JP6356372B1 - 配向特性測定方法、配向特性測定プログラム、及び配向特性測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(配向特性測定システムの全体構成)
(コンピュータシステムの構成)
PP=QPMPTP
によって表される。この従来文献によれば、P偏光成分の光強度分布PPは、下記式;
によって定式化されている。上記式中、n1は半円柱状レンズの屈折率、n2は半円柱状レンズおよび試料の周囲の空間の屈折率、n0は試料の屈折率、nはn2/n1に等しい値、α1は励起光の照射方向と観察対象の蛍光の出射方向とのなす角(なす角φに対応)、α2は、n・sinα2=sinα1により決まる角度を、それぞれ表している。また、上記式の上側の式は角度α1が臨界角以下の場合の特性を示し、下側の式は角度α1が臨界角より大きい場合の特性を示している。
S=(3/2)・(cos2θ−1/3)
によって算出される。図11に示すように、上記式中の角度θは、厚さ方向D1に沿ったZ軸に対する発光分子の平均的な配向方向(双極子モーメント)の角度を示しており、この配向方向はX成分μx、Y成分μy、及びZ成分μzを有する。図11に示すX軸及びY軸は材料層S2の厚さ方向に垂直な軸である。例えば、図10の(a)部に示す状態の材料層S2の配向パラメータS=−0.5であり、図10の(b)部に示す状態の材料層S2の配向パラメータS=1であり、図10の(c)部及び(d)部に示す状態の材料層S2の配向パラメータS=0である。図12には、角度θと配向パラメータSとの関係を示す。このように、配向パラメータSは角度θが0度から90度に変化するにしたがって減少し、その最大値が1で最小値が−0.5である。この配向パラメータSが小さくなるほど光の取り出し効率が高いことを意味する。
μx+μy+μz=1,
μx=μy
のように仮定されている。従来の手法では、実際に測定された蛍光の光強度の角度依存性特性を、シミュレーション結果の複数の特性とフィッティングすることで、分子の双極子モーメントのZ成分μzを求め、この値から配向パラメータSが決定されている。
RI=−A・μz+A
で表される場合に、数式自体であってもよいし、係数Aそのものであってもよいし、図14にプロットされるような線形式上の複数の標本点における座標値のデータの組み合わせであってもよい。このような線形関係を示すデータは、予め様々な配向パラメータSに関して実行された光強度の角度依存性特性のシミュレーション結果を利用して算出され、計測対象の材料に関する膜厚とその材料の屈折率との組み合わせ毎に算出されて予め複数記憶されている。パラメータ算出部36は、ユーザから入力装置19を介して入力された計測対象の材料層S2の膜厚およびその材料層S2の屈折率に関する値を基に、予め記憶された複数の線形関係を示すデータの中から、配向パラメータSの算出に用いられる線形関係を示すデータを選択(決定)する(選択処理、決定処理)。そして、パラメータ算出部36は、そのデータと領域特定部35によって特定された極大領域の光強度INpeakとを基に、Z成分μzを特定する。具体的には、選択した線形関係が図14に示すような特性であって、極大領域の光強度INpeakの逆数がRI0=1/INpeakと計算された場合は、逆数RI0に対して図14に示される線形関係を有するZ成分μz0が、材料層S2の双極子モーメントのZ成分μzとして導き出される。
μx+μy+μz=1,
μx=μy
に示される関係を有し、配向パラメータSが下記式;
S=(μz 2−μx 2)/(μz 2+2μx 2)
で定義されることを利用して、配向パラメータSを下記式;
S={μz 2−(1/4)(1−μz)2}/{μz 2+(1/2)(1−μz)2}
によって計算する。そして、パラメータ算出部36は、計算した配向パラメータSを出力装置17に出力する。ここでは、パラメータ算出部36は、計算した配向パラメータSを、通信モジュール104及びネットワークを経由して外部に送信してもよい。
(配向特性測定方法の各ステップの説明)
A=−A1d2n3+A2d2n2−A3d2n+A4d2+A5dn3−A6dn2+A7dn−A8d−A9n3+A10n2−A11n+A12
で表すことができる。なお、An(n=1、2、3...12)は、実数である。従って、ステップS07において、パラメータ算出部36により、ユーザから入力された材料層S2の膜厚及び屈折率に関する値を基に、その膜厚および屈折率に対応する線形関係を特定するパラメータとして、線形係数Aを特定することができる。
Claims (12)
- 所定の屈折率を有し、透光性を有する基板上に所定の膜厚で配置された試料に向けて照射光を照射する照射光学系と、前記照射光の照射に伴って前記試料から発せられる検出光を導光する検出光学系と、前記検出光を検出する光検出器とを用いて、前記試料の配向パラメータを算出する方法であって、
前記試料の前記検出光の出射側の面の垂線と前記検出光学系の光軸とのなす角を変更しながら、前記光検出器を用いて前記検出光を検出させて検出信号を出力する検出ステップと、
