JP6355658B2 - 溶液製膜方法及び装置 - Google Patents

Description

本発明は、溶液製膜方法及び装置に関する。

ポリマーフィルム（以下、フィルムと称する）を製造する方法のひとつとして溶液製膜方法がある。溶液製膜方法は、ポリマーを溶媒に溶解したポリマー溶液からフィルムをつくる方法である。溶液製膜方法で長尺のフィルムを製造する場合には、走行する支持体へポリマー溶液を流延ダイから連続的に流出して流延膜を形成し、この流延膜を支持体から剥ぎ取って乾燥する。支持体として用いられるベルトは、環状に形成されており、複数のローラに掛け渡されて長手方向に走行する。これにより、ベルトは、ポリマー溶液が流延される流延位置と、流延膜が剥ぎ取られる剥取位置とを循環する。また、ベルトの素材としては、例えばオーステナイト系のステンレス鋼が用いられている。

フィルムには平滑性、すなわちフィルム面が平滑であることが求められる。ベルトのポリマー溶液が流延される流延面はフィルムの平滑性に影響を与えるので、できるだけ平滑にされる。また、ベルトの素材にオーステナイト系のステンレス鋼を用いた場合には、マルテンサイト変態によりフィルムの平滑性を損なうことがある。そこで、例えば特許文献１は、前述の流延面の凹凸の程度を特定したベルトを用いる溶液製膜方法及び装置を提案しており、これによりマルテンサイト変態が抑えられている。

ところで、長尺のフィルムを製造する場合の溶液製膜方法においては、フィルムに例えば光学機能等の特定の機能を発現させるために、製膜過程のフィルムに対して幅方向での延伸処理を施すことがある。また、液晶ディスプレイ等の表示装置の薄手化に伴い、表示装置に用いるフィルムに対してもさらなる薄手化が求められている。

特開２００７−０８３４５１号公報

しかしながら特許文献１の方法によっても、場合によっては長手方向において周期的なへこみ部がフィルムに認められることがある。このへこみ部は、５０μｍ以下の厚みのフィルムを製造する場合において、製膜過程における幅方向での延伸処理を経ることで認められるようになる。５０μｍ以下の厚みのフィルムを製造する場合であっても、製造過程における幅方向での延伸処理前のフィルムや、幅方向での延伸処理を経ることなく製造されたフィルムには認められない。また、５０μｍよりも厚いフィルムを製造する場合にも認められない。このへこみ部は、長さが４０ｍｍ以上５０ｍｍ以下程度、幅が１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下程度という非常に小さな細長い溝が、フィルムの長手方向と交差する方向に複数並んだものであり、個々の溝の長手方向はフィルムの長手方向に概ね一致している。

そこで、本発明は、幅方向での延伸処理を施して５０μｍ以下という薄い長尺のフィルムを製造する場合に、長手方向において周期的な上記のへこみ部が抑制される溶液製膜方法及び装置を提供することを目的とする。

本発明の溶液製膜方法は、金属製の長尺のベルト材の一端と他端との溶接により環状に形成され、一対のローラに巻き掛けられて長手方向へ走行するベルト上に、ポリマーが溶媒に溶解したポリマー溶液を流延ダイから連続的に流出することにより流延膜を形成する流延工程と、流延膜をベルトから剥がすことによりフィルムを形成する剥離工程と、フィルムの各側部を保持した状態でフィルムを長手方向に搬送し、搬送中のフィルムを加熱により乾燥しながら、幅方向に延伸する延伸工程とを有し、製造するフィルムは５０μｍ以下の厚みであり、ベルトの流延膜が形成される流延面の温度は一対のローラの少なくとも一方の周面温度の調節により調整され、ベルトの裏面における溶接部は、３μｍ以上３０μｍ以下の範囲内の高さにされており、ベルトの裏面における深さが３μｍ以上３００μｍ以下の範囲内の窪みが存在した場合には、窪みの表面の最大傾斜度が０．１μｍ／ｍｍ以上１．５μｍ／ｍｍ以下の範囲内であることを特徴として構成されている。

本発明の溶液製膜装置は、ポリマーが溶媒に溶解したポリマー溶液を連続的に流出する流延ダイと、環状に形成され、長手方向に走行することで流延ダイから流出したポリマー溶液により流延膜を形成し、裏面における溶接部が３μｍ以上３０μｍ以下の範囲内の高さにされている金属製のベルトと、ベルトが巻き掛けられて少なくとも一方が周方向に回転することによりベルトを走行させ、少なくとも一方の周面温度の調節により、ベルトの流延膜が形成される流延面の温度を調整する一対のローラと、ベルトから流延膜を剥がして形成されたフィルムの各側部を保持した状態でフィルムを長手方向へ搬送し、搬送中のフィルムを加熱により乾燥しながら、幅方向に延伸するテンタとを備え、製造するフィルムは５０μｍ以下の厚みであり、ベルトの裏面における深さが３μｍ以上３００μｍ以下の範囲内の窪みが存在した場合には、窪みの表面の最大傾斜度が０．１μｍ／ｍｍ以上１．５μｍ／ｍｍ以下の範囲内であることを特徴として構成されている。

上記窪みは円錐形状であることが好ましい。上記最大傾斜度は、上記窪みの表面における接線のうち上記裏面に対する角度θ（ただし、０°≦θ≦９０°）が最も大きい接線を斜辺とし、かつ、上記裏面上の直線と、この裏面上の直線に下した上記接線からの垂線とで形成される直角三角形において、上記垂線の長さをＬ１μｍとし、上記裏面上の直線の長さをＬ２ｍｍとするときに、Ｌ１／Ｌ２で算出する傾斜度であることが好ましい。

ベルトの流延面における溶接部は非溶接部に対して０．１℃以上１．０℃以下の範囲内の温度差とされていることが好ましい。フィルムを５％以上４０％以下の範囲内の延伸倍率で延伸する場合に、上記の溶液製膜方法及び溶液製膜装置は特に有効である。

本発明によれば、長手方向において周期的な上記のへこみ部の発生が抑制され、幅方向での延伸処理が施された５０μｍ以下という薄い長尺のフィルムを製造することができる。

溶液製膜装置の概略図である。 ベルトの平面図である。 図２の（III）−（III）線に沿うベルトの断面図である。 ベルトの流延面における温度差の求め方の説明図である。 ベルトの裏面の窪みの説明図である。 ベルトの裏面の窪みの説明図である。 テンタの概略図である。

