JP6360800B2 - Ｖｏｃ溶剤回収装置およびその方法 - Google Patents

Description

本発明は、公害防止分野における揮発性有機化合物を含有する排ガスを浄化処理するＶＯＣ溶剤回収装置およびその方法に関するものである。

塗装工程、洗浄工程、印刷工程等では、浮遊粒子状物質および光化学オキシダントの原因物質の１つとされているトルエン、キシレン、トリクロエチレン等の揮発性有機化合物（ＶＯＣという）が排出されており、これらのＶＯＣの排出抑制について大気汚染防止法が施行されて、回収、再生方式、密閉方式、燃焼・分解方式、物質代替方式などのＶＯＣ排出抑制対策が実施されている。

上記したＶＯＣ排出抑制対策として、活性炭等による固定床吸着方式のものが知られている。この活性炭等による固定床吸着方式は、排ガスからＶＯＣ分を回収して、溶剤として再生し、再利用する方式で、活性炭等の吸着剤を吸着塔内に詰めた固定床として排ガスを流入し、吸着剤にＶＯＣを十分に吸着させて除去するものである。

吸着剤は、ＶＯＣを十分に吸着すると、吸着能力が低下するので、ＶＯＣの脱着か、吸着剤の交換が必要となる。通常、スチームを流入しているが、そのとき生じる脱着ガスは多量のスチームとともに凝縮器ーに導入され、ＶＯＣは冷却されて回収される。たとえば、特開２００１−１４９７４０号公報や特開２００１−１７９０４１号公報等が提案されている。

しかし、ＶＯＣの脱着による凝集時間が、１〜５時間（初留）といった長時間かかるとともに、吸着剤のＶＯＣ残存率は１０〜４０％もあって臭気が残り、さらにスチームの凝縮した水分と回収したＶＯＣとの分離処理も必要であった。

そのため、出願人は、特開２０１２−４０５１７号公報のように、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を含有する排ガスを吸着剤が装填された吸着塔の細径吸着筒内を通過させ、排ガス中のＶＯＣを吸着剤に吸着させて除去処理し、効率よく排ガスの浄化処理することを提案している。

特開２００１−１４９７４０号公報 特開２００１−１７９０４１号公報 特開２０１２−４０５１７号公報

しかしながら、排ガス中のＶＯＣを吸着剤に吸着させて除去処理して、そのＶＯＣ溶剤回収するのに、当該装置の凝縮装置等を特設していたもので、装置の設置スペースの節減やランニングコストの低減、コストダウンに限界があった。

本発明は、上記のような点に鑑みたもので、上記の課題を解決するために、廃溶剤を蒸発器に装填して溶剤を減圧状態で蒸発して蒸発溶剤を凝縮器に導入して溶剤回収する廃溶剤回収装置に、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を含有する排ガスを吸着剤が装填された吸着塔内を通過させて排ガス中のＶＯＣを吸着剤に吸着させ、吸着剤に吸着させたＶＯＣを加熱処理して脱着するＶＯＣ吸脱着装置の吸着塔を近接し、上記廃溶剤回収装置の蒸発器にＶＯＣを減圧吸引する吸引管を接続し、上記ＶＯＣ吸脱着装置の吸着塔で脱着したＶＯＣを上記吸引管を介して上記蒸発器に吸引して減圧状態で蒸発し、蒸発させたＶＯＣの溶剤を廃溶剤回収装置の凝縮器に導入して溶剤回収するように形成したことを特徴とするＶＯＣ溶剤回収装置を提供するにある。

また、ＶＯＣ吸脱着装置の吸着塔を２基並設し、これらでのＶＯＣの吸脱着を交互に行なうようにしてＶＯＣの蒸発溶剤を蒸発器に連続状態で送給して溶剤回収するように形成したことを特徴とするＶＯＣ溶剤回収装置を提供するにある。

