JP2006308549A - 配向膜の配向状態評価方法、液晶パネルの製造方法及び液晶パネルの検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】配向膜の配向状態を評価する配向状態評価方法である。被評価物となる配向膜上に、下地の配向状態を反映して配向する蛍光材料からなる発光ポリマー液を塗布する工程と、塗布した発光ポリマー液を加熱処理して発光ポリマー膜2bを形成する工程と、発光ポリマー膜2bの偏光蛍光スペクトルを測定する工程と、偏光蛍光スペクトルの測定結果を基に配向関数式から配向パラメータを求め、得られた配向パラメータによって配向膜の配向状態を評価する工程と、を備えている。
【選択図】図2
Description
荒船他 Appl.Phys.Lett.71,2755p 1998
また、この方法では、エネルギー的に低い状態である赤外線を用いているため、感度が低くなってしまい、配向膜についての細かな配向状態までを明確にするのは困難であった。
被評価物となる配向膜上に、下地の配向状態を反映して配向する蛍光材料からなる発光ポリマー液を塗布する工程と、
塗布した発光ポリマー液を加熱処理して発光ポリマー膜を形成する工程と、
前記発光ポリマー膜の偏光蛍光スペクトルを測定する工程と、
偏光蛍光スペクトルの測定結果を基に配向関数式から配向パラメータを求め、得られた配向パラメータによって前記配向膜の配向状態を評価する工程と、を備えたことを特徴としている。
また、前記配向膜上への発光ポリマー液の塗布をスピンコート法で行うことにより、発光ポリマー膜を均一で比較的薄い膜厚に形成することができ、したがって下地の配向状態をより良好に反映して配向した発光ポリマー膜を形成することが可能になる。
前記第1の基板及び第2の基板のそれぞれの内面に配向膜を形成する工程と、
配向膜を形成した前記基板の配向膜の配向状態を評価する工程と、
前記配向膜の配向状態を評価する工程で配向膜の配向状態が良と評価された第1の基板及び第2の基板を用い、これら基板を接合して液晶パネルに組み立てる工程と、を備えてなり、
前記配向膜の配向状態を評価する工程では、請求項1記載の配向膜の配向状態評価方法を用いて、配向膜の配向状態を評価することを特徴としている。
前記液晶パネルを分解して第1の基板と第2の基板とにする工程と、
分解後の前記第1の基板及び/又は第2の基板の配向膜の配向状態を評価することにより、該基板の配向膜の配向状態を検査する工程と、を備え、
前記配向膜の配向状態を検査する工程では、請求項1記載の配向膜の配向状態評価方法を用いて、配向膜の配向状態を検査することを特徴としている。
このようにすれば、不良の原因が配向膜の配向状態にあるか否かを容易に判定することができる。
まず、本発明の配向膜の配向状態評価方法を説明する。
本発明の配向膜の配向状態評価方法は、特に、液晶パネルを備えた液晶装置用の配向膜について、その配向状態を評価するのに好適に用いられる。液晶装置(液晶パネル)用の配向膜としては、ポリイミドからなるのが一般的であり、通常はガラス基板上にITO等の透明電極を介して形成された後、ラビング処理がなされることにより、所望の配向状態に形成される。なお、液晶装置用の配向膜としては、ポリイミド以外にも、斜め蒸着法等によって形成されたSiO2やAl2O3などの無機配向膜が、一部に用いられている。したがって、このような無機配向膜も、本発明における被評価物となる。
本実施形態では、被評価物となる配向膜を、ガラス基板上に透明電極(ITO)等を介して形成され、さらにラビング処理がなされたポリイミド膜とする。なお、ガラス基板上へのポリイミド膜の形成、およびそのラビング処理については、液晶装置を形成する際の一般的な手法が用いられるものとする。
(1)励起側偏光子4;平行偏光(90°)、蛍光側偏光子5;平行偏光(90°)
(2)励起側偏光子4;平行偏光(90°)、蛍光側偏光子5;垂直偏光(0°)
(3)励起側偏光子4;垂直偏光(0°) 、蛍光側偏光子5;垂直偏光(0°)
なお、(1)〜(3)の各条件での測定において、試料2における配向膜の配向方向については、前述したように鉛直方向(地面に対して垂直となる方向)となる状態で行う。
cos2θ=(IVVV+2IVVH)/{(8/3)IVHH+4IVVH+IVVV}…式(1)
f20=(3cos2θ−1)/2 …式(2)
ここで、前記の各偏光蛍光スペクトルの測定結果から得られるIVVV、IVVH、IVHHについては、各偏光蛍光スペクトルにおいて蛍光強度が最大となる波長での値(スペクトル強度)を用いる。
f20(b)≦f20(x)≦f20(a) …式(3)
f20(b)≦f20(x) …式(4)
