JP6384177B2 - タッチパネルセンサ、タッチパネル装置及び表示装置 - Google Patents

Description

本発明は、検出電極を有したタッチパネルセンサ、タッチパネルセンサを含むタッチパネル装置、並びに、タッチパネルセンサを含む表示装置に関する。

今日、入力手段として、タッチパネル装置が広く用いられている。タッチパネル装置は、タッチパネルセンサ、タッチパネルセンサを覆う透明カバーと、透明カバー上への接触位置を検出する位置検知回路及び制御回路、配線及びＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）を含んでいる。タッチパネル装置は、多くの場合、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等の画像表示機構が組み込まれた種々の装置（例えば、券売機、ＡＴＭ、金銭登録機、キオスク端末、携帯電話、タブレット端末、ゲーム機等）に対する入力手段として、画像表示機構とともに用いられている。このような装置において、タッチパネルセンサは画像表示機構の表示面上に配置され、これにより、タッチパネル装置は表示装置に対する極めて直接的な入力を可能にする。タッチパネルセンサのうちの画像表示機構の表示領域に対面する領域は透明になっており、タッチパネルセンサのこの領域が、接触位置（接近位置）を検出し得るアクティブエリアを構成するようになる。

タッチパネル装置は、タッチパネルセンサに積層された透明カバー上への接触位置（接近位置）を検出する原理に基づいて、種々の形式に区別される。昨今では、光学的に明るいこと、意匠性があること、構造が簡単であること、機能的に優れていること等の理由から、静電容量方式のタッチパネル装置が注目されている。静電容量方式のタッチパネル装置においては、位置を検知されるべき外部導体（例えば、使用者の指）が誘電体を介してタッチパネルセンサに積層された透明カバーに接触（接近）することにより、新たに寄生容量が発生し、この寄生容量の変化を利用して、透明カバー上における外部導体の位置を検出するようになっている。

とりわけ昨今では、特許文献１の図７に示された形式も検討されている。この形式では、アクティブエリア内に二次元配列された複数の検出電極と、各検出電極からそれぞれ延び出して非アクティブエリアまで延びる複数の引出配線と、を有しており、検出電極を厚さ方向に離間して設ける必要がない点において、投影型静電容量方式よりも構成が簡単になるという利点がある。

特表２００７−５３３０４４号公報

特許文献１の形式では、多数の引出配線が設けられている。引出配線は、細い線状に形成されており、もともと断線しやすい。とりわけ、特許文献１のように検出電極や引出配線にＩＴＯを用いた場合、ＩＴＯは比較的脆く割れやすいことから、割れや断線の可能性が高まる。引出配線に割れ又は断線が生じると検出感度の低下や検出精度の低下をきたし、検出機能を発揮し得なくなることがある。

なお、検出電極及び引出電極から離間して設けられた共通電極を、さらに有する形式も存在する。このタッチパネルセンサでは、共通電極も引出配線同様に線状に形成されるので、共通電極の断線の可能性も生じる。

本発明は、以上の点を考慮してなされたものであり、検出電極が二次元配列されたタッチパネルセンサに、検出感度および検出精度の安定性を付与することを目的とする。

本発明によるタッチパネルセンサは、
透明基材と、
前記透明基材の一方の面に設けられ前記アクティブエリア内に二次元配列された複数の検出電極と、
各検出電極からそれぞれ延び出した複数の引出配線と、を備え、
各検出電極は、複数の開口領域を画成する導電性メッシュを含み、
各引出配線は、各検出電極から少なくとも前記非アクティブエリアまで延びる複数の第１配線金属導線を含み、
前記複数の第１配線金属導線は、前記アクティブエリア内においてそれぞれ互いから離間している。

本発明によるタッチパネルセンサにおいて、各引出配線は、前記複数の第１配線金属導線のうちの少なくとも２つを連結する少なくとも１つの第１連結金属導線をさらに含んでもよい。

本発明によるタッチパネルセンサにおいて、各引出配線は、複数の前記第１連結金属導線を含み、前記複数の第１連結金属導線は、それぞれ互いから離間していてもよい。

本発明によるタッチパネルセンサにおいて、各検出電極と当該検出電極に対応する前記引出配線との接続箇所において、前記検出電極の導電性メッシュをなす金属導線と前記引出配線の前記第１配線金属導線が、一体的に形成されていてもよい。

本発明によるタッチパネルセンサにおいて、前記複数の検出電極は、第１方向、及び、前記第１方向と交差する第２方向に配列されていてもよい。

本発明によるタッチパネルセンサにおいて、前記透明基材の前記一方の面に前記複数の検出電極及び前記複数の引出配線から離間して設けられた少なくとも１つの共通電極を有し、前記共通電極は、前記アクティブエリア内から前記非アクティブエリアまで互いから離間して延びる複数の第２配線金属導線を含んでもよい。

本発明によるタッチパネルセンサにおいて、前記透明基材の前記一方の面に前記複数の検出電極及び前記複数の引出配線から離間して設けられた複数の共通電極を有し、前記共通電極は、前記アクティブエリア内から前記非アクティブエリアまで互いから離間して延びる複数の第２配線金属導線を含み、前記複数の共通電極は、前記第１方向に配列され、各共通電極は、前記第２方向に延びていてもよい。

本発明によるタッチパネルセンサは、
透明基材と、
前記透明基材の一方の面に設けられ前記アクティブエリア内に二次元配列された複数の検出電極と、
各検出電極からそれぞれ延び出した複数の引出配線と、
前記透明基材の一方の面に前記複数の検出電極及び前記複数の引出配線から離間して設けられた共通電極を有し、
前記共通電極は、前記アクティブエリア内から前記非アクティブエリアまで互いから離間して延びる複数の第２配線金属導線を含む。