また、廃溶剤を蒸発器に装填して溶剤を減圧状態で蒸発した蒸発溶剤を凝縮して溶剤回収する廃溶剤回収装置と、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を含有する排ガスを吸着剤が装填された吸着管内を通過させて、吸着剤に吸着させた排ガス中のＶＯＣを加熱処理して脱着するＶＯＣ吸脱着装置の吸着塔とを設け、ＶＯＣを含有する排ガスを上記吸着管内を通過させてＶＯＣを吸着剤に吸着させ、この吸着剤に吸着させた吸着管を加熱して排ガス中のＶＯＣを吸着剤から脱着し、ＶＯＣを脱着して吸着能力が回復したら、再び上記のように排ガス中のＶＯＣの吸着剤への吸着、脱着を繰り返すようにし、上記廃溶剤回収装置の蒸発器に上記ＶＯＣ吸脱着装置の吸着塔で吸着管を加熱したときの排ガス中の吸着剤から脱着したＶＯＣを減圧吸引して蒸発器で減圧状態で蒸発し、蒸発させたＶＯＣの溶剤を廃溶剤回収装置の凝縮器に導入して溶剤回収することを特徴とするＶＯＣ溶剤回収方法を提供するにある。

さらに、回収する溶剤が同一種類の場合、廃溶剤の蒸発器での溶剤回収と、ＶＯＣ吸脱着装置の吸着塔で脱着したＶＯＣを蒸発器に吸引してＶＯＣの脱着溶剤を同時に回収することを特徴とするＶＯＣ溶剤回収方法を提供するにある。

さらにまた、回収する溶剤が同一の工場で発生した場合、廃溶剤の蒸発器での溶剤回収と、ＶＯＣ吸脱着装置の吸着塔で脱着したＶＯＣを蒸発器に吸引してＶＯＣの脱着溶剤を同時に回収することを特徴とするＶＯＣ溶剤回収方法を提供するにある。

本発明は、特許請求の範囲の請求項１のように、廃溶剤を蒸発器に装填して溶剤を減圧状態で蒸発して蒸発溶剤を凝縮器に導入して溶剤回収する廃溶剤回収装置に、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を含有する排ガスを吸着剤が装填された吸着塔内を通過させて排ガス中のＶＯＣを吸着剤に吸着させ、吸着剤に吸着させたＶＯＣを加熱処理して脱着するＶＯＣ吸脱着装置の吸着塔を近接し、上記廃溶剤回収装置の蒸発器にＶＯＣを減圧吸引する吸引管を接続し、上記ＶＯＣ吸脱着装置の吸着塔で脱着したＶＯＣを上記吸引管を介して上記蒸発器に吸引して減圧状態で蒸発し、蒸発させたＶＯＣの溶剤を廃溶剤回収装置の凝縮器に導入して溶剤回収するように形成したことによって、廃溶剤の溶剤回収ができるとともに、ＶＯＣ吸脱着装置の吸着塔で脱着したＶＯＣを蒸発器に吸引して減圧状態で蒸発し、蒸発させたＶＯＣの溶剤を廃溶剤回収装置の凝縮器に導入して溶剤回収することができる。そのため、廃溶剤用の廃溶剤回収装置の流用がはかれて、設備の省スペース化、設備費のランニングコストの低減、大幅なコストダウンをはかることができる。

また、請求項２のように、ＶＯＣ吸脱着装置の吸着塔を２基並設し、これらでのＶＯＣの吸脱着を交互に行なうようにしてＶＯＣの蒸発溶剤を蒸発器に連続状態で送給して溶剤回収するように形成したことによって、ＶＯＣ吸脱着装置の吸着塔のＶＯＣの吸脱着を交互に行なえて、ＶＯＣの蒸発溶剤を蒸発器に連続状態で送給して溶剤回収することができ、ＶＯＣの溶剤回収を効率よく行なえる。

さらに、請求項３のように、廃溶剤を蒸発器に装填して溶剤を減圧状態で蒸発した蒸発溶剤を凝縮して溶剤回収する廃溶剤回収装置と、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を含有する排ガスを吸着剤が装填された吸着管内を通過させて、吸着剤に吸着させた排ガス中のＶＯＣを加熱処理して脱着するＶＯＣ吸脱着装置の吸着塔とを設け、ＶＯＣを含有する排ガスを上記吸着管内を通過させてＶＯＣを吸着剤に吸着させ、この吸着剤に吸着させた吸着管を加熱して排ガス中のＶＯＣを吸着剤から脱着し、ＶＯＣを脱着して吸着能力が回復したら、再び上記のように排ガス中のＶＯＣの吸着剤への吸着、脱着を繰り返すようにし、上記廃溶剤回収装置の蒸発器に上記ＶＯＣ吸脱着装置の吸着塔で吸着管を加熱したときの排ガス中の吸着剤から脱着したＶＯＣを減圧吸引して蒸発器で減圧状態で蒸発し、蒸発させたＶＯＣの溶剤を廃溶剤回収装置の凝縮器に導入して溶剤回収することによって、廃溶剤の溶剤回収ができるとともに、廃溶剤用の廃溶剤回収装置の流用がはかれて、設備の省スペース化、設備費のランニングコストの低減、大幅なコストダウンをはかることができる。