図１に示す溶液製膜装置１０は、ドープ１１からフィルム１２を連続的に製造するためのものである。フィルム１２は、厚みが５０μｍ以下のものであり、本実施形態では厚みが１０μｍ以上５０μｍ以下の範囲内としている。ドープ１１は、ポリマーが溶媒に溶解したポリマー溶液である。本実施形態では、ポリマーとしてセルローストリアセテート（ＴＡＣ，triacetylcellulose）、溶媒としてジクロロメタンとメタノールとの混合物を用いているが、ポリマー及び溶媒はこれらに限定されない。本発明で用いることができるポリマー及び溶媒の詳細については後述する。ドープ１１には、可塑剤、紫外線吸収剤、レタデーション制御剤等の各種添加剤や、フィルム同士の貼り付きを防止するためのマット剤が含まれていてもよい。

溶液製膜装置１０は、流延ユニット１５と、テンタ１６と、ローラ乾燥機１７と、巻取機１８とを、上流側から順に備える。流延ユニット１５は、環状に形成されたベルト２１と、ベルト２１を周面で支持して長手方向Ｚ１へ走行させる一対のローラ２２，２３と、流延ダイ２４と、剥取ローラ２５とを備える。なお、フィルム１２の長手方向にも符号Ｚ１を付す。一対のローラ２２，２３の少なくとも一方は周方向に回転し、この回転により、巻き掛けられたベルト２１は長手方向Ｚ１へ連続走行する。本実施形態においては、ローラ２２とローラ２３との両方を周方向に駆動回転させている。ベルト２１の詳細については別の図面を用いて後述する。流延ダイ２４は、この例ではローラ２２の上方に配しているが、ローラ２２とローラ２３との間のベルト２１の上方に配してもよい。

流延ダイ２４は、供給されてきたドープ１１を、ベルト２１に対向する流出口２４ａから連続的に流出する。走行中のベルト２１上にドープ１１を連続的に流出することにより、ドープ１１はベルト２１上で流延され、ベルト２１上に流延膜２６が形成される。図１においては、ドープ１１がベルト２１に接触して流延膜２６が形成され始める位置（以下、流延位置と称する）に、符号ＰＣを付す。

ローラ２２，２３は、周面温度を調節する温度コントローラ２２ａ，２３ａ（図４参照）を備える。周面温度を調節したローラ２２，２３により、ベルト２１を介して流延膜２６は温度を調整される。

本実施形態は、乾燥ゲル化方式により流延膜２６を固めている。乾燥ゲル化方式は、流延膜２６を加熱して乾燥を促進することにより固める（ゲル化する）ものである。ローラ２２からローラ２３へ向かうベルト２１に対向して送風部２７、ローラ２３からローラ２２へ向かうベルト２１に対向して送風部２８を設けることが、流延膜２６の乾燥をより促進する点で好ましく、本実施形態でもそのようにしている。送風部２７，２８は、ベルト２１に対向する対向面に複数のノズル（図示無し）をそれぞれ有し、これらのノズルから温度が調節された空気を送り出す。

流延ダイ２４からベルト２１に至るドープ１１、いわゆるビードに関して、ベルト２１の長手方向Ｚ１における上流には、減圧チャンバ（図示無し）が設けられてもよい。この減圧チャンバは、流出したドープ１１の上流側エリアの雰囲気を吸引してこのエリアを減圧する。この減圧により、流出口２４ａからベルト２１に向かうドープ１１の形状が安定化される。

流延膜２６を、テンタ１６への搬送が可能な程度にまでベルト２１上で固めてから、溶媒を含む状態でベルト２１から剥がす。剥取ローラ２５は、流延膜２６をベルト２１から連続的に剥ぎ取るためのものである。剥取ローラ２５は、ベルト２１から剥ぎ取ることで形成されたフィルム１２を例えば下方から支持し、流延膜２６がベルト２１から剥がれる剥取位置ＰＰを一定に保持する。剥ぎ取る手法は、フィルム１２を下流側へ引っ張る手法や、剥取ローラ２５を周方向に回転させる手法等のいずれでもよい。

ベルト２１からの剥ぎ取りは、乾燥ゲル化方式の場合には、例えば、流延膜２６の溶媒含有率が３質量％以上１００質量％以下の範囲にある間に行われる。なお、本明細書においては、溶媒含有率（単位；％）は乾量基準の値であり、具体的には、溶媒含有率を求めるべき測定対象のフィルム１２の質量をＸ、このフィルム１２を完全に乾燥した後の質量をＹとするときに、｛（Ｘ−Ｙ）／Ｙ｝×１００で求める百分率である。なお、「完全に乾燥」とは溶媒の残留量が厳格に「０」である必要はなく、例えば本実施形態では、測定対象のフィルム１２に対して、１２０℃以上、相対湿度１０％以下の恒温槽内で３時間以上の乾燥処理を行った後の質量をＹとしている。

以上のように流延ユニット１５は、ドープ１１からフィルム１２を形成する。ベルト２１は流延位置ＰＣと剥取位置ＰＰとを循環して走行することで、ドープ１１の流延と流延膜２６の剥ぎ取りとが繰り返し行われる。

流延ユニット１５とテンタ１６との間のフィルム１２の搬送路には、フィルム１２の乾燥をすすめるための送風機（図示無し）を配してもよい。剥ぎ取られて形成されたフィルム１２は、テンタ１６に案内される。テンタ１６は、フィルム１２を、長手方向Ｚ１と直交する幅方向Ｚ２に延伸する延伸機としての機能と、フィルム１２を加熱して乾燥する第１の乾燥機としての機能とをもつ。詳細は別の図面を用いて後述するが、テンタ１６では、フィルム１２の各側部をそれぞれクリップ３１で把持し、クリップ３１をフィルム１２の長手方向Ｚ１に移動しながら、対向するクリップの間隔（以下、対向クリップ間隔という）を大きくすることによって、フィルム１２を長手方向Ｚ１に搬送しながら幅方向Ｚ２に延伸する。

テンタ１６は、エア供給部３２と送風部３３とを備える。エア供給部３２は、各種温度に調節した乾燥した空気を送風部３３に供給し、この送風部３３からテンタ１６内のフィルム１２に空気を吹き付けて乾燥させる。また、この空気の吹き付けにより、テンタ１６の後述の各区間におけるフィルム１２の加熱や冷却を行っており、この加熱や冷却によりフィルム１２の温度が調節される。

ローラ乾燥機１７は、第２の乾燥機であり、複数のローラ３４と空調機（図示無し）とを備える。各ローラ３４はフィルム１２を周面で支持する。フィルム１２はローラ３４に巻き掛けられて搬送される。空調機は、ローラ乾燥機１７の内部の温度や湿度などを調節する。巻取機１８は、フィルム１２をロール状に巻き取るためのものである。

