JP6383722B2 - ガラス容器に金属酸化物蒸着するためのフード - Google Patents

Description

本発明は、金属酸化物蒸気でガラス容器をコーティングするためのフードに関する。

本発明は、容器側壁上の金属酸化物コーティングの量および配置、ならびにガラス容器の仕上げを制御して、ガラス容器に蒸着を施すためのフードに関する。

参照によりその全体を本明細書に共に援用される米国特許第５，５９９，３６９号明細書および米国特許第５，１４０，９４０号明細書に記載されているように、ガラス容器の外面に金属酸化物コーティングを施すことが望ましいと長い間認識されてきた。スズ、チタン、または他の反応性金属化合物、あるいは有機金属化合物を含むそのようなコーティング剤は、ガラス容器の引張り強度を低下させる摩耗および擦り傷などの表面損傷からガラス容器を保護する。ガラス容器に高い引張り強度をもたせる必要性は、容器が大量生産され、高速コンベアラインに沿って近接した状態で高速移動し、次に、容器内にガス圧を発生させる炭酸飲料、ビール、ワイン、食材などを充填される場合に特に顕著である。

金属酸化物コーティングは、通常、ガラス容器が、加熱された、完全に成形された状態で、ガラス器成形機械から、すなわち、システムの「高温端」から出てきたときに施される。容器は、コンベアによって成形機械から運び去られる。ガラス容器表面には４００℃を超える温度が存在するので、熱分解性の無機金属または有機金属化合物がガラス容器表面に加えられると、化合物は即座に反応して金属酸化物コーティングに変わる。

高温ガラス容器に保護コーティングを施すための、公知ですでに幅広く使用されている１つの技術では、ガラス容器が１列縦隊でコンベアに載って進むときに、特定の容器のガラス表面に最適なコーティングを施すように配置された溶射ヘッドを通じて、容器の両側に溶射する必要がある。受け器が、それぞれの溶射ヘッドと一列に整列して、コンベアの反対側に配置される。コーティング用化合物を混入させた加圧空気または不活性ガスが、かなりの正圧で１つまたは複数の溶射ヘッドから放出され、一方で、受け器は、通常比較的低い圧力に維持される。得られた圧力差により、コーティング前化合物の速度、ひいては有効性が高くなる。この特徴のコーティングシステムは、とりわけ、Ｇａｔｃｈｅｔらによる米国特許第３，５１６，８１１号明細書、およびＧｏｅｔｚｅｒらによる米国特許第３，６８４，４６９号明細書に開示されており、これらの各特許は、参照によりその全体を本明細書に援用される。

しかし、上記のコーティングシステムは、「側面開放型」と呼ぶことができるものであり、ガラス容器が形成される設備内の環境条件によって悪影響を受けることがある。

高温ガラス容器に保護コーティングを施すための第２の公知で幅広く使用されている技術は、溶射ヘッドおよび対応する受け器が内部に置かれた成形板金コーティングフードを利用する。フードは、上記の側面開放型溶射システムに関連する多くの問題を未然に防ぐ。例えば、フードは、ガラス容器を環境条件から切り離し、コーティング作業を向上させる、制御された雰囲気をもたらす。フードは、容器に付着せずに空気に混入したコーティング用化合物のほとんどを捕捉する排気システムを含み、したがって、システムの換気問題を軽減し、コーティング化合物が建物の構成要素を侵す機会を最小限にする。さらに、このフードは、付随コストを節減するとともに、システムのコーティング効率を大幅に高めることができる。

先行技術を概ね代表するコーティングフードは、それぞれが参照によりその全体を本明細書に援用されるＳｃｈｏｌｅｓらによる米国特許第３，８１９，４０４号明細書、Ｓｃｈｏｌｅｓによる米国特許第３，９３３，４５７号明細書、およびＬｉｎｄｎｅｒによる米国特許第４，３８９，２３４号明細書に開示されている。Ｌｉｎｄｎｅｒによる米国特許第４，３８９，２３４号明細書は、容器が通過するのを可能にするトンネルと、様々な大きさの容器を収容するために垂直方向に調整可能な平屋根とを含むコーティングフードについて記載している。少なくとも２つのジェットスロットが各側壁に配置され、少なくとも２つの受け器または吸引スロットがジェットスロットと一列に整列する。ジェットおよび吸引スロットは、互いに対向して各側壁に組み入れられる。コーティング用化合物は、少なくとも１つの供給点から導入され、側壁に固定された送風機は、高速空気の内側および外側ループをフードの内部に供給し、高速空気の内側ループは、コーティング用化合物を含む。バッフルは、ジェットスロットから出たジェットが明確に形成され、したがって、意図された機能に、よりうまく適するように高速空気の流路に置かれる。