本発明によるタッチパネルセンサにおいて、前記複数の第２配線金属導線のうちの少なくとも２つを連結する少なくとも１つの第２連結金属導線をさらに含んでもよい。

本発明によるタッチパネル装置は、上述のタッチパネルセンサを備える。

本発明による表示装置は、上述のタッチパネルセンサを備える。

本発明によれば、検出電極が二次元配列されたタッチパネルセンサに、検出感度および検出精度の安定性を付与することができる。

図１は、本発明による一実施の形態を説明するための図であって、タッチパネル装置を画像表示装置とともに概略的に示す斜視図である。 図２は、図１のタッチパネル装置を画像表示機構とともに示す断面図である。なお、図２に示された断面は、図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面に概ね対応している。 図３は、タッチパネル装置のタッチパネルセンサを示す上面図である。 図４は、図３のタッチパネルセンサの一部の拡大図である。 図５は、タッチパネルセンサの縦断面図である。 図６は、タッチパネルセンサの製造方法の一例を説明するための図である。 図７は、タッチパネルセンサの一変形例を説明するための図である。 図８は、タッチパネルセンサの一変形例を説明するための図である。 図９は、タッチパネルセンサの作用を説明するための図である。 図１０は、従来のタッチパネルセンサの引出配線の一部に断線が生じた状態を示す図である。 図１１は、検出電極、引出配線及び共通電極の変形例を示す図である。

以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。なお、本件明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。

図１〜図８は本発明による一実施の形態およびその一変形例を説明するための図である。このうち図１はタッチパネル装置及び画像表示装置を概略的に示す図であり、図２は図１のタッチパネル装置及び画像表示機構を示す断面図である。図３および図４はタッチパネル装置のタッチパネルセンサを示す平面図であり、図５はタッチパネルセンサを示す断面図である。

図１〜図５に示されたタッチパネル装置２０は、静電容量結合方式として構成され、タッチパネル装置２０への外部導体５（例えば、人間の指）の接触位置を検出可能に構成されている。なお、静電容量結合方式のタッチパネル装置２０の検出感度が優れている場合には、外部導体５がタッチパネル装置に接近しただけで当該外部導体５がタッチパネル装置のどの領域に接近しているかを検出することができる。このような現象にともなって、ここで用いる「接触位置」とは、実際には接触していないが位置を検出され得る接近位置を含む概念とする。

図１および図２に示すように、タッチパネル装置２０は、画像表示機構（例えば液晶表示装置）１２とともに組み合わせられて用いられ、表示装置１０を構成している。図示された画像表示機構１２は、一例としてフラットパネルディスプレイ、より具体的には液晶表示装置として構成されている。画像表示機構１２は、表示面１２ａを形成する液晶表示パネル１５と、液晶表示パネル１５を背面から照明するバックライト１４と、液晶表示パネル１５に接続された表示制御部１３と、を有している。液晶表示パネル１５は、映像を表示することができる表示領域Ａ１と、表示領域Ａ１を取り囲むようにして表示領域Ａ１の外側に配置された非表示領域（額縁領域とも呼ばれる）Ａ２と、を含んでいる。表示制御部１３は、表示されるべき画像に関する情報を処理し、画像情報に基づいて液晶表示パネル１５を駆動する。液晶表示パネル１５は、表示制御部１３の制御信号により、所定の映像を表示面１２ａに表示するようになる。すなわち、画像表示機構１２は、文字や図等の情報を映像として出力する出力装置としての役割を担っている。

なお、図２に示されているように、液晶表示パネル１５は、一対の偏光板１６，１８と、一対の偏光板１６，１８間に配置された液晶セル１７と、を有している。出光側に配置された偏光板１８の出光側には、機能層１９が設けられている。機能層１９は、特定の機能を発揮することを期待された層であって、画像表示機構１２の最出光側面、すなわち表示面１２ａを形成している。機能層１９は、一例として、反射防止層（ＡＲ層）としての機能する低屈折率層とすることができる。また機能層１９の他の例として、反射防止層に代えて或いは反射防止層に加えて、防眩機能を有した防眩層（ＡＧ層）、耐擦傷性を有したハードコート層（ＨＣ層）、帯電防止機能を有した帯電防止層（ＡＳ層）等の一以上を含むように構成され得る。

偏光板１６，１８は、入射した光を直交する二つの偏光成分に分解し、一方の方向の偏光成分を透過させ、前記一方の方向に直交する他方の方向の偏光成分を吸収する機能を有した偏光子を有している。以下においては、液晶表示パネル１５に含まれる一対の偏光板を区別するため、液晶表示パネル１５の配置状態に関係なく、入光側（バックライト側）の偏光板１６を下偏光板と呼び、出光側（観察者側）の偏光板１８を上偏光板と呼ぶ。

液晶セル１７は、一対の支持板と、一対の支持板間に配置された液晶と、を有している。液晶セル１７は、一つの画素を形成する領域毎に、電界印加がなされ得るようになっている。そして、電界印加された液晶セル１７の液晶の配向は変化するようになる。入光側に配置された下偏光板１６を透過した特定方向（透過軸と平行な方向）の偏光成分は、一例として、電界印加されている液晶セル１７を通過する際にその偏光方向を９０°回転させ、電界印加されていない液晶セル１７を通過する際にその偏光方向を維持する。このため、液晶セル１７への電界印加の有無によって、下偏光板１６を透過した特定方向の偏光成分が、下偏光板１６の出光側に配置された上偏光板１８をさらに透過するか、あるいは、上偏光板１８で吸収されて遮断されるか、を制御することができる。

バックライト１４は、光源を含んでおり、面状に光を照射する。バックライト１４は、エッジライト型（サイドライト型）や直下型として構成された既知の面光源装置を用いることができる。光源は、発光ダイオード（ＬＥＤ）、冷陰極管、白熱灯、有機ＥＬ等の既知の光源から構成され得る。

次に、タッチパネル装置２０について説明する。タッチパネル装置２０は、タッチパネルセンサ３０を含む積層構造体２０ａと、タッチパネルセンサ３０に接続された検出制御部２１と、を有している。タッチパネルセンサ３０を含む積層構造体２０ａは、画像表示機構１２の表示面１２ａに対面する位置に配置されている。上述したように、タッチパネル装置２０は、容量結合方式のタッチパネル装置として構成されており、情報を入力する入力装置としての役割を担っている。図２に示された例では、タッチパネル装置２０の積層構造体２０ａは、観察者側、すなわち、画像表示機構１２とは反対の側から順に、透明カバー２２、接合層２３及びタッチパネルセンサ３０を有している。

透明カバー２２は、誘電体として機能する透光性を有した層であり、例えばガラス板や樹脂フィルムから形成される。透明カバー２２は、可視光領域における透過率が８０％以上であることが好ましく、８４％以上であることがより好ましい。なお、透明カバー２２の可視光透過率は、分光光度計（（株）島津製作所製「ＵＶ−３１００ＰＣ」、ＪＩＳＫ０１１５準拠品）を用いて測定波長３８０ｎｍ〜７８０ｎｍの範囲内で測定したときの、各波長における透過率の平均値として特定される。