図２を参照しながらベルト２１について説明する。ベルト２１は、金属製であり、本実施形態ではオーステナイト系のステンレス鋼から形成されている。ベルト２１は、圧延により長尺のベルト材とされた金属板の長手方向の一端と他端とを突き合わせて溶接し、この溶接部を研磨することでつくられる。溶接部２１ｗは、長手方向Ｚ１と交差する方向に延びている。溶接部２１ｗは、ベルト２１の幅方向Ｚ２に延びていてもよいし、本実施形態のように幅方向Ｚ２と交差する方向に延びていてもよい。なお、流延膜２６とフィルム１２との幅方向は、ベルト２１の幅方向と一致するので、流延膜２６とフィルム１２との幅方向にも符号Ｚ２を付す。流延膜２６が形成されるベルト面を流延面２１ａと称し、流延面２１ａと反対側のベルト面を裏面２１ｂと称する。溶接部２１ｗは、流延面２１ａに加えて、後述のように裏面２１ｂも研磨処理されている。

溶接部２１ｗは、ベルト材の一端と他端とを突き合わせて溶接する場合に、加熱により溶融された領域であり、目視で特定することができる。なお、ベルト２１の溶接部２１ｗを除く領域を、以下、非溶接部２１ｎと称する。本実施形態のベルト２１の厚みＴ２１（図３参照）は１．５ｍｍとされている。ただしベルト２１の厚みＴ２１はこれに限定されず、０．５ｍｍ以上２．５ｍｍ以下の範囲内であるときに本発明は特に効果が大きい。ベルト２１は、できるだけ均一な厚みＴ２１になるようにつくられる。しかし、５０μｍ以下の厚みのフィルム１２を、例えばテンタ１６により、幅方向で延伸して製造する場合において、フィルムに前述のへこみ部が認められる場合のベルトは、裏面において溶接部が盛り上がって凸になっており、この部分のベルトの厚みは非溶接部での厚みよりも厚くなっている。そこで、ベルト２１の裏面２１ｂは、溶接部２１ｗの高さＨが３μｍ以上３０μｍ以下の範囲内とされている。裏面２１ｂにおける溶接部２１ｗの符号Ｈで示す高さを、以下、溶接部高さと称する。溶接部高さＨが３０μｍ以下である場合には、３０μｍよりも大きい場合に比べて、ローラ２２，２３から流延面２１ａ全体への伝熱が一様になり、後述のように、流延面２１ａは非溶接部２１ｎと溶接部２１ｗとの温度差が小さくなる。また、溶接部高さＨを３μｍ未満にすることは、研磨処理という加工の精度上難しい。溶接部高さＨは、３μｍ以上２０μｍ以下の範囲内であることがより好ましく、３μｍ以上１０μｍ以下の範囲内であることがさらに好ましい。

溶接部高さＨを上記範囲内にするためには、溶接部２１ｗの裏面２１ｂを研磨するとよい。本実施形態では、研磨に砥石を用いている。溶接部高さＨは、裏面２１ｂにおける非溶接部２１ｎからの突出量であり、例えばレーザー変位計により求めることができ、本実施形態では（株）キーエンス製のＬＪ−Ｖ７０８０を用いている。レーザー変位計を用いて溶接部高さＨを求める場合には、裏面２１ｂの溶接部２１ｗの幅方向（図３における水平方向）での中央を中心にして２００ｍｍの範囲について例えば連続的に裏面２１ｂにおける非溶接部２１ｎからの突出量を測定し、測定値の中の最大値を溶接部高さＨとするとよい。

流延面２１ａにおける溶接部２１ｗは非溶接部２１ｎに対して０．１℃以上１．０℃以下の範囲内の温度差とされることが好ましい。すなわち、流延面２１ａにおいて、溶接部２１ｗの温度をＴｗとし、非溶接部２１ｎの温度をＴｎとするときに、｜Ｔｗ−Ｔｎ｜で求める温度差は０．１℃以上１．０℃以下の範囲内であることが好ましい。この温度差｜Ｔｗ−Ｔｎ｜は、０．１℃以上０．５以下の範囲内であることがより好ましく、０．１℃以上０．３℃以下の範囲内であることがさらに好ましい。温度差｜Ｔｗ−Ｔｎ｜の求め方の詳細は、別の図面を用いて後述する。

前述の温度差｜Ｔｗ−Ｔｎ｜の求め方について図４を参照しながら説明する。温度差｜Ｔｗ−Ｔｎ｜は、例えば市販の感温液晶シートを用いて求めることができる。感温液晶シートは、周知のように、温度によって色が変わる液晶をマイクロカプセル化し、このマイクロカプセルを、紙やポリマー等から形成されたフィルムに印刷などによって担持させたシートである。本実施形態では、感温液晶シートとして、日本マイクロカプセル社製のＲＷ−２５を用いている。温度差｜Ｔｗ−Ｔｎ｜は、感温液晶シートを用いて以下の方法で求めることができる。

まず、走行を開始する前のベルト２１の流延面２１ａに感温液晶シート３８を貼り付ける。本実施形態では、３枚の感温液晶シート３８を貼り付けているが、この枚数に限定されない。各感温液晶シート３８は、溶接部２１ｗが感温液晶シート３８のシート面における概ね中央を通るように貼り付ける。また、ローラ２３の周面に対向して、カメラを配する。本実施形態では、ローラ２３とベルト２１とが接触している領域の上流端から、ローラ２３の周の長さの１／８だけ下流側の位置に、カメラをベルト２１に対向させて配置した。温度コントローラ２２ａによりローラ２２の周面温度を１９℃、温度コントローラ２３ａによりローラ２３の周面温度を３２℃にして、ベルト２１を３５ｍ／分で走行させる。ベルト２１の走行により、感温液晶シート３８を、５回ローラ２３上を通過させる。５回目の通過の際に、カメラで感温液晶シート３８を撮影する。本実施形態では、３枚の感温液晶シート３８をそれぞれ撮影しているが、これらから選ばれる１枚あるいは２枚を撮影してもよい。例えば、感温液晶シート３８のうち長手方向Ｚ１における最も上流側の１枚のみを撮影してもよい。撮影された感温液晶シート３８の色から、流延面２１ａにおける溶接部２１ｗの温度Ｔｗと非溶接部２１ｎの温度Ｔｎとを求め、その差を算出する。算出される値の絶対値が温度差｜Ｔｗ−Ｔｎ｜である。

