JP6370776B2 - 改善された単結晶シリコンの製造 - Google Patents
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Description
られるワイヤーにはダイヤモンド粒子が備わっていることがある。正しい状況では、そのような技術は、ハイスループットな切断されたウェーハを提供することができる。しかし、多結晶シリコンの粒界、欠陥、及び転位により、しばしば、インゴットにシリコンカーバイド等の不純物が埋め込まれることが起こり得る。そのような不純物は、材料の効率を更に低下させるだけでなく、比較的硬く、切断中にダイヤモンドワイヤーを破損させることがある。その結果、多結晶領域は、さほど最適でない切断プロセスを必要とし得る。この問題は、単結晶シードを用いてインゴットを形成する時に特に深刻である。これは、シード材料を完全に溶融させずにシリコン原料の溶融を注意深く制御するためにプロセスでより長い時間が必要となることで、炭素による溶融材料の汚染リスクが上がるためである。
壁からの多結晶シリコンの浸食がかなり低減することが見出されている。したがって、シード層による種付に成功した結晶構造を有する最終的なインゴットの割合を上昇させることができる。
なくとも1つの中央シードタイルを含む。いくつかの特に好ましい実施形態では、少なくとも1つの中央シードタイルが、1又は複数の周辺シードタイルの結晶方位とは異なる、溶融シリコンの凝固方向に対して垂直な結晶方位を有する。例えば、少なくとも1つの中央シードタイルは、{100}結晶面に垂直な方向で溶融シリコンの凝固が起こるように配置され得る。この配置は、シリコンインゴット中での別の結晶方位を可能にしつつ、周辺シード層により、シリコンインゴットを、ルツボ内壁からの多結晶シリコンの浸食から保護することを可能にする。
れたルツボが提供され、ルツボは結晶シリコンシード層を含み、シリコンシード層の周辺部は、ルツボ内壁に面したシード層周辺面を規定する複数のシードタイルから形成され、各周辺シードタイルは、ルツボ内壁の隣接面に平行な第1の{110}結晶面及びルツボを横切る水平方向に延びる第2の{110}結晶面を含むように配置されている。
2の壁は高温に耐えられるグラファイト又は同様な材料で形成され得る。好ましい実施形態では、図1に示される炉ホットゾーン2は、マルチインゴット炉(multi−ingot furnace)内の複数のホットゾーンの1つである。各ホットゾーン2は、図1に示されているものとほぼ同様であり得る。
、製造プロセス中にルツボ壁1のひび割れが生じ易くなる。シリコンスラブ6とルツボ壁との間の典型的な隙間は1cm又は2cmであり得るが、必要であれば隙間はこれより大きくてもよい。シリコンタイル7とルツボ1の側壁との間にも同様な隙間が形成される。
ルツボ1にシリコンスラブ6、シリコンタイル7、及びシリコン原料8が充填され、ルツボ1は炉ホットゾーン2中に提供される。
覆われる傾向がある。したがって、ルツボ中で成長が上に向かって進むにつれて、形成される単結晶シリコンの面積が連続的に減少する。鋭角θは、単結晶シリコン成長とルツボ1内の水平面との間の角度を表す。この角度は実際上約45°であり得る。
されたH. Hauser, A. Guttowski, J. Mick, M. Pfeifer, P. Voisin, M. Hermle, et al
による論文に記載されている。
間の視覚的差異も減少する。
を適宜変更できることが理解されよう。例えば、{100}等の異なる結晶面でウェーハを形成するためにシリコンインゴット10を別の角度で切断してもよい。更に、適切であれば、異方性エッチングプロセスを場合により用いてもよい。
より大きい。同様に、第2結晶方位のシードタイル82は、長さl2及び幅w2を有する矩形平面輪郭を有し、長さl2は幅w2より大きい。同様に、第3結晶方位のシードタイル83は、長さl3及び幅w3を有する矩形平面輪郭を有し、長さl3は幅w3より大きい。好ましい実施形態では、長さl1及びl3は45〜65cmであり、幅w1及びw3は3〜17cmであり、長さl2は45〜65cmであり、幅w2は45〜65cmである。全てのタイルの高さhはほぼ同じであり、好ましい実施形態では2〜3cmである。
かれた同一の結晶方位のシードタイルで形成されたインゴットの側面図を示している。欠陥及び転位の領域100が、シードタイル間の境界で生じており、垂直方向の成長が続くにつれてインゴットの漸増的により大きな範囲にわたっていることを見ることができる。対照的に、図11Bは、2つの異なる方位の隣接タイルを用いて形成されたシリコンインゴットから切断したブロックのSEMILAB画像を示している。粒界101は、隣接シードタイルの上のインゴットの領域間で同定され得るが、これらは局所に抑制されており、隣接する欠陥を形成させない。
