JP6354181B2 - ロボットハンド、ロボット、及びロボットハンドの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、ロボットハンド、ロボット、及びロボットハンドの製造方法に関する。

ロボットハンドは、ロボットアームの先端などに取り付けられて、例えば物体の保持や移動を伴う各種作業に利用される（例えば、特許文献１参照）。ロボットハンドには、物体を安定して保持できる性能などが期待されており、その上で物体との接触力などを検出することが有用である。特許文献１には、弾性部材で形成され非圧縮性流体を充てんした受圧部材と、非圧縮性流体の圧力を検出する圧力検出器とを備えるロボット用掌感圧センサが提案されている。

特開平５−１３１３８７号公報

上記の特許文献１の技術においては、ロボットハンドで把持した物体が滑ることなどにより落下することがありえる。本発明は、このような事情を鑑み、物体を安定的に保持できるロボットハンド、ロボット、及びロボットハンドの製造方法を提供することを目的とする。

本発明の第１の態様のロボットハンドは、指部を有するロボットハンドであって、前記指部に設けられ、物体を吸着する吸着部を含む弾性体と、前記指部に設けられ、前記弾性体の変形を検出するセンサーと、を備え、前記吸着部は、前記弾性体の表面に配置された隔壁と、前記隔壁により仕切られ、第１流体が配される第１流体室と、前記第１流体室から前記第１流体を吸引する吸引口と、を有し、前記センサーは、前記弾性体の変形により圧力変化を生じる圧力変化部の圧力を検出可能に配置され、前記圧力変化部は、第２流体が配される第２流体室を含む。

第１の態様のロボットハンドは、吸着部を含む弾性体が設けられている指部に、弾性体の変形を検出するセンサーが設けられているので、物体の吸着状態をセンサーによって精度よく検出できる。その結果、物体の吸着状態を精度よく制御することができ、例えば物体の落下などが防止されるので、物体を安定的に保持できる。

第１の態様のロボットハンドにおいて、吸着部は、弾性体の表面に配置された隔壁と、隔壁により仕切られ、流体が配される第１流体室と、第１流体室から流体を吸引する吸引口と、を有していてもよい。このロボットハンドは、第１流体室からの流体の吸引に伴って隔壁が変形し、隔壁と物体との間が減圧されるので、物体を吸着できる。

第１の態様のロボットハンドにおいて、吸着部は、弾性体の表面に配置された隔壁と、隔壁により仕切られ、流体が配される第１流体室と、第１流体室において隔壁に接続されたワイヤーと、を有していてもおい。このロボットハンドは、ワイヤーにより隔壁が変形し、隔壁と物体との間が減圧されるので、物体を吸着できる。

第１の態様のロボットハンドにおいて、センサーは、弾性体の変形により圧力変化を生じる圧力変化部の圧力を検出可能に配置され、圧力変化部は、流体が配される第２流体室を含んでいてもよい。このロボットハンドは、弾性体の変形により第２流体室の圧力が変化し、第２流体室の圧力をセンサーにより検出するので、物体の吸着状態を精度よく検出できる。その結果、例えば、物体を落とさないように保持すること、物体をつぶさないように保持することなどができる。

第１の態様のロボットハンドにおいて、流体は気体を含み、センサーは気体の圧力を検出可能に配置されていてもよい。このロボットハンドは、流体が液体である場合と比較して、濡れや汚れの付着によるメンテナンスを簡略化あるいは省略することができ、扱いが簡便である。

第１の態様のロボットハンドにおいて、指部には、弾性体およびセンサーを含む構造が複数設けられていてもよい。このロボットハンドは、複数の弾性体により物体を保持しながら、それぞれの弾性体による吸着状態をセンサーにより検出できるので、物体を安定的に保持できる。

第１の態様のロボットハンドは、指部を複数備えていてもよい。このロボットハンドは、多様な物体を安定的に保持することができ、利便性が高い。

本発明の第２の形態のロボットは、指部を有し、指部に設けられ物体を吸着する吸着部を含む弾性体と、指部に設けられ弾性体の変形を検出するセンサーと、を備えるロボットハンドと、ロボットハンドを支持するアームと、を備える。第２の形態のロボットにおいて、ロボットハンドは、吸着部を含む弾性体が設けられている指部に、弾性体の変形を検出するセンサーが設けられているので、物体の吸着状態をセンサーによって精度よく検出できる。その結果、このロボットは、物体の吸着状態を精度よく制御することができ、例えば物体の落下などが防止されるので、物体を安定的に保持できる

第３の態様のロボットハンドの製造方法は、第１の態様のロボットハンドの製造方法であって、ロボットハンドにおいて流体が配される空隙を形成する工程は、空隙となる空間の周囲の一部に、第１壁部を形成するステップと、第１壁部上の空隙となる空間に、犠牲部を形成するステップと、犠牲部上に、空隙となる空間を第１壁部とともに囲む第２壁部を形成するステップと、犠牲部を除去し、第１壁部および第２壁部に囲まれる空間を空隙とするステップと、を含む。

第３の態様のロボットハンドの製造方法によれば、犠牲部を除去し、第１壁部および第２壁部に囲まれる空間を空隙とするので、空隙をその周囲の部材と一体的に形成できる。そのため、物体を安定的に保持可能なロボットハンドの部品数を減らすことなどができる。

第１実施形態に係るロボットハンドを示す斜視図である。 第１実施形態に係る指部を示す断面図である。 吸着動作中における流体室、流体室の圧力変化の一例を示す図である。 （ａ）〜（ｃ）は、ロボットハンド１の製造方法を示す工程図である。 （ａ）〜（ｃ）は、図４（ｃ）から続く工程図である。 （ａ）〜（ｃ）は、図５（ｃ）から続く工程図である。 （ａ）〜（ｃ）は、図６（ｃ）から続く工程図である。 第２実施形態に係るロボットハンドの指部を示す断面図である。 第２実施形態に係る指部の吸着部を示す断面図である。 吸着部の吸着力と圧力センサーの検出値との関係を示す図である。 （ａ）〜（ｃ）は、ロボットハンド１の製造方法を示す工程図である。 （ａ）〜（ｄ）は、図１１（ｃ）から続く工程図である。 （ａ）〜（ｄ）は、図１２（ｄ）から続く工程図である。 （ａ）〜（ｄ）は、図１３（ｄ）から続く工程図である。 第３実施形態に係るロボットハンドの指部を示す断面図である。 第３実施形態に係る指部の吸着部を示す断面図である。 （ａ）〜（ｃ）は、ロボットハンド１の製造方法を示す工程図である。 （ａ）〜（ｃ）は、図１７（ｃ）から続く工程図である。 （ａ）〜（ｃ）は、図１８（ｃ）から続く工程図である。 （ａ）〜（ｃ）は、図１９（ｃ）から続く工程図である。 （ａ）〜（ｃ）は、図２０（ｃ）から続く工程図である。 ロボットの実施形態を示す図である。 ロボットの他の実施形態を示す図である。 ロボットの他の実施形態を示す図である。