図５に示すようにベルト２１の裏面２１ｂに、３μｍ以上３００μｍ以下の範囲内の深さＤをもつ窪み６１が認められる場合には、窪み６１の表面６１ａの傾斜度のうち最大の傾斜度（以下、最大傾斜度と称する）を０．１μｍ／ｍｍ以上１．５μｍ／ｍｍ以下の範囲内とすることが好ましく、本実施形態では例えば１．０μｍ／ｍｍとしている。傾斜度は、図５に示すように、窪み６１の表面６１ａにおける接線ＬＣを描いたときに、接線ＬＣを斜辺とし、この斜辺と、裏面２１ｂ上の直線と、この裏面２１ｂ上の直線に下した接線ＬＣからの垂線（厚み方向Ｚ３に伸びた直線）とからなる直角三角形において、垂線の長さＬ１（単位はμｍ）を、裏面２１ｂ上の直線の長さＬ２（単位はｍｍ）で除した値であり、すなわちＬ１／Ｌ２で算出される値（単位はμｍ／ｍｍ）である。したがって、窪み６１の表面における接線のうち、裏面２１ｂに対する角度（ただし、この角度をθとするときに、０°≦θ≦９０°とする）が最も大きい接線を斜辺としてもつ直角三角形において求めた傾斜度が最大傾斜度である。最大傾斜度は０．２μｍ／ｍｍ以上１．２μｍ／ｍｍ以下の範囲内とすることがより好ましく、０．３μｍ／ｍｍ以上１．０μｍ／ｍｍ以下の範囲内とすることがさらに好ましい。なお、傾斜度は、裏面２１ｂに沿って区切った各区間内において、平均値としてもとめてもよく、さらに具体的な求め方は後述する。

窪み６１の最大傾斜度を上記範囲内にする場合の例を以下に説明する。ベルト２１には、溶接等による部分的な熱処理による変形が生じたり、流涎面２１ａに窪み状の欠陥が生じることがある。こうした変形や窪み状の欠陥を平らにするために、ベルト２１の裏面２１ｂに、パンチング、研削、研磨を行い、その後、流延面２１ａ側の盛り上がった部分を削って平坦にする場合がある。パンチングは、ポンチと呼ばれる叩き部材で叩く処理であり、ベルト２１の裏面２１ｂを叩いて行う処理なのでバックパンチと呼ばれる。流延面２１ａを平坦にするこのような処理によって、裏面２１ｂには、図６に示すような窪み６２が残ることがある。この窪み６２は、例えば、ポンチの先端の跡である急峻な傾斜の表面と、その周辺が研削による緩やかな傾斜の表面とを有する。この窪み６２の最大傾斜度が１．５μｍ／ｍｍよりも大きい場合には、窪み６２の表面６２ａをさらに研削する、あるいは、ベルト２１を構成する金属と同じ金属を用いて窪み６２を溶接により埋め、埋めて形成された肉盛り部分を研削するなどして、最大傾斜度が０．１μｍ／ｍｍ以上１．５μｍ／ｍｍ以下である図５に示す窪み６１にする。なお、研削の代わりに研磨してもよいし、研削に加えて研磨してもよい。本実施形態では、研磨に砥石を用いている。図５に示す窪み６１の深さは、３００μｍ以下であれば図６に示す窪み６２の深さより深くてもよい。なお、図５に示す窪み６１は、概ね円錐形状であり、すなわち概ね三角形の断面形状をもつ。この窪み６１の裏面２１ｂにおける開口の径は、図６に示す窪み６２の裏面２１ｂにおける開口の径より大きくてもよく、５０ｍｍ以上６００ｍｍ以下の範囲内であることが好ましい。

窪み６１の形状は、例えばレーザー変位計により求めることができ、本実施形態では（株）キーエンス製のＬＪ−Ｖ７０８０を用いている。最大傾斜度を求める方法として、例えば、以下のような方法がある。まず、レーザー変位計により窪み６１の最深部を通るようにベルト２１の例えば幅方向Ｚ２に沿って窪み６１の断面形状を測定する。その測定した断面形状について、横軸を測定した例えば幅方向Ｚ２での距離、縦軸を深さＤとしてグラフ化する。窪み６１の最深部を起点に、幅方向Ｚ２において５ｍｍ以上２０ｍｍ以下の程度の一定幅の区間毎に、傾斜度としての傾きを複数求めて、それらの平均値としての平均傾きを求める。各区間の平均傾きを窪み６１の裏面２１ｂにおける開口端である端部まで順次求める。これらの平均傾きの最大値を最大傾斜度とする。なお、平均傾きの求め方としては、上記区間毎に求めた実測値を用いる、上記区間内の曲線の傾き（微分値）を平均化する等の方法がある。最大傾斜度を求める際には、各計測エラーを除くために、複数の平均傾きの値のうち、最大値と最小値とを除くなどの方法も適用できる。

図７に示すように、テンタ１６は、上述のクリップ３１、エア供給部３２、送風部３３と、レール４１，４２と、チャンバ４３とを有する。チャンバ４３内では、搬送路は、上流側から順番に、予熱工程のための予熱区間４５、延伸工程のための延伸区間４６、緩和工程のための緩和区間４７、冷却工程のための冷却区間４８に区分されている。予熱区間４５、延伸区間４６、緩和区間４７、冷却区間４８は、送風部３３（図１参照）から送り出される空気の温度と、レール４１，４２の設置態様とによって空間的に区分されて形成されたものであり、仕切り等による区分によって形成されたものではない。また、予熱区間４５よりも上流に把持開始位置、冷却区間４８よりも下流側に把持解除位置をそれぞれ設定してある。

レール４１，４２は、フィルム１２の搬送路の両側に配されている。レール４１，４２には、それぞれ複数のクリップ３１が設けられている。各クリップ３１は、対応するレール４１，４２に沿って移動自在であり、その移動方向はレール４１，４２によって規定される。各レール４１，４２は、クリップ３１を把持開始位置から把持解除位置に移動する往路部と、把持解除位置にまで移動したクリップ３１を把持開始位置に戻す復路部とを有した環状に設けられている。クリップ３１は、一定の間隔で各レール４１，４２の全周にあるが、図７では一部のクリップ３１のみを描いてある。なお、本実施形態ではフィルム１２の側部を保持する保持部材としてクリップ３１を用いているが、保持部材はこれに限定されない。例えば、フィルムの側部に複数のピンを突き刺すことでフィルム１２を保持するピンプレートを、クリップ３１に代えて用いてもよい。