この透明カバー２２は、タッチパネル装置２０への入力面（タッチ面、接触面）として機能するようになる。つまり、透明カバー２２に外部導体５（例えば、人間の指）を接触させることにより、タッチパネル装置２０に対して外部から情報を入力することができるようになっている。また、透明カバー２２は、表示装置１０の最観察者側面をなしており、表示装置１０において、タッチパネル装置２０および画像表示機構１２を外部から保護するカバーとしても機能する。

透明カバー２２は、接合層２３を介してタッチパネルセンサ３０と接合されている。接合層２３は、タッチパネルセンサ３０の電極４０と、透明カバー２２に接触する外部導体５（例えば、人間の指）と、の間で誘電体として機能する。このような接合層２３としては、種々の接着性または粘着性を有した材料からなる層を用いることができる。典型的な接合層としては、アクリル系接着剤またはアクリル系粘着剤からなる層を例示することができる。

なお、タッチパネル装置２０の積層構造体２０ａには、図示された例に限られず、特定の機能を発揮することを期待されたその他の機能層が設けられても良い。また、一つの機能層が二以上の機能を発揮するようにしてもよいし、例えば、タッチパネルセンサ３０の後述する透明基材３２や、その他の積層構造体２０ａに含まれる各層（各基材や、接着層）に機能を付与するようにしてもよい。タッチパネル装置２０の積層構造体２０ａに付与され得る機能としては、一例として、防眩（ＡＧ）機能、反射防止（ＡＲ）機能、耐擦傷性を有したハードコート（ＨＣ）機能、帯電防止（ＡＳ）機能、電磁波遮蔽機能、赤外線遮蔽機能、紫外線遮蔽機能、位相差機能、偏光機能、防汚機能等を例示することができる。

タッチパネル装置２０の検出制御部２１は、タッチパネルセンサ３０に接続され、透明カバー２２を介して入力された情報を処理する。具体的には、検出制御部２１は、透明カバー２２へ外部導体５（例えば、人間の指）が接触している際に、透明カバー２２への外部導体５の接触位置を特定し得るように構成された回路（検出回路）を含んでいる。また、検出制御部２１は、画像表示機構１２の表示制御部１３と接続され、処理した入力情報を表示制御部１３へ送信することもできる。この際、表示制御部１３は、入力情報に基づいた映像情報を作成し、入力情報に対応した映像を画像表示機構１２に表示させることができる。

次に、タッチパネルセンサ３０について、詳述する。図２および図３に示すように、タッチパネルセンサ３０は、透明基材３２と、透明基材３２上に設けられた検出電極４０と、を含んでいる。

透明基材３２は、電極４０を支持する基材として機能する。図１および図３に示すように、透明基材３２は、タッチ位置を検出され得る領域に対応するアクティブエリアＡａ１と、アクティブエリアＡａ１に隣接する非アクティブエリアＡａ２と、を含んでいる。とりわけ図示された、タッチパネルセンサ３０のアクティブエリアＡａ１は、画像表示機構１２の表示領域Ａ１に対面する領域を占めている。一方、非アクティブエリアＡａ２は、矩形状のアクティブエリアＡａ１の周縁部を四方から周状に取り囲むように、言い換えると、額縁状に形成されている。この非アクティブエリアＡａ２は、画像表示機構１２の非表示領域Ａ２に対面する領域に形成されている。

アクティブエリアＡａ１を介して画像表示機構１２の画像を観察することができるよう、透明基材３２は、透明または半透明となっている。透明基材３２は、可視光領域における透過率が８０％以上であることが好ましく、８４％以上であることがより好ましい。なお、透明基材３２の可視光透過率は、分光光度計（（株）島津製作所製「ＵＶ−３１００ＰＣ」、ＪＩＳＫ０１１５準拠品）を用いて測定波長３８０ｎｍ〜７８０ｎｍの範囲内で測定したときの、各波長における透過率の平均値として特定される。

透明基材３２は、例えばガラスや樹脂の板、シートまたはフィルムから構成され得る。樹脂フィルムとしては、光学部材の基材として使用されている種々の樹脂フィルムを好適に用いることができる。一例として、トリアセチルセルロースに代表されるセルロースエステル樹脂を透明基材３２として用いることができる。他の例として、安価で安定性に優れたポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル樹脂を、透明基材３２として用いることができる。ポリエステル樹脂フィルムは、吸湿性が低く、高温多湿の環境化においても変形等が生じ難いといった利点を有している。

次に、透明基材３２上に設けられたタッチパネルセンサ３０の検出電極４０及び引出配線５０について説明する。図３に示すように、透明基材３２の一方の面には、多数の検出電極４０、及び、各検出電極４０に接続された引出配線５０が設けられている。検出電極４０は、透明基材３２上のアクティブエリアＡａ１内に設けられている。また、引出配線５０は、アクティブエリアＡａ１内の検出電極４０から、非アクティブエリアＡａ２内の端子部５５にかけて延在している。

検出電極４０は、透明基材３２上のアクティブエリアＡａ１内に二次元配列されている。すなわち、アクティブエリアＡａ１内に二次元的に分散するように配列されている。例えば、二以上の方向に配列されている。図３に示された例では、検出電極４０は、第１方向（Ｘ）及び第２方向（Ｙ）に配列されている。第１方向（Ｘ）と第２方向（Ｙ）は、交差、とりわけ直交している。なお、図３では、検出電極４０は単純な矩形で簡略化して表現されているが、後述するように、検出電極４０は矩形状の導電性メッシュ４５から形成されている。

検出電極４０は、外部導体５がタッチパネルセンサ３０に接近した際に生じる、電磁的な変化または静電容量の変化を検知するために設けられるものである。したがって、検出電極４０には、電磁的な変化または静電容量の変化に起因する電流を検知可能なレベルで流すことができる程度の導電性が求められる。このような検出電極４０を構成するための材料として、優れた導電性を有する金属材料、例えば、金、銀、銅、白金、アルミニウム、クロム、モリブデン、ニッケル、チタン、パラジウム、インジウム、及び、これらの合金の一以上を用いることができる。

