JP6342080B2 - 平面導波路型レーザ装置 - Google Patents
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Description
この平面導波路型レーザ装置では、コア内に入射されたレーザ光が、2つの反射膜間で反射を繰り返しながらジグザグに伝搬することで、レーザ光を増幅している。
また、以下の特許文献1には、反射膜が形成されている2の側面の間に傾斜角を持たせている平面導波路型レーザ装置も開示されている。
この平面導波路型レーザ装置では、レーザ光の入射部から入射されたレーザ光がコア内でジグザグに伝搬されたのちに折り返し反射され、折り返し反射されたレーザ光がコア内で逆方向にジグザグに伝搬されることで、入射部と同じ位置からレーザ光が出射されている。
また、この平面導波路型レーザ装置では、レーザ媒質であるコアの側面から励起光が入射されるため、レーザ光と励起光のオーバーラップを高めることができ、レーザ光の効率の良い増幅を行うことができる。
即ち、従来の平面導波路型レーザ装置では、屈折率が異なるコアとクラッドが重ねられているため、平面導波路の厚さ方向(導波路層構造に垂直な方向)に対して導波モードが形成され、平面導波路の厚さ方向には、レーザ光を所定の伝搬モードで伝搬させることが可能である。この伝搬モードは、コアの厚さや、コアとクラッドの屈折率差を適切に設定することで制御することができる。
一方、導波路層構造に平行な方向については、導波モードが形成されず、入射されたレーザ光がそのまま空間を伝搬する。このとき、レーザ光は、熱レンズ効果等の影響を受けるため、レーザ光の波面状態が変化して、ビーム品質の劣化が生じるとともに、ビームの伝搬方向が変化してしまうという課題があった。
図1はこの発明の実施の形態1による平面導波路型レーザ装置を示す上面図であり、図2は図1のA−A’線に沿って紙面に対して垂直な面内での断面図である。また、図3はこの発明の実施の形態1による平面導波路型レーザ装置の平面導波路を構成しているコア1及びクラッド2の側面1e,2eを示す斜視図である。
図1から図3において、コア1は励起光5を吸収するレーザ媒質で形成されており、コア1の主面である上面1a及び下面1bには、そのレーザ媒質より屈折率が小さいクラッド2,3が接合されている。
このコア1とクラッド2,3から平面導波路が構成されている。
図中、コア1において、xy平面と平行な面が上面1a及び下面1bであり、z軸方向に平行な4つ面が側面1c,1d,1e,1fである。
この実施の形態1では、コア1の側面1c,1dが、コア1の主面である上面1a及び下面1bに対して、ほぼ垂直になっている例を示しているが、コア1の側面1c,1dが、コア1の上面1a及び下面1bに対して傾斜するように角度を持たせてもよい。この場合、コア1の側面1c,1d,1e,1fで生じる周回パスによる自然放射増幅光(ASE:Amplified Spontaneous Emission)や寄生発振を防ぐことができる。
コア1のレーザ媒質としては、Nd、Yb、Er、Tm、Hoなどの活性媒質が添加されている結晶、セラミック、ガラスなどの一般的な固体レーザ材料を使用することができる。固体レーザ材料としては、レーザ発振又は増幅を行うレーザ光の波長に合わせて好適なものが選択される。
クラッド2はコア1の上面1aに接合され、クラッド3はコア1の下面1bに接合されているが、コア1の上面1a及び下面1bに対するクラッド2,3の接合は、例えば、光学材料を原料とする膜を蒸着することで行われる。あるいは、光学材料をオプティカルコンタクト又は拡散接合等によってコア1及びクラッド2,3と光学的に接合することで行われる。