レール４１，４２には、それぞれ複数のクリップ３１を所定の間隔で取り付けた環状のチェーン（図示無し）がレールに沿って移動自在に設けられている。チェーンは、把持開始位置よりも上流側に配されるターンホイール５１と、把持解除位置よりも下流側に配されるスプロケット５２に掛けられている。スプロケット５２が駆動部（図示無し）によって回転することにより、チェーンがレール４１，４２に沿って循環移動する。このチェーンの移動により各クリップ３１がレール４１，４２に沿って一定の速度で移動する。なお、以下では、往路部、復路部を特に明示しない場合は、レール４１，４２として往路部について説明する。

把持開始位置には、クリップ３１にフィルム１２の側端の把持を開始させる把持開始部材（図示無し）が設けられている。また、把持解除位置には、クリップ３１にフィルム１２の側部の把持を解除させる把持解除部材（図示無し）が設けられている。これにより、フィルム１２は、各側部が把持開始位置でクリップ３１に把持され、クリップ３１の移動により長手方向Ｚ１に搬送されて、予熱区間４５、延伸区間４６、緩和区間４７、冷却区間４８を順次通過する。予熱区間４５、延伸区間４６、緩和区間４７、冷却区間４８を通過する間にフィルム１２は区間ごとの処理が施され、把持解除位置でクリップ３１の把持が解除される。

把持開始位置から延伸区間４６に至るまでは、レール４１，４２は、長手方向Ｚ１と平行で、互いの間隔（以下、レール間隔という）を一定にしてある。これにより、対向したレール４１上のクリップ３１とレール４２上のクリップ３１との対向クリップ間隔を一定にした状態で、クリップ３１を長手方向Ｚ１に移動する。

予熱区間４５では、延伸される前のフィルム１２を加熱（以下、予熱という）する。したがって、予熱区間４５ではフィルム１２は、延伸しない状態で予熱される。予熱は、エア供給部３２からの加熱された空気により行う。この空気の温度は、２５℃以上１２０℃以下の範囲とすることが好ましい。

延伸区間４６では、レール４１，４２は直線に配されているが、長手方向Ｚ１との間で延伸角度θをなすように外向きに角度を付けて配してあり、下流に向かってレール間隔が次第に広くなる。これにより、クリップ３１の移動方向を長手方向Ｚ１に対して延伸角度θだけ外側に向け、クリップ３１の長手方向Ｚ１の移動にともなって対向クリップ間隔を漸増しフィルム１２を幅方向Ｚ２に延伸する。この延伸区間４６では、延伸前の幅Ｗ１のフィルム１２を幅Ｗ２にまで拡げる。なお、予熱区間４５では長手方向Ｚ１に対してレール４１，４２が平行であるから、延伸角度θは、予熱区間４５に対する延伸区間４６におけるクリップ３１の移動方向の増分の角度である。延伸倍率α（単位は％）は、α＝（Ｗ２／Ｗ１）×１００によって求められ、例えば目標とする光学特性に基づいて設定される。延伸倍率αが大きい場合ほどへこみ部は現れやすく、延伸倍率αが５％以上４０％以下の範囲内である場合に、特に顕著な効果が得られる。

延伸区間４６では、エア供給部３２からの加熱された空気によりフィルム１２を加熱する。延伸区間４６におけるフィルム１２の温度は、例えば目標とする光学特性に基づいて設定される。

本実施形態では、緩和区間４７，冷却区間４８は、予熱区間４５と同様に、レール４１，４２が長手方向Ｚ１に平行でありレール間隔を一定にしてある。したがって、これらの緩和区間４７，冷却区間４８では、対向クリップ間隔を一定にした状態でクリップ３１が移動し、フィルム１２は幅Ｗ２を維持して搬送される。緩和区間４７では、フィルム１２を加熱し、冷却区間４８では、フィルム１２を冷却する。なお、緩和区間４７を設けなくてもよい。緩和区間４７及び冷却区間４８におけるフィルム１２の温度は、エア供給部３２からの空気の温度を調節することにより調整される。

上記構成の作用を説明する。ドープ１１は流延ダイ２４から連続的に流出されて、流延位置ＰＣと剥取位置ＰＰとを繰り返し循環して走行するベルト２１上に流延膜２６が形成される（流延工程）。ベルト２１の流延面２１ａは、ローラ２２，２３によって温度を調整されているから、流延膜２６はベルト２１を介して温度が調整され、この温度調整と送風部２７，２８からの空気による乾燥促進とにより固まる。なお、乾燥ゲル化方式であるこの例では、流延膜２６は、ベルト２１を介する加熱と、送風部２７，２８からの空気による加熱とにより、乾燥がすすめられ、溶媒の蒸発により固まる。

ここで、裏面２１ｂにおける溶接部高さＨが大きいほど、裏面２１ｂの溶接部２１ｗのローラ２２，２３に対する接触圧が大きくなるので裏面２１ｂの溶接部２１ｗにおける上記接触圧と非溶接部２１ｎにおける上記接触圧との差である接触圧差は大きくなる。この接触圧差が大きい場合ほど、ローラ２２，２３から流延面２１ａへの伝熱が不均等になるので流延面２１ａにおける温度差｜Ｔｗ−Ｔｎ｜は大きい。製造するフィルム１２が薄いほど流延膜２６も薄く形成され、製造するフィルム１２の厚みが５０μｍ以下の場合には、前述の固さの差が顕著である。このように固さの差が大きすぎる場合には、後に行うテンタ１６での延伸で、固さの差に起因した応力のむらが生じてしまう。この応力のむらは、フィルム１２の乾燥に伴う収縮のむらの原因になり、この収縮の程度が小さいフィルム部分が前述のへこみ部となる。そして、溶接部２１ｗ上の領域に対応するフィルム部分の方が、非溶接部２１ｎ上の領域に対応するフィルム部分に比べて、延伸によって生じる応力が小さいので、乾燥に伴う収縮の程度が小さくなる。つまり、このへこみ部は、流延膜の溶接部２１ｗ上の領域に対応するフィルム領域に発生したものであると考察される。なお、本実施形態のように乾燥ゲル化方式の場合には、ローラ２２，２３からの伝熱の不均等は、流延膜２６における乾燥の程度の差につながり、流延膜２６における溶接部２１ｗ上の領域での固さと非溶接部２１ｎ上の領域での固さとの差は、乾燥の程度の差に対応する。このような乾燥の程度の差は、冷却ゲル化方式による場合と比べて、テンタ１６での延伸に起因する応力を、より不均一にさせる。冷却ゲル化方式は、流延膜を冷却して固めるものである。なお、ベルト２１のローラ２２，２３との接触圧は、例えば、プレスケール（富士フイルム（株）製、ＬＬＬＷ）とプレスケール解析用システム（富士フイルム（株）製、ＦＰＤ−９２７０）により求めることができ、本実施形態でもそうしている。