一方、これらの金属材料は、可視光に対して遮光性を有している。そこで、検出電極４０は、金属導線４６が多数の開口領域４７を画成するメッシュパターンにて配置されている導電性メッシュ４５を含んでいる。とりわけ図４に示された例においては、各検出電極４０が、矩形状に形成された導電性メッシュ４５から形成されている。なお、図４に示された例において、導電性メッシュ４５は、格子配列状の規則的なメッシュパターンを有している。ただし、導電性メッシュ４５は、格子配列以外の規則的なメッシュパターンを有していてもよいし、不規則的なメッシュパターンを有していてもよい。

引出配線５０は、透明基材３２のアクティブエリアＡａ１内の検出電極４０に接続され、そこから非アクティブエリアＡａ２内へ延びている。そして、非アクティブエリアＡａ２内において、端子部５５に接続されている。端子部５５は、図示しない外部接続配線（例えば、ＦＰＣ）を介し、検出制御部２１に接続される。

各検出電極４０に接続される各引出配線５０は、それぞれ複数の第１配線金属導線５１を含む。図４に示した例では、各引出配線５０は、それぞれ２本の第１配線金属導線５１を含んでいる。また、複数の第１配線金属導線５１は少なくともアクティブエリアＡａ１内において、それぞれ互いから離間している。すなわち、お互いに交差または接触しないように配置されている。とりわけ図４に示した例では、１本の引出配線５０をなす２本の第１配線金属導線５１が、検出電極４０から非アクティブエリアＡａ２に至るまで平行に配置されている。

各引出配線５０は、少なくともアクティブエリアＡａ１内において、複数の第１配線金属導線５１のうちの少なくとも２つを連結する少なくとも１つの第１連結金属導線５２をさらに含んでいる。とりわけ図４に示した例では、各引出配線５０に、アクティブエリアＡａ１内において、２本の第１配線金属導線５１を連結する多数の第１連結金属導線５２が設けられている。また、複数の第１連結金属導線５２は、それぞれ互いから離間している。すなわち、お互いに交差または接触しないように配置されている。図４に示した例では、引出配線５０の複数の第１連結金属導線５２は、対応する検出電極４０から第１方向（Ｘ）に延び出し、次に、第２方向（Ｙ）に沿って非アクティブエリアＡａ２まで延びている。そして、引出配線５０の各直線部分において、複数の第１連結金属導線５２が、それぞれ平行に配置されている。

また、各検出電極４０と当該検出電極４０に対応する引出配線５０との接続箇所において、検出電極４０の導電性メッシュ４５をなす金属導線４６と、引出配線５０の第１配線金属導線５１とが、一体的に形成されている。すなわち、繋ぎ目なく同一の材料から形成されている。図４に示した例では、検出電極４０の導電性メッシュ４５をなす金属導線４６のうちの２本が、当該検出電極４０の外側まで延長されて、この延長された部分が引出配線５０の第１配線金属導線５１をなしている。

透明基材３２における、検出電極４０及び引出配線５０が設けられた一方の面には、検出電極４０及び引出配線５０から離間して、共通電極６０が設けられている。共通電極６０は、アクティブエリアＡａ１内から非アクティブエリアＡａ２まで延びている。図３に示した例では、第２方向（Ｙ）に沿って配列された一群の検出電極４０に対して、対応する共通電極６０がそれぞれ１つ設けられている。また、共通電極６０は、それぞれの対応する検出電極４０の列に沿うように第２方向（Ｙ）に延びている。したがって、第１方向（Ｘ）及び第２方向（Ｙ）に配列された複数の検出電極４０に対応して、複数の共通電極６０が第１方向（Ｘ）に配列され、各共通電極６０は第２方向（Ｙ）に延びている。

この例においては、検出電極４０及び共通電極６０を用いて、外部導体５がタッチパネルセンサ３０に接近した際に生じる静電容量の変化を検知する。すなわち、外部導体５がタッチパネルセンサ３０に接近すると、接近した箇所に対応する検出電極４０と共通電極６０との間の静電容量が変化する。したがって、静電容量が変化した検出電極４０及び共通電極６０を特定することで、タッチパネルセンサ３０における、外部導体５が接近した位置を特定することができる。

各共通電極６０は、それぞれ複数の第２配線金属導線６１を含む。図４に示した例では、各共通電極６０は、それぞれ２本の第２配線金属導線６１を含んでいる。また、複数の第２配線金属導線６１は少なくともアクティブエリアＡａ１内において、それぞれ互いから離間している。すなわち、お互いに交差または接触しないように配置されている。とりわけ図４に示した例では、１つの共通電極６０をなす２本の第２配線金属導線６１が、アクティブエリアＡａ１内において平行に配置され、第２方向（Ｙ）に延びている。

各共通電極６０は、少なくともアクティブエリアＡａ１内において、複数の第２配線金属導線６１のうちの少なくとも２つを連結する少なくとも１つの第２連結金属導線６２をさらに含んでいる。とりわけ図４に示した例では、各共通電極６０に、アクティブエリアＡａ１内において、２本の第２配線金属導線６１を連結する多数の第２連結金属導線６２が設けられている。また、複数の第２連結金属導線６２は、それぞれ互いから離間している。すなわち、お互いに交差または接触しないように配置されている。図４に示した例では、複数の第２連結金属導線６２が、それぞれ平行に配置されている。

なお、引出配線５０における、非アクティブエリアＡａ２内に配置されている部分は、必ずしも複数の第１配線金属導線５１を含まなくてもよい。図４に示すように、非アクティブエリアＡａ２内では不可視化を図る必要がないことから、第１配線金属導線５１よりも幅太のベタ金属パターン５３で引出配線５０を形成してもよい。例えば、ベタ金属パターン５３は、複数の第１配線金属導線５１のうちの最外方に位置する一対の第１配線金属導線の間隔と同一の幅を有するようにしてもよい。同様に、共通電極６０における、非アクティブエリアＡａ２内に配置されている部分は、必ずしも複数の第２配線金属導線６１を含まなくてもよい。例えば非アクティブエリアＡａ２内では、第２配線金属導線６１よりも幅太のベタ金属パターン６３で共通電極６０を形成してもよい。例えば、ベタ金属パターン６３は、複数の第２配線金属導線６１のうちの最外方に位置する一対の第２配線金属導線の間隔と同一の幅を有するようにしてもよい。ベタ金属パターン５３、６３の利用は、抵抗値の低減に有効である。