前記検出信号から得られた光強度の角度依存性分布を基に、前記なす角がゼロ度における前記光強度で、前記なす角が所定範囲の前記光強度を規格化して、規格化された光強度の角度依存性分布を取得する取得ステップと、
前記規格化された光強度の角度依存性分布を基に、光強度が極小になる角度と90度との間に存在する極大領域の光強度を特定する特定ステップと、
前記所定の膜厚及び前記所定の屈折率によって決まる光強度と前記配向パラメータに関連する値との間の線形関係と、前記極大領域の光強度とに基づいて、前記配向パラメータを算出する算出ステップと、
を備える、配向特性測定方法。 - 複数の膜厚と複数の屈折率との組み合わせ毎に予め記憶された複数の前記線形関係の中から、前記所定の膜厚及び前記所定の屈折率に対応する線形関係を選択する選択ステップをさらに備える、
請求項1に記載の配向特性測定方法。 - ユーザによって入力された屈折率及び膜厚に関するパラメータを基に、前記線形関係を決定する決定ステップをさらに備える、
請求項1又は2に記載の配向特性測定方法。 - 前記特定ステップにおいては、光強度が極小になる角度と90度との間に存在する極大値の光強度を特定する、
請求項1〜3のいずれか1項に記載の配向特性測定方法。 - 所定の屈折率を有し、透光性を有する基板上に所定の膜厚で配置された試料に向けて照射光を照射する照射光学系と、前記照射光の照射に伴って前記試料から発せられる検出光を導光する検出光学系と、前記試料の前記検出光の出射側の面の垂線と前記検出光学系の光軸とのなす角を変更しながら、前記検出光を検出する光検出器とを含む検出装置を用いて前記検出光を検出して得られた検出信号に基づいて、前記試料の配向パラメータを算出するためのプログラムであって、
前記検出信号から得られた光強度の角度依存性分布を基に、前記なす角がゼロ度における前記光強度で、前記なす角が所定範囲の前記光強度を規格化して、規格化された光強度の角度依存性分布を取得する取得処理と、
前記規格化された光強度の角度依存性分布を基に、光強度が極小になる角度と90度との間に存在する極大領域の光強度を特定する特定処理と、
前記所定の膜厚及び前記所定の屈折率によって決まる光強度と前記配向パラメータに関連する値との間の線形関係と、前記極大領域の光強度とに基づいて、前記配向パラメータを算出する算出処理と、
をコンピュータに実行させる、配向特性測定プログラム。 - 前記コンピュータに、複数の膜厚と複数の屈折率との組み合わせ毎に予め記憶された複数の前記線形関係の中から、前記所定の膜厚及び前記所定の屈折率に対応する線形関係を選択する選択処理をさらに実行させる、
請求項5に記載の配向特性測定プログラム。 - 前記コンピュータに、ユーザによって入力された屈折率及び膜厚に関するパラメータを基に、前記線形関係を決定させる決定処理をさらに実行させる、
請求項5又は6に記載の配向特性測定プログラム。 - 前記特定処理は、光強度が極小になる角度と90度との間に存在する極大値の光強度を特定する、
請求項5〜7のいずれか1項に記載の配向特性測定プログラム。 - 所定の屈折率を有し、透光性を有する基板上に所定の膜厚で配置された試料に向けて照射光を照射する照射光学系と、
前記照射光の照射に伴って前記試料から発せられる検出光を導光する検出光学系と、
前記検出光を検出して検出信号を出力する光検出器と、
前記試料の前記検出光の出射側の面の垂線と前記検出光学系の光軸とのなす角を変更する駆動機構と、
前記なす角を変更するように前記駆動機構を制御する制御部と、
前記なす角を変更しながら得られた前記検出信号を基に前記試料の配向パラメータを算出する処理装置とを備え、
前記処理装置は、
前記検出信号から得られた光強度の角度依存性分布を基に、前記なす角がゼロ度における前記光強度で、前記なす角が所定範囲の前記光強度を規格化して、規格化された光強度の角度依存性分布を取得する取得部と、
前記規格化された光強度の角度依存性分布を基に、光強度が極小になる角度と90度との間に存在する極大領域の光強度を特定する特定部と、
前記所定の膜厚及び前記所定の屈折率によって決まる光強度と前記配向パラメータに関連する値との間の線形関係と、前記極大領域の光強度とに基づいて、前記配向パラメータを算出する算出部と、
を有する、配向特性測定装置。 - 前記処理装置は、複数の膜厚と複数の屈折率との組み合わせ毎に予め記憶された複数の前記線形関係の中から、前記所定の膜厚及び前記所定の屈折率に対応する線形関係を選択する選択部をさらに有する、
請求項9に記載の配向特性測定装置。 - ユーザによって入力された屈折率及び膜厚に関するパラメータを基に、前記線形関係を決定する決定部をさらに備える、
請求項9又は10に記載の配向特性測定装置。 - 前記特定部は、光強度が極小になる角度と90度との間に存在する極大値の光強度を特定する、
請求項9〜11のいずれか1項に記載の配向特性測定装置。
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