本発明の一態様によれば、ガラス物品に化合物をコーティングする装置は、入り口および出口を有する内部チャンバを画定するコーティングフード部を含み、出口は、ガラス物品に隣接して配置される。送風機は、内部チャンバに配置されて、空気を入り口から出口に向かって送る。噴射装置は、化合物を内部チャンバに送出するように構成され、内部チャンバ内で送風機の下流の位置に配置される。

本発明の別の態様によれば、ガラス物品に化合物をコーティングする装置は、内部チャンバを画定するコーティングフード部と、化合物をコーティングフード部の内部チャンバに送出するように構成され、化合物の早期の蒸発を防止するように選択された所定の距離だけ内部チャンバ内に延びる噴射装置とを含む。

添付図面と関連して読んだ場合に、以下の詳細な説明から本発明が最も深く理解される。図面には以下の図が含まれる。

瓶または広口瓶用の先行技術のコーティングフードの側面図を示しており、フードは、蒸気スロットを備えた平坦な内壁を有する。 図１の２−２線に沿って切り取った図１の先行技術のコーティングフードの平断面図を示している。 別の先行技術のコーティングフードを示す平面図を示しており、コーティングフードは、内側面温度を下げるように設計された内壁構成を有する。 概略的に示した、本発明によるコーティングフードの正面図を示している。 図４のコーティングフードの概略的な右側面図を示している。 ６−６線に沿って切り取った図５のコーティングフードの概略的な断面図を示している。 図５のコーティングフード（送風機モータは省略）の別の概略的な断面図を示し、コーティングフードを通る蒸気の流路を示している。 図４の噴射装置に取り付けられたチューブのセグメントの断面図を示している。

添付の作成図と関連して読んだ場合に、以下の詳細な説明から本発明が最も深く理解され、これらの図は、説明目的で選択された本発明の例示的な実施形態を示している。本発明は、図を参照して説明される。そのような図は、限定するよりも例示することを意図され、本発明の説明を容易にするために本明細書に同封されている。

本発明は、モノブチルスズ塩化物（ＭＢＴＣ）を使用して瓶にコーティングする一般的な場合に適用可能であるが、本明細書で説明する装置は、スズ酸化物、チタン酸化物、または他の単一金属酸化物の膜を、あるいは有機金属化合物、金属ハロゲン化物、または他の適切な化合物をコーティング用化学的前駆体として使用する複数のそれらの混合物をガラスにコーティングするのに概ね適用可能である。

本発明は、先行技術のコーティングフードに関する最初の簡単な説明によって、最も深く理解されるであろう。図１および図２は、米国特許第４，３８９，２３４号明細書による瓶用の２重蒸気ループコーティングフード１００の部分概略図を示している。各蒸気ループは、吹き出しスロット１０１と、コンベアの反対側で、通過しつつある瓶１０３にぶつかった高速の循環蒸気を案内する吸引スロット１０２とを有する。液体コーティング用化学物質は、送風機１０５によって適切な供給源からパイプ１０４を通ってフードの両側に送られる。ＭＢＴＣを使用するこの種のフード内でコーティングされる瓶は、比較的低い化学物質消費量で、均一なスズ酸化物コーティングを受け止める。しかし、そのようなフードは、それにもかかわらず、適切なコーティング効率を維持するために、内部から外層を除去する洗浄を時々必要とする。吹き出しスロット１０１および吸引スロット１０２は、平坦面１０６を有する。ガラス物品を形成する際に生じる高温の条件下で、面１０６は、瓶１０３からの、かなりの熱量の輻射により高温になる。図１に示すフードのコーティング施行時、循環蒸気はかなり高温になり、金属酸化物外層の蓄積が送風機、フードの内壁、および吸引スロット１０２の内側に見られる。

ここで先行技術である、Ｌｉｎｄｎｅｒによる米国特許第５，１４０，９４０号明細書の図３を参照すると、図１および図２に示す先行技術の高効率な従来式コーティングフードと同様な従来式２重ループコーティングフード３００が示されている。スロット１０１、１０２の構成を変えることで、Ｌｉｎｄｅｒは、ガラス物品の製造に関する大幅な経済的改善を達成できると教示している。

