JP2021058089A - 圧電アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
Description
前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子の変位を拡大し、拡大された変位を出力する変位拡大機構と、
前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子に電圧を印加して、前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子を伸縮駆動させる駆動部と
を備え、
前記変位拡大機構は、
中央に凹部を有するU字状をなし、その底部に前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子の前記第1の端部を固定する固定部材と、
前記固定部材の前記凹部を挟んで一方側の側部および前記第1の圧電素子の前記第2の端部に、前記第1の圧電素子の伸縮により前記第1の圧電素子の伸縮方向と直交する方向に揺動可能に接続された第1のアームと、
前記固定部材の前記凹部を挟んで他方側の側部および前記第2の圧電素子の前記第2の端部に、前記第2の圧電素子の伸縮により前記第2の圧電素子の伸縮方向と直交する方向に揺動可能に接続された第2のアームと
を有し、
前記第1のアームと前記第2のアームの先端部に出力部材が接続され、
前記駆動部は、前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子が互いに反対方向に所定の量で変位するように前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子に電圧を印加し、これにより前記第1のアームと前記第2のアームが同方向にほぼ同一量変位して、前記出力部材に拡大された変位が与えられることを特徴とする圧電アクチュエータ。
前記第2の圧電素子の前記第2の端部には、第2のキャップ部材が取り付けられ、前記第2のアームは、前記第2のキャップ部材と前記ヒンジにより連結されていることを特徴とする(1)から(5)のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
図1は本発明の一実施形態に係る圧電アクチュエータを示す正面図、図2は、その斜視図である。
図1に示すように、本実施形態の圧電アクチュエータ1は、第1の圧電素子2および第2の圧電素子3と、これらの変位を拡大する変位拡大機構10と、第1の圧電素子2および第2の圧電素子を駆動する駆動部30とを有する。
2;第1の圧電素子
3;第2の圧電素子
4;第1の与圧機構
5;第2の与圧機構
10;変位拡大機構
11;固定部材
11a;第1の側部
11b;第2の側部
11c;底部
11d;凹部
12,13;キャップ部材
14,15,17,18,21,22;ヒンジ
16;第1のアーム
19;第2のアーム
23;連結部材
24;凹部
30;駆動部
60;出力部材
70;アンプ
71;入力端子
72;出力端子
73;最大電圧出力端子
74,75;配線
本発明によれば、第1の圧電素子と第2の圧電素子とを互いに反対方向に所定の量で変位するように第1の圧電素子および第2の圧電素子に電圧を印加し、第1のアームおよび第2のアームを第1の圧電素子および第2の圧電素子の伸縮方向と直交する同方向にほぼ同一量変位して、出力部材に拡大した変位を与えるので、熱膨張による出力部材の初期位置のずれや、圧電素子のクリープによる位置ずれを抑制することができる。
Claims (7)
- 同じ方向に伸縮変位するように並列に配置され、それぞれ対応する位置に第1の端部および第2の端部を有する第1の圧電素子および第2の圧電素子と、
前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子の変位を拡大し、拡大された変位を出力する変位拡大機構と、
前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子に電圧を印加して、前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子を伸縮駆動させる駆動部と
を備え、
前記変位拡大機構は、
中央に凹部を有するU字状をなし、その底部に前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子の前記第1の端部を固定する固定部材と、
前記固定部材の前記凹部を挟んで一方側の側部および前記第1の圧電素子の前記第2の端部に、前記第1の圧電素子の伸縮により前記第1の圧電素子の伸縮方向と直交する方向に揺動可能に接続された第1のアームと、
前記固定部材の前記凹部を挟んで他方側の側部および前記第2の圧電素子の前記第2の端部に、前記第2の圧電素子の伸縮により前記第2の圧電素子の伸縮方向と直交する方向に揺動可能に接続された第2のアームと
を有し、
前記第1のアームと前記第2のアームの先端部に出力部材が接続され、
前記駆動部は、前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子が互いに反対方向に所定の量で変位するように前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子に電圧を印加し、これにより前記第1のアームと前記第2のアームが同方向にほぼ同一量変位して、前記出力部材に拡大された変位が与えられることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記駆動部は、前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子に、一方が伸びる方向に、他方がそれに対して縮む方向に変位するように電圧を印加することを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記駆動部は、前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子の第1の端子に、前記駆動部の出力電圧を印加し、前記第1の圧電素子の第2の端子に前記駆動部の最小電圧を印加し、前記第2の圧電素子の第2の端子に前記駆動部の最大電圧を印加する駆動回路を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記第1のアームは、それぞれ可撓性を有するヒンジを介して前記固定部材の前記一方側の側部および前記第1の圧電素子の前記第2の端部に接続され、前記第2のアームはそれぞれ可撓性を有するヒンジを介して前記固定部材の前記他方側の側部および前記第2の圧電素子の前記第2の端部に接続されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記第1の圧電素子および前記第2の圧電素子に対して、それぞれ伸縮方向に圧縮力を与える第1の与圧機構および第2の与圧機構をさらに有することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記第1の圧電素子の前記第2の端部には、第1のキャップ部材が取り付けられ、前記第1のアームは、前記第1のキャップ部材と前記ヒンジにより連結され、
前記第2の圧電素子の前記第2の端部には、第2のキャップ部材が取り付けられ、前記第2のアームは、前記第2のキャップ部材と前記ヒンジにより連結されていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記第1のキャップ部材および前記第2のキャップ部材は、それぞれ可撓性を有するヒンジを介して連結部材により連結されていることを特徴とする請求項6に記載の圧電アクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2021058089A true JP2021058089A (ja) | 2021-04-08 |
JP7148905B2 JP7148905B2 (ja) | 2022-10-06 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP7148905B2 (ja) |
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