隔の大きさは自由に設定できるので、ガス通路の大きさの選択の自由度も大きくなる。
しかも、放電電極の先端からガスを噴出させることができるので、少量のガスであっても、必要なプラズマを安定的に生成できる。
この第1実施形態において、樹脂製フィルムFを矢印a1方向に搬送する処理ローラRに電極チャンバーCの開口を対向させている。
なお、上記処理ローラRは電気的に接地されているので、当該処理ローラRは、この発明の保持手段及び対向電極を兼ねることになる。
また、このマニホールドパイプ3であって、上記連結部材2とは反対側面に、マニホールドパイプ3とほぼ同じ長さを有する、導電体からなる支持部材4を図示していないビス等で固定している。
したがって、マニホールドパイプ3に導入された置換ガスは、上記小孔6からガス誘導孔5に導かれる。
なお、上記複数のガス誘導孔5のそれぞれの開口径はすべて同じにするとともに、このガス誘導孔5は、そこを通るガス流に対して絞り効果を発揮するオリフィスとして機能する。したがって、上記支持部材4は、この発明の絞り部材を兼ねるものである。
これら複数の電極部材8,9は互いに対向し、これら対向面のそれぞれには、当該電極部材8,9の長さ方向に連続する掛止め凹部10,11が互いに対向して形成されている。このようにした掛止め凹部10,11は、上記支持部材4に形成した掛止め突部7にはまり合う大きさを保持している。
このようにホルダ14で挟持することによって、電極部材8,9の掛止め凹部10,11が掛止め突部7から外れなくなり、電極部材8,9は支持部材4にしっかりと支持される。
なお、ガス流に対して絞り効果を発揮するガス誘導孔5は、この発明のオリフィスを構成するとともに、このオリフィスが、マニホールドパイプ3とガス通路15との連通過程に設けられていること明らかである。
また、ガス供給源側において多少の圧力変化があったとしても、マニホールドパイプ3がバッファーとして機能する。したがって、ガス供給源側の多少の圧力変動は、表面改質にほとんど影響しない。
また、複数の電極部材8,9のそれぞれの先端を円弧状にして角部を取り除いたので、電極部材8,9の先端の一部に放電が集中したりしない。
また、上記支持部材4がこの発明の絞り部材を構成するとともに、上記ガス誘導孔5がこの発明のオリフィスを構成する。
したがって、第1実施形態では、支持部材4が、上記支持機構の構成要素になるとともに、絞り部材を兼ねることになる。
上記のようにした多孔質体は、放電電極Eを支持する機能を持つ必要があるので、多孔質体には形態保持機能が備わっていなければならない。
そして、多孔質体である支持部材4を、合成樹脂、セラミックあるいは不織布のような絶縁体にしたときには、図1に示す放電電極Eを構成する電極部材8,9をマニホールドパイプ3に直接接触させるか、あるいは放電電極Eとマニホールドパイプ3との間に導電体を介在させなければならない。
なお、上記のように複数のマニホールドパイプ3を放電電極Eの長さ方向に直列に配置する場合に、各マニホールドパイプ間に間隔を保ってもよいし、間隔を保たなくてもよい。
このようにオリフィスの開口径を相違させたときには、各マニホールドパイプの区分ごとに、電界に供給される置換ガスの濃度を変えることができる。
なお、上記複数のマニホールドパイプに別々の置換ガスを供給する場合に、直列に配置したマニホールドパイプの間に一定の間隔を設けたほうが、異なる置換ガスが混ざり合わないというメリットがある。
また、マニホールドパイプ3及び放電電極Eは、処理基材である樹脂製フィルムFの幅よりも短くし、そのマニホールドパイプ3及び放電電極Eで区画されたエリアのみを処理するようにしてもよい。
すなわち、第1実施形態よりもマニホールドパイプ3の幅を広くするとともに、この広くしたマニホールドパイプ3には、間隔を保って2つの支持部材4a,4bを固定している。
このようにした第3実施形態では、3枚の電極部材8a,8b,8cを連接して放電電極Eの幅を広くしたので、その分、電界の生成範囲が広くなるというメリットがある。
このとき一部の置換ガスは、矢印a3,a4に示すように外部に逃げていくが、このときには電極部材8aと樹脂製フィルムF、及び電極部材8cと樹脂製フィルムFとのすき間が絞り機能を発揮して圧力損失が発生し、電極部材8a〜8cの内側の圧力が高くなる。
なお、第3実施形態では、中央の電極部材8bを1枚板で構成したが、それを中央から分割して、第1実施形態の放電電極を2組設けたと同様の構成にしてもよい。
そして、この第3実施形態においても、支持部材4を多孔質体で構成してもよいことは、第1実施形態と同じである。
また、この第3実施形態におけるマニホールドパイプ3と支持部材4a,4bが相まって、放電電極Eの支持機構を構成する。
図5に示すように、支持部材4にはフランジ部4aを形成するとともに、このフランジ部4aと上記マニホールドパイプ3a,3b間にスペーサ17を介在させ、フランジ部4aとマニホールドパイプ3a,3bとの間に共通通路18を確保している。
そして、マニホールドパイプ3a,3bに形成した小孔6a,6bを、上記共通通路18に連通させている。
なお、上記マニホールドパイプ3a,3bのそれぞれは、図示していないガス供給源に対して並列に接続し、ガス供給源とマニホールドパイプ3との間に設けたオリフィス19を設け、これらオリフィス19によって、ガス供給源からの置換ガスの流量を制御するものである。
また、上記2本のマニホールドパイプ3a,3bを別々のガス供給源に接続してもよいのは当然である。
また、この第4実施形態におけるマニホールドパイプ3a,3bと支持部材4が相まって、放電電極Eを支持している。