［第１実施形態］
図１は、本実施形態に係るロボットハンド１を示す斜視図である。このロボットハンド１は、例えば工具や部品などの対象物を保持する産業用ロボットの保持装置として用いられる。ロボットハンド１は、産業ロボットの他の用途、例えば宇宙関連、医薬関連、食品関連、及び遊具の少なくとも一つの用途にも適用可能である。

図１のロボットハンド１は、指部２と、指部２を支持する支持部３と、支持部３を駆動する駆動部４とを備える。駆動部４は、支持部３を所定軸の周りで回動可能である。本実施形態において、指部２は、第１指部２ａ、第２指部２ｂ、及び第３指部２ｃを含む。第１指部２ａ、第２指部２ｂ、及び第３指部２ｃは、支持部３の所定軸の周方向に離散的に配列されている。第１指部２ａ、第２指部２ｂ、及び第３指部２ｃは、それぞれ、所定軸に近づく向きと離れる向きとに可動であり、例えば手を閉じたり開いたりするような動作が可能である。これにより、ロボットハンド１は、対象物を把持すること、把持されている対象物を開放（リリース）することなどが可能である。

本実施形態において、第１指部２ａ、第２指部２ｂ、及び第３指部２ｃは、それぞれ内部が密閉されている。このため、ロボットハンド１は、食器などの洗浄機内や水槽内など、水分の多い場所の対象物を把持する場合にも用いることができる。また、駆動部４は、カバー部材５により覆われており、外部との干渉やゴミの侵入などから保護されている。

次に、指部２の構成について説明する。本実施形態において、第１指部２ａ、第２指部２ｂ、及び第３指部２ｃは、いずれも同様の構成であるので、ここでは第１指部２ａの構成を説明し、他の指部の説明を適宜省略する。

図１の第１指部２ａは、先端部１０、第１腹部１１、及び第２腹部１２を有する。第２腹部１２は支持部３に対する第１指部２ａの基端部である。第２腹部１２の先端側には第１腹部１１が接続されており、第１腹部１１の先端側には先端部１０が接続されている。先端部１０、第１腹部１１、及び第２腹部１２の各部は、対象物に接触可能であるが、対象物と接触する部分が互いに不連続である。すなわち、第１指部２ａは、対象物を多点支持できる。例えば、先端部１０のうち対象物に接触する部分は、第１腹部１１のうち対象物に接触する部分と不連続である。本実施形態において、先端部１０は、第１腹部１１と一体化されており、第１腹部１１との相対位置が固定されている。また、先端部１０および第１腹部１１は、第２腹部１２と別体であり、第２腹部１２に対する姿勢が可変である。

図２は、指部２（第１指部２ａ）の先端部１０および第１腹部１１を示す断面図である。なお、図２においては、図を見やすくするために適宜ハッチングを省略した。

指部２は、剛性部材１３と、先端部１０に設けられた弾性体１４と、先端部１０に設けられた圧力センサー１５と、第１腹部１１に設けられた弾性体１６と、第１腹部１１に設けられた圧力センサー１７とを備える。

剛性部材１３は、指部２の骨格をなし、指部２の剛性を確保する部材である。剛性部材１３の形成材料は、指部２に要求される剛性に応じて選択され、例えばポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂などの樹脂材料である。

剛性部材１３は、開口１３ａを有する箱状部１８と、開口１３ａを塞ぐ蓋部１９とを有する。箱状部１８の内側の空間は、ゴミなどが侵入しないように、蓋部１９および封止材２０により封止されている。封止材２０は、蓋部１９上とその周囲とにわたって、設けられている。箱状部１８は、開口１３ａと反対側の底部１８ａと、底部１８ａに対して傾斜し、蓋部１９に接続された側部１８ｂとを含む。側部１８ｂは先端部１０に相当し、側部１８ｂには弾性体１４および圧力センサー１５が設けられている。底部１８ａは第１腹部１１に相当し、底部１８ａには弾性体１６および圧力センサー１７が設けられている。

弾性体１４は、その一部が対象物に接触する接触部であり、対象物（物体）を吸着する吸着部２１を含む。弾性体１４は、弾性変形可能に形成され、弾性体１４の形成材料は、剛性部材１３よりも軟質のものが選択される。弾性体１４の形成材料は、例えばポリウレタン樹脂などの樹脂材料である。

弾性体１４は、剛性部材１３の側部１８ｂから外部に向かって突出した突起状であり、中空構造である。弾性体１４は、指部２の外部に面する外面を含む外殻部１４ａと、外殻部１４ａの内側に設けられ、指部２の内部に面する内面を含む内殻部１４ｂとを有する。外殻部１４ａおよび内殻部１４ｂは、それぞれ有孔容器状であり、孔の縁が剛性部材１３の側部１８ｂと密着しており、孔が側部１８ｂに塞がれている。弾性体１４（内殻部１４ｂ）と剛性部材１３（側部１８ｂ）とに囲まれる空間は、流体が配される流体室２２になっている。

本実施形態において、流体室２２に配される流体は気体である。この気体は、例えば窒素ガスなどの不活性ガスであるが、空気やその他のガスであってもよい。また、流体室２２に配される流体は、気体または液体の単相流体であってもよいし、液体と気体との混相流体であってもよく、気体と液体の少なくとも一方と粒子などの固体を含む混相流体であってもよい。

外殻部１４ａには、外殻部１４ａを貫通する貫通孔１４ｃが形成されている。貫通孔１４ｃのうち指部２の外部に面する開口は、指部２の外部に開放された吸引口２３である。吸引口２３は、第１指部２ａの外部から流体を吸引する吸引流路の端である。貫通孔１４ｃのうち指部２の内部側の開口は、内殻部１４ｂにより塞がれている。すなわち、貫通孔１４ｃの内側およびその縁部は、内殻部１４ｂの外表面を底面とする凹部状であり、内殻部１４ｂのうち貫通孔１４ｃに面する壁部２４と吸引口２３との間で外殻部１４ａに囲まれる部分は、流体が配される流体室２５になっている。流体室２５は、吸引口２３（吸引流路）に通じている。