この点、本実施形態のベルト２１の裏面２１ｂは、溶接部高さＨが３μｍ以上３０μｍ以下の範囲と小さくされているので、流延面２１ａにおいては温度差｜Ｔｗ−Ｔｎ｜が小さい。温度差｜Ｔｗ−Ｔｎ｜が小さいことにより、流延膜２６は、全域にわたり均等に乾燥され、５０μｍ以下のフィルム１２を製造する場合であっても、流延膜２６は溶接部２１ｗ上の領域と非溶接部２１ｎ上の領域との乾燥の程度の差が小さく抑えられる。このため後に行うテンタ１６では、流延膜２６での溶接部２１ｗ上の領域に対応するフィルム１２の領域は、非溶接部２１ｎ上の領域に対応するフィルム１２の領域と概ね等しく延伸される。

流延面２１ａにおける温度差｜Ｔｗ−Ｔｎ｜は０．１℃以上１．０℃以下の範囲内とされているから、流延膜２６は溶接部２１ｗ上の領域と非溶接部２１ｎ上の領域との乾燥の程度の差が極めて小さく抑えられる。

裏面２１ｂにおける３μｍ以上３００μｍ以下の範囲内の深さＤをもつ窪み６１は、最大傾斜度が０．１μｍ／ｍｍ以上１．５μｍ／ｍｍ以下の範囲内に小さく抑えられている。そのため、ベルト２１に付与した高い張力（テンション）により、ベルト２１の伸びと、一対のローラ２２，２３の周面からの圧力との少なくともいずれか一方により、ベルト２１とローラ２２，２３とがより確実に接触する。これにより、ローラ２２，２３からベルト２への伝熱がよりベルト２１全域にわたり均一化し、ベルト２１の温度がより均一に制御される。その結果、図６に示す窪み６２に起因するフィルム１２の窪みの発生が抑制される。なお、窪み６２による伝熱の不均一化に起因するこのフィルム１２の窪みは、長手方向に走行する環状のベルト２１の周回の周期に対応して現れるものであり、例えばテンタ１６を用いて延伸をし、５０μｍ以下の厚みのフィルム１２に認められるものである。そして、この窪みは、フィルム面に略円形に開口したものである。

流延膜２６は、剥取ローラ２５によりベルト２１から剥ぎ取られ、これによりフィルム１２が形成される（剥離工程）。フィルム１２はテンタ１６に案内され、各側部がクリップ３１により把持される。フィルム１２は、クリップ３１により側部を把持された状態で、予熱区間４５、延伸区間４６、緩和区間４７、冷却区間４８を順次通過するように長手方向Ｚ１に搬送され、送風部３３からの空気により乾燥を進められる。把持開始位置から延伸区間４６に至るまでの間では、フィルム１２は延伸されることなく搬送される。予熱区間４５では、フィルム１２は、延伸しない状態で予熱される（予熱工程）。この予熱により、延伸区間４６での延伸が迅速に開始されるようになるとともに、その延伸の際にフィルム１２に対して幅方向Ｚ２でより均一な張力が付与されるようになる。延伸区間４６では、フィルム１２は、加熱により乾燥されながら、幅方向Ｚ２に延伸され、延伸前の幅Ｗ１のフィルム１２を幅Ｗ２にまで拡げる（延伸工程）。この延伸は、フィルム１２を加熱した状態で行われる。緩和区間４７，冷却区間４８では、フィルム１２は幅Ｗ２を維持して搬送される。緩和区間４７では、フィルム１２をその幅Ｗ２を一定にした状態で加熱することにより、延伸区間４６での延伸で生じた歪みを緩和する（緩和工程）。冷却区間４８では、フィルム１２を冷却してフィルム１２の分子を固定する（冷却工程）。

把持解除位置でクリップ３１の把持が解除されたフィルム１２は、ローラ乾燥機１７で乾燥をさらにすすめられる。このように、フィルム１２の乾燥工程は、テンタ１６での予熱区間４５と延伸区間４６と緩和区間４７とによる第１乾燥工程と、ローラ乾燥機１７による第２乾燥工程とを含んでいる。ローラ乾燥機１７により乾燥されたフィルム１２は、巻取機１８により、巻芯に巻き取られてロール状にされる。

フィルム１２は、例えば光学フィルムとして利用することができる。光学フィルムとしては、例えば偏光板の保護フィルムや、位相差フィルムが挙げられる。上記実施形態は、１種のドープ１１を用いて単層構造のフィルム１２を製造する例であるが、製造するフィルムは複層構造であってもよい。複層構造のフィルムを製造する場合には、周知の共流延により、複数種類のドープを流延すればよい。

上記実施形態は、ポリマーとしてＴＡＣを用いた例であるが、ＴＡＣに代えて、ＴＡＣと異なる他のセルロースアシレートや、環状ポリオレフィン等としてもよい。セルロースアシレートについて、詳細を以下に説明する。

＜セルロースアシレート＞
セルロースアシレートは、セルロースの水酸基をカルボン酸でエステル化している割合、つまりアシル基の置換度（以下、アシル基置換度と称する）が下記式（１）〜（３）の全ての条件を満足するものが特に好ましい。なお、（１）〜（３）において、Ａ及びＢはともにアシル基置換度であり、Ａにおけるアシル基はアセチル基であり、Ｂにおけるアシル基は炭素原子数が３〜２２のものである。
２．４≦Ａ＋Ｂ≦３．０・・・（１）
０≦Ａ≦３．０・・・（２）
０≦Ｂ≦２．９・・・（３）

セルロースを構成し、β−１，４結合しているグルコース単位は、２位、３位及び６位に遊離の水酸基を有している。セルロースアシレートは、このようなセルロースの水酸基の一部または全部がエステル化されて、水酸基の水素が炭素数２以上のアシル基に置換されたポリマーである。なお、グルコース単位中のひとつの水酸基のエステル化が１００％されていると置換度は１であるので、セルロースアシレートの場合には、２位、３位及び６位の水酸基がそれぞれ１００％エステル化されていると置換度は３となる。