さらにまた、請求項４のように、回収する溶剤が同一種類の場合、廃溶剤の蒸発器での溶剤回収と、ＶＯＣ吸脱着装置の吸着塔で脱着したＶＯＣを蒸発器に吸引してＶＯＣの脱着溶剤を同時に回収することによって、廃溶剤の蒸発器での溶剤回収と、ＶＯＣ吸脱着装置で脱着したＶＯＣを蒸発器に吸引してＶＯＣの脱着溶剤を同時に回収することができ、効率的に溶剤回収できる。

さらにまた、請求項５のように、回収する溶剤が同一の工場で発生した場合、廃溶剤の蒸発器での溶剤回収と、ＶＯＣ吸脱着装置の吸着塔で脱着したＶＯＣを蒸発器に吸引してＶＯＣの脱着溶剤を同時に回収することによって、工場で発生した廃溶剤と、ＶＯＣ吸脱着装置で脱着したＶＯＣを蒸発器に吸引してＶＯＣの脱着溶剤を同時に回収することができ、効率的に溶剤回収できる。

本発明の一実施例の排ガスのＶＯＣ吸脱着処理の概略フローチャート、 同上のＶＯＣ吸脱着装置部の概略拡大断面図、 同上のＶＯＣ吸脱着処理の吸着管部の説明用拡大断面図、 同上の他の実施例の排ガスのＶＯＣ吸脱着処理の概略フローチャート。

本発明のＶＯＣ溶剤回収装置およびその方法は、廃溶剤を蒸発器に装填して溶剤を減圧状態で蒸発して蒸発溶剤を凝縮器に導入して溶剤回収する廃溶剤回収装置に、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を含有する排ガスを吸着剤が装填された吸着塔内を通過させて排ガス中のＶＯＣを吸着剤に吸着させ、吸着剤に吸着させたＶＯＣを加熱処理して脱着するＶＯＣ吸脱着装置の吸着塔を近接し、上記廃溶剤回収装置の蒸発器にＶＯＣを減圧吸引する吸引管を接続し、上記ＶＯＣ吸脱着装置の吸着塔で脱着したＶＯＣを上記吸引管を介して上記蒸発器に吸引して減圧状態で蒸発し、蒸発させたＶＯＣの溶剤を廃溶剤回収装置の凝縮器に導入して溶剤回収することを特徴としている。

ＶＯＣ溶剤回収装置１は、図１のように廃溶剤回収装置２に、ＶＯＣ吸脱着装置３の吸着塔４を近設して廃溶剤回収装置２を流用するようにしている。その廃溶剤回収装置２は、図１のように所定容量の蒸発器５に廃溶剤の供給タンク６から所定量の廃溶剤を供給し、蒸発器５で減圧状態で蒸発して、その蒸発溶剤を凝縮器７で凝縮して液化して回収タンク８に溶剤回収するようにしている。

蒸発器５は、１００〜１０００リットル等の所定容量のもので、内壁を二重筒状構造等として外周側にスチーム等の加熱媒体を投入し、温度センサー等で所定の温度に加熱制御し、装填する廃溶剤を蒸発するようにしている。

上記供給タンク６には、図１のようにフィルター９を介して汚染液送給ポンプ１０で汚染液中継タンク１１に送給して、蒸発器２に所定量ずつ装填するように配管接続している。

また、凝縮器７は、シェルアンドチューブ型等として冷却水を通水等によって冷却するようにし、真空ポンプ１２で所定の減圧状態とした蒸発器２から蒸発溶剤を吸引して凝縮して液化し、回収液中継タンク１３、回収液送給ポンプ１４等を介して液化した溶剤を回収タンク８に回収するようにしている。