ところで、弾性体１４の一部をなす内殻部１４ｂの壁部２４は、流体室２２の圧力が減少すると、流体室２５から流体室２２に向かって変形する。これにより、流体室２２の容積が変化し、流体室２２の圧力が変化する。このように、流体室２２は、弾性体１４の変形により圧力変化を生じる圧力変化部である。

弾性体１４の内部には、流体室２５と連通する流路２６が形成されている。本実施形態において、流路２６は、外殻部１４ａに形成された溝部の側方を内殻部１４ｂで塞いだものである。流路２６の一端は、貫通孔１４ｃの内壁に開いた吸気口になっており、流路２６の他端は、配管２７に接続されている。配管２７は、剛性部材１３の側部１８ｂに形成された穴を通して、剛性部材１３の箱状部１８内を引き回されて指部２の外部へ引き出され、真空ポンプなどの吸引装置（図示略）に接続されている。

圧力センサー１５は、流体室２２の圧力を検出することにより、弾性体１４の変形を検出するセンサーである。圧力センサー１５は、例えば、圧力を感じる感圧部１５ａと、感圧部１５ａが感じた圧力を電気信号に変換する本体部１５ｂと、本体部１５ｂから出力された電気信号を処理する処理部１５ｃとを含む。感圧部１５ａは、剛性部材１３の側部１８ｂを貫通する孔に挿通されており、弾性体１４の内側の流体室２２に隣接（露出）している。

本実施形態において、流体室２２に配される流体は気体であるので、感圧部１５ａの濡れなどによる故障の発生が抑制される。本体部１５ｂおよび処理部１５ｃは、剛性部材１３の箱状部１８に収容されている。流体室２２に配される流体は気体であるので、この流体が液体である場合と比較して、液体の漏れなどによる本体部１５ｂおよび処理部１５ｃの故障の発生などが抑制される。

剛性部材１３の底部１８ａに設けられた弾性体１６は、弾性変形可能に形成され、例えば弾性体１４と同様の樹脂材料からなる。弾性体１６は、底部１８ａから指部２の外部に向かって突出した突起状である。弾性体１６は、有孔容器状であり、その孔の縁が剛性部材１３の底部１８ａと密着しており、この孔は底部１８ａに塞がれている。弾性体１６と剛性部材１３（底部１８ａ）とに囲まれる空間は、流体が配される流体室２８になっている。

圧力センサー１７は、流体室２８の圧力を検出することにより、弾性体１６の変形を検出するセンサーである。圧力センサー１７は、例えば、圧力を感じる感圧部１７ａと、感圧部１７ａが感じた圧力を電気信号に変換する本体部１７ｂと、本体部１７ｂから出力された電気信号を処理する処理部１７ｃとを含む。感圧部１７ａは、剛性部材１３の底部１８ａを貫通する孔に挿通されており、弾性体１６の内側の流体室２８に隣接（露出）している。本体部１７ｂおよび処理部１７ｃは、剛性部材１３の箱状部１８に収容されている。

次に、指部２による吸着動作について説明する。指部２の吸着部２１は、対象物を吸着する際に、対象物の付近に配置される。また、配管２７に接続された吸引装置は、配管２７および流路２６を介して、流体室２５の流体を吸引する。すると、吸着部２１と対象物との間の流体が吸着部２１の吸引口２３から吸引され、吸着部２１と対象物との間が減圧される。この減圧より、対象物は、吸着部２１に引き寄せられて弾性体１４に接触し、吸着部２１に吸着する。

図３は、指部２の吸着動作中における流体室２２、流体室２５の圧力変化の一例を示す図である。図３において、縦軸は、流体室２２および流体室２５のそれぞれの圧力［ｋＰａ］を示し、横軸は、吸引口２３から吸引が開始されてからの時間［ｓｅｃ］、符号ｔ１は、対象物が吸着された時間を示す。

流体室２５の圧力Ｐ１は、流体室２５が大気解放されている状態においては、指部２の外部の圧力とほぼ同じである。流体室２５の圧力Ｐ１は、吸引が開始されてもほぼ変化しないか、変化してもその傾きが緩やかであるが、時間ｔ１において対象物が吸着されると、ステップ状に急激に減少する。これは、吸着した対象物により、吸引口２３の少なくとも一部が塞がれた状態となり、流体室２５が吸引装置により減圧されるからである。

また、流体室２５と壁部２４を介して隣り合う流体室２２の圧力Ｐ２は、流体室２５の圧力Ｐ１（指部２の外部の圧力）よりも高い正圧に設定されている。流体室２２の圧力Ｐ２は、時間ｔ１までは流体室２５の圧力Ｐ１がほぼ変化しないため、圧力Ｐ１と同様にほぼ変化しない。ここで、貫通孔１４ｃに面する内殻部１４ｂの壁部２４（図２参照）は、対象物が吸着された時間ｔ１において、流体室２５が減圧されることにより流体室２５に向かって変形する。これにより、流体室２２の容積が増加し、流体室２２の圧力Ｐ２が低下する。この流体室２２の圧力Ｐ２は、図２に示した圧力センサー１５により検出されるので、圧力センサー１５による検出の結果により、対象物が吸着しているか否かを判定すること等ができる。換言すると、ロボットハンド１は、対象物に隣接する流体室２５の圧力を検出しなくても対象物の吸着状態（吸着力、吸着の有無など）を検出することができる。

なお、流体室２５に配される流体は、例えば指部２が空気中で作業する場合には空気であり、例えば指部２が水中で作業する場合には水である。このように、流体室２５に配される流体は、気体または液体を含む単相流体であってもよいし、気体および液体を含む混相流体であってもよく、気体と液体の少なくとも一方と粒子などの固体を含む混相流体であってもよい。

以上のような構成の本実施形態のロボットハンド１は、指部２に吸着部２１が設けられているので、対象物が指部２に対して滑ること等が抑制され、対象物を安定して保持（把持）できる。このような吸着部２１に圧力センサー１５が併設されているので、対象物の吸着状態を精度よく検出することができる。その結果、ロボットハンド１は、対象物の吸着状態（保持状態）を精度よく制御することができ、例えば、対象物を落とさないように保持すること、対象物をつぶさないように保持することなどができる。

また、ロボットハンド１は、対象物の吸着状態を精度よく検出することができるので、例えば吸着状態を検出するための検出系、あるいは吸着状態を推定するための演算系などをシンプルにすることができ、シンプルな構成で高機能を実現可能である。