先行技術である図３では、コーティングフードが全体として３００で示されている。図１および図２の吹き出しスロット１０１および吸引スロット１０２は、フード３００の吹き出しスロット３０１および吸引スロット３０２で示すように修正され、この修正は、平坦面１０６の削除として示され、吹き出しスロット３０１および吸引スロット３０２の側壁３１０は、フード内部において垂直線３１２で合流している。吹き出しスロット３０１および吸引スロット３０２の構造から、Ｌｉｎｄｅｒは、高温瓶からの熱輻射が、吹き出しおよび吸引スロットの壁の内面３１４に拡散すると教示している。Ｌｉｎｄｎｅｒは、内面３１４が図１の従来のコーティングフードの内壁面よりも大幅に大きくなっているので、壁面の単位当たりの輻射エネルギが、それぞれのスロットの壁面率によって決まる倍率だけ減少すると教示している。したがって、フードの稼働部分の内面温度は、図１および図２の従来のフード内よりも約５０℃〜約１５０℃低くなる。Ｌｉｎｄｅｒは、これが外層の蓄積を低減し、したがって、洗浄の必要性を低くすると教示している。

先行技術である図１〜３のパイプ１０４は、送風機のファンブレードのすぐ上の位置に液体コーティング用化学物質を配達する。その結果、送風機のファンブレードおよびファンブレードに近接したフードの領域は、液体コーティング用化学物質でコーティングされる。これは、フードが頻繁に洗浄を必要とすることから非効率的と考えられる。

ここで本発明の図４〜６を参照すると、２重蒸気ループコーティングフードが全体として４００で示されている。コーティングフード４００は、図１〜３のフード１００、３００とほぼ同じであり、したがって、これらのフードについての前の説明は、コーティングフード４００にも当てはまる。

コーティングフード４００は通常、ほぼ同一である、２つの対向するフード部４０１ａ、４０１ｂを含む。図示していないが、中央フード部分が、対向するフード部４０１ａ、４０１ｂ間に配置される。中央フード部分のさらなる詳細が、米国特許第４，６６８，２６８号明細書に見られ、この特許は、参照によりその全体をあらゆる目的のために援用される。瓶１０３は、対向するフード部４０１ａ、４０１ｂ間に画定された、囲まれた空間を通過する。囲まれた空間は、コーティング用化合物の雰囲気への漏れを限定する。

フード部４０１ｂの特徴について下記に説明されるが、当然ながら、フード部４０１ａ、４０１ｂはほぼ同一である。したがって、フード部４０１ｂについての前述の説明もフード部４０１ａに当てはまる。フード部４０１ｂはプレナムハウジング４０２を含む。プレナムハウジング４０２は、長方形形状のベース部分４０７ａと、ベース部分４０７ａの前端から延びるマニホルド部分４０７ｂとを含む。

図５および図６に最もよく示すように、概ね囲まれた内部チャンバ４０３ａ〜４０３ｃは、プレナムハウジング４０２内に画定される。ハウジング４０２の内部チャンバ４０３ａは、ハウジング４０２の以下の壁、すなわち、上部壁４０５ｈ、底部壁４０５ｇ、前部壁４０５ｆ、外壁４０５ａ、後部壁４０５ｂ、および内壁４０５ｃによって画定される。ハウジング４０２の内部チャンバ４０３ｂは、ハウジング４０２の以下の壁、すなわち、上部壁４０５ｈ、底部壁４０５ｇ、前部壁４０５ｆ、内壁４０５ｃ、内壁４０５ｄ、および後部壁４０５ｂによって画定される。最後に、ハウジング４０２の内部チャンバ４０３ｃは、ハウジング４０２の以下の壁、すなわち、上部壁４０５ｈ、底部壁４０５ｇ、前部壁４０５ｆ、外壁４０５ｅ、後部壁４０５ｂ、および内壁４０５ｄによって画定される。

図５および図６を参照すると、内部チャンバ４０３ａ、４０３ｃは、Ｃ字形状の中空通路４０６によって流体連通している。流体蒸気は、内部チャンバ４０３ａから中空通路４０６を通ってチャンバ４０３ｃに進む。

ここで図６を参照すると、一連の開口またはスロット４１１ａ、４１１ｂは、プレナムハウジング４０２の前部壁４０５ｆに画定される。スロット４１１ａは、吹き出しスロットとして構成され、それに対して、スロット４１１ｂは、吸引スロットとして構成されている。吹き出しスロット４１１ａは、本明細書において、１つまたは複数の出口と称することができ、吸引スロット４１１ｂは、本明細書において、１つまたは複数の入り口と称することができる。吹き出しおよび吸引スロットの目的はすでに説明した。

