JP6358892B2 - 圧電アクチュエータ - Google Patents
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Description
前記与圧機構は、前記圧電素子の伸縮変位方向の一端面および他端面に固定される一対のヘッドピースと、前記ヘッドピースと一体に、前記ヘッドピース間に架け渡されるように設けられた、直線状をなす圧縮力付与部とを有し、
前記与圧機構に対して、前記圧電素子の伸縮方向に引張力を作用させて前記圧縮力付与部を伸長させた状態で、前記圧電素子が前記一対のヘッドピース間に装着され、前記引張力が解除されることにより前記圧電素子に圧縮力が付与された状態とされることを特徴とする圧電アクチュエータ。
図1は本発明の一実施形態に係る圧電アクチュエータを示す正面図、図2は本発明の一実施形態に係る圧電アクチュエータを示す側面図である。
2;圧電素子
3;与圧機構
11,12;電気端子
21;ヘッドピース
22;圧縮力付与部
Claims (9)
- 所定方向に伸縮変位する圧電素子と、前記圧電素子の伸縮方向に圧縮力を与える与圧機構とを有する圧電アクチュエータであって、
前記与圧機構は、前記圧電素子の伸縮変位方向の一端面および他端面に固定される一対のヘッドピースと、前記ヘッドピースと一体に、前記ヘッドピース間に架け渡されるように設けられた、直線状をなす圧縮力付与部とを有し、
前記与圧機構に対して、前記圧電素子の伸縮方向に引張力を作用させて前記圧縮力付与部を伸長させた状態で、前記圧電素子が前記一対のヘッドピース間に装着され、前記引張力が解除されることにより前記圧電素子に圧縮力が付与された状態とされることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記圧縮力付与部を複数備えていることを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記与圧機構の材料、前記圧縮力付与部の断面積または長さを調整することにより、前記圧電素子に付与する圧縮力を調整することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記圧電素子は、温度に対して負の熱膨張係数を有しており、前記与圧機構は、温度に対して正の熱膨張係数を有しており、全体の熱膨張係数がゼロ近傍であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記与圧機構は、ステンレス鋼、インバー合金、スーパーインバー合金、炭素繊維のいずれかからなることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記圧電素子を構成する圧電材料がチタン酸ジルコン酸鉛であることを特徴とする請求項5に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記ヘッドピースを介して他の装置または部材に対して着脱可能であることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記ヘッドピースにネジ穴が設けられ、ネジにより前記他の装置または部材に対して着脱可能であることを特徴とする請求項7に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記他の装置または部材は、圧電素子の変位を拡大する変位拡大機構であることを特徴とする請求項7または請求項8に記載の圧電アクチュエータ。
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