本実施形態において、流体室２２の圧力は、流体室２５の圧力に応じて変化し、図３に示したように対象物の吸着の有無に対して感度が高い。そのため、例えば圧力センサー１５による検出の結果をモニタリングすること等により、対象物の吸着の有無を精度よく判定することができる。この判定は、例えば圧力センサー１５が検出した圧力を閾値と比較することで実行でき、ロボットハンド１のオペレータが実行してもよいし、ロボットハンド１に併設される演算装置などが自動で実行してもよい。

本実施形態において、流体室２２は、弾性体１４により気密に封止されているので、流体室２２へのゴミ等の異物の侵入が抑制される。圧力センサー１７の少なくとも一部（感圧部１７ａ）は、このような流体室２２に隣接して配置されているので、異物の侵入による故障や誤動作が抑制される。また、吸着部２１の一部をなす弾性体１４を利用して、圧力センサー１７を異物から保護することができるので、圧力センサー１７の保護構造を別途設ける場合よりも、シンプルな構成にできる。

本実施形態において、ロボットハンド１は、複数の指部２を備えているので多様な物体を安定的に保持することができ、利便性が高い。なお、ロボットハンド１が備える指部２の数は、１つでもよい。また、本実施形態において、第１腹部１１および第２腹部１２は、吸着部２１を有していないが、吸着部２１を有していてもよい。このように、弾性体およびセンサーを含む構造が複数設けられていれば、物体をさらに安定的に保持することができる。

なお、第１指部２ａは、対象物と接触する接触部を離散的に有する場合に、複数の接触部のうち少なくとも１つに吸着部２１が設けられていればよく、吸着部２１を有する接触部の数に限定はない。また、複数の接触部のうちのいずれに吸着部２１が設けられていてもよく、例えば、先端部１０に吸着部２１が設けられておらず、第１腹部１１に吸着部２１が設けられていてもよい。また、第１指部２ａのうち対象物と接触する接触部の数は、１つ以上であれば限定はなく、例えば接触部の数が１つであってもよく、この接触部に吸着部２１が設けられていればよい。

次に、本実施形態に係るロボットハンド１の製造方法について、上記のロボットハンド１に基づいて、説明する。図４（ａ）〜（ｃ）、図５（ａ）〜（ｃ）、図６（ａ）〜（ｃ）、図７（ａ）〜（ｃ）は、ロボットハンド１（指部２）の製造方法を示す工程図である。

指部２を製造するには、図４（ａ）に示すように、指部２の弾性体１４および弾性体１６の外形に応じた型３０を用意する。型３０は、図２に示した弾性体１４の外殻部１４ａに相当する凹部３０ａ、及び弾性体１６に相当する凹部３０ｂを有する。この型３０は、例えばワックス（ロウ材）などの母材を切削加工することで得られる。型３０はメス型であり、その開口３０ｃから見た場合に影となるオーバーハング部分が少ないものを用いると、後の工程で作業性が高くなる。そのためには、型３０の開口３０ｃから凹部３０ａの内側および凹部３０ｂの内側が見通せるように、凹部３０ａの縁を含む面および凹部３０ｂの縁を含む面を、型３０の開口３０ｃを含む面に対して傾けておくとよい。

次に、図４（ｂ）に示すように、型３０に弾性体１４および弾性体１６の形成材料である軟質樹脂３１を堆積させ、この軟質樹脂３１を凹部３０ａの内側および凹部３０ｂの内側に充填する。軟質樹脂３１は、例えばショア高度が５０Ａ程度のポリウレタン樹脂であり、一例としてＡｘｓｏｎ Ｊａｐａｎ製のポリウレタン樹脂（ＵＲ５８０１／ＵＲ５８５０）などが挙げられる。このようにして、軟質樹脂３１のうち弾性体１４の外形および弾性体１６の外形に相当する部分を成形する。

また、型３２を用いて、軟質樹脂３１のうち型３０の反対側を成形する。型３２は、図２に示した弾性体１４の外殻部１４ａの内面の形状に相当する凸部３２ａ、及び弾性体１６の内面の形状に相当する凸部３２ｂを有する。

ところで、図２に示した外殻部１４ａには流路２６に相当する溝部が形成されており、外殻部１４ａの内面の一部は、流路２６の内面の一部となる。そこで、凸部３２ａとしては、流路２６の溝部の形状に応じた突条部を有するものを用いる。

また、軟質樹脂３１は、弾性体１４の外殻部１４ａおよび弾性体１６になる部分であり、それ以外の指部２の部位と接する面（以下、接触面という）を含む。例えば、軟質樹脂３１のうち外殻部１４ａになる部分は、弾性体１４の内殻部１４ｂと接する接触面３１ａ、剛性部材１３の側部１８ｂと接する接触面３１ｂを有する。接触面３１ａおよび接触面３１ｂは、平滑面に形成されてもよいが、表面粗さが高い方が他の部位との密着性が高くなる。そこで、本実施形態においては、型３２のうち接触面３１ａおよび接触面３１ｂを成形する部分の少なくとも一部の表面粗さを高くしておき、接触面３１ａおよび接触面３１ｂを表面粗さが高くなるように成形する。

このような型３２で軟質樹脂３１を成形した後、図４（ｃ）に示すように、軟質樹脂３１を型３０に付けた状態を維持しつつ、型３２を軟質樹脂３１から取り外す。成形された軟質樹脂３１には、図２に示した指部２において流体が配される空隙（流路２６）となる空間Ｓａの周囲の一部に、弾性体１４の外殻部１４ａが壁部として形成されている。

次に、図５（ａ）に示すように、弾性体１４の外殻部１４ａ上において流路２６となる空間Ｓａに、犠牲部３３ａを形成する。ここでは、犠牲部３３ａとなる犠牲材料を昇温により液状とし、液状の犠牲材料を空間Ｓａに充填する。そして、液状材料を常温程度に冷却することにより固化し、必要に応じて切削加工、型成形などにより成形する。犠牲部３３ａの表面形状は、図２に示した弾性体１４の内殻部１４ｂの外面の形状に合わせるように成形する。

次に、図５（ｂ）に示すように、弾性体１４の外殻部１４ａ上および犠牲部３３ａ上に、図２に示した弾性体１４の内殻部１４ｂの形成材料として軟質樹脂３４を堆積させる。そして、図５（ｃ）に示すように、軟質樹脂３４を切削加工あるいは型成形により成形し、弾性体１４の内殻部１４ｂを形成する。内殻部１４ｂの一部は、流路２６となる空間Ｓａの犠牲部３３ａ上に形成されており、空間Ｓａを外殻部１４ａとともに囲む壁部として形成される。そして、犠牲部３３ａを例えば昇温により流動化し、外殻部１４ａと内殻部１４ｂとの間から除去する。犠牲部３３ａが除去された空間Ｓａは、空隙となり、図２に示した流路２６となる。