送風機４０８、４０９は、ハウジング４０２に取り付けられている。各送風機４０８、４０９は、シャフトによってモータに取り付けられた回転ファンブレード４０４を有する。送風機４０８のブレード４０４は、内部チャンバ４０３ｂに配置され、送風機４０８のファンブレード４０４は、内部チャンバ４０３ｃに配置されている。送風機４０８、４０９のモータは、任意選択的にハウジング４０２の外側に配置される。

液体コーティング剤を送風機のファンブレードに直接配達する、すでに説明したパイプ１０４の代わりに、フード部４０１ｂは、ファンブレードとハウジング４０２の周囲領域とに液体コーティング用化学物質をコーティングする可能性を低くするために、送風機ファンブレード４０４の正圧側から間隔を置いて配置された噴射装置４２０を含む。噴射装置４２０のそのような配置により、フード部４０１ｂの洗浄が簡単になり、さらに、瓶１０３の表面に付着する液体コーティング用化学物質の量を最大限にする。

図４に示すように、噴射装置４２０は、送風機４０８のファンブレード４０４に隣接したハウジング４０２の上部壁４０５ｈに取り付けられている。噴射装置４２０の基端は、導管４３０（一部が示されている）に流体接続され、液体コーティング用化学物質は、液体コーティング供給源（図示せず）から導管４３０を通って配達される。ハウジング４０２の側壁４０５ｅは、噴射装置４２０の先端を示すために、部分的に切り取られている。

図４に示すように、フード部４０１ｂの噴射装置４２０の先端は、送風機ファンブレード４０４の下流に配置され、送風機のファンブレード４０４から距離「Ｄ１」だけ軸方向に離間している。距離Ｄ１は、例えば、０．５〜５インチとすることができる。当然ながら、距離Ｄ１は任意の特定の寸法に限定されない。

噴射装置４２０の先端は、ハウジング４０２のマニホルド部分４０７ｂの内部に距離「Ｄ２」だけ延びている。距離Ｄ２は、例えば、０．１〜２インチとすることができる。本発明の１つの例示的な実施形態によれば、距離Ｄ２は０．２５インチである。当然ながら、距離Ｄ２は任意の特定の寸法に限定されない。

図示していないが、別の噴射装置４２０をフード部４０１ｂの他の送風機４０９の近辺でハウジング４０２の上部壁４０５ｈに取り付けることができる。

図８は、噴射装置４２０に取り付けられた中空管４３０の断面図を示している。噴射装置４２０は、供給インサート４３２と、供給インサート４３２に螺入して取り付けられたナット４３４とを含む。ナット４３４は、供給インサート４３２の雌ねじ４３８と螺入して係合した雄ねじ部４３６を含む。供給インサート４３２は、ハウジング４０２の上部壁４０５ｈに設けられたねじ付き領域（図示せず）と螺入して係合する外側面のねじ付き領域４３３を含む（図４を参照のこと）。

中空管４３０、供給インサート４３２、およびナット４３４はそれぞれ、略円筒形の中空本体を有する。中空管４３０は、ナット４３４によって画定された中央穴４４０を貫通して配置されている。導管４３０はまた、供給インサート４３２によって画定された中央穴４４６に延びている。ナット４３４を螺入して供給インサート４３２と結合させると、ナット４３４は、半径方向の圧力を中空管４３０にかけることができ、それにより、中空管４３０をナット４３４の穴４４０内に実質的に固定された状態で保持する。中空管４３０の終端４４２は、中央穴４４６に画定された斜方向ショルダ部４４４に支持されている。供給インサート４３２の斜方向ショルダ部４４４および中央穴４４６は、中空管４３０の終端４４２が、フード部４０１ｂのハウジング４０２の内部に入るのを防止する大きさとされる。

上記のように、供給インサート４３２の先端が、フード部４０１ｂのマニホルド部分４０７ｂ内に突出する垂直距離Ｄ２は、導管４３０の先端内または供給インサート４３２の穴４４６内の液体コーティング用化学物質の早期の蒸発を防止するように慎重に選択される。導管４３０および／または供給インサート４３２の穴４４６の内面への蒸発したコーティング用化学物質の蓄積により、噴射装置４２０内が詰まることがある。