一方、ＶＯＣ吸脱着装置３は、図１のようにトルエン、キシレン、トリクロエチレン等の揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を含有する排ガスを流入管１５を介してブロア１６で固定層式の吸着塔４に入口１７から流入させ、吸着剤１８を装填した吸着管１９内を通過させ、排ガス中のＶＯＣを吸着剤１８に吸着させて除去する浄化処理をし、出口２０から流出管２１を介して流出するようにしている。

吸着管１９は、図２、図３のようにそれぞれ吸着剤１８を装填しているもので、炭素鋼鋼管、合金鋼鋼管、ステンレス（ＳＵＳ）鋼管やチタン等の金属管が使用でき、耐蝕性を有して耐久性があり、入手しやすいステンレス（ＳＵＳ）鋼管が好ましい。その口径としては、１００〜３００ｍｍ径、好ましくは１００〜２００ｍｍ径、より好ましくは１００〜１５０ｍｍ径で、口径、本数、長さは吸着塔４の処理容量に対応して適宜に決定することができ、同心円状や格子状、千鳥状等に配設することができる。なお、吸着管１９の底部には、所定のメッシュの金網を装着して吸着剤１８を装填して保持するようにできる。

吸着剤１８としては、粒状、ビーズ状、繊維状、ハニカム状の活性炭、ゼオライト等のセラミックスを使用でき、吸着剤１８に容易に装填できて、交換可能な形状、大きさのものが好ましく、５〜２０ｍｍ径相当位、特に６〜１０ｍｍ径相当位のものが好ましい。

このような吸着管１９は、図１、図２のようにその上下の端部を仕切り板２２、２３に垂直状として配設して吸着塔４内のほぼ中央部に気密的に配設し、ＶＯＣを含有する排ガスを上記多数筒の吸着管１９内をそれぞれ通過させ、吸着剤１８に排ガス中のＶＯＣを吸着させて除去処理するように形成している。

上記吸着塔４の複数筒の吸着管１９を気密的に配設した上下の仕切り板２２、２３間には、スチーム等の加熱媒体を供給自在に配管接続し、吸着剤１８がＶＯＣを十分に吸着して吸着剤１８の能力の低下を半導体式等の濃度センサーでＶＯＣの濃度を検出して所定の濃度となると、スチーム等の加熱媒体を供給するようにして、吸着管１９の外周面を加熱し、図３のように吸着剤１８に吸着した溶剤を脱着して分離するようにしている。

また、図１、図２のように吸着塔４の上下の入口１７部、出口２０部には、それぞれ開閉弁２４、２５をそれぞれ配設し、スチーム等の加熱媒体を供給するときにはこれらの開閉弁２４、２５を閉鎖し、吸着塔４の側部からＶＯＣの沸点以上の１００〜１５０℃のスチーム等の加熱媒体を供給するようにしている。

上記のようにして加熱媒体で加熱処理して吸着したＶＯＣを脱着させ、濃度センサーでＶＯＣの濃度を検出して所定の濃度となると、図１のように吸着塔４の側部から水や空気等の冷却媒体を一点鎖線のように導入して吸着管１９を冷却する。冷却し終わったら、再びＶＯＣを含有する排ガスを上記吸着管１９内を通過させて排ガス中のＶＯＣを吸着剤１８に吸着させて除去処理を繰り返して行っていく。

加熱処理して脱着させた蒸気溶剤は、図１のようにＶＯＣ吸脱着装置３と上記蒸発器５とを配管接続した上下の吸引管２６、２７を介して蒸発器５に真空ポンプ１２を流用して吸引して供給し、ＶＯＣの溶剤を減圧状態で蒸発して、廃溶剤の処理の場合と同様にして凝縮器７に導入して溶剤回収するようにしている。凝縮器７の冷却は、できるだけＶＯＣ吸脱着装置３の冷却を流用することが好ましい。

また、図４のようにＶＯＣ吸脱着装置３の吸着塔４を２基並設し、上記したようにこれらでのＶＯＣの吸脱着を交互に行なうようにし、ＶＯＣの蒸発溶剤を蒸発器５に連続状態で送給してＶＯＣの溶剤回収を効率よく行なえるようにできる。たとえば、一の吸着塔４で排ガスのＶＯＣを吸着管１９に吸着除去処理している間に、他の吸着塔４で吸着管１９に吸着したＶＯＣを脱着して蒸発器５に供給して蒸発して溶剤回収し、終われば吸着管１９を冷却処理する。これらを交互に実施して、ＶＯＣの吸着・脱着の溶剤回収を連続状態で行なっていくことができる。吸着塔４が多数並設して行なうことも可能である。