なお、クラッド2,3は、図示せぬ基板に接合されていてもよい。また、その基板は、図示せぬヒートシンクに接合されていてもよい。その基板及びヒートシンクは、クラッド2,3のうち、いずれか一方のクラッドの外側に接合されているものであってもよいし、両方のクラッドの外側に接合されているものであってもよい。それらの接合は、熱伝導率が良い接合材を用いるのが好ましい。
励起光発生源4bはコア1の側面1dに近接して配置されている第2の光源であり、励起光発生源4bはコア1の側面1dに励起光5を出射する。
励起光発生源4a,4bとして、例えば、マルチエミッタ半導体レーザ、ブロードエリアLD(Laser Diode)やファイバ出力LDの出力ファイバが配列上に設置されているものを使用することができる。図1及び図2では省略しているが、励起光発生源4a,4bには、必要に応じて冷却用のヒートシンクが接合される。
図1及び図2の例では、励起光発生源4a,4bがコア1の側面1c,1dに近接して配置されているが、励起光発生源4a,4bとコア1の側面1c,1dとの間にレンズ等の光学部品を設置することで、コリメート又は集光状態の励起光5がコア1に入射されるようにしてもよい。
また、コア1の側面1c,1dには、励起光5を透過する反射防止膜が施されていてもよい。
また、図1及び図2の例では、励起光発生源4a,4bがコア1の側面1c,1dに近接して配置されているが、励起光発生源4a又は励起光発生源4bのいずれか一方が、コア1の側面1c又は側面1dに近接して配置されていればよい。
レーザ光高反射膜6bはコア1内を伝搬されているレーザ光11を反射する反射膜であり、コア1の側面1fのうち、レーザ光11が出射される出射部以外の部分に形成されている。図1では、図中、コア1の側面1fの左端に出射部が設けられており、レーザ光11が出射方向10でコア1の外部に出射されている。
レーザ光高反射膜6a,6bは、例えば、光学材料を原料とする膜(例えば、誘電帯の多層膜)を蒸着することで、コア1の側面1e,1fに形成される。
レーザ光反射防止膜7bはレーザ光8を透過する透過膜であり、コア1の側面1fのうち、コア1内を伝搬されているレーザ光11が出射される出射部に形成されている。
レーザ光反射防止膜7a,7bは、例えば、光学材料を原料とする膜(例えば、誘電帯の多層膜)を蒸着することで、コア1の側面1e,1fに形成される。
リッジ構造20が形成されることで、平面導波路の側面での厚みが部分的に薄くなり、平面導波路の構造がy軸方向に一様でない構造になるため、導波路層構造に平行な方向であるy軸方向にも導波モードが形成される。この導波モードは、リッジ構造20の幅や厚みなどで決定されるが、この実施の形態1では、コア1内に入射されたレーザ光11の伝搬モードと一致するように決定されている。
図3では、クラッド2の側面2eに3個のリッジ構造20が形成されているが、これは一例に過ぎず、1個又は2個のリッジ構造20、あるいは、4個以上のリッジ構造20が形成されているものであってもよい。
コア1内には、外部からレーザ光8が入射方向9で入射される。
励起光発生源4aから出射された励起光5は、レーザ媒質であるコア1の側面1cから入射され、また、励起光発生源4bから出射された励起光5は、レーザ媒質であるコア1の側面1dから入射される。
コア1内に入射された励起光5は、レーザ媒質で吸収されながら、y軸方向に伝搬される。
コア1内では、励起光5がレーザ媒質に吸収されることで、活性媒質が励起されて反転分布が形成される。反転分布が形成されることで、コア1内を伝搬されるレーザ光11に対する利得が発生する。
したがって、レーザ光8としてレーザ種光を準備して、そのレーザ種光をコア1内に入射して増幅させれば、この実施の形態1の平面導波路型レーザ装置は、レーザ増幅器として動作する。
また、平面導波路型レーザ装置のレーザ光軸上に、そのレーザ光軸と直行するように、レーザ光の一部を反射する図示せぬ出力鏡を配置するようにすれば、この実施の形態1の平面導波路型レーザ装置は、レーザ発振器として動作する。