戻って図７を参照して、２重蒸気ループコーティングフード４００を動作させる１つの例示的な方法によれば、最初に、各フード部４０１ａ、４０１ｂの送風機４０８、４０９が駆動される。次いで、コーティング用化学物質は、噴射装置４２０によって各フード部４０１ａ、４０１ｂのチャンバ４０３ｂ内に送出される。その後、瓶１０３が、矢印４５４で示すように、フード部４０１ａ、４０１ｂ間の通路に沿って搬送される。

上記のように、コーティングフード４００は２重蒸気ループを有する。主ループ４５０は、空気流４５０ａ〜４５０ｄで示され、リサイクルループ４５２は、空気流４５２ａ〜４５２ｄで示されている。

主ループ４５０において、フード部４０１ａ、４０１ｂの送風機４０８の正圧側は、それぞれフード部４０１ａ、４０１ｂの噴射装置４２０を通り過ぎた空気流４５０ｃ、４５０ａを推進する。空気流４５０ｃ、４５０ａは、噴射装置４２０によって配達されたコーティング用化学物質と混ざると、蒸発したコーティング用化学物質を同伴するようになる。コーティング剤を同伴した空気流４５０ｃ、４５０ａは、送風機４０８の正圧側によって、それぞれフード部４０１ａ、４０１ｂの内部チャンバ４０３ｂに付属する吹き出しスロット４４１ａから押し出される。コーティング剤同伴流４５０ｃ、４５０ａは、それぞれフード部４０１ａ、４０１ｂの内部チャンバ４０３ｃに付属する吹き出しスロット４４１ａの前に配置された瓶１０３を横切り、それによって、瓶１０３に蒸発したコーティング用化学物質をコーティングする。

フード部４０１ａ、４０１ｂの送風機４０８の真空側は、それぞれ吸引スロット４４１ｂを通り、フード部４０１ａ、４０１ｂの内部チャンバ４０３ｂに入った空気流４５０ａ、４５０ｃを引き寄せる。フード部４０１ａ、４０１ｂの送風機４０８の真空側は、それぞれフード部４０１ａ、４０１ｂの内部チャンバ４０３を通るコーティング剤同伴空気流４５０ｂ、４５０ｄを引き寄せる。次いで、主ループは、送風機４０８の正圧側が、フード部４０１ａ、４０１ｂの噴射装置４２０を通り過ぎたそれぞれの空気流４５０ｃ、４５０ａを押し出しながら繰り返す。

上記のように、コーティング剤同伴空気流４５０ａ、４５０ｃは瓶１０３に接触する。コーティング剤同伴空気流４５０ａ、４５０ｃが瓶１０３に接触すると、コーティング剤同伴空気流４５０ａ、４５０ｃの一部は、フード部分の外縁に向かって外側に散乱する。コーティング剤同伴空気流４５０ａ、４５０ｃの散乱した部分は、リサイクルループ４５２に捕捉される。

リサイクルループ４５２では、フード部分４０１ａ、４０１ｂの送風機４０９の正圧側は、フード部分４０１ａ、４０１ｂの内部チャンバ４０３ｃに付属する送風機スロット４４１ａからそれぞれ空気流４５２ａ、４５２ｃを押し出す。空気流４５２ａ、４５２ｃは、主ループ４５０のコーティング同伴空気流４５０ａ、４５０ｃの散乱部分と混ざる。リサイクルループ４５２のコーティング剤同伴流４５２ａ、４５２ｃは、それぞれフード部４０１ａ、４０１ｂの内部チャンバ４０３ｃに付属する吹き出しスロット４４１ａの前に配置された瓶１０３を横切り、それによって、瓶１０３に蒸発したコーティング用化学物質を２度コーティングする。

すでに述べたように、各フード部の内部チャンバ４０３ａ、４０３ｃは、通路４０６によって流体接続されている。したがって、フード部４０１ｂ、４０１ａの内部チャンバ４０３ｃに配置された送風機４０９の真空側は、それぞれフード部４０１ｂ、４０１ａの内部チャンバ４０３ａに付属する吸引スロット４４１ｂを通るコーティング剤同伴空気流４５２ａ、４５２ｃを引き寄せるという結果になる。次いで、送風機４０９の真空側は、通路４０６を通ってフード部４０１ｂ、４０１ａの内部チャンバ４０３ｃに入るそれぞれの空気流４５２ｄ、４５２ｂを引き寄せる。次いで、リサイクルループは、フード部分４０１ａ、４０１ｂの送風機４０９の正圧側が、フード部分４０１ａ、４０１ｂの内部チャンバ４０３ｃに付属する送風機スロット４４１ａからそれぞれ空気流４５２ａ、４５２ｃを押し出しながら繰り返す。