そして、上記電極部材30,31は、図示していない回路を介して高圧電源に接続されるとともに、複数の電極部材30,31がこの発明の放電電極を構成する。
また、上記支持プレート26,27及び電極部材30,31の対向間隔をガス通路32としている。このガス通路32には、マニホールドパイプ3の小孔6及びオリフィスであるガス誘導孔5を経由した置換ガスが導かれる。
このように、放電電極Eあるいは対向電極の少なくともいずれか一方を、誘電体で囲うのは、弱い電界の下で処理基材の表面の改質処理が求められる場合があるからである。
なお、この第5実施形態におけるマニホールドパイプ3と支持部材4が相まって、放電電極Eの支持機構を構成する。
つまり、この第6実施形態は、一方の電極部材8の先端を、処理ローラRの円周方向に拡大したものである。このように一方の電極部材8の先端の幅を、処理ローラRの円周方向に拡大したので、その分、電界生成範囲を広げることができる。
また、この第6実施形態におけるマニホールドパイプ3及び支持部材4が相まって、放電電極Eの支持機構を構成する。
いずれにしてもオリフィスはマニホールドパイプ3とガス通路15,32の連通過程に設けられれば良い。
このようにしたスリットは、上記ガス通路15,32に連通していなければならないことは当然である。
例えば、保持手段は、処理基材を載せて搬送するコンベア、処理基材を載せるテーブルあるいは処理基材を移動させるロボットアームのハンド等であってもよい。
そして、保持手段がコンベアの場合には、コンベアを挟んで放電電極とは反対側に対向電極を設けるようにすればよい。
いずれにしても、この発明における保持手段の必要条件は、放電電極と対向電極との間に生成される電界中に処理基材を保持することである。
Claims (17)
- 表面改質処理をするための処理基材を保持する保持手段と、
電極チャンバーと、
この電極チャンバーに連結部材を介して固定され、ガス供給源に接続されたマニホールドパイプと、
このマニホールドパイプに直接もしくは支持部材を介して支持されるとともに、上記処理基材の幅方向に長さが保持された複数の電極部材からなる放電電極と、
上記処理基材を挟んだ反対側において上記放電電極に対向するとともに、上記放電電極との間で電界を生成させるための対向電極と、
上記放電電極のうち隣り合う電極部材の対向間に形成され、上記電極部材に沿って上記処理基材方向に置換ガスを導き、かつ、上記電界の生成エリアに向かって上記置換ガスを噴出するガス通路と、
上記マニホールドパイプと上記ガス通路との連通過程に設けられるとともに、上記マニホールドパイプの長さ方向に連続的に設けられたオリフィスと
が備えられ、
上記マニホールドパイプが上記放電電極の支持機構を構成する表面改質装置。 - 上記マニホールドパイプは、放電電極の長さ方向に1本設けられた請求項1に記載の表面改質装置。
- 上記マニホールドパイプは複数備えられ、これら複数のマニホールドパイプは放電電極の長さ方向に直列に配置された請求項1に記載の表面改質装置。
- 上記マニホールドパイプは、放電電極の幅方向に並列に複数設けられた請求項1に記載の表面改質装置。
- 上記マニホールドパイプと上記ガス通路との連通過程に設けられた上記オリフィスは、
上記マニホールドパイプの長さ方向に連続的に設けられた複数の小孔または1もしくは複数のスリットからなる請求項1〜4のいずれか1に記載の表面改質装置。 - 上記オリフィスを構成する上記複数の小孔または1もしくは複数のスリットが、上記マニホールドパイプに直接形成された請求項5に記載の表面改質装置。
- 上記マニホールドパイプと上記ガス通路との連通過程に設けられた上記オリフィスは
マニホールドパイプ内に設けられた多孔質体の多数の連続小孔からなる請求項5に記載の表面改質装置。 - 上記マニホールドパイプと上記ガス通路との連通過程に設けられたオリフィスは、
上記マニホールドパイプとガス通路との間に設けられた絞り部材に形成された請求項1〜5のいずれか1に記載の表面改質装置。 - 上記絞り部材は多孔質体からなり、
上記オリフィスは、上記多孔質体の多数の連続小孔からなる請求項8に記載の表面改質装置。 - 上記マニホールドパイプには、当該マニホールドパイプの長さ方向に伸びる支持部材が固定される一方、
上記複数の電極部材は、上記支持部材を挟持して対向し、
上記支持部材には、上記マニホールドパイプ及び上記ガス通路に連通するガス誘導孔が上記マニホールドパイプの長手方向に複数形成された請求項1〜9のいずれか1に記載の表面改質装置。 - 上記支持部材が上記絞り部材を構成するとともに、上記ガス誘導孔が上記オリフィスを構成する請求項10に記載の表面改質装置。
- 上記支持部材が多孔質体で構成され、この多孔質体の多数の連続小孔が上記オリフィス及びガス誘導孔を構成する請求項10に記載の表面改質装置。
- 上記放電電極を構成する上記電極部材は、板状体からなる請求項1〜12のいずれか1に記載の表面改質装置。
- 上記保持手段は、長尺物からなる上記処理基材を搬送する処理ローラで構成された請求項1〜13のいずれか1に記載の表面改質装置。
- 上記保持手段は、上記処理基材を載せるコンベア、テーブルあるいはロボットアームのハンドのいずれかで構成された請求項1〜13のいずれか1に記載の表面改質装置。
- 上記保持手段が、対向電極を兼ねた請求項1〜15のいずれか1に記載の表面改質装置。
- 上記放電電極又は対向電極の少なくともいずれか一方を誘電体で囲った請求項1〜16のいずれか1に記載の表面改質装置。
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