上記では、吸着塔４を１基または２基として本発明を説明したが、排ガスの処理量に対応して適宜数の吸着塔４を並設して処理するなど、本発明の趣旨にもとづいて適宜に対応した実施態様を採択することができるものであり、自動開閉弁や所要のセンサー等を適宜に配設するなど適宜に行なえるものである。

図１以下は、本発明の実施例を示すものである。ＶＯＣ溶剤回収装置１は、図１のように廃溶剤回収装置２にＶＯＣ吸脱着装置３の吸着塔４を近設して廃溶剤回収装置２を流用するようにしている。その廃溶剤回収装置２は、図１のように蒸発器５を１００リットルの所定容量の二重筒状構造として、外周部にスチームを投入して、温度センサーで所定の温度に加熱制御し、所定量ずつ装填する廃溶剤を所要の減圧状態で蒸発して、その蒸発溶剤を凝縮器７に逐次送給して凝縮して回収タンク８に回収するようにしている。

ＶＯＣ吸脱着装置３は、図１のように揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を含有する排ガスをブロア１６で吸着塔４に流入させて、活性炭の吸着剤１８を装填した吸着管１９に流通して、排ガス中のＶＯＣを吸着剤１８に吸着させて除去する浄化処理をするようにしている。

そして、上記吸着塔４の複数筒の吸着管１９を気密的に配設した上下の仕切り板２２、２３間にスチームを供給して、半導体の濃度センサー（図示せず）でＶＯＣの濃度を検出し、排ガスの供給、停止の制御や、スチームの加熱媒体の温度制御管理や安全制御管理を行うようにしている。

吸着塔４にＶＯＣを含有する排ガスを流入して、吸着剤１８がＶＯＣを十分に吸着して吸着剤１８の能力が低下するのを濃度センサーで検出すると、吸着塔４の上下の入口１７部、出口２０部の開閉弁２４、２５を閉じ、吸着塔４に１３０℃等のＶＯＣの沸点よりも高い温度の過熱スチームを供給し、吸着塔４の吸着管１９を加熱する。

スチームによって、図３のように吸着管１９の外周面の全体にわたって均一に加熱して内部へ熱伝達し、吸着剤１８に吸着していたＶＯＣを脱着し、出口２０から蒸発器５に吸引されて導入され、蒸発されて凝縮装置７に流出して回収タンク８に回収されていく。

上記のようにスチームで加熱処理して吸着剤１８に吸着したＶＯＣを脱着させ、吸着管１９、吸着塔４内を濃度センサーで検出してＶＯＣの脱着状態を確認すると、スチームの加熱媒体から水の冷却媒体に切り替えて流入して吸着管１９を冷却し、再びＶＯＣを含有する排ガスを吸着塔４に流入して吸着管１９内を通過させ、排ガス中のＶＯＣを吸着剤１８に吸着させて除去処理することを繰り返し行う。このようにしてＶＯＣを含有する排ガスの溶剤回収を行っていくものである。

上記のように廃溶剤回収装置２で廃溶剤の溶剤回収ができるとともに、ＶＯＣ吸脱着装置３の吸着塔４で脱着したＶＯＣを蒸発器５、凝縮器７で溶剤回収することができ、廃溶剤用の廃溶剤回収装置の流用がはかれて、設備の省スペース化、設備費のランニングコストの低減、大幅なコストダウンをはかることができる。

図４は、本発明の他の実施例で、ＶＯＣ吸脱着装置３の吸着塔４を２基並設し、これらでのＶＯＣの吸脱着を交互に行なうようにしたものである。本実施例では、ＶＯＣ吸脱着装置３の吸着塔４のＶＯＣの吸脱着を交互に行なって、ＶＯＣの排ガスの連続処理およびＶＯＣの蒸発溶剤を蒸発器５に連続状態で送給できて、ＶＯＣの溶剤回収を効率よく行なえるものである。

なお、回収する溶剤が同一種類の場合、廃溶剤の蒸発器５での溶剤回収と、ＶＯＣ吸脱着装置３の吸着塔４で脱着したＶＯＣを蒸発器５に吸引してＶＯＣの脱着溶剤を同時に回収することがてき、廃溶剤の蒸発器５での溶剤回収と、ＶＯＣ吸脱着装置３で脱着したＶＯＣを蒸発器５に吸引してＶＯＣの脱着溶剤を同時に回収することができ、溶剤回収の効率を高めることができる。