配向膜の配向度(配向状態)と、前記発光ポリマー膜から求めた配向パラメータf20との間の相関を、実験により確認した。
まず、試料として、ガラス基板上にITO膜を形成し、さらにその上にポリイミド膜(配向膜)を形成したものを8枚用意した。続いて、これら試料について、以下の4通りの条件(ラビング強度条件)によるラビング処理を行った。なお、ラビング処理は、各条件ごとに2枚ずつ行った。
・試料#1、#2 ;ラビング強度「最大」
(ロール回転数;500rpm、ラビングテーブル速度;20(mm/sec))
・試料#3、#4 ;ラビング強度「中間」
(ロール回転数;300rpm、ラビングテーブル速度;120(mm/sec))
・試料#5、#6 ;ラビング強度「弱」
(ロール回転数;200rpm、ラビングテーブル速度;200(mm/sec))
・試料#7、#8 ;ラビング強度「無し」
図3〜図6においてそれぞれ、得られた三つの測定結果から全体の波長領域での最大強度を選択する。ここでは、特にラビング強度が最大である図3を基準とし、その三つの測定結果から最大強度となる波長を選択する。そして、この波長での強度を(1)〜(3)ごとに求め、(1)についての強度をIVVVとし、(2)についての強度をIVVHとし、(3)についての強度をIVHHとする。
・試料#1、#2(ラビング強度「最大」);f20=0.72
・試料#3、#4(ラビング強度「中間」);f20=0.65
・試料#5、#6(ラビング強度「弱」) ;f20=0.01
・試料#7、#8(ラビング強度「無し」);f20=0.08
なお、前記例ではラビング強度が最大である図3を基準とし、その三つの測定結果から最大強度となる波長を選択したが、例えば図6を基準とし、その三つの測定結果から最大強度となる波長を選択してもよく、その場合にも、配向パラメータf20については前記例と同様の結果が得られた。
また、この方法にあっては、特に蛍光が赤外光よりも高感度であることから、微妙な配向状態の差も検出可能になり、また、検出感度が低くなってしまう微小域についても検出可能となり、逆に広域の配向状態についても検出可能となる。
また、配向膜についても、液晶装置(液晶パネル)用のものでなく、例えば延伸フィルムからなる配向膜や、繊維による配向をなす配向膜などを被評価物とし、これに本発明を適用することもできる。
この液晶パネルの製造方法は、第1の基板と第2の基板との間に液晶が挟持されてなる液晶パネルの製造方法である。
まず、液晶パネルについて説明する。図7は液晶パネルについて、各構成要素とともに示す対向基板側から見た平面図であり、図8は図7のH−H’線に沿う断面図である。
まず、TFTアレイ基板(第1の基板)35、対向基板(第2の基板)40の、配向膜形成前の状態にある基板を用意する。すなわち、TFTアレイ基板(第1の基板)としては、前記のデータ線駆動回路101や走査線駆動回路104等を形成し、さらに電極(画素電極)37を形成したものを用意する。また、対向基板(第2の基板)としては、必要に応じてカラーフィルタ(図示せず)等を形成し、さらに電極(透明電極)39を形成したものを用意する。
そして、このようにして用意した各基板を洗浄する(図9中にST1と記す。以下同じ)。
すなわち、各基板(第1の基板と第2の基板)の配向膜38上に、下地の配向状態を反映して配向する蛍光材料からなる発光ポリマー液、具体的には前記のポリ(9,9−ジオクチルフルオレニル−2,7−ジイル)[Poly(9,9-dioctylfluorenyl-2,7-diyl)](末端をdimethylphenylでキャップ処理したもの)などをスピンコート法等によって塗布し、さらに加熱乾燥して発光ポリマー膜を形成する(ST5)。
その後、得られた偏光蛍光スペクトルの測定結果を基に、前記式(1)、式(2)からなる配向関数式によって配向パラメータf20を求める。そして、得られた配向パラメータf20によって前記配向膜の配向状態を評価し、その良否、すなわち配向正常(良)か配向不良(否)かを判定する(ST7)。
その後、信頼性の評価が良と判定されたモジュールについて、必要に応じて最終製品としての組立等を行った後、製品として出荷する。
この液晶パネルの検査方法は、図9に示したフローにおいて、パネル組立工程(ST10)の後に、配向膜の配向状態を評価し検査する方法である。すなわち、図8に示したように、TFTアレイ基板(第1の基板)35及び対向基板(第2の基板)40の内面にそれぞれ配向膜38が形成され、これら基板がシール材52によって接合・接着されるとともに、このシール材52によって区画された領域内に液晶50が封入され基板間に挟持させられた液晶パネル100について、その配向膜38の配向状態を評価し検査する方法である。
