JP6364954B2 - めっき装置 - Google Patents
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Description
前記内周面と隙間を有して対向配置される筒状部と、前記筒状部の一端側であってめっき液を前記筒状部の内側に流入させる流入孔を有する底部と、を有する仕切部材と、
前記筒状部の他端側の開口を覆うように当接する天板部を有し、前記筒状部の内側に前記筒状部の軸方向に沿って配置される棒状の電極と、を備え、
前記筒状部の内周面と前記電極との間の中空部分にめっき液の流通路が設けられ、
前記筒状部の外周面に、前記第一凸部に対向配置される第二凹部と、前記第一凹部に対向配置される第二凸部とが交互に形成され、
前記第二凸部に、前記流通路から前記第一凹部に向けてめっき液を供給する流通孔が設けられ、
前記底部の前記流入孔から前記流通路に流入しためっき液は、前記流通孔から前記第一凹部に向けて供給され、前記めっき対象部材の前記内周面と前記仕切部材の前記外周面との間の前記隙間を流通可能であり、
前記電極の前記天板部の側に、前記隙間を流通しためっき液を排出するめっき液排出部が設けられている点にある。
本発明に係るめっき装置においては、前記底部の前記流入孔の径又は数を変更することで、前記筒状部に供給されるめっき液の流量が調整されると好適である。
本発明に係るめっき装置においては、前記仕切部材の前記底部の外側に、前記底部の前記流入孔にめっき液を供給するめっき液供給部が設けられ、前記めっき液供給部は、前記底部の外周側から前記隙間にめっき液を供給可能に構成されていると好適である。
〔第1実施形態〕
図1〜図3に示すように、ここでは筒状に形成されためっき対象部材2の内周面(めっき処理面)3をめっき処理するめっき装置1を一例として示す。めっき対象部材2は、例えばスプライン状の内歯を有する歯車部材であり、その内周面3には凹部4(第一凹部の一例)と凸部5(第一凸部の一例)とが周方向に交互に形成されている。
(1)上記の実施形態(図5)では、流通孔16の開口幅を流通孔16の開口端から凹部4までの距離よりも小さくした例を示した。これに代えて、図6に示すように、流通孔16の開口端16aが凹部4に近接するように配置し、流通孔16の開口幅Wが流通孔16の開口端16aから凹部4までの距離L以上になるよう設定してもよい。流通孔16の開口幅Wが流通孔16の開口端16aから凹部4までの距離L以上であると、流通孔16の開口幅Wに比較して流通孔16の開口端16aと凹部4との間は小さな領域となる。このため、流通孔16から排出されるめっき液は流通孔16の開口端16aと凹部4との間に充填され、凹部4に供給されてめっき対象部材2の内周面3と仕切部材10との間に均一な流れが形成される。これにより、めっき液を凹部4全体に均等に行き渡らせることができ、凹部4に適正なめっき被膜を形成することができる。
めっき対象部材2としてクラッチハブを用い、図1に示すように、クラッチハブの円筒部分を垂直方向に配置し、直径10mmの電極20とクラッチハブのスプライン部(内周面3)の間に仕切部材10を配置してめっき処理を行った。クラッチハブの素材は炭素鋼であり、めっき液として電気Ni−Pめっき用のめっき液を用いた。ポンプ33によってめっき液をクラッチハブのスプライン部へ下方から上方に向けて供給し循環させた。
仕切部材10のスリット状の流通孔16の開口幅Wを0.1mmとし、流通孔16の開口端16aから凹部4(底部)までの距離Lを0.1mmとした。すなわち、流通孔16の開口幅Wと距離Lとが同じになるよう設定した。他の条件は実施例1と同じである。
直径10mmの電極をクラッチハブの円筒部の中心に配置し、仕切部材は配置せずにめっき処理を行った。他の条件は実施例と同じである。
直径5mmの電極をクラッチハブの円筒部の中心に配置し、仕切部材は配置せずにめっき処理を行った。他の条件は実施例と同じである。
2 めっき対象部材
3 内周面(めっき処理面)
4 凹部(第一凹部)
5 凸部(第一凹部)
10 仕切部材
11 筒状部
11a 外周面
12 底部
13 流通路
14 凹部(第二凹部)
15 凸部(第二凸部)
16 流通孔
18 流入孔
20 電極
30 めっき液供給部
31 めっき液排出部
40 位置決め部材
L 流通孔の開口端から凹部までの距離
W 流通孔の開口幅
Claims (6)
- 内周面に第一凹部及び第一凸部が交互に形成された筒状のめっき対象部材の前記内周面をめっきするめっき装置であって、
前記内周面と隙間を有して対向配置される筒状部と、前記筒状部の一端側であってめっき液を前記筒状部の内側に流入させる流入孔を有する底部と、を有する仕切部材と、
前記筒状部の他端側の開口を覆うように当接する天板部を有し、前記筒状部の内側に前記筒状部の軸方向に沿って配置される棒状の電極と、を備え、
前記筒状部の内周面と前記電極との間の中空部分にめっき液の流通路が設けられ、
前記筒状部の外周面に、前記第一凸部に対向配置される第二凹部と、前記第一凹部に対向配置される第二凸部とが交互に形成され、
前記第二凸部に、前記流通路から前記第一凹部に向けてめっき液を供給する流通孔が設けられ、
前記底部の前記流入孔から前記流通路に流入しためっき液は、前記流通孔から前記第一凹部に向けて供給され、前記めっき対象部材の前記内周面と前記仕切部材の前記外周面との間の前記隙間を流通可能であり、