ここで、グルコース単位で２位のアシル基置換度をＤＳ２、３位のアシル基置換度をＤＳ３、６位のアシル基置換度をＤＳ６として「ＤＳ２＋ＤＳ３＋ＤＳ６」で求められる全アシル基置換度は２．００〜３．００であることが好ましく、２．２２〜２．９０であることがより好ましく、２．４０〜２．８８であることがさらに好ましい。さらに、「ＤＳ６／（ＤＳ２＋ＤＳ３＋ＤＳ６）」は０．３２以上であることが好ましく、０．３２２以上であることがより好ましく、０．３２４〜０．３４０であることがさらに好ましい。

アシル基は１種類だけでもよいし、２種類以上であってもよい。アシル基が２種類以上であるときには、そのひとつがアセチル基であることが好ましい。２位、３位、及び６位の水酸基の水素のアセチル基による置換度の総和をＤＳＡとし、２位、３位、及び６位におけるアセチル基以外のアシル基による置換度の総和をＤＳＢとするとき、「ＤＳＡ＋ＤＳＢ」の値は、２．２〜２．８６であることが好ましく、２．４０〜２．８０であることが特に好ましい。ＤＳＢは１．５０以上であることが好ましく、１．７以上であることが特に好ましい。そして、ＤＳＢは、その２８％以上が６位水酸基の置換であることが好ましいが、より好ましくは３０％以上、さらに好ましくは３１％以上、特に好ましくは３２％以上が６位水酸基の置換であることが好ましい。また、セルロースアシレートの６位の「ＤＳＡ＋ＤＳＢ」の値が０．７５以上であることが好ましく、０．８０以上であることがより好ましく、０．８５以上であることが特に好ましい。以上のようなセルロースアシレートを用いることにより、溶液製膜に用いられるポリマー溶液をつくるために好ましい溶解性が得られる。

炭素数が２以上であるアシル基としては、脂肪族基でもアリール基でもよく、特に限定されない。例えばセルロースのアルキルカルボニルエステル、アルケニルカルボニルエステルあるいは芳香族カルボニルエステル、芳香族アルキルカルボニルエステルなどがあり、これらは、それぞれさらに置換された基を有していてもよい。プロピオニル基、ブタノイル基、ペンタノイル基、ヘキサノイル基、オクタノイル基、デカノイル基、ドデカノイル基、トリデカノイル基、テトラデカノイル基、ヘキサデカノイル基、オクタデカノイル基、ｉｓｏ−ブタノイル基、ｔ−ブタノイル基、シクロヘキサンカルボニル基、オレオイル基、ベンゾイル基、ナフチルカルボニル基、シンナモイル基などを挙げることが出来る。これらの中でも、プロピオニル基、ブタノイル基、ドデカノイル基、オクタデカノイル基、ｔ−ブタノイル基、オレオイル基、ベンゾイル基、ナフチルカルボニル基、シンナモイル基などがより好ましく、プロピオニル基、ブタノイル基が特に好ましい。

ポリマーとしてセルロースアシレートを用いる場合には、ドープ１１の溶媒としては、セルロースアシレートフィルムを溶液製膜で製造する場合のドープの溶媒として公知のものを用いることができる。例えば、ジクロロメタン、各種アルコール、各種ケトン等である。これらから選ばれる複数を混合して、この混合物を溶媒として用いてもよい。

以下、本発明の実施例と、本発明に対する比較例とを挙げる。

［実施例１］〜［実施例８］
実施例１〜８では、溶液製膜装置１０によりフィルム１２を製造した。各実施例の条件は、表１に示す。表１において、用いたベルト２１の溶接部高さＨは「溶接部高さＨ」欄に、流延面２１ａにおける温度差｜Ｔｗ−Ｔｎ｜は「温度差｜Ｔｗ−Ｔｎ｜」欄に、製造したフィルム１２の厚みは「フィルムの厚み」欄に示す。また、ローラ２２，２３の各周面温度は「ローラ２２の周面温度」欄と「ローラ２３の周面温度」欄とに示す。

各フィルム１２について、へこみ部の有無及び程度を評価した。評価は、各フィルム１２からサンプリングしたサンプルに蛍光灯で光を照射し、目視で観察した。なお、サンプリングは、各フィルム１２の全幅域とし、このサンプル内に溶接部２１ｗ上で形成された箇所が含まれるように行った。目視での観察は、まず、サンプルのフィルム面から１ｍ離れた位置で行い、へこみ部が観察されなかった場合にはフィルム面から５０ｃｍ離れた位置で行った。観察結果を以下の基準で評価した。Ａは合格レベルであり、Ｂ，Ｃは不合格レベルである。評価結果は表１に示す。なお、下記のＣと評価されたフィルムを、防眩性シートや偏光板保護フィルムに用いるために塗布液を塗布したり他のフィルムと貼り合わせた場合には、塗布液の塗布むらが生じたり、変形してしまうことがある。
Ａ：フィルム面から５０ｃｍ離れた位置で観察してへこみ部が認められない
Ｂ：フィルム面から５０ｃｍ離れた位置で観察してへこみ部が認められる
Ｃ：フィルム面から１ｍ離れた位置で観察してへこみ部が認められる

［比較例１］
表１に示される溶接部高さＨのベルトを備える溶液製膜装置により、フィルムを製造し、比較例１とした。この比較例の条件は表１に示す。また、得られたフィルムについて、実施例と同じ方法及び基準で評価した。評価結果は表１に示す。

なお、比較例１で得られたフィルムにはへこみ部があり、このへこみ部は、長手方向Ｚ１に延びた細かい溝が長手方向Ｚ１に交差する方向に複数ならんだものであることが確認された。溝は、長さ４０ｍｍ以上５０ｍｍ以下の範囲内、幅が１０ｍｍ以上１５ｍｍ以下の範囲内の細長いものであった。

［実施例９］〜［実施例１６］
溶液製膜装置１０によりフィルム１２を製造した。各実施例の条件は、表２に示す。表２において、用いたベルト２１の裏面２１ｂにおける窪み６１の深さＤは「深さＤ」欄に、最大傾斜度は「最大傾斜度」欄に、流延面２１ａにおける温度差｜Ｔｗ−Ｔｎ｜は「温度差｜Ｔｗ−Ｔｎ｜」欄に、製造したフィルム１２の厚みは「フィルムの厚み」欄にローラ２２，２３の各周面温度は「ローラ２２の周面温度」欄と「ローラ２３の周面温度」欄に、製造するフィルム１２の厚みを「フィルムの厚み」欄にそれぞれ示す。なお、ベルト２１の溶接部高さＨは、いずれも５．０μｍであった。

