JP6376319B2 - 非対称の小型レンズアレイ - Google Patents

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Description

(関連出願の記載)
本出願は、2011年8月24日に出願された出願米国仮特許出願番号第61/526,791号(発明の名称「非対称の小型レンズアレイ」)の便益を主張するものであり、そのすべての開示はここで全体として引用したものとする。
多くの光学的組織は、同じ光学通路に沿って出入光学ビームを導く。このような光学的組織は、光スイッチ、波長ブロッカ及び光減衰器を含んでもよい。図1は、例えばDMD(デジタルマイクロミラー装置)のような、MEMS(微小電気機械システム )ミラーアレイに基づく波長ブロッカの簡略化された例を示す。1×1波長ブロッカにおいて、ファイバアレイは、入出力ポートとして役立つ単一のファイバである。多くの場合、循環機(図示せず)又は他の手段が出入ビームを分離するために用いられる。ファイバアレイがN本のファイバを含む場合、各々のファイバは入出力ポートとして役立つ。そのような装置は、一般的な光学的組織を用いてN個の1×1波長ブロッカを提供し、波長ブロッカアレイと呼ばれる。そのような装置において、投入される光学系は、各々のN個の入射ビーム及びN個の出射ビームを分離するため、一般にファイバアレイ及び一連の循環機等を必要とする。
上記の波長ブロッカアレイのような光学的組織の用途において複雑でなく安価な投入光学配置を提供することが、望ましい。
本発明の一態様によれば、光ファイバのアレイを固定するためのファイバアセンブリを含む光学投入配置が提供される。光学投入配置はまた、光ファイバのアレイの各々の光学ファイバと位置決めされる一対の連結レンズを有する第1の表面と、連結レンズの各々の対と位置決めされるコリメーティングレンズを有する第2の表面とを有する非対称の小型レンズアレイを含む。
本発明の別の態様によると、光学スイッチは、光ファイバのアレイを固定するためのファイバアセンブリ、及び、光ファイバのアレイの各々の光学ファイバと位置決めされる一対の連結レンズを有する第1の表面と、連結レンズの各々の対と位置決めされる結合レンズを有する第2の表面とを有する非対称の小型レンズアレイを含む。光学スイッチはまた、MEMSミラーアレイも含む。各々のMEMSミラーは、結合レンズの一つから光学ビームを受容するために配置される。
図1は、DMDのようなMEMSミラーアレイに基づく波長ブロッカの簡略化された例を示す。 図2は、ファイバアレイが固定されるV溝アレイ又はアセンブリの様々な斜視図を示す。 図3Aは、ファイバアレイが固定されるV溝アレイ又はアセンブリの様々な斜視図を示す。 図3Bは、ファイバアレイが固定されるV溝アレイ又はアセンブリの様々な斜視図を示す。 図4は、非対称の小型レンズアレイの一例の平面図を示す。 図5は、投入光学配置を形成する非対称の小型レンズアレイと結合したV溝アレイの側面図を示す。 図6はそれぞれ、投入光学配置を形成する非対称の小型レンズアレイと結合したV溝アレイの斜視図を示す。 図7は、図5及び6に示されるタイプの投入光学配置を用いる波長ブロッカアレイの他の例を示す。 図8は、補正プリズム、ウインドウ及びDMDを示す図7の波長ブロックアレイの詳細を示す。 図9は、マイクロレンズアレイ結合要素(すなわち非対称の小型レンズアレイ)を使用するファイバアレイスイッチの例を示す。 図10は、虚像面に位置する連結ミラーを用いてファイバアレイに、マイクロレンズアレイを整列配置する方法を示す。 図11aは、図5及び図6に示すような投入光学配置を使用する1×Nの波長ブロッカアレイの一例の上面図をそれぞれ示す。 図11bは、図5及び図6に示すような投入光学配置を使用する×Nの波長ブロッカアレイの一例の側面図をそれぞれ示す。