前記電極の前記天板部の側に、前記隙間を流通しためっき液を排出するめっき液排出部が設けられているめっき装置。 - 前記底部の前記流入孔の径又は数を変更することで、前記筒状部に供給されるめっき液の流量が調整される請求項1に記載のめっき装置。
- 前記仕切部材の前記底部の外側に、前記底部の前記流入孔にめっき液を供給するめっき液供給部が設けられ、
前記めっき液供給部は、前記底部の外周側から前記隙間にめっき液を供給可能に構成されている請求項1又は2に記載のめっき装置。 - 前記仕切部材が前記めっき対象部材の前記内周面に平行な対向面を有する請求項1〜3のいずれか一項に記載のめっき装置。
- 前記流通孔として前記凹部の長さ方向に沿うスリットが形成されている請求項1〜4のいずれか一項に記載のめっき装置。
- 前記流通孔の開口幅が前記流通孔の開口端から前記凹部までの距離以上になるよう設定してある請求項1〜5のいずれか一項に記載のめっき装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014107072A JP6364954B2 (ja) | 2013-12-20 | 2014-05-23 | めっき装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013264105 | 2013-12-20 | ||
JP2013264105 | 2013-12-20 | ||
JP2014107072A JP6364954B2 (ja) | 2013-12-20 | 2014-05-23 | めっき装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015134956A JP2015134956A (ja) | 2015-07-27 |
JP6364954B2 true JP6364954B2 (ja) | 2018-08-01 |
Family
ID=53766981
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014107072A Expired - Fee Related JP6364954B2 (ja) | 2013-12-20 | 2014-05-23 | めっき装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6364954B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102307816B1 (ko) * | 2019-12-26 | 2021-10-05 | 한국과학기술원 | 도전성 여과막 제조 장치 및 이를 이용한 제조 방법 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4931184B1 (ja) * | 1969-08-09 | 1974-08-20 | ||
JPS59125973U (ja) * | 1983-02-15 | 1984-08-24 | 株式会社山田メッキ工業所 | メツキ装置 |
JPS59166694A (ja) * | 1983-03-10 | 1984-09-20 | C Uyemura & Co Ltd | 筒状ワ−クのめつき処理装置 |
JPS6187895A (ja) * | 1984-10-03 | 1986-05-06 | Mitsubishi Electric Corp | めつき方法とその装置 |
JPH09310196A (ja) * | 1996-05-17 | 1997-12-02 | Toyota Motor Corp | 空洞孔内面めっき装置及び空洞孔内面めっき方法 |
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WO2002079548A1 (fr) * | 2001-03-28 | 2002-10-10 | Fujitsu Limited | Cuve de galvanoplastie |
JP2007039779A (ja) * | 2005-08-02 | 2007-02-15 | Izumi Sogyo Kk | 中空形状物品の内面メッキ方法及びその装置 |
JP5375596B2 (ja) * | 2009-02-19 | 2013-12-25 | 株式会社デンソー | 噴流式めっき方法および装置 |
DE102010033256A1 (de) * | 2010-07-29 | 2012-02-02 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Methode zur Erzeugung gezielter Strömungs- und Stromdichtemuster bei der chemischen und elektrolytischen Oberflächenbehandlung |
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- 2014-05-23 JP JP2014107072A patent/JP6364954B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015134956A (ja) | 2015-07-27 |
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