また、回収する溶剤が同一の工場で発生した場合、廃溶剤の蒸発器５での溶剤回収と、ＶＯＣ吸脱着装置３の吸着塔４で脱着したＶＯＣを蒸発器５に吸引してＶＯＣの脱着溶剤を同時に回収することができ、工場で発生した廃溶剤と、ＶＯＣ吸脱着装置３で脱着したＶＯＣを蒸発器５に吸引してＶＯＣの脱着溶剤を同時に回収することができ、溶剤回収の効率を高めることができる。

本発明は、塗装工程、洗浄工程、印刷工程等で発生する揮発性有機化合物を含有する排ガスの浄化処理の溶剤回収に広く利用することができる。

１…ＶＯＣ溶剤回収装置 ２…廃溶剤回収装置 ３…ＶＯＣ吸脱着装置
４…吸着塔 ５…蒸発器 ７…凝縮器
８…回収タンク １８…吸着剤 １９…吸着管

Claims (5)

1. 廃溶剤を蒸発器に装填して溶剤を減圧状態で蒸発して蒸発溶剤を凝縮器に導入して溶剤回収する廃溶剤回収装置に、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を含有する排ガスを吸着剤が装填された吸着塔内を通過させて排ガス中のＶＯＣを吸着剤に吸着させ、吸着剤に吸着させたＶＯＣを加熱処理して脱着するＶＯＣ吸脱着装置の吸着塔を近接し、
   上記廃溶剤回収装置の蒸発器にＶＯＣを減圧吸引する吸引管を接続し、上記ＶＯＣ吸脱着装置の吸着塔で脱着したＶＯＣを上記吸引管を介して上記蒸発器に吸引して減圧状態で蒸発し、蒸発させたＶＯＣの溶剤を廃溶剤回収装置の凝縮器に導入して溶剤回収するように形成したことを特徴とするＶＯＣ溶剤回収装置。
2. ＶＯＣ吸脱着装置の吸着塔を２基並設し、これらでのＶＯＣの吸脱着を交互に行なうようにしてＶＯＣの蒸発溶剤を蒸発器に連続状態で送給して溶剤回収するように形成したことを特徴とする請求項１に記載のＶＯＣ溶剤回収装置。
3. 廃溶剤を蒸発器に装填して溶剤を減圧状態で蒸発した蒸発溶剤を凝縮して溶剤回収する廃溶剤回収装置と、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を含有する排ガスを吸着剤が装填された吸着管内を通過させて、吸着剤に吸着させた排ガス中のＶＯＣを加熱処理して脱着するＶＯＣ吸脱着装置の吸着塔とを設け、
   ＶＯＣを含有する排ガスを上記吸着管内を通過させてＶＯＣを吸着剤に吸着させ、この吸着剤に吸着させた吸着管を加熱して排ガス中のＶＯＣを吸着剤から脱着し、ＶＯＣを脱着して吸着能力が回復したら、再び上記のように排ガス中のＶＯＣの吸着剤への吸着、脱着を繰り返すようにし、
   上記廃溶剤回収装置の蒸発器に上記ＶＯＣ吸脱着装置の吸着塔で吸着管を加熱したときの排ガス中の吸着剤から脱着したＶＯＣを減圧吸引して蒸発器で減圧状態で蒸発し、蒸発させたＶＯＣの溶剤を廃溶剤回収装置の凝縮器に導入して溶剤回収することを特徴とするＶＯＣ溶剤回収方法。
4. 回収する溶剤が同一種類の場合、廃溶剤の蒸発器での溶剤回収と、ＶＯＣ吸脱着装置の吸着塔で脱着したＶＯＣを蒸発器に吸引してＶＯＣの脱着溶剤を同時に回収することを特徴とする請求項３に記載のＶＯＣ溶剤回収方法。
5. 回収する溶剤が同一の工場で発生した場合、廃溶剤の蒸発器での溶剤回収と、ＶＯＣ吸脱着装置の吸着塔で脱着したＶＯＣを蒸発器に吸引してＶＯＣの脱着溶剤を同時に回収することを特徴とする請求項３に記載のＶＯＣ溶剤回収方法。

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