ファイバアレイはV溝アレイ又はアセンブリに通常固定され、その一例が図2、3A及び3Bの様々な斜視図に示される。V溝アレイ250は、シリコン基板101上の光導波路ユニット100Bと、光導波路ユニット100Bに隣接した光ファイバ整列ユニット100Aとを含む。光導波路ユニット100Bは、シリコン基板101上に形成されたクラッディング102及び導波路コア103とを含む。導波路コア103の出力260は、図3Aに示される。光ファイバ整列ユニット100Aは光ファイバを固定するためにV溝104を有し、各々のV溝104は導波路コア103と整列配置される。光ファイバ105はV溝104に配置され、ガラス圧力板106で上から光ファイバ105を固定し、コア103に光ファイバ105と接続する。
従来の配置では、V溝アレイの出力で提供された平行ビームは、入力面上に一連の連結レンズと出力表面上に対応する一連のコリメーティングレンズとを有する小型レンズアレイに導かれてもよい。各々の連結レンズはコリメーティングレンズの一つと位置決めされ、各々の連結レンズはV溝アレイの導波路出力の一つと整列配置される。小型レンズアレイがV溝アレイにより提供された平行ビームは互いにすべて平行であることを確実にする一方で、入射及び出射ビームを分離することができる投入光学配置として使われる場合に循環機等の必要性は避けられない。
同数の連結及びコリメーティングレンズであるという意味において対称形である上記のタイプの対称形の小型レンズアレイを使用する代わりに、V溝アレイ250は、コンパクトで、かつ、作成するのに比較的安価であり、循環機又は他の光学要素を必要としない投入光学配置を形成するため、非対称の小型レンズアレイと結合され得る。非対称の小型レンズアレイにおいて、連結レンズの数は、コリメーティングレンズの数とは異なる。
図4は、非対称の小型レンズアレイ200の一例の平面図を示し、図5−6はそれぞれ、小型レンズアレイ200と結合したV溝アレイ250の側面図及び斜視図を示す。最も容易に図4に示されるように、小型レンズアレイ200は内側及び外側の対向する表面220及び230を含み、シリカ又は他の最適な光学的透過材料から形成される。一連の連結レンズ対210、210、210は、アレイ200の内側の表面220に配置される。同様に、一連のコリメーティングレンズ214、214、214は、小型レンズアレイ200の外側の表面230に形成される。連結レンズ212の各々の対210は、コリメーティングレンズ214の一つと位置決めされる。例えば、図4において、連結レンズの対210はコリメーティングレンズ214と位置決めされ、連結レンズの対210はコリメーティングレンズ214と位置決めされる。したがって、連結レンズ212の二倍多くのコリメーティングレンズ214が存在する。例えばレンズは、一連の凹状又は凸状の表面が小型レンズアレイ200の内側及び外側の表面上でエッチングされるフォトリソグラフィーによって形成される。
連結レンズ212のピッチは、V溝アレイにおいて形成される導波路のピッチと同じである。したがって、図5−6に示すように、V溝及び小型レンズアレイは、小型レンズアレイ200の連結レンズ212がV溝アレイ250の導波路出力260の一つと位置決めされるように、配置され得る。特定のいくつかの実施態様において、連結レンズ212とコリメーティングレンズ214との間の分離は、それらの個々の焦点距離の合計とほとんど等しい。
V溝アレイ250及び小型レンズアレイ200は、共通の基板280に載置されてもよい。最も容易に図5に示されるように、非対称のアレイ小型レンズ200の内側の表面220は、後方反射を最小化するために出力表面から角度を有してオフセットされてもよい。つまり、二つの表面は互いに並列でない。同様に、反射防止膜が小型レンズアレイの表面に施されてもよい。
作動中、各々のファイバからの光ビームは、V溝アレイ250の導波路コア103の一つに出入りする。各々の導波路からのビームは、連結レンズ212の一つにより小型レンズアレイ200に伝達され、コリメーティングレンズ214の一つに到達する前に拡散する。二つの重なり合うビームはしたがって、各々のコリメーティングレンズ214に投影される。すなわち、所定の連結レンズ対210の各々のレンズ212からのビームは、位置決めされるコリメーティングレンズ214に導かれる。このように、V溝アレイ250に固定されるファイバアレイの二つのファイバは、わずかに異なる角度でコリメーティングレンズ214の一つに入射する二つの重なり合うビームを効果的に導く。
