JP6343374B2 - 単一分子検出用のキャリアの製造方法 - Google Patents
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Description
S10、基板12を提供する。
S20、複数の第一孔116を有するカーボンナノチューブ複合構造体110を提供する。
S30、基板12の第一表面121にカーボンナノチューブ複合構造体110を設置し、基板12の第一表面121の一部を露出させる。
S40、カーボンナノチューブ複合構造体110をマスクとして、第一表面121をドライエッチングして、第一表面121にパターン化突起122を形成し、パターン化突起122は互いに交差している複数の帯状突起を含む。
S50、カーボンナノチューブ複合構造体110を除去する。
S60、パターン化突起122の表面に金属層14を形成する。
S1、キャリア10を提供し、キャリア10は基板12及び基板12に設置される金属層14を含み、基板12はベース120及びベース120の表面に設置されるパターン化突起122を含み、パターン化突起122は複数の帯状突起を含み、複数の帯状突起は互いに交差してネット構造体を形成し、複数の穴124を定義する。
S2、基板12と離れる金属層14の表面に、単一分子試料16を設置する。
S3、検出器で単一分子試料16を検出する。
S21、単一分子試料16の溶液を提供する。
S22、金属層14が設置されたキャリア10を単一分子試料16の溶液に浸漬する。
S23、キャリア10を単一分子試料16の溶液から取り出す。
S10A、基板12の第一表面121にカーボンナノチューブ複合構造体110を設置し、基板12の第一表面121の一部を露出させる。
S20A、カーボンナノチューブ複合構造体110をマスクとして、第一表面121をエッチングして、第一表面121にパターン化突起122を形成し、パターン化突起122は互いに交差している複数の帯状突起を含む。
S30A、パターン化突起122の表面に金属層14を堆積し、金属層14はパターン化突起122及びカーボンナノチューブ複合構造体110を完全に被覆する。
S40A、カーボンナノチューブ複合構造体110を除去する。
110 カーボンナノチューブ複合構造体
112 カーボンナノチューブ構造体
114 保護層
116 第一孔
12 基板
120 ベース
121 第一表面
122 パターン化突起
124 穴
14 金属層
16 単一分子試料
18 入射光
Claims (2)
- 基板を提供する第一ステップと、
複数の第一孔を有するカーボンナノチューブ複合構造体を提供する第二ステップと、
前記基板の第一表面に前記カーボンナノチューブ複合構造体を設置し、前記第一表面の一部を露出させる第三ステップと、
前記カーボンナノチューブ複合構造体をマスクとして、前記第一表面をエッチングして、前記第一表面にパターン化突起を形成し、前記パターン化突起は互いに交差している複数の帯状突起を含む第四ステップと、
前記パターン化突起の表面に金属層を形成する第五ステップと、
を含むことを特徴とする単一分子検出用のキャリアの製造方法。 - 前記第三ステップにおいて、前記カーボンナノチューブ複合構造体はカーボンナノチューブ構造体及び保護層を含み、
前記保護層は前記カーボンナノチューブ構造体の表面を被覆し、
前記カーボンナノチューブ構造体は分子間力で接続して均一に配列された複数のカーボンナノチューブを含み、
前記複数のカーボンナノチューブは交差して設置され、複数の孔が形成されることを含むことを特徴とする請求項1に記載の単一分子検出用のキャリアの製造方法。
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