このため、以降の説明では、特に説明がない限り、平面導波路型レーザ装置は、レーザ発振器及びレーザ増幅器の両方に適用される。
レーザ光反射防止膜7aから入射されるレーザ光8は、入射方向9で示される入射角度を持って入射される。
このため、コア1内を伝搬されるレーザ光11は、図1に示すように、コア1の側面1fに到達する。コア1の側面1fにはレーザ光高反射膜6bが施されているため、コア1の側面1fに到達したレーザ光11は、コア1の側面1fに反射される。
コア1の側面1fに反射されたレーザ光11は、コア1内を再び伝搬され、コア1の側面1eに到達する。コア1の側面1eにはレーザ光高反射膜6aが施されているため、コア1の側面1eに到達したレーザ光11は、コア1の側面1eに反射される。
レーザ光11は、レーザ媒質であるコア1内を伝搬される過程で増幅され、レーザ光高反射膜6a,6bで数回反射された後、レーザ光反射防止膜7bが形成されているコア1の側面1fに到達する。
これにより、増幅されたレーザ光11は、レーザ光反射防止膜7bを透過し、出射方向10で示される出射角度を持って外部に出射される。
通常、レーザ光11の反射回数が多くなるように設定すると、レーザ光11の伝搬経路長が長くなり、高い利得が得られる。
図1に示すように、レーザ光高反射膜6a,6bによって反射が繰り返されながらレーザ光11が伝搬される構成では、レーザ光11の伝搬経路長を長くとることができるため、高利得で高出力なレーザ出力を得ることができる。
コア1とクラッド2,3の間には屈折率の差があるため、コア1の厚さ方向であるxz面内では、レーザ光11をコア1内に閉じ込めて伝搬させる導波路となる。
レーザ光11は、導波路において、導波モードと呼ばれる特定の電磁界分布を持って伝搬される。
この導波モードは、レーザ光11の波長と、コア1とクラッド2,3との間の屈折率差と、コア1の厚さとによって決まる。一般的には、レーザ光11の波長が長く、屈折率差が小さく、コア1の厚さが薄くなるほど、導波可能なモード数が減少する。単一の導波モードのみが導波可能な導波路はシングルモード導波路と呼ばれる。
レーザ媒質であるコア1では、クラッド2,3との屈折率差により、レーザ光11の場合と同様に、励起光5をコア1内に閉じ込めて伝搬させる導波路となる。つまり、励起光5はz軸方向に対して導波モードを形成し、レーザ媒質で吸収されながら、y軸方向に伝搬される。
また、L〜(L+ΔL)までの区間ΔLで吸収される励起光パワーPpabs(ΔL)は、下記の式(2)のように表される。
図1の構成では、コア1の2つの側面1c,1dから励起光5が入射されているため、y軸方向では、レーザ媒質で吸収される励起光パワーが、図4(a)に示すような曲線の分布(励起光パワー分布)になる。y軸において、この曲線の左端の位置は、コア1の側面1cの位置であり、右端の位置は、コア1の側面1dの位置である。
レーザ媒質が励起光パワーを吸収することで、レーザ媒質が励起状態になるが、レーザ光11の誘導放出に関係しないエネルギー準位間の遷移では、熱としてエネルギーが放出される。このため、レーザ媒質で吸収される励起光パワーに応じてコア1の温度が上昇する。
y軸方向では、レーザ媒質であるコア1の温度が、図4(b)に示すような曲線の分布(温度分布)になる。
温度Tによる屈折率nの変化量はdn/dTとして表され、屈折率nの変化量dn/dTがプラスの値をとる場合には、温度上昇によって屈折率nが増加し、屈折率nの変化量dn/dTがマイナスの値をとる場合には、温度上昇によって屈折率nが減少する。
屈折率nの変化量dn/dTがプラスの値であるとすると、レーザ媒質であるコア1での屈折率は、図4(c)に示すような曲線の分布(レーザ媒質屈折率分布)になる。
図1に示すような光路でレーザ光11が伝搬される場合、レーザ光11は屈折率分布が生じているレーザ媒質を通過することとなる。