各フィルム１２について、略円形の開口をもつ窪みの抑制効果を評価した。略円形の開口をもつ窪みは、フィルム面に対してキセノンランプを用いて光を照射して目視で観察した場合に、深さが深いほど黒味が増して観察される。つまり、黒味が薄いほど、窪みの深さが浅い。そして、黒味がかった部分が認められない場合には、上記の略円形の開口をもつ窪みが無い、もしくは窪みの深さが極めて浅いことを意味する。そこで、評価は、キセノンランプにより各フィルム１２に光を照射して、目視で観察する方法で行った。実施例９〜１６のうち、最も黒味がかった部分が認められたものは実施例１６のフィルム１２であったものの、この実施例１６のフィルム１２でも実用上は問題ないレベルであり、合格レベルの範疇であった。この実施例１６を基準とし（表２において「基準」と記載する）、以下の基準で実施例９〜１５を評価した。
Ａ；黒味がかった部分が目視で認められない。
Ｂ；黒味がかった部分はあるが、実施例１６のフィルムに比べて黒味が薄く観察される。

１０ 溶液製膜装置
１１ ドープ
１２ フィルム
１５ 流延ユニット
１６ テンタ
１７ ローラ乾燥機
１８ 巻取機
２１ ベルト
２１ａ 流延面
２１ｂ 裏面
２１ｎ 非溶接部
２１ｗ 溶接部
２２，２３ ローラ
２２ａ，２３ａ 温度コントローラ
２４ 流延ダイ
２４ａ 流出口
２５ 剥取ローラ
２６ 流延膜
２７ 送風部
２８ 送風部
３１ クリップ
３２ エア供給部
３３ 送風部
３４ ローラ
３８ 感温液晶シート
４１，４２ レール
４３ チャンバ
４５ 予熱区間
４６ 延伸区間
４７ 緩和区間
４８ 冷却区間
５１ ターンホイール
５２ スプロケット
６１ 窪み
６１ａ 表面
６２ 窪み
６２ａ 表面
ＣＬ 接線
Ｈ 溶接部高さ
Ｌ１ 垂線の長さ
Ｌ２ 裏面２１ｂ上の直線の長さ
ＰＣ 流延位置
ＰＰ 剥取位置
Ｔ２１ ベルトの厚み
Ｚ１ 長手方向
Ｚ２ 幅方向
Ｚ３ 厚み方向

Claims (10)

1. 環状に形成され、一対のローラに巻き掛けられて長手方向へ走行する金属製のベルト上に、ポリマーが溶媒に溶解したポリマー溶液を流延ダイから連続的に流出することにより流延膜を形成する流延工程と、
   前記流延膜を前記ベルトから剥がすことによりフィルムを形成する剥離工程と、
   前記フィルムの各側部を保持した状態で前記フィルムを長手方向に搬送し、搬送中の前記フィルムを加熱により乾燥しながら、幅方向に延伸する延伸工程とを有し、
   製造するフィルムは５０μｍ以下の厚みであり、
   前記ベルトの前記流延膜が形成される流延面の温度は前記一対のローラの少なくとも一方の周面温度の調節により調整され、
   前記ベルトの裏面における溶接部は、３μｍ以上３０μｍ以下の範囲内の高さにされており、
   前記ベルトの前記裏面における深さが３μｍ以上３００μｍ以下の範囲内の窪みが存在した場合には、前記窪みの表面の最大傾斜度が０．１μｍ／ｍｍ以上１．５μｍ／ｍｍ以下の範囲内であることを特徴とする溶液製膜方法。
2. 前記窪みは円錐形状である請求項１に記載の溶液製膜方法。
3. 前記最大傾斜度は、
   前記窪みの表面における接線のうち前記裏面に対する角度θ（ただし、０°≦θ≦９０°）が最も大きい接線を斜辺とし、かつ、前記裏面上の直線と、前記裏面上の直線に下した前記接線からの垂線とで形成される直角三角形において、前記垂線の長さをＬ１μｍとし、前記裏面上の直線の長さをＬ２ｍｍとするときに、Ｌ１／Ｌ２で算出する傾斜度である請求項１または２に記載の溶液製膜方法。
4. 前記流延面における前記溶接部は非溶接部に対して０．１℃以上１．０℃以下の範囲内の温度差とされている請求項１ないし３のいずれか１項に記載の溶液製膜方法。
5. 前記延伸工程は、前記フィルムを５％以上４０％以下の範囲内の延伸倍率で延伸する請求項１ないし４のいずれか１項に記載の溶液製膜方法。
6. ポリマーが溶媒に溶解したポリマー溶液を連続的に流出する流延ダイと、
   環状に形成され、長手方向に走行することで前記流延ダイから流出した前記ポリマー溶液により流延膜を形成し、裏面における溶接部が３μｍ以上３０μｍ以下の範囲内の高さにされている金属製のベルトと、
   前記ベルトが巻き掛けられて少なくとも一方が周方向に回転することにより前記ベルトを走行させ、少なくとも一方の周面温度の調節により、前記ベルトの前記流延膜が形成される流延面の温度を調整する一対のローラと、
   前記ベルトから前記流延膜を剥がして形成されたフィルムの各側部を保持した状態で前記フィルムを長手方向へ搬送し、搬送中の前記フィルムを加熱により乾燥しながら、幅方向に延伸するテンタとを備え、
   製造するフィルムは５０μｍ以下の厚みであり、
   前記ベルトの前記裏面における深さが３μｍ以上３００μｍ以下の範囲内の窪みが存在した場合には、前記窪みの表面の最大傾斜度が０．１μｍ／ｍｍ以上１．５μｍ／ｍｍ以下の範囲内であることを特徴とする溶液製膜装置。
7. 前記窪みは円錐形状である請求項６に記載の溶液製膜装置。
8. 前記最大傾斜度は、
   前記窪みの表面における接線のうち前記裏面に対する角度θ（ただし、０°≦θ≦９０°）が最も大きい接線を斜辺とし、かつ、前記裏面上の直線と、前記裏面上の直線に下した前記接線からの垂線とで形成される直角三角形において、前記垂線の長さをＬ１μｍとし、前記裏面上の直線の長さをＬ２ｍｍとするときに、Ｌ１／Ｌ２で算出する傾斜度である請求項６または７に記載の溶液製膜装置。
9. 前記ベルトの前記流延面における前記溶接部は非溶接部に対して０．１℃以上１．０℃以下の範囲内の温度差とされる請求項６ないし８のいずれか１項に記載の溶液製膜装置。
10. 前記テンタは、前記フィルムを５％以上４０％以下の範囲内の延伸倍率で前記フィルムを延伸する請求項６ないし９のいずれか１項に記載の溶液製膜装置。

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