ところで、弾性体１４の内殻部１４ｂは、図２に示した指部２において流体が配される空隙（流体室２２）の周囲の一部に形成された壁部である。また、弾性体１６は、指部２において流体が配される空隙（図２の流体室２８）の周囲の一部に形成された壁部である。これら壁部を利用して、後の工程で流体室２２および流体室２８を形成する。

次に、図６（ａ）に示すように、弾性体１４の内殻部１４ｂ上および弾性体１６上に、犠牲材料を堆積させて犠牲部３５を形成する。犠牲部３５は、図５（ａ）に示した犠牲部３３ａと同様にして形成できる。そして、図６（ｂ）に示すように、犠牲部３５を切削加工や型成形などによって成形することにより、内殻部１４ｂ上において流体室２２となる空間Ｓｂに犠牲部３３ｂを形成し、弾性体１６上において流体室２８となる空間Ｓｃに犠牲部３３ｃを形成する。犠牲部３３ｂの表面形状は、図２に示した剛性部材１３の側部１８ｂの表面形状に合わせるように成形する。また、犠牲部３３ｃの表面形状は、剛性部材１３の底部１８ａの表面形状に合わせるように、成形する。

次に、図６（ｃ）に示すように、犠牲部３３ｂ上および犠牲部３３ｃ上に、図２に示した剛性部材１３の形成材料として、硬質樹脂３６を堆積させる。ところで、犠牲部３３ｂ、犠牲部３３ｃ等には、液状の犠牲材料に由来する水分、雰囲気中の水分が付着していることがある。そこで、硬質樹脂３６の堆積に先立ち、犠牲部３３ｂや犠牲部３３ｃ等の水分を減圧などにより除去しておくと、硬質樹脂３６に水分に起因するの気泡を生じることなどが抑制される。

次に、図７（ａ）に示すように、硬質樹脂３６を切削加工などにより成形することにより、剛性部材１３の箱状部１８を形成する。箱状部１８の側部１８ｂは、流体室２２となる空間Ｓｂの犠牲部３３ｂ上に形成されており、空間Ｓｂを内殻部１４ｂとともに囲む壁部である。ここでは、箱状部１８の側部１８ｂに圧力センサー１５の取付孔３７を形成する。取付孔３７は、側部１８ｂを貫通しており、犠牲部３３ｂに通じることになる。また、箱状部１８の底部１８ａは、流体室２８となる空間Ｓｃの犠牲部３３ｃ上に形成されており、空間Ｓｂを弾性体１６とともに囲む壁部である。ここでは、箱状部１８の底部１８ａに圧力センサー１７の取付孔３８を形成する。取付孔３８は、底部１８ａを貫通しており、犠牲部３３ｃに通じることになる。

次に、図７（ｂ）に示すように、図７（ａ）の犠牲部３３ｂおよび犠牲部３３ｃを除去する。犠牲部３３ｂは、例えば昇温により流動化した状態で、取付孔３７を介して除去可能である。同様に、犠牲部３３ｃは、例えば昇温により流動化した状態で、取付孔３８を介して除去可能である。犠牲部３３ｂが除去された空間Ｓｂ、犠牲部３３ｃが除去された空間Ｓｃは、それぞれ空隙となり、図２に示した流体室２２、流体室２８となる。

次に、図７（ｃ）に示すように、取付孔３７に圧力センサー１５を取り付け、取付孔３８に圧力センサー１７を取り付ける。また、流路２６に配管２７を接続する。このように、剛性部材１３の箱状部１８に各部を収容した後に、図２に示した蓋部１９および封止材２０により箱状部１８を封止することなどにより、指部２が得られる。封止材２０は、例えば、弾性体１４と同様に軟質樹脂などで形成できる。

このような本実施形態のロボットハンド１の製造方法は、物体を安定的に保持できるロボットハンド１を製造できる。また、流体が配される空隙を形成する工程において、図５（ｃ）に示した空間Ｓａの犠牲部３３ａを除去することにより流路２６を形成するので、流路２６を弾性体１４と一体的に形成できる。また、図７（ａ）および図７（ｂ）に示した空間Ｓｂの犠牲部３３ｂを除去することにより、流体室２２を形成するので、流体室２２を弾性体１４および剛性部材１３と一体的に形成できる。同様に、空間Ｓｃの犠牲部３３ｃを除去することにより、流体室２８を形成するので、流体室２８を弾性体１６および剛性部材１３と一体的に形成できる。このように、流体が配される空隙をその周囲の部材と一体化して形成するので、製造コストを抑えることができるとともに、シンプルな構成で高機能を実現可能である。

なお、弾性体１４の成形については、型成形の他に切削加工などで行ってもよいが、型成形によれば、切削加工に比べて弾性体１４が損傷しにくい。そのため、弾性体１４の厚みを減らすことが容易になり、弾性体１４の柔軟性を向上させることなどができる。これにより、対象物への密着性が向上し、対象物を安定的に保持できる。また、弾性体１４を柔軟にすることにより、例えば、フィルムなどの損傷しやすい対象物への適用が容易になる。また、弾性体１４が変形しやすくなるので、圧力センサー１５の感度を実質的に向上することができる。

［第２実施形態］
次に第２実施形態について説明する。本実施形態において、上記の実施形態と同様の構成については、上記の実施形態と同じ符号を付してその説明を簡略化あるは省略する。

図８は本実施形態に係るロボットハンドの指部２を示す断面図、図９は指部２の吸着部２１を示す断面図である。本実施形態の指部２は、吸着部２１の構成が第１実施形態と異なる。図９の吸着部２１は、弾性体１４の外表面に配置された隔壁４０と、弾性体１４の内側において隔壁４０に隣接する流体室２５と、流体室２５から流体を吸引する吸引口４１と、を有する。吸引口４１は、配管２７を介して吸引装置（図示略）と接続されている。吸引口４１を介して流体室２５から流体が吸引されると、流体室２５の圧力が減少する。本実施形態において、流体室２５に配される流体は気体であるが、液体の単相流体であってもよいし、混相流体であってもよい。

隔壁４０は、弾性体１４の一部であり、弾性体１４の他の部分よりも薄肉である。ここでは、弾性体１４において対象物に接触する面４２は、ほぼ平面状であり、隔壁４０の外面は、面４２の一部である。隔壁４０は、流体室２５の圧力が指部２の外部の圧力よりも低圧（負圧）になると、流体室２５に向かって変形（湾曲）する。対象物が面４２に接触した状態において、隔壁４０が流体室２５に向かって変形すると、隔壁４０と対象物との間の空隙が広がり、この空隙の負圧により対象物が吸着部２１に吸着される。