レーザ光11は、z軸方向には導波路の導波モードで伝搬されるため、屈折分布の影響を受けないが、xy平面内では、入射されたレーザ光11の空間モードで伝搬されるため、yz平面におけるレーザ光11のビーム断面内で、ビームの領域によって屈折率が異なることになる。
この場合、例えば、レーザ光11がレーザ光反射防止膜7aからコア1の側面1fに向かう光路では、レーザ光11の進行方向に向かって右側の屈折率が大きく、左側の屈折率が小さくなる。
このため、反射パスによる長い経路を伝搬する過程で、レーザ光11の伝搬モード及び進行方向が大きく変化することになり、安定した動作が得られなくなるという問題がある。
リッジ構造20は、図3に示すように、平面導波路の構造がy軸方向に一様でない構造である。
図1に示すように、コア1の上面1aに接合されているクラッド2の4つの側面のうち、コア1の側面1e,1fに対応している側面2e,2fにおいて、レーザ光11が反射されるコア1の側面1e,1fの領域及び当該領域の近傍領域からなる領域(以下、「レーザ光反射領域」と称する)の上部にのみクラッド2があり、そのレーザ光反射領域以外の領域ではクラッド2が取り除かれた構造となっている。つまり、コア1の側面1e,1fに対応しているクラッド2の側面2e,2fにおいて、レーザ光反射領域の上部では、面づらがコア1の側面1e,1fの面づらと一致している。一方、レーザ光反射領域以外の領域の上部では、クラッド2の側面2e,2fの面づらが、コア1の側面1e,1fの面づらから、x軸方向にセットバックしている構造となっている。このため、クラッド2の側面2e,2fの一部の面が凹んでいる構造になっている。
即ち、リッジ構造20によって形成される導波モードに結合できない成分は放射モードとなり、伝搬されなくなるが、波面曲率が変化して高次モード化している成分や、進行方向が変化している成分は、リッジ構造20によって形成される導波モードに結合できない成分となるため、放射モードとなり、伝搬されなくなる。したがって、リッジ構造20が形成されている部分に入射される際に損失が生じる。
これにより、レーザ光11に対してz軸方向だけではなく、y軸方向についても、伝搬モードを低次モード化(高ビーム品質化)することができる。また、レーザ光11の反射位置を固定することができ、レーザ光11の伝搬方向を安定化することができる。
例えば、図5に示すように、レーザ光反射領域以外の領域の上部でのクラッド2を完全に除去するのではなく、レーザ光反射領域の上部でのクラッド2の厚さと比べて、レーザ光反射領域以外の領域の上部でのクラッド2の厚さを薄くしているリッジ構造20であってもよい。
また、リッジ構造20は、平面導波路を構成しているクラッド2及びコア1の一部が除去されている構造であってもよい。例えば、図6に示すように、レーザ光反射領域以外の領域の上部でのクラッド2を完全に除去するとともに、レーザ光反射領域でのコア1の厚さと比べて、レーザ光反射領域以外の領域でのコア1の厚さを薄くしているリッジ構造20であってもよい。
リッジ構造20で形成される導波モードは、リッジ構造20の形状によって制御できるため、レーザ光の伝搬モードとして、所望する伝搬モードが得られるように、リッジ構造20を設計すればよい。
また、リッジ構造20は、平面導波路の側面のみに形成しているため、加工が容易である。リッジ構造20の加工方法は、加工精度やレーザ光11に対する散乱損失等を考慮して適切な方法が選択される。
コア1の側面1c,1dから励起光5が入射される構成では、出力の大きな励起光5をコア1内に導入することができるため、励起密度を大きくすることができ、高利得な増幅を行うことができる。
この場合、クラッド2の外側に接合されるクラッドを第1の外側クラッド、クラッド3の外側に接合されるクラッドを第2の外側クラッドと称すると、最下層である第2の外側クラッドの上に、クラッド3、コア1、クラッド2、第1の外側クラッドが順番に積層される構造となる。