次に、検出電極４０、引出配線５０及び共通電極６０の断面形状について説明する。図５は、厚さ方向に沿った断面において、タッチパネルセンサ３０が示されている。ここで厚さ方向とは、シート状（フィルム状、板状、パネル状）からなるタッチパネルセンサ３０のシート面（フィルム面、板面、パネル面）への法線方向に沿った断面のことを指す。ここで、シート面（フィルム面、板面、パネル面）とは、対象となるシート状（フィルム状、板状、パネル状）の部材を全体的かつ大局的に見た場合において対象となるシート状部材の平面方向と一致する面のことを指している。そして、本実施の形態においては、透明基材３２が一対の主面を有するシート状の形状を有している。したがって、本実施の形態では、厚さ方向に沿った断面とは、透明基材３２の面への法線方向に沿った断面と一致する。

図５に示すように、透明基材３２上に、検出電極４０をなす導電性メッシュ４５の金属導線４６、引出配線５０をなす第１配線金属導線５１及び第１連結金属導線５２、共通電極６０をなす第２配線金属導線６１及び第２連結金属導線６２が形成されている。導電性メッシュ４５の金属導線４６、第１配線金属導線５１、第１連結金属導線５２、第２配線金属導線６１及び第２連結金属導線６２は、それぞれ、透明基材３２上に設けられた導電性金属層７０と、導電性金属層７０上に設けられた暗色層７１とを含んでいる。言い換えると、暗色層７１は、導電性メッシュ４５を構成する金属導線４６、第１配線金属導線５１、第１連結金属導線５２、第２配線金属導線６１及び第２連結金属導線６２の長手方向に直交する断面において導電性金属層７０を上側、すなわち透明基材３２とは反対の側から覆っている。

ここで導電性金属層７０は、高導電率を有した金属材料を用いて形成された層であり、上述したように、金、銀、銅、白金、アルミニウム、クロム、モリブデン、ニッケル、チタン、パラジウム、インジウム、及び、これらの合金の一以上からなる層である。なお、導電性金属層７０は、単層である必要はなく、異なる材料または同一の材料からなる複数の層として構成されていてもよい。

金属材料からなる導電性金属層７０は、優れた導電率を有する反面、比較的高い反射率を呈する。そして、タッチパネルセンサ３０の導電性メッシュ４５の金属導線４６、第１配線金属導線５１、第１連結金属導線５２、第２配線金属導線６１及び第２連結金属導線６２をなす導電性金属層７０によって外光が反射されると、タッチパネル装置２０のアクティブエリアＡａ１を介して観察される画像表示機構１２の画像コントラストが低下してしまう。そこで、暗色層７１が、導電性金属層７０の観察者側に配置されている。この暗色層７１によって、画像のコントラストを向上させ、画像表示機構１２によって表示される画像の視認性を改善することができる。すなわち、暗色層７１は、黒色等の暗色の層であり、隣接する導電性金属層７０よりも低反射率の層である。なお、暗色層７１は、導電性金属層７０の上面だけでなく、導電性金属層７０の両側面にも形成することができる。この場合、傾斜した方向からの外光の反射も効果的に防止できる。

暗色層７１としては、種々の既知の層を用いることができる。導電性金属層７０をなす材料の一部分に暗色化処理（黒化処理）を施して、導電性金属層７０をなしていた一部分から、金属酸化物や金属硫化物からなる暗色層７１を形成してもよい。また、暗色材料の塗膜や、ニッケルやクロム等のめっき層等のように、導電性金属層７０上に暗色層７１を設けるようにしてもよい。また、ここで用いる暗色層７１とは、暗色化（黒化）された層のみでなく、粗化された層も含む。

なお、引出配線５０をなす第１配線金属導線５１及び第１連結金属導線５２における、非アクティブエリアＡａ２内に配置されている部分には、必ずしも暗色層７１を設けなくてもよい。同様に、共通電極６０をなす第２配線金属導線６１及び第２連結金属導線６２における、非アクティブエリアＡａ２内に配置されている部分には、必ずしも暗色層７１を設けなくてもよい。

このような構成からなる検出電極４０、引出配線５０及び共通電極６０において、図５に示された、検出電極４０をなす導電性メッシュ４５の金属導線４６、引出配線５０をなす第１配線金属導線５１及び第１連結金属導線５２、共通電極６０をなす第２配線金属導線６１及び第２連結金属導線６２の幅（最大幅）Ｗ、すなわち、シート状からなる透明基材３２のシート面に沿った幅（最大幅）Ｗを１μｍ以上５μｍ以下とし、且つ、高さ（厚さ）Ｈ、すなわち、シート状からなる透明基材３２のシート面への法線方向に沿った高さ（厚さ）Ｈを０．１μｍ以上３μｍ以下とすることが好ましい。このような寸法の導電性メッシュ４５、第１配線金属導線５１、第１連結金属導線５２、第２配線金属導線６１及び第２連結金属導線６２によれば、その金属導線が十分に細線化されているので、検出電極４０、引出配線５０及び共通電極６０を極めて効果的に不可視化することができる。同時に、断面形状において十分な高さを有するようになり、すなわち、金属導線の断面形状のアスペクト比（Ｈ／Ｗ）が十分に大きくなり、高い導電性を有するようになる。

次に、図６を参照して、タッチパネルセンサ３０の製造方法の一例について説明する。図６（ａ）〜（ｆ）は、タッチパネルセンサ３０の製造方法の一例を順に示す断面図である。

まず、図６（ａ）に示すように、透明基材３２を準備する。透明基材３２は、例えばガラスや樹脂の板、シートまたはフィルムである。

次に、図６（ｂ）に示すように、透明基材３２上に導電性金属層７０を形成する。導電性金属層７０は、上述したように、金、銀、銅、白金、アルミニウム、クロム、モリブデン、ニッケル、チタン、パラジウム、インジウム、及び、これらの合金の一以上からなる層である。導電性金属層７０は、公知の方法で形成され得る。例えば、銅箔等の金属箔を貼着する方法、電界めっき及び無電界めっきを含むめっき法、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＰＶＤ法、イオンプレーティング法、又はこれらの二以上を組み合わせた方法を採用することができる。