圧力センサー１７は、上記の実施形態と同様に、その感圧部１５ａが流体室２２に隣接している。流体室２２は、隔壁４３によって流体室２５と仕切られており、正圧に保たれている。隔壁４３は、有底中空の柱状であり、その内部が流体室２５になっている。隔壁４３は、その開口の縁が隔壁４０と接しており、その底部が流体室２２と流体室２５との仕切りになっている。

本実施形態に係る隔壁４３は、弾性体１４よりも変形しにくい硬質材料からなり、例えば剛性部材１３と同じ材料で形成される。このような隔壁４３は、流体室２２と流体室２５との圧力差による変形量が少なく、この圧力差を緩和しにくい。その結果、流体室２５が負圧になった状態においても、流体室２２の圧力は正圧に保たれる。この正圧は、弾性体１４が対象物に接触する際のクッションになるので、弾性体１４を対象物に対して柔軟に接触させることができる。

図１０は、吸着部２１の吸着力と圧力センサー１５の検出値との関係を示す図である。図１０の縦軸は、吸着パッド内の圧力、すなわち隔壁４０と対象物との間の圧力［ｋＰａ］であり、この圧力が低いほど吸着力が強いことを示す。また、横軸は、圧力センサー１５が検出した圧力、すなわち流体室２２の圧力［ｋＰａ］を示す。

図９の吸着部２１は、弾性体１４の面４２を対象物に押し付けた状態で、吸引口４１からの吸引により流体室２５を減圧させることで壁部２４を変形させ、隔壁４０と対象物との間を負圧にすることにより、対象物を吸着する。吸着させる際に弾性体１４の面４２を対象物に押し付ける力を増すほど、弾性体１４が剛性部材１３に向かって変形し、流体室２２の圧力が高くなる一方、壁部２４と対象物との間の隙間が小さくなり、この隙間を隔壁４０の変形により広げた際に壁部２４と対象物との間の圧力の減少が顕著になる。このように、吸着部２１の吸着力と圧力センサー１５の検出結果との間には関係性があるので、圧力センサー１５の検出結果に基づいて、吸着力の吸着力を検出することができ、吸着力を精度よく制御すること等ができる。

以上のような構成の本実施形態のロボットハンド１は、吸着部２１に圧力センサー１５が併設されているので、対象物の吸着状態を精度よく検出することができ、対象物を安定的に保持できる。

次に、本実施形態に係るロボットハンド１の製造方法について、上記のロボットハンド１に基づいて、説明する。図１１（ａ）〜（ｃ）、図１２（ａ）〜（ｄ）、図１３（ａ）〜（ｄ）、図１４（ａ）〜（ｄ）は、ロボットハンド１（指部２）の製造方法を示す工程図である。なお、第１実施形態と共通する工程については、その説明を簡略化あるいは省略する。

本実施形態に係る指部２を製造するには、図１１（ａ）に示すように、指部２（図８参照）の弾性体１４および弾性体１６の外形に応じた型３０を用意する。本実施形態において、弾性体１４の面４２は概ね平面であり、型３０において、弾性体１４の外殻部１４ａに相当する凹部３０ａの底面は、弾性体１４の面４２に対応して概ね平面である。次に、図１１（ｂ）に示すように、型３０に軟質樹脂３１を堆積させ、軟質樹脂３１の型３０と反対を型３２により成形する。これにより、弾性体１４および弾性体１６が形成される。次に、図１１（ｃ）に示すように、型３０に軟質樹脂３１をはめ込んだ状態を維持しつつ、型３２を軟質樹脂３１から取り外す。

次に、図１２（ａ）に示すように、弾性体１６上に犠牲材料を堆積させ、犠牲部４５を形成する。次に、図１２（ｂ）に示すように、犠牲部４５を切削加工あるいは型成形により成形し、図８に示した弾性体１６と剛性部材１３の底部１８ａとの間の流体室２８となる空間Ｓｃに、犠牲部４５ａを形成する。

次に、図１２（ｃ）に示すように、弾性体１４に硬質樹脂などで隔壁４３を形成する。隔壁４３は、後に流体室２２となる空間Ｓｂの周囲の一部に、壁部として形成する。また、隔壁４３の内側の流体室２５に連通する配管２７を取り付ける。配管２７は、他の部材との干渉を避けるように、例えば圧力センサー１７の取付位置を避けるように、犠牲部４５ａ上を適宜引き回して配置する。次に、図１１（ｄ）に示すように、隔壁４３上と配管２７上に犠牲材料を堆積させ、犠牲部４６を形成する。次に、犠牲部４６を切削加工あるいは型成形により成形し、図１３（ａ）に示すように、図９に示した弾性体１４と剛性部材１３の側部１８ｂとの間の流体室２２となる空間Ｓｂに、犠牲部４６ａを形成する。

次に、図１３（ｂ）に示すように、犠牲部４５ａ上および犠牲部４６ａ上に、図８に示した剛性部材１３の形成材料として、硬質樹脂３６を堆積させる。次に、硬質樹脂３６を切削加工などにより成形し、図１３（ｃ）に示すように、剛性部材１３の箱状部１８を形成する。次に、図１３（ｄ）に示すように、犠牲部４５ａを除去し、犠牲部４５ａが占有していた空間Ｓｃを流体室２８とする。また、犠牲部４６ａを除去し、犠牲部４６ａが占有していた空間Ｓｂを流体室２２とする。

次に、図１４（ａ）に示すように、圧力センサー１５を箱状部１８の側部１８ｂに取り付け、圧力センサー１７を剛性部材１３の底部１８ａに取り付ける。次に、図１４（ｂ）に示すように、剛性部材１３の箱状部１８に蓋部１９を接着し、箱状部１８の内側を封止する。次に、図１４（ｃ）に示すように、蓋部１９上に軟質樹脂４７を堆積させる。次に、軟質樹脂４７を切削加工などにより成形し、図１４（ｄ）に示すように、封止材２０を形成する。そして、型３０を取り外すこと等により、図８に示した指部２が得られる４