当然ながら、上記の方法は、任意の特定のステップまたはステップの順序に限定されない。

本発明の好ましい実施形態が、本明細書に示され、説明されたが、当然ながら、そのような実施形態は、単なる例示として提示されている。当業者は、本発明の趣旨から逸脱することなく、様々な変形、変更、および代替案を思いつくであろう。したがって、添付の特許請求の範囲は、本発明の趣旨および範囲内に入るすべてのかかる変形型を包含することが意図されている。

Claims (14)

1. ガラス物品に化合物をコーティングする装置であって、
   入り口および出口を有する内部チャンバを画定するコーティングフード部であって、前記出口は、前記ガラス物品に隣接して配置される、コーティングフード部と、
   前記内部チャンバに配置されて、空気を前記入り口から前記出口に向かって送る送風機と、
   前記化合物を前記内部チャンバに送出するように構成され、前記内部チャンバ内で前記送風機のファンブレードの正圧側から下流の位置に配置された噴射装置と、
   を含み、
   前記噴射装置は、前記内部チャンバの前記出口に隣接して配置される装置。
2. 前記噴射装置は、前記送風機の正圧側に配置される、請求項１に記載の装置。
3. 互いに対向して配置された２つのコ−ティングフード部を含む、請求項１に記載の装置。
4. 前記２つのコーティングフード部は、それぞれ、別の内部チャンバと、前記別の内部チャンバに配置された補助送風機とを含み、前記補助送風機は、空気を前記別の内部チャンバの出口から、この内部チャンバに対向して配置された別の内部チャンバの入り口に送るように構成される、請求項３に記載の装置。
5. 前記ガラス物品に化合物をコーティングする装置は、１つの噴射装置のみを含む、請求項１に記載の装置。
6. 前記噴射装置は、少なくとも一部が前記内部チャンバ内に延びる、請求項１に記載の装置。
7. 前記噴射装置は、前記噴射装置内での前記化合物の蒸発を防止するように選択された所定の距離だけ前記内部チャンバ内に延び、前記所定の距離は０．１〜２インチ（２．５４ｍｍ〜５０．８ｍｍ）である、請求項６に記載の装置。
8. 前記噴射装置は、前記内部チャンバの前記出口と前記送風機との間に配置される、請求項１に記載の装置。
9. ガラス物品に化合物をコーティングする装置であって、
   入り口および出口を有する内部チャンバを画定するコーティングフード部にして、
   前記出口が前記ガラス物品に隣接して配置されるコーティングフード部と、
   ファンブレードを備える送風機にして、前記内部チャンバに配置されて、空気を前記入り口から前記出口に向かって送る送風機と、
   基端と先端を有する噴射装置にして、前記化合物を前記内部チャンバに送出するように構成され、前記内部チャンバ内で前記送風機のファンブレードの正圧側から下流でかつ前記内部チャンバの前記出口に隣接する位置に配置された噴射装置と、
   前記噴射装置の前記基端は導管に流体接続され、
   前記噴射装置の前記先端は、前記コーティングフード部の内部チャンバに前記化合物を送出するように構成され、前記先端は、第１の所定の距離だけ前記内部チャンバ内に延び、かつ前記送風機のファンブレードの下流に配置され、かつ前記送風機のファンブレードから第２の所定の距離だけ軸方向に離間し、前記第１の所定の距離は、前記噴射装置内での前記化合物の蒸発を防止するように選択される装置。
10. 前記第１の所定の距離は０．１〜２インチ（２．５４ｍｍ〜５０．８ｍｍ）である、請求項９に記載の装置。
11. 前記噴射装置に形成されたショルダ部をさらに含み、前記導管の端部は、前記導管が前記ショルダ部を越えて移動するのを防止するために、前記噴射装置の前記ショルダ部に支持される、請求項９に記載の装置。
12. 前記導管は、前記内部チャンバ内に延びない、請求項９に記載の装置。
13. 前記コーティングフード部の表面に連結された前記噴射装置上に画定されたねじ付き領域をさらに含む、請求項９に記載の装置。
14. 前記噴射装置は中央穴を含み、前記化合物は、前記中央穴を通って前記内部チャンバに配達される、請求項９に記載の装置。

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