結晶方位の隣接タイル間のわずかなミスアラインメントにより生じる欠陥と比較して、インゴットの電気的特性に悪影響を与えないことが分かっている。したがって、分離タイル94を用いて、メインタイル91、93及びエッジタイル92の間の界面におけるインゴット中のそのような欠陥の数を減らすことができる。
Claims (17)
- 光電池で用いるための結晶シリコンの製造方法であって、
ルツボ中に結晶シリコンシード層を用意する工程であって、前記シリコンシード層の周辺部が、前記ルツボの内壁に面するシード層周辺面を規定し、前記シード層の前記周辺部が、少なくとも1つの周辺シードタイルを含む、工程;
前記シード層の上にシリコン原料を供給する工程;
前記シリコン原料及び前記シード層の上部を溶融することにより前記ルツボ内に溶融シリコンを作り出す工程;
前記溶融シリコンを一方向凝固させてシリコンインゴットを形成する工程;
を含み、
各前記周辺シードタイルが、前記周辺シードタイルが前記ルツボ内壁の隣接面とほぼ平行に整合された第1の{110}結晶面及び前記溶融シリコンの凝固方向に対してほぼ垂直な第2の{110}結晶面を含み、
前記シード層周辺面の少なくとも60%が第1の{110}結晶面にあるように配置される、方法。 - 前記各周辺シードタイルの第1{110}結晶面が、前記ルツボ内壁の隣接面に平行な面から15度以内に整合されている、請求項1に記載の方法。
- 前記周辺面が、複数の周辺シードタイルから形成され、前記周辺シードタイルが、少なくとも2つの異なる結晶方位で配置され、前記少なくとも2つの結晶方位が、前記溶融シリコンの凝固方向に平行な軸の周りの回転変換によって回転されている、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記シード層が、前記1又は複数の周辺シードタイルによって囲まれた少なくとも1つの中央シードタイルを更に含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- 少なくとも1つの中央シードタイルが、前記1又は複数の周辺シードタイルの凝固方向に対して垂直な結晶面とは異なる、前記溶融シリコンの凝固方向に対して垂直な結晶面を有する、請求項4に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの中央シードタイルが、タイルの{100}結晶面に対して垂直な方向で前記溶融シリコンの凝固が起こるように配置される、請求項5に記載の方法。
- 前記シード層が、前記1又は複数の周辺シードタイルの凝固方向に対して垂直な結晶面と同じ前記溶融シリコンの凝固方向に対して垂直な結晶面を有する少なくとも1つの中央シードタイルを含む複数の中央シードタイルを含む、請求項4〜6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記溶融シリコンの凝固方向に対して垂直な同じ結晶面を有するシードタイルが、前記凝固方向に対して垂直な異なる結晶面を有するシードタイルによって互いに隔てられている、請求項4〜7のいずれか一項に記載の方法。
- 少なくとも1対の隣接シードタイルが、前記隣接シードタイルの少なくとも1対の等価結晶面が水平軸の周りに5〜15度の角度で傾いているように配置される、請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。
- 前記シリコンインゴットから1又は複数のシリコンウェーハを形成する工程を更に含む、請求項1〜9のいずれか一項に記載の方法。
- 前記1又は複数のウェーハを形成するステップがワイヤー切断プロセスを含む、請求項10に記載の方法。
- 前記ワイヤー切断プロセスがダイヤモンドワイヤー切断プロセスである、請求項11に記載の方法。
- 前記1又は複数のシリコンウェーハの表面にエッチングステップを適用する工程を更に含む、請求項10〜12のいずれか一項に記載の方法。
- 前記シード層の上に形成される前記シリコンインゴットの少なくとも80%が、前記シード層の結晶構造と整合した結晶構造を有する、請求項1〜13のいずれか一項に記載の方法。
- 前記シード層が、単一の単結晶ソースから形成される、請求項1〜14のいずれか一項に記載の方法。
- 前記単結晶ソースをチョクラルスキー法によって形成する工程を更に含む、請求項15に記載の方法。
- 一方向凝固による結晶シリコンの製造で用いるための充填されたルツボであって、前記充填されたルツボが結晶シリコンシード層を含み、前記シリコンシード層の周辺部が、前記ルツボの内壁に面するシード層周辺面を規定する複数のシードタイルから形成されており、各前記周辺シードタイルが、前記ルツボ内壁の隣接面に平行な第1の{110}結晶面及びルツボを横切る水平方向に延びる第2の{110}結晶面を含み、
前記シード層周辺面の少なくとも60%が第1の{110}結晶面にあるように配置されている、ルツボ。
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