このような本実施形態のロボットハンド１の製造方法によれば、物体を安定的に保持できるロボットハンド１を製造できる。また、本実施形態において、流体が配される空隙を形成する工程は、図１３（ｃ）および（ｄ）に示した犠牲部４５ａを除去することにより流体室２８を形成するので、流体室２８を弾性体１６および剛性部材１３と一体的に形成できる。同様に、犠牲部４６ａを除去することにより流体室２２を形成するので、流体室２２を弾性体１４および剛性部材１３と一体的に形成できる。このように、流体が配される空隙をその周囲の部材と一体化して形成するので、製造コストを抑えることができるとともに、シンプルな構成で高機能を実現可能である。

［第３実施形態］
次に第３実施形態について説明する。本実施形態において、上記の実施形態と同様の構成については、上記の実施形態と同じ符号を付してその説明を簡略化あるは省略する。

図１５は本実施形態に係るロボットハンドの指部２を示す断面図、図１６は指部２の吸着部２１を示す断面図である。本実施形態の指部２は、隔壁４０の変形により吸着する点が第２実施形態と同様であるが、隔壁４０を変形させる機構が第２実施形態と異なる。

図１６の吸着部２１は、流体室２５において隔壁４０に接続されたワイヤー５０を有する。隔壁４０のうち流体室２５を向く内面には、補強部５１が設けられており、ワイヤー５０は補強部５１に取り付けられている。すなわち、ワイヤー５０の一端は、補強部５１を介して隔壁４０と接続されている。補強部５１は、隔壁４０（弾性体１４）よりも硬質の材料からなり、例えば剛性部材１３と同様の硬質樹脂からなる。ワイヤー５０の他端は、図１５に示す配管２７を通して、指部２の外部へ引き出されている。本実施形態において、隔壁４０は、ワイヤー５０から引っ張られることにより、流体室２５に向かって変形する。これにより、隔壁４０と対象物との間が減圧され、対象物が吸着部２１に吸着される。

以上のような構成の本実施形態のロボットハンド１は、吸着部２１に圧力センサー１５が併設されているので、対象物の吸着状態を精度よく検出することができ、シンプルな構成で高機能を実現可能である。また、ワイヤー５０のテンションにより隔壁４０の変形を制御できるので、流体室２５を減圧する機構が不要になる。また、流体室２５を減圧しないことにより、弾性体１４と剛性部材１３との間の空隙を正圧に保つことが容易になり、この正圧をクッションとして、弾性体１４を対象物に柔軟に接触させることがでる。また、弾性体１４と剛性部材１３との間の空隙を正圧を保つことが容易であるので、隔壁４３を省略することもでき、構成をシンプルにできる。

次に、本実施形態に係るロボットハンド１の製造方法について、上記のロボットハンド１に基づいて、説明する。図１７（ａ）〜（ｃ）、図１８（ａ）〜（ｃ）、図１９（ａ）〜（ｄ）、図２０（ａ）〜（ｃ）、図２１（ａ）〜（ｃ）は、ロボットハンド１（指部２）の製造方法を示す工程図である。なお、第２実施形態と共通する工程については、その説明を簡略化あるいは省略する。

本実施形態に係る指部２を製造するには、図１７（ａ）に示すように、指部２（図１５参照）の弾性体１４および弾性体１６の外形に応じた型３０を用意する。次に、図１７（ｂ）に示すように、型３０に軟質樹脂３１を堆積させ、軟質樹脂３１の型３０と反対を型３２により成形する。これにより、弾性体１４および弾性体１６が形成される。次に、図１７（ｃ）に示すように、型３０に軟質樹脂３１をはめ込んだ状態を維持しつつ、型３２を軟質樹脂３１から取り外す。

次に、図１８（ａ）に示すように、弾性体１６上に犠牲材料を堆積させ、犠牲部４５を形成する。次に、犠牲部４５を切削加工あるいは型成形により成形し、図１８（ｂ）に示すように、図１５に示した弾性体１６と剛性部材１３の底部１８ａとの間の流体室２８となる空間Ｓｃに、犠牲部４５ａを形成する。次に、図１８（ｃ）に示すように、隔壁４０に補強部５１を形成し、弾性体１４に硬質樹脂などで隔壁４３を形成する。また、隔壁４３の内側の流体室２５に連通する配管２７を取り付け、配管２７の内側にワイヤー５０を通して、ワイヤー５０の一端を補強部５１と接続する。

次に、図１９（ａ）に示すように、隔壁４３上と配管２７上に犠牲材料を堆積させ、犠牲部４６を形成する。次に、犠牲部４６を切削加工あるいは型成形により成形し、図１９（ｂ）に示すように、図１５に示した弾性体１４と剛性部材１３の側部１８ｂとの間の流体室２２となる空間Ｓｂに、犠牲部４６ａを形成する。次に、図１９（ｃ）に示すように、犠牲部４５ａ上および犠牲部４６ａ上に、図１５に示した剛性部材１３の形成材料として、硬質樹脂３６を堆積させる。

次に、硬質樹脂３６を切削加工などにより成形し、図２０（ａ）に示すように、剛性部材１３の箱状部１８を形成する。次に、図２０（ｂ）に示すように、犠牲部４５ａを除去し、犠牲部４５ａが占有していた空間Ｓｃを流体室２８とする。また、犠牲部４６ａを除去し、犠牲部４６ａが占有していた空間Ｓｂを流体室２２とする。次に、図２０（ｃ）に示すように、圧力センサー１５を剛性部材１３の側部１８ｂに取り付け、圧力センサー１７を剛性部材１３の底部１８ａに取り付ける。

次に、図２１（ａ）に示すように、剛性部材１３の箱状部１８に蓋部１９を接着し、箱状部１８の内側を封止する。次に、図２１（ｂ）に示すように、蓋部１９上に軟質樹脂４７を堆積させる。次に、軟質樹脂４７を切削加工などにより成形し、図２１（ｃ）に示すように、封止材２０を形成する。そして、型３０を取り外すこと等により、図１５に示した指部２が得られる。

このような本実施形態のロボットハンド１の製造方法は、図２０（ａ）及び（ｂ）に示した犠牲部４５ａを除去することにより流体室２８を形成するので、流体室２８を弾性体１６および剛性部材１３と一体的に形成できる。同様に、犠牲部４６ａを除去することにより流体室２２を形成するので、流体室２２を弾性体１４および剛性部材１３と一体的に形成できる。このように、流体が配される空隙をその周囲の部材と一体化して形成するので、製造コストを抑えることができるとともに、シンプルな構成で高機能を実現可能である。

なお、上記の各実施形態において、弾性体１４の変形を検出するセンサーは、流体室２２の圧力を検出する圧力センサー１５であるが、圧力以外を検出するセンサーであってもよい。例えば、弾性体１４に歪ゲージを設けておき、弾性体１４の変形に伴う歪ゲージの電気抵抗値の変化を検出してもよい。