次に、図６（ｃ）に示すように、導電性金属層７０上に暗色層７１を形成する。暗色層７１は、例えば導電性金属層７０をなす材料の一部分に暗色化処理（黒化処理）を施して、導電性金属層７０をなしていた一部分から、金属酸化物や金属硫化物からなる暗色層７１を形成することができる。また、暗色材料の塗膜や、ニッケルやクロム等のめっき層等のように、導電性金属層７０上に暗色層７１を設けるようにしてもよい。また、導電性金属層７０の表面を粗化して暗色層７１を設けるようにしてもよい。

次に、図６（ｄ）に示すように、暗色層７１にレジストパターン７２を形成する。最終的に検出電極４０をなす導電性メッシュ４５、引出配線５０をなす第１配線金属導線５１及び第１連結金属導線５２、共通電極６０をなす第２配線金属導線６１及び第２連結金属導線６２、端子部５５となる箇所の上にのみ、レジストパターン７２が形成されるようにする。このレジストパターン７２は、公知のフォトリソグラフィー技術を用いたパターニングにより形成することができる。

次に、図６（ｅ）に示すように、レジストパターン７２をマスクとして、導電性金属層７０をエッチングする。このエッチングにより、導電性金属層７０がレジストパターン７２と略同一のパターンにパターニングされる。エッチング方法は特に限られることはなく、公知の方法が採用できる。公知の方法としては、例えば、エッチング液を用いるウェットエッチングや、プラズマエッチングなどが挙げられる。

最後に、図６（ｆ）に示すように、レジストパターン７２を除去する。これにより、透明基材３２上に、パターニングされた導電性金属層７０によって形成された導電性メッシュ４５、第１配線金属導線５１、第１連結金属導線５２、第２配線金属導線６１、第２連結金属導線６２及び端子部５５を有するタッチパネルセンサ３０を得ることができる。

このようにして形成されたタッチパネルセンサ３０において、導電性メッシュ４５の金属導線４６、第１配線金属導線５１および第１連結金属導線５２は、互いに接続する箇所において、一体的に形成される。本実施の形態では、導電性メッシュ４５の金属導線４６、第１配線金属導線５１および第１連結金属導線５２が互いに接続する箇所において、金属導線４６、第１配線金属導線５１および第１連結金属導線５２をそれぞれなす導電性金属層７０に、繋ぎ目が形成されていない。また、金属導線４６、第１配線金属導線５１および第１連結金属導線５２をそれぞれなす暗色層７１にも、繋ぎ目が形成されていない。導電性メッシュ４５の金属導線４６、第１配線金属導線５１および第１連結金属導線５２は、互いに接続する箇所において、一体的に形成されている場合、金属導線４６，５１，５２への割れや断線の発生を効果的に防止することができる。

同様に、第２配線金属導線６１および第２連結金属導線６２は、互いに接続する箇所において、一体的に形成される。本実施の形態では、第２配線金属導線６１および第２連結金属導線６２が互いに接続する箇所において、第２配線金属導線６１および第２連結金属導線６２をそれぞれなす導電性金属層７０に、繋ぎ目が形成されていない。また、第２配線金属導線６１および第２連結金属導線６２をそれぞれなす暗色層７１にも、繋ぎ目が形成されていない第２配線金属導線６１および第２連結金属導線６２は、互いに接続する箇所において、一体的に形成されている場合、金属導線６１，６２への割れや断線の発生を効果的に防止することができる。

なお、上記では導電性金属層７０をエッチングしてパターニングする、いわゆるサブトラクト法により各金属導線を形成する例を示したが、この方法に限らず、アディティブ法やセミアディティブ法を用いて各金属導線を形成してもよい。

ところで、上述した製造方法によれば、図７に示されたタッチパネルセンサ３０のように、検出電極４０、引出配線５０及び共通電極６０とともに、ダミーパターン７６を形成することができる。図７に示すように、ダミーパターン７６は、透明基材３２上の検出電極４０、引出電極５０及び共通電極６０が形成されていない領域に、検出電極４０、引出配線５０及び共通電極６０から離間して、すなわち検出電極４０、引出配線５０及び共通電極６０と非導通状態にて、形成される。ダミーパターン７６は、検出電極４０、引出配線５０及び共通電極６０と同一の材料を用いて、構成される。ダミーパターン７６を設けることにより、検出電極４０、引出配線５０及び共通電極６０が設けられている領域と、これらが設けられていない領域と、の間での濃淡むらが緩和される。これにより、検出電極４０、引出配線５０又は共通電極６０の存在が視認されてしまうといった不具合を効果的に解消することができる。

図７に示された例において、ダミーパターン７６は、検出電極４０の導電性メッシュ４６と同様に、メッシュパターンとして形成されている。このダミーパターン７６は、図８に示すように、アクティブエリアＡａ１内の全域に広がる基準メッシュパターン７５を、検出電極４０、引出配線５０及び共通電極６０が形成されるべき領域の輪郭８１に沿って、除去または断線することによって、形成される。

図７に示すように、作製されたタッチパネルセンサ３０において、基準メッシュパターン７５内の検出電極４０、引出配線５０及び共通電極６０となるべき領域の輪郭８１に沿って、除去部８０が形成される。そして、この除去部８０で囲まれた領域が、検出電極４０、引出配線５０及び共通電極６０となる。また、検出電極４０、引出配線５０及び共通電極６０となる部分以外の領域に、ダミーパターン７６が形成される。言い換えると、検出電極４０、引出配線５０及び共通電極６０に除去部８０を介して隣り合うようにして、ダミーパターン７６が形成される。

ところで、図７及び図８に示す例において、基準メッシュパターン７５は、格子配列状の規則的なメッシュパターンを有している。すなわち、第１方向（Ｘ）に沿って形成され、第１方向（Ｘ）と交差する第２方向（Ｙ）に沿って複数本配置された第１金属細線７５ａと、第２方向（Ｙ）に沿って形成され、第１方向（Ｘ）に沿って複数本配置された第２金属細線７５ｂとにより、格子配列状の規則的な基準メッシュパターン７５が形成されている。とりわけ、図７及び図８に示した例では、複数の第１金属細線７５ａは、それぞれ互いに平行に、且つ、第２方向（Ｙ）に沿って互いに等間隔で配置されており、複数の第２金属細線７５ｂは、それぞれ互いに平行に、且つ、第１方向（Ｘ）に沿って互いに等間隔で配置されている。また、第１金属細線７５ａと第２金属細線７５ｂとは、交差、とりわけ直交している。このように基準メッシュパターン７５がアクティブエリアＡａ１内で規則的なパターンとなっている場合、作製されたダミーパターン７６は、検出電極４０、引出配線５０及び共通電極６０と同様のパターンを有することになる。したがって、検出電極４０、引出配線５０又は共通電極６０の存在が視認されてしまうといった不具合を極めて効果的に解消することができる。