ダブルクラッド構造では、より輝度の低い高出力な励起光発生源を使用することができ、より高利得な増幅を行うことができる。
ここでは、クラッド2とクラッド3の両方に、外側クラッドを接合する例を示しているが、クラッド2又はクラッド3のいずれか一方に、外側クラッドを接合するものであってもよい。
また、クラッド3の側面の構造がリッジ構造20であるものであってもよい。
また、レーザ光11に対する波面状態の変化や伝搬光路変化の影響が小さい部分であるレーザ光8の入射部(レーザ光反射防止膜7aが形成されている部分)や、レーザ光11の出射部(レーザ光反射防止膜7bが形成されている部分)などでは、リッジ構造20の形成が省略されていてもよい。
また、リッジ構造20は、図8に示すように、レーザ光11の入射角度及び反射角度に沿った角度をつけた構造にしてもよい。図8の例では、リッジ構造20における凸部の先端の幅w1が根元の幅w2より狭くなっている。
このように、角度をつけた構造の場合、リッジ構造20で形成される導波モードをレーザ光11の伝搬モードに合わせることが容易になり、レーザ光11に対する損失を低減させることができる。
低屈折率材料30は、クラッド2よりも屈折率が小さいため、y軸方向に対しても導波モードが形成される。低屈折率材料30が形成されることで、レーザ媒質であるコア1に対する汚れや埃の付着を防ぐことができる。また、クラッド2を基板等に接合する際に生じる応力を緩和させることができる。なお、低屈折率材料30はクラッド2よりも厚さを薄くして設けてもよい。
上記実施の形態1では、コア1における側面1eと側面1fが平行であるものを示したが、コア1における側面1eと側面1fの間に傾斜角が設けられているものであってもよい。
図10の平面導波路型レーザ装置では、図1の平面導波路型レーザ装置と比べて、レーザ光反射防止膜7bの位置が異なり、レーザ光11の出射方向10が異なっている。また、リッジ構造20を形成している範囲が異なっている。
コア1内には、上記実施の形態1と同様に、外部からレーザ光8が入射方向9で入射されるが、コア1の側面1fが側面1eに対して、傾斜角40の角度だけ傾斜しているため、レーザ光11が反射を繰り返す毎に、コア1の側面1e,1fに対するレーザ光11の入射角度が小さくなる。
コア1の側面1e,1fに対するレーザ光11の入射角度が0度となる位置で、レーザ光11の伝搬方向が反転して、折り返し反射が行われる。
図10の例では、折り返し反射後のレーザ光11の伝搬経路が、折り返し反射前のレーザ光11の伝搬経路と交差しており、図中右上に施されているレーザ光反射防止膜7bから出射方向10でレーザ光11が外部に出射されている。
レーザ光11の伝搬経路は、コア1における側面1eと側面1fの間の傾斜角40と、レーザ光8の入射方向9とによって決定される。
しかし、リッジ構造20が形成されているため、レーザ光11の伝搬モードを制御することができる。したがって、レーザ光11の波面状態や伝搬方向の変化を抑制して安定した動作を得ることができる。
このため、リッジ構造20によって制御可能な範囲が、レーザ光11の入射部付近の初期の伝搬モードと、出射部付近の伝搬モードとに限られるが、レーザ光パワーが大きくなるのは出射部付近であるため、出射部付近の伝搬モードを制御できれば、レーザ光の伝搬モードを安定化させる効果が大きくなる。したがって、リッジ構造20によって制御可能な範囲が限定されていても、安定した動作を得ることができる。
上記実施の形態2では、図10において、右上に施されているレーザ光反射防止膜7bから出射方向10でレーザ光11が外部に出射されるものを示したが、レーザ光反射防止膜7aが施されているコア1の側面1eから、出射方向10でレーザ光11が外部に出射されるようにしてもよい。
図11はこの発明の実施の形態3による平面導波路型レーザ装置を示す上面図であり、図11において、図10と同一符号は同一または相当部分を示すので説明を省略する。