まず、製品から検査対象となる液晶パネル100を取り出し、この液晶パネル100を分解してTFTアレイ基板(第1の基板)35と対向基板(第2の基板)40とにする(図10中にST21と記す。以下同じ)。なお、前記のモジュール組立(ST11)の前の状態であれば、当然ながら、直接液晶パネル100を分解すればよい。
次に、これら基板をそれぞれ洗浄し、乾燥する(ST22)。
Claims (7)
- 配向膜の配向状態を評価する配向状態評価方法であって、
被評価物となる配向膜上に、下地の配向状態を反映して配向する蛍光材料からなる発光ポリマー液を塗布する工程と、
塗布した発光ポリマー液を加熱処理して発光ポリマー膜を形成する工程と、
前記発光ポリマー膜の偏光蛍光スペクトルを測定する工程と、
偏光蛍光スペクトルの測定結果を基に配向関数式から配向パラメータを求め、得られた配向パラメータによって前記配向膜の配向状態を評価する工程と、を備えたことを特徴とする配向膜の配向状態評価方法。 - 前記配向膜が液晶装置用の配向膜であることを特徴とする請求項1記載の配向膜の配向状態評価方法。
- 前記配向膜がポリイミドであることを特徴とする請求項2記載の配向膜の配向状態評価方法。
- 前記配向膜上への発光ポリマー液の塗布を、スピンコート法で行うことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の配向膜の配向状態評価方法。
- 第1の基板と第2の基板との間に液晶が挟持されてなる液晶パネルの製造方法であって、
前記第1の基板及び第2の基板のそれぞれの内面に配向膜を形成する工程と、
配向膜を形成した前記基板の配向膜の配向状態を評価する工程と、
前記配向膜の配向状態を評価する工程で配向膜の配向状態が良と評価された第1の基板及び第2の基板を用い、これら基板を接合して液晶パネルに組み立てる工程と、を備えてなり、
前記配向膜の配向状態を評価する工程では、請求項1記載の配向膜の配向状態評価方法を用いて、配向膜の配向状態を評価することを特徴とする液晶パネルの製造方法。 - 第1の基板と第2の基板とを備え、これら基板の内面にそれぞれ配向膜が形成され、該配向膜間に液晶が挟持されてなる液晶パネルの検査方法であって、
前記液晶パネルを分解して第1の基板と第2の基板とにする工程と、
分解後の前記第1の基板及び/又は第2の基板の配向膜の配向状態を評価することにより、該基板の配向膜の配向状態を検査する工程と、を備え、
前記配向膜の配向状態を検査する工程では、請求項1記載の配向膜の配向状態評価方法を用いて、配向膜の配向状態を検査することを特徴とする液晶パネルの検査方法。 - 前記液晶パネルを分解して第1の基板と第2の基板とにする工程は、この工程に先立って液晶パネルの信頼性試験を行った結果、不良と判定されたものに対して行うことを特徴とする請求項6記載の液晶パネルの検査方法。
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Cited By (2)
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6356372B1 (ja) * | 2017-05-23 | 2018-07-11 | 浜松ホトニクス株式会社 | 配向特性測定方法、配向特性測定プログラム、及び配向特性測定装置 |
WO2018216246A1 (ja) * | 2017-05-23 | 2018-11-29 | 浜松ホトニクス株式会社 | 配向特性測定方法、配向特性測定プログラム、及び配向特性測定装置 |
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KR20220025947A (ko) * | 2017-05-23 | 2022-03-03 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 배향 특성 측정 방법, 배향 특성 측정 프로그램, 및 배향 특성 측정 장치 |
KR102387341B1 (ko) | 2017-05-23 | 2022-04-15 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 배향 특성 측정 방법, 배향 특성 측정 프로그램, 및 배향 특성 측정 장치 |
CN110651177B (zh) * | 2017-05-23 | 2022-07-29 | 浜松光子学株式会社 | 取向特性测定方法、取向特性测定程序及取向特性测定装置 |
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