投入光学配置は、上記の波長ブロッカアレイのような光学的組織の入出力として使われてもよい。配置は、虚焦点(例えば図1の焦点118)で合焦された、空間的に重ねられ、角度を有して多重化されたビームを生成する。光学的組織からの戻りビームが光学的組織に導かれる入射ビームからわずかに異なる角度で戻るので、連結レンズの対の連結レンズの一つと連絡するファイバの一つが入力ファイバとして使われ、同じ連結レンズの対のもう一方の連結レンズと連絡するファイバが出力ファイバとして使われ得る。
最も単純な場合において、ここで示される投入光学配置は、二つのファイバを収容することができるV溝アレイと、単一のコリメーティングレンズと位置決めされる連結レンズの単一の対を有する非対称の小型レンズアレイとを含む。ファイバに入射される二つのビームは投入光学配置に入り、虚焦点で多重化された出力ビームを提供する。
非対称の小型レンズアレイの連結レンズ212は、同じように構成される又は構成されなくてもよい。例えば、いくつかの実施態様において、個々の連結レンズ212の湾曲は、例えば、像面湾曲のようなものを修正するように光学系の様々な特徴を最適化するため、空間に依存してもよい。加えて、連結レンズ212は、非対称のビームを手直しするため、レンズの異なる軸において異なる屈折強度を提供してもよい。
他の変形例において、非対称の小型レンズアレイのいくつかの実施態様の連結レンズ212の位置は、V溝アレイの導波路出力260と整列配置されなくてもよい。むしろ、非対称の小型レンズアレイを出ると、ビームの空間的並進を実行するため、互いに関してオフセットされてもよい。
ファイバアレイのファイバ、V溝250の導波路103及び非対称の小型レンズアレイのレンズの適当な整列は、多くの異なる方法で達成され得る。小型レンズアレイのレンズの焦点距離の公差がある用途ではあまりに大きいので、このプロセスは特に重要である。一実施態様において、ミラーは虚焦点に配置され、光学ビームは連結レンズの対の一つの連結レンズに発射されて、それが連結レンズの対のもう一方の連結レンズを出ると検出される。様々な構成要素(すなわちV溝アレイ250、非対称の小型レンズアレイ200及び基板280)はそれから、連結レンズの対の入出力連結レンズ間の連結効率を最大にするために適切に調整されてもよい。このプロセスは、連結レンズのすべて又は選択された数で実行されてもよい。例えば、非対称の小型レンズアレイの中央及び各々の端部で連結レンズの対の連結効率を最大にし、一方で位置的調整が行われることは、都合がよい。構成要素が適切に配列され次第、それらは例えばUVエポキシによって接着されてもよい。この実行中の整列プロセスに関する追加の詳細は図10と関連して後述される。
上記したタイプの投入光学配置を使用する波長ブロッカアレイの他の例は、図7に示される。この特定の例において、15個の1x1波長ブロッカが、単一のDMDを用いて形成される。投入光学配置はしたがって、V溝アレイにおいて固定される30の入出力ファイバ(又は導波路)と、一対の連結レンズと各々位置決めされる、30個の連結レンズ及び15個のコリメーティングレンズを有する非対称の小型レンズアレイとを含む。示されるように、波長ブロッカアレイはまた、投入光学310(上記の通り)、回転ミラー312及び314、コリメーティングレンズの対316及び318、拡大プリズム320、回折格子322及び326、回転プリズム324、四分の一波長板328、回転ミラー330、336及び338、集光レンズダブレット332及び334、及び、回転プリズム340を含む。回転プリズム324が、図8の補正プリズム410、ウインドウ420及びDMD430に光学ビームを導くことに留意のこと。波長ブロッカアレイに関する追加の詳細は、図11と関連して後述される。
上記した投入光学配置はまた、各々の連結レンズの対に最高一つのミラーで、虚焦点に一以上のミラーを配置することによって単純なスイッチとして使われてもよい。一実施態様において、ミラーは、DMDの形で提供されてもよい。個々のミラーを作用させることによって、入出力間の光学連絡通路のオンオフを切替えることができる。ファイバアレイスイッチ装置としてのこの配置の使用に関する追加の詳細は、図9と関連して後述される。
