JP6344898B2 - 欠陥および特徴的形状を検出する装置 - Google Patents
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Description
関連出願
本願は、2012年10月15日に出願された、特許出願番号第61/714,170号の米国特許仮出願の利益および優先権を主張し、その全体が引用によりここに援用される。
一般に、品質保証の際、製品は欠陥を検出するために検査される。たとえばディスク、ウェハ、または媒体といった製品は、検査される多くの製品の一部であり得る。年々製品は小さくなり、今後も小さくなり続けている。したがって、欠陥も小さくなり、検出するのがより困難となっている。
一実施の形態に従い、製品の特徴的形状を検出するための装置が開示される。一実施の形態において、当該装置は光を含むよう構成され、さらに光源から物品の表面に光を伝送するよう構成されている複数のストランドを備え得る。装置はさらに、複数のストランドを介して、物品の表面から反射された光を受取るよう構成されている検出器をも備え、当該検出器は物品に伴う特徴的形状を検出するよう構成されている。
いくつかの特定の実施の形態をより詳細に説明する前に、当業者なら特定の実施の形態はここに記載および/または図示される概念を限定しないことは理解できるであろう。なぜなら、これら実施の形態の要素は変わり得るからである。同様に、ここに記載および/または図示される特定の実施例の形態における要素は当該特定の実施の形態から容易に分離し、他のいくつかの実施の形態のいずれかと任意に組合せることができる、またはここに記載されている他のいくつかの実施の形態のいずれかにある要素と置換可能であることは理解されるであろう。
Claims (20)
- 装置であって、
光を物品の表面に照射するよう構成されている光源を備え、前記光源は、ユーザにより選択可能な偏光を有するコヒーレント光とインコヒーレント光とを同時に提供するように構成され、さらに、
光を含むよう構成され、さらに光を伝送するよう構成されている媒体ストランドを備え、前記媒体ストランドはハーフミラーを含み、前記ハーフミラーは光源からの光を物品に通すよう構成され、前記ハーフミラーは物品の欠陥から反射された光を反射するよう構成され、さらに
前記ハーフミラーから反射された光を受け取るよう構成されている検出器を備え、前記検出器は物品の欠陥を検出するようさらに構成される、装置。 - 所定の波長の光を除去するよう構成されているフィルタをさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 所定の偏光の光を通すよう構成されている偏光器をさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 物品から反射された光を変調するよう構成されているデジタルマイクロミラーデバイスをさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 前記デジタルマイクロミラーデバイスは、異なる波長の光を分離するよう構成され、前記デジタルマイクロミラーデバイスは分離された光を検出器の異なる部分に伝送するようさらに構成されている、請求項4に記載の装置。
- 前記媒体ストランドは、第1の終点、第2の終点、および第3の終点を有するT字型光ファイバである、請求項1に記載の装置。
- 前記物品から反射された光が弾性または非弾性であるかに基づき、前記欠陥が有機または無機欠陥であるかを判断するよう構成されている、請求項1に記載の装置。
- 前記媒体ストランドと前記物品との間の距離は、前記欠陥と関係する高さを判断するために変えられ、前記判断は干渉計を用いて行なわれる、請求項1に記載の装置。
- 前記欠陥の検出は、前記ハーフミラーから反射された光の光強度に基づく、請求項1に記載の装置。
- 装置であって、
光を物品の表面に照らすよう構成されている光源を備え、前記光源は、ユーザにより選択可能な偏光を有するコヒーレント光とインコヒーレント光とを同時に提供するように構成され、さらに、
光を含むよう構成され、さらに前記光源からの光を前記物品に伝送するよう構成されている第1の媒体ストランドと、
前記物品から反射された光を取込むよう構成されている第2の媒体ストランドと、
前記第2の媒体ストランドを介して前記物品から反射された光を受け取るよう構成されている検出器とを備え、前記検出器は前記物品の欠陥を検出するようさらに構成されている、装置。 - 所定の波長の光を除去するよう構成されているフィルタをさらに備える、請求項10に記載の装置。
- 所定の偏光の光を通すよう構成されている偏光器をさらに備える、請求項10に記載の装置。
- 物品から反射されかつ第2の媒体ストランドを介して受け取った光を変調するよう構成されているデジタルマイクロミラーデバイスをさらに備える、請求項10に記載の装置。
- 前記デジタルマイクロミラーデバイスは、異なる波長の光を分離するよう構成され、前記デジタルマイクロミラーデバイスは分離された光を検出器の異なる部分に伝送するようさらに構成されている、請求項13に記載の装置。
- 前記欠陥の検出は、前記物品から反射された光の光強度に基づく、請求項10に記載の装置。
- 前記物品から反射された光が弾性または非弾性であるかに基づき、前記欠陥が有機または無機欠陥であるかを判断するよう構成されている、請求項10に記載の装置。
- 前記媒体ストランドと前記物品との間の距離、および前記第2の媒体ストランドと前記物品との間の距離は、前記欠陥と関係する高さを判断するために変えられ、前記判断は干渉計を用いて行なわれる、請求項10に記載の装置。
- 装置であって、
光を物品の表面に照らすよう構成されている光源を備え、前記光源は、ユーザにより選択可能な偏光を有するコヒーレント光とインコヒーレント光とを同時に提供するように構成され、さらに、
光を含むよう構成され、さらに前記光源からの光を前記物品の前記表面に伝送するようさらに構成されている複数のストランドと、
前記複数のストランドを介して、前記物品の表面から反射された光を受入れるよう構成されている検出器とを備え、前記検出器は前記物品と関係する特徴的形状を検出するようさらに構成されている、装置。 - 前記複数のストランドのうちの1本のストランドは、光学コートで被覆されるハーフミラーを含み、前記ハーフミラーは前記光源からの光を前記物品に通すよう構成され、
前記ハーフミラーは前記物品から反射された光を前記検出器に反射するよう構成されている、請求項18に記載の装置。 - 前記複数のストランドのうちの1本のストランドは、前記光源からの光を前記物品に伝送するよう構成され、前記複数のストランドのうちの別のストランドは、前記物品から反射された光を取込み、前記物品から反射された光を前記検出器に伝送するよう構成されている、請求項18に記載の装置。
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