本実施の形態の作用について、図９及び図１０を参照しながら説明する。図９は、本実施の形態の引出配線５０の部分拡大図である。図１０は、ＩＴＯを用いた従来技術による引出配線１５０の部分拡大図である。

図１０に示された従来技術では、ＩＴＯが比較的脆く割れやすいことから、ＩＴＯからなる引出配線１５０に割れ９１や断線９２が生じることがあった。従来技術では１つの検出電極４０に対応する引出配線１５０は１つしかなかったため、この引出配線１５０に割れ９１や断線９２が生じると、対応する検出電極１４０の検出感度の低下を引き起こし得る。最悪の場合、対応する検出電極１４０が全く機能しなくなることさえあった。

これに対して、図９に示された本実施の形態では、引出配線に、ＩＴＯと比較して強度の高い金属導線を用いているので、割れや断線が生じにくい。また、検出電極４０から延び出す引出配線５０が第１配線金属導線５１を複数備えていることにより、複数の第１配線金属導線５１の一部に割れや断線９０が起こったとしても、他の第１配線金属導線５１により導通が確保される。さらに、本実施の形態では、複数の第１配線金属導線５１を連結する第１連結金属導線５２を備えていることにより、複数の第１配線金属導線５１に割れや断線９０が起こっても、第１連結金属導線５２を経由して、第１配線金属導線５１の割れや断線９０の箇所を迂回するようにして、導通を確保することができる。したがって、第１配線金属導線５１の割れや断線９０により検出電極４０が機能しなくなる事態を回避することができ、これにより検出電極４０が二次元配列されたタッチパネルセンサ３０に、検出感度および検出精度の安定性を付与することができる。

図１１に、検出電極４０、引出配線５０及び共通電極６０の変形例を示す。図１１に示した変形例では、各検出電極４０は、第１方向に対して４５°傾斜した格子配列状の規則的なメッシュパターンを有した導電性メッシュ４５を備えている。各引出配線５０は、それぞれ２本の第１配線金属導線５１を含み、この２本の第１配線金属導線５１を連結するように複数の第１連結金属導線５２を備えている。そして、各引出配線５０は、全体的に見てそれぞれ梯子状の形状をなしている。また、各共通電極６０は、それぞれ２本の第２配線金属導線６１を含み、この２本の第２配線金属導線６１を連結するように複数の第２連結金属導線６２を備えている。そして、各共通電極６０は、全体的に見てそれぞれ梯子状の形状をなしている。

図１１に示した変形例においても、検出電極４０から延び出す引出配線５０が第１配線金属導線５１を複数備えており、さらに、複数の第１配線金属導線５１を連結する複数の第１連結金属導線５２を備えているので、第１配線金属導線５１の一部に割れや断線が起こっても、他の第１配線金属導線５１や第１連結金属導線５２を経由して、引出配線５０の導通を確保することができる。また、共通電極６０が第２配線金属導線６１を複数備えており、さらに、複数の第２配線金属導線６１を連結する複数の第２連結金属導線６２を備えているので、第２配線金属導線６１の一部に割れや断線が起こっても、他の第２配線金属導線６１や第２連結金属導線６２を経由して、共通電極６０の導通を確保することができる。

以上のように、本実施の形態によるタッチパネルセンサは、透明基材３２と、透明基材３２の一方の面に設けられアクティブエリアＡａ１内に二次元配列された複数の検出電極４０と、各検出電極４０からそれぞれ延び出した複数の引出配線５０と、を備え、各検出電極４０は、複数の開口領域４７を画成する導電性メッシュ４５を含み、各引出配線５０は、各検出電極４０から少なくとも非アクティブエリアＡａ２まで延びる複数の第１配線金属導線５１を含み、複数の第１配線金属導線５１は、アクティブエリアＡａ１内においてそれぞれ互いから離間している。

各検出電極４０から延び出す引出配線５０が第１配線金属導線５１を複数備えていることにより、複数の第１配線金属導線５１の一部に割れや断線が起こったとしても、他の第１配線金属導線５１により、アクティブエリアＡａ１内から非アクティブエリアＡａ２までの導通が確保される。したがって、第１配線金属導線５１の割れや断線により検出電極４０が機能しなくなる事態を効果的に回避することができ、これにより検出電極４０が二次元配列されたタッチパネルセンサ３０に、検出感度および検出精度の安定性を付与することができる。

また、本実施の形態によるタッチパネルセンサは、透明基材３２と、透明基材３２の一方の面に設けられアクティブエリアＡａ１内に二次元配列された複数の検出電極４０と、各検出電極４０からそれぞれ延び出した複数の引出配線５０と、透明基材３２の一方の面に複数の検出電極４０及び複数の引出配線５０から離間して設けられた共通電極６０を有し、共通電極６０は、アクティブエリアＡａ１内から非アクティブエリアＡａ２まで互いから離間して延びる複数の第２配線金属導線６１を含んでいる。

共通電極６０が複数の第２配線金属導線６１を備えていることにより、複数の第２配線金属導線６１の一部に割れや断線が起こったとしても、他の第２配線金属導線６１により、アクティブエリアＡａ１内から非アクティブエリアＡａ２までの導通が確保される。したがって、第２配線金属導線６１の割れや断線により検出電極４０と共通電極６０との間で位置検出ができなくなる事態を効果的に回避することができ、これにより検出電極４０が二次元配列されたタッチパネルセンサに、検出感度および検出精度の安定性を付与することができる。

なお、上述した実施の形態に対して様々な変更を加えることが可能である。

例えば、検出電極４０の配列は、直交以外の角度で交差する二方向にそれぞれ配列されていてもよい。

１つの引出配線５０に対して、第１配線金属導線５１を３本以上備えていてもよい。同様に、１つの共通電極６０に対して、第２配線金属導線６１を３本以上備えていてもよい。

導電性メッシュ４５は、格子配列以外の規則的なメッシュパターンを有していてもよいし、不規則的なメッシュパターンを有していてもよい。例えばボロノイメッシュのような不規則的なメッシュパターンでもよい。