図9は、マイクロレンズアレイ連結要素510(上記で非対称の小型レンズアレイと呼ばれる)を用いるファイバアレイスイッチ500の一例を示す。本30 装置は、ファイバアレイ520、両面マイクロレンズアレイ510、及び、MEMSミラーアレイ530から構成される。ファイバアレイ520は概して、ファイバを二つのV溝ブロック間に挟むことによって構成される。ファイバは、通常のピッチで間隔を置かれる。一般的なピッチは、125又は250μmである。この設計のマイクロレンズアレイは、両面アレイである。連結レンズ540の線形のアレイが、ファイバアレイに面している側に存在する。連結レンズ540は等間隔に設置され、ファイバアレイ520のファイバと同じピッチを有する。MEMSミラーに面している側は、結合レンズ550の線形のアレイから構成されている。結合レンズ550のピッチは、ファイバアレイのファイバのピッチの二倍である。最後の要素は、MEMSミラー530の線形のアレイである。
スイッチ500の機能は、一つのファイバからその隣のファイバへ光を連結することである。ファイバ1を出た光は、マイクロレンズアレイ510の側面560で連結レンズ540によって視準される。このビームはマイクロレンズアレイ510を通って通過し、MEMSミラーアレイ530のMEMSミラーの一つへ側面570上で結合レンズ550によって合焦される。MEMSミラーが垂直に向きを定められる場合、ビームは、再視準されるところにMEMSミラーから結合レンズ550へ戻るように反射し、隣接した連結レンズ上にマイクロレンズアレイを通して通過する。この連結レンズはそれから、ファイバ2上へビームを戻すように合焦する。このようにして、アレイのすべてのファイバは、対において連結される。MEMSミラーが垂直から離れて傾けられる場合、ビームは廃棄され、接続は作成されない。
1×2スイッチのアレイは、コンバイナが三つの隣接したファイバを連結するマイクロレンズアレイによって作成することができる。
図3bは、マイクロレンズアレイ(上記で非対称の小型レンズアレイと呼ばれる)がファイバアレイ上の取付け表面に接着される、二つの構成要素アセンブリを示す。ファイバアレイ−マイクロレンズアレイアセンブリの適切な動作は、二つの構成要素の正確な整列によって決まる。図10は、虚像面に位置する連結ミラー580を用いて、ファイバアレイ520にマイクロレンズアレイ510を整列配置する方法を示す。適切に配列された場合、この構成は、効率的にすべてのファイバアレイ520全体においてファイバを対で連結する。ファイバ1に照射される光は、アレイ全体においてファイバ2及びその他から効率的に連結される。アセンブリを整列配置するため、アレイ全体の連結を単にモニタし、一方でファイバアレイ520へのマイクロレンズアレイ510の整列を調整する。良好な連結がファイバアレイ520全体で達成される場合、マイクロレンズアレイ510は、ファイバアレイに接着される。
図11a及び11bはそれぞれ、上記ようにファイバアレイ−マイクロレンズアレイ投入光学配置を用いる1×N波長ブロッカアレイの一例の上面図及び側面図を示す。この設計は、両面のマイクロレンズアレイ(ML)(すなわち、上述の非対称の小型レンズアセンブリ)が続く線形のファイバアレイ(FA)から構成される。ファイバアレイは、V溝プレート間に挟まれる2N個のファイバから構成される。V溝プレート出口面は、後方反射を防ぐ角度で多くの場合研磨される。アレイのファイバは、等間隔に設置される。典型的なファイバ間隔(ピッチ)は、125又は250ミクロンである。マイクロレンズアレイは、各々の側にレンズの線形のアレイを有する。ファイバアレイに面している側は、一つが各々のファイバのための2N個のコリメーティングレンズを有する。これらのレンズは、ファイバアレイと同じピッチを有して等間隔に設置される。DMDに面している側は、ファイバピッチの二倍のピッチを有するN個の連結レンズの線形のアレイを有する。この両面のマイクロレンズアレイは、投入面(LP)で、それらの画像を重ねることによって隣接したファイバから光を連結するように設計される。マイクロレンズアレイには、コリメーティングレンズ(CL)、回折格子(G)、スキャンレンズ(SL)、補正プリズム(P)、及び、最後にここで「DMD」と呼ばれるMEMSマイクロミラーアレイが続く。