コア1内には、レーザ光8が入射方向9で入射されるが、コア1の側面1fが側面1eに対して、傾斜角40の角度だけ傾斜しているため、レーザ光11が反射を繰り返す毎に、コア1の側面1e,1fに対するレーザ光11の入射角度が小さくなる。
上記実施の形態2と同様に、コア1の側面1e,1fに対するレーザ光11の入射角度が0度となる位置で、レーザ光11の伝搬方向が反転して、折り返し反射が行われる。
上記実施の形態2における図10の例では、折り返し反射後のレーザ光11の伝搬経路が、折り返し反射前のレーザ光11の伝搬経路と交差しているが、図11の例では、折り返し反射後のレーザ光11の伝搬経路が、折り返し反射前のレーザ光11の伝搬経路と同軸になっている点で相違している。
このため、折り返し反射後のレーザ光11は、レーザ光反射防止膜7aが施されているコア1の側面1eから、出射方向10でレーザ光11が外部に出射される。したがって、レーザ光の入射部と出射部が同じになっている。
なお、レーザ光の入射光と出射光は、光サーキュレータを用いることで光路を分離することができ、光サーキュレータは、偏光子とファラデーローテータ、または、偏光子と波長板などの組み合わせにより構成することができる。
しかし、リッジ構造20が形成されているため、レーザ光11の伝搬モードを制御することができる。したがって、レーザ光11の波面状態や伝搬方向の変化を抑制して安定した動作を得ることができる。
このため、リッジ構造20によって制御可能な範囲が、レーザ光11の入射部付近の初期の伝搬モードと、出射部付近の伝搬モードとに限られるが、レーザ光パワーが大きくなるのは出射部付近であるため、出射部付近の伝搬モードを制御できれば、レーザ光の伝搬モードを安定化させる効果が大きくなる。したがって、リッジ構造20によって制御可能な範囲が限定されていても、安定した動作を得ることができる。
Claims (7)
- 励起光を吸収するレーザ媒質からなるコアの上面及び下面に、前記レーザ媒質より屈折率が小さいクラッドが接合されている平面導波路と、
前記コアの側面に励起光を出射する励起光発生源と、
前記コアの4つの側面のうち、前記励起光発生源から励起光が出射される側面と異なる2つの対向している側面に形成されているレーザ光の反射膜とを備え、
前記平面導波路の4つの側面の中で、前記励起光発生源から励起光が出射される側面と異なる2つの対向している側面のうち、少なくとも一方の側面の構造が、一部の面が凹んでいるリッジ構造であることを特徴とする平面導波路型レーザ装置。 - 前記リッジ構造は、前記平面導波路を構成している前記クラッドの一部の面が凹んでいる構造であることを特徴とする請求項1記載の平面導波路型レーザ装置。
- 前記リッジ構造は、前記平面導波路を構成している前記クラッド及び前記コアの一部が除去されている構造であることを特徴とする請求項1記載の平面導波路型レーザ装置。
- 前記コア内に入射されたレーザ光の伝搬モードに対応する導波モードが前記リッジ構造によって形成されていることを特徴とする請求項1記載の平面導波路型レーザ装置。
- 前記平面導波路を構成している前記クラッドの外側に別のクラッドが接合されていることを特徴とする請求項1記載の平面導波路型レーザ装置。
- 前記励起光発生源は、
前記コアの4つの側面の中の1つの側面に励起光を出射する第1の光源と、
前記コアの4つの側面のうち、前記第1の光源から励起光が出射される側面と対向している側面に励起光を出射する第2の光源とから構成されていることを特徴とする請求項1記載の平面導波路型レーザ装置。 - 前記レーザ光の反射膜が形成されている2つの対向している側面の間に傾斜角が設けられていることを特徴とする請求項1記載の平面導波路型レーザ装置。
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