［ロボット］
次に、ロボットについて説明する。本実施形態において、上記の実施形態と同様の構成については、上記の実施形態と同じ符号を付してその説明を簡略化あるは省略する。

図２２は、本実施形態に係るロボット１００を示す図である。図２２のロボット１００は、例えば産業用ロボットアームとして用いられる。ロボット１００は、多軸アームと、この多軸アームの先端に取り付けられたロボットハンド１とを備える。この多軸アームは、取付部１０１、第１リンク１０２、第２リンク１０３、第３リンク１０４、第４リンク１０５、第５リンク１０６、及び第６リンク１０７を有する。

取付部１０１は、例えば床部や壁部、天井部などに取り付けられる部分である。第１リンク１０２〜第６リンク７は、例えば取付部１０１から順に直列に接続されている。そして、ロボット１００は、取付部１０１と第１リンク１０２、およびリンク同士が接続部（関節１１０、１１１、１１２、１１３、１１４、１１５）で回転可能に連結されている。第１リンク１０２〜第６リンク１０７のそれぞれが回転可能に設けられているため、それぞれのリンクを関節１１０〜関節１１５で適宜回転させることで、ロボットアーム全体としての複合的な動作が可能になっている。

第６リンク１０７は、ロボット１００におけるロボットアームの先端部分である。この第６リンク１０７の先端部に、上記の実施形態で説明したロボットハンド１が取り付けられている。

本実施形態のロボット１００は、上記の実施形態のロボットハンド１を備えているので、シンプルな構成で高機能を実現可能である。なお、図２２には６つの関節を有するロボットの例を示したが、関節の数に限定はない。関節の数が多くなるほど、アームの動きに冗長性を持たせることができる。

図２３は、他の態様のロボット１３０を示す図である。このロボット１３０は、図２２に示した多軸アーム（ロボット１００）を複数（ここでは２つ）設けた双腕ロボットである。ロボット１３０は、双腕のそれぞれにロボットハンド１を設けることで、双腕のロボットハンド１で対象物Ｍを挟み込んで把持させて作業をさせることができる。

図２４は、他の態様のロボット１４０を示す図である。このロボット１４０は、胴体部１４１と、胴体部１４１に設けられた２つの多軸アーム（ロボット１００）を備える。２つの多軸アームには、それぞれ、図２２に示したロボットハンド１が設けられる。図２４において、各多軸アームは、第１リンク１０２〜第７リンク１０８を有する７軸アームである。このロボット１４０においては、６つの接続部（関節１１０、１１１、１１２、１１３、１１４、１１５）のうち関節１１１と関節１１２の関節の間に回転軸１１６を設けることにより、７軸アームとなっている。

このロボット１４０は、例えば、人間が２本の腕と手を使って一つの大きなものを持つのと同様のアームの動きと把持形態を実現できる。また、図２３および図２４に示したような複数のアーム（ロボットハンド１）を有するロボットは、ロボットアームの数が１つであるロボットと比較して、大きな対象物を把持することができる。また、箱の中の物体を、箱と物体との隙間に指部を差し込んで２つのロボットアームで把持することもできる。

また、ロボット１４０は、底部に車輪１４２を備えるとともに図示しない制御装置を収容した本体部１４３に胴体部１４１が支持されており、車輪１４２によって移動可能となっている。そのため、作業範囲を広げること、設置位置を変更すること等が容易である。

なお、本発明の技術範囲は上記の実施形態に限定されるものではない。上記の実施形態で説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、上記の実施形態で説明した要件の少なくとも１つは、省略されることある。本発明の主旨を逸脱しない範囲内で多様な変形が可能である。

１ ロボットハンド、２ 指部、１４ 弾性体、１５ 圧力センサー（センサー）、１６ 弾性体、２１ 吸着部、２２ 流体室、２５ 流体室、３３ａ 犠牲部、３３ｂ 犠牲部、３３ｃ 犠牲部、４０ 壁部、４５ａ 犠牲部、４６ａ 犠牲部、５０ ワイヤー、１００ ロボット、１３０ ロボット、１４０ ロボット

Claims (7)

1. 指部を有するロボットハンドであって、
   前記指部に設けられ、物体を吸着する吸着部を含む弾性体と、
   前記指部に設けられ、前記弾性体の変形を検出するセンサーと、を備え、
   前記吸着部は、
   前記弾性体の表面に配置された隔壁と、
   前記隔壁により仕切られ、第１流体が配される第１流体室と、
   前記第１流体室から前記第１流体を吸引する吸引口と、を有し、
   前記センサーは、前記弾性体の変形により圧力変化を生じる圧力変化部の圧力を検出可能に配置され、
   前記圧力変化部は、第２流体が配される第２流体室を含むロボットハンド。
2. 指部を有するロボットハンドであって、
   前記指部に設けられ、物体を吸着する吸着部を含む弾性体と、
   前記指部に設けられ、前記弾性体の変形を検出するセンサーと、を備え、
   前記吸着部は、
   前記弾性体の表面に配置された隔壁と、
   前記隔壁により仕切られ、第１流体が配される第１流体室と、
   前記第１流体室において前記隔壁に接続されたワイヤーと、を有し、
   前記センサーは、前記弾性体の変形により圧力変化を生じる圧力変化部の圧力を検出可能に配置され、
   前記圧力変化部は、第２流体が配される第２流体室を含む
   ロボットハンド。
3. 前記第２流体は気体を含み、前記センサーは前記気体の圧力を検出可能に配置されている
   請求項１または２に記載のロボットハンド。
4. 前記指部には、前記弾性体および前記センサーを含む構造が複数設けられている
   請求項１〜３のいずれか一項に記載のロボットハンド。
5. 前記指部を複数備える
   請求項１〜４のいずれか一項に記載のロボットハンド。
6. 請求項１〜５のいずれか一項に記載のロボットハンドと、
   前記ロボットハンドを支持するアームと、を備える
   ロボット。
7. 請求項１〜５のいずれか一項に記載のロボットハンドの製造方法であって、
   前記ロボットハンドにおいて流体が配される空隙を形成する工程は、
   前記空隙となる空間の周囲の一部に、第１壁部を形成するステップと、
   前記第１壁部上の前記空隙となる空間に、犠牲部を形成するステップと、
   前記犠牲部上に、前記空隙となる空間を前記第１壁部とともに囲む第２壁部を形成するステップと、
   前記犠牲部を除去し、前記第１壁部および前記第２壁部に囲まれる空間を前記空隙とするステップと、を含むロボットハンドの製造方法。

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