装置の動作を理解するためには、上面図及び側面図の光線を別々に考えることが役立つ。上面図の光線は、装置の波長フィルタリング動作を示す。検討中のファイバを出ている光は、マイクロレンズアレイの前方側のコリメーティングレンズによって視準される。平行ビームはマイクロレンズアレイを通して通過し、それから「投入面」上へ連結レンズによって合焦される。コリメーティングレンズは、このビームを再視準する。回折格子(G)はそれから、回折格子の式により平行ビームを回析する。スキャンレンズ(SL)は、スペクトル的に分散したビームをDMDミラー表面上へ合焦する。DMDが所定の波長を通過するように設定される場合、このビームはDMDミラーに反射し、隣接した出口ファイバに光学系を通じて戻る。
図11bに示される側面図は、この連結がどのように達成されるかについて示す。この図は、ファイバの連結された対からの主光線を示す。ファイバ「A」を出る光線は光学系を通過し、DMD上に合焦される。DMDが傾けられるので、DMDミラーが対の状態に切替えない限り、このビームは光学系から反射される(破線ビーム)。連結された状態において、DMDミラーは、ビームがそれ自体(すなわち、リトロー状態に近い)にほとんど戻るよう反射するまで傾けられる。このビームはそれから、光学系を通してマイクロレンズアレイに戻る。しかしながら、DMDで生成される軽微な角度の分離のために、連結レンズは、隣接したファイバ「B」にビームを合焦し、このファイバ上で光学系を出る、隣接したコリメーティングレンズにビームを中継する。
側面図が一つの連結されたファイバの対(ポート)のみの動作を示すが、上記した連結はすべてのファイバの対で生じる。しかしながら、DMDが傾けられるので、スキャンレンズからDMDへの距離がポート毎に変化する点に留意のこと。補正プリズム(P)の機能は、すべてのポートがDMD上で合焦するように、正確にこのビーム経路距離差を修正することである。
詳細な記載及び添付の図面で発明の原理を図と共に説明したが、様々な実施態様は、そのような原理から逸脱することなく配置及び詳細において修正することができると認識される。ここで記載されるプログラム、プロセス又は方法は、別途示されない限り、特定のタイプのコンピュータ環境に関連しない又は制限されないと理解されるべきである。様々な形の汎用又は専門のコンピュータ環境が使用される、又は、ここで記載される教示によって動作を実行してもよい。ソフトウェアで示された実施態様の要素はハードウェアで実行されてもよく、その逆も同じである。

Claims (19)

  1. 複数対の光ファイバからなる光ファイバアレイを固定するためのファイバアセンブリと;
    前記複数対の光ファイバの各対の光ファイバに整列して位置決めされる、複数対の連結レンズを有する光軸に垂直な第1の表面、及び前記複数対の連結レンズの各対のレンズに整列して位置決めされる、複数のコリメーティングレンズを有する光軸に垂直な第2の表面、を有する非対称の小型レンズアレイと;を含む、光学投入装置であって、
    前記ファイバアセンブリが、前記複数対の光ファイバを固定するためのV溝アセンブリと、
    前記複数対の光ファイバの各光ファイバ用の導波路を備える、光軸に対して垂直でない出力表面を有する導波路ユニットと、を含み、
    前記V溝アセンブリの各V溝が、前記導波路ユニットにおける導波路の各コアに整列して位置決めされ、
    前記非対称の小型レンズアレイの第1の表面が、前記導波路ユニットの出力表面に対して角度を有してオフセットされ、
    前記複数対の光ファイバの各対の光ファイバにおいて、一方の光ファイバは入力ファイバとして機能し、もう一方の光ファイバは出力ファイバとして機能する光学投入装置
  2. 前記導波路のピッチが前記連結レンズのピッチと等しい、請求項1の光学投入装置
  3. 前記ファイバアセンブリ及び前記非対称の小型レンズアレイが取り付けられる基板をさらに含む、請求項1の光学投入装置
  4. 前記非対称の小型レンズアレイの第1及び第2の表面の少なくとも一つに形成された反射防止膜をさらに含む、請求項1の光学投入装置