なお、以上において上述した実施の形態に対するいくつかの変形例を説明してきたが、当然に、複数の変形例を適宜組み合わせて適用することも可能である。

５ 外部導体
１０ 表示装置
１２ 画像表示機構
１２ａ 表示面
１３ 表示制御部
１４ バックライト
１５ 液晶表示パネル
１６ 偏光板
１７ 液晶セル
１８ 偏光板
１９ 機能層
２０ タッチパネル装置
２０ａ 積層構造体
２１ 検出制御部
２２ 透明カバー
２３ 接合層
３０ タッチパネルセンサ
３２ 透明基材
４０ 検出電極
４５ 導電性メッシュ
４７ 開口領域
５０ 引出配線
５１ 第１配線金属導線
５２ 第１連結金属導線
５５ 端子部
６０ 共通電極
６１ 第２配線金属導線
６２ 第２連結金属導線
７０ 導電性金属層
７１ 暗色層
７２ レジストパターン
７５ 導電性メッシュ
７６ 残留部
８０ 除去部
Ａ１ 表示領域
Ａ２ 非表示領域
Ａａ１ アクティブエリア
Ａａ２ 非アクティブエリア

Claims (15)

1. 位置検出を実施される領域に対応するアクティブエリアと、前記アクティブエリアに隣接する非アクティブエリアと、を含むタッチパネルセンサであって、
   透明基材と、
   前記透明基材の一方の面に設けられ前記アクティブエリア内に二次元配列された複数の検出電極と、
   各検出電極からそれぞれ延び出した複数の引出配線と、
   前記透明基材の前記一方の面に設けられ前記検出電極及び前記引出配線から離間したダミーパターンと、を備え、
   各検出電極は、複数の開口領域を画成する導電性メッシュを含み、
   各引出配線は、各検出電極から少なくとも前記非アクティブエリアまで延びる複数の第１配線金属導線を含み、
   前記複数の第１配線金属導線は、前記アクティブエリア内においてそれぞれ互いから離間しており、
   前記引出配線は、前記非アクティブエリア内において前記第１配線金属導線の幅よりも大きな幅を有する第１金属パターンを有し、前記複数の第１配線金属導線は、前記第１金属パターンにより互いに接続されている、タッチパネルセンサ。
2. 各引出配線は、前記複数の第１配線金属導線のうちの少なくとも２つを連結する少なくとも１つの第１連結金属導線をさらに含む、請求項１に記載のタッチパネルセンサ。
3. 各引出配線は、複数の前記第１連結金属導線を含み、前記複数の第１連結金属導線は、それぞれ互いから離間している、請求項２に記載のタッチパネルセンサ。
4. 各検出電極と当該検出電極に対応する前記引出配線との接続箇所において、前記検出電極の導電性メッシュをなす金属導線と前記引出配線の前記第１配線金属導線が、一体的に形成されている、請求項１〜３のいずれか一項に記載のタッチパネルセンサ。
5. 前記複数の検出電極は、第１方向、及び、前記第１方向と交差する第２方向に配列されている、請求項１〜４のいずれか一項に記載のタッチパネルセンサ。
6. 前記検出電極及び前記ダミーパターンは、メッシュパターンとして形成されている、請求項１〜５のいずれか一項に記載のタッチパネルセンサ。
7. 前記検出電極、前記引出配線及び前記ダミーパターンは、
   基準メッシュパターン内の、当該検出電極、当該引出配線及び当該ダミーパターンとなるべき領域の輪郭に沿って設けられた除去部により区画されている、請求項６に記載のタッチパネルセンサ。
8. 前記透明基材の前記一方の面に前記複数の検出電極及び前記複数の引出配線から離間して設けられた少なくとも１つの共通電極を有し、
   前記共通電極は、前記アクティブエリア内から前記非アクティブエリアまで互いから離間して延びる複数の第２配線金属導線を含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載のタッチパネルセンサ。
9. 前記透明基材の前記一方の面に前記複数の検出電極及び前記複数の引出配線から離間して設けられた複数の共通電極を有し、
   前記共通電極は、前記アクティブエリア内から前記非アクティブエリアまで互いから離間して延びる複数の第２配線金属導線を含み、
   前記複数の共通電極は、前記第１方向に配列され、各共通電極は、前記第２方向に延びている、請求項５に記載のタッチパネルセンサ。
10. 位置検出を実施される領域に対応するアクティブエリアと、前記アクティブエリアに隣接する非アクティブエリアと、を含むタッチパネルセンサであって、
    透明基材と、
    前記透明基材の一方の面に設けられ前記アクティブエリア内に二次元配列された複数の検出電極と、
    各検出電極からそれぞれ延び出した複数の引出配線と、
    前記透明基材の一方の面に前記複数の検出電極及び前記複数の引出配線から離間して設けられた共通電極と、
    前記透明基材の前記一方の面に設けられ前記検出電極、前記引出配線及び前記共通電極から離間したダミーパターンと、を有し、
    前記共通電極は、前記アクティブエリア内から前記非アクティブエリアまで互いから離間して延びる複数の第２配線金属導線を含み、
    前記共通電極は、前記非アクティブエリア内において前記第２配線金属導線の幅よりも大きな幅を有する第２金属パターンを有し、前記複数の第２配線金属導線は、前記第２金属パターンにより互いに接続されている、タッチパネルセンサ。
11. 前記検出電極及び前記ダミーパターンは、メッシュパターンとして形成されている、請求項８〜１０のいずれか一項に記載のタッチパネルセンサ。
12. 前記検出電極、前記引出配線、前記共通電極及び前記ダミーパターンは、
    基準メッシュパターン内の、当該検出電極、当該引出配線、当該共通電極及び当該ダミーパターンとなるべき領域の輪郭に沿って設けられた除去部により区画されている、請求項１１に記載のタッチパネルセンサ。
13. 前記複数の第２配線金属導線のうちの少なくとも２つを連結する少なくとも１つの第２連結金属導線をさらに含む、請求項８〜１２のいずれか一項に記載のタッチパネルセンサ。
14. 請求項１〜１３のいずれか一項に記載のタッチパネルセンサを備えたタッチパネル装置。
15. 請求項１〜１３のいずれか一項に記載のタッチパネルセンサを備えた表示装置。

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