  5. 前記各コリメーティングレンズと前記各コリメ―ティングレンズに整列して位置決めされる前記複数対の連結レンズの各対のレンズとの間の距離が、前記コリメーティングレンズの焦点距離と、前記連結レンズの一つのレンズの焦点距離との合計に等しい、請求項1の光学投入装置
  6. 前記非対称の小型レンズアレイの前記第1及び第2の表面が位置する光学的透過アセンブリをさらに含む、請求項1の光学投入装置
  7. 前記複数対の連結レンズの一対のレンズが同じであるように構成される、請求項1の光学投入装置
  8. 前記複数対の連結レンズの一対のレンズが異なる構成を有する、請求項1の光学投入装置
  9. 複数対の光ファイバからなる光ファイバアレイを固定するためのファイバアセンブリと;
    複数対の連結レンズを有する第1の表面、及び前記複数対の連結レンズの各対のレンズに整列して位置決めされる、複数のコリメーティングレンズを有する第2の表面、を備える非対称の小型レンズアレイと;を含む、光学投入装置であって、
    光線が前記非対称の小型レンズアレイを出ると、ビームの空間的並進を実行するため、前記複数対の連結レンズの位置は、互いに関してオフセットされることを特徴とする光学投入装置
  10. 複数対の光ファイバからなる光ファイバアレイを固定するためのファイバアセンブリと;
    前記複数対の光ファイバの各対の光ファイバに対して整列して位置決めされる、複数対の連結レンズを有する光軸に垂直な第1の表面、及び前記複数対の連結レンズの各対のレンズに整列して位置決めされる、複数のコリメーティングレンズを有する光軸に垂直な第2の表面、を有する非対称の小型レンズアレイと;
    前記複数のコリメーティングレンズからの光線を受けるように位置決めされ、且つ前記非対称の小型レンズアレイの光軸に垂直でない面を有するデジタルマイクロアレイ(DMD)と;
    前記非対称の小型レンズアレイと前記DMDの間の光路に配置され、且つ前記DMDと前記光ファイバの異なる光ファイバとの間の光路長さの違いを補正する補正プリズムと;を含む光学スイッチ。
  11. 前記ファイバアセンブリは、前記光ファイバと、各V溝が導波路ユニットの各導波路のコアに整列して位置決めされる、前記光ファイバアレイの各光ファイバ用の導波路を有する導波路ユニットと、を固定するためのV溝アセンブリを含む、請求項10に記載の光学スイッチ。
  12. 前記導波路のピッチは前記連結レンズのピッチに等しい、請求項11に記載の光学スイッチ。
  13. 前記ファイバアセンブリと前記非対称の小型レンズアレイが搭載される基板をさらに含む請求項10に記載の光学スイッチ。
  14. 前記非対称の小型レンズアレイの第1の表面が、前記導波路ユニットの出力面に対して角度的にオフセットされている、請求項11に記載の光学スイッチ。
  15. 前記非対称の小型レンズアレイの第1の表面と第2の表面の少なくとも一つの上に形成される反射防止コーティングをさらに含む、請求項14に記載の光学スイッチ。
  16. 前記各コリメーティングレンズと前記各コリメーティングレンズに整列して位置決めされる前記各連結レンズの間の距離は、前記コリメ―ティングレンズの焦点距離と前記連結レンズの焦点距離の合計に等しい、請求項10に記載の光学スイッチ。
  17. 前記非対称の小型レンズアレイは、前記非対称の小型レンズアレイの第1の表面が前記ファイバアセンブリと前記非対称の小型レンズアレイの第2の表面の間の光路に沿って配置されるような方向に向けられる、請求項1に記載の光学投入装置
  18. 前記非対称の小型レンズアレイは、前記非対称の小型レンズアレイの第1の表面が前記ファイバアセンブリと前記非対称の小型レンズアレイの第2の表面の間の光路に沿って配置されるような方向に向けられる、請求項9に記載の光学投入装置
  19. 前記非対称の小型レンズアレイは、前記非対称の小型レンズアレイの第1の表面が前記ファイバアセンブリと前記非対称の小型レンズアレイの第2の表面の間の光路に沿って配置されるような方向に向けられる、請求項10に記載の光学スイッチ
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