JP6338230B1 - 反力相殺装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基台11と、基台11に配置される設置シート21と、可動台ユニット3と、反力相殺ユニット4と、を備えた反力相殺装置であって、可動台ユニット3は、設置シート21に可動的に配置される可動台32と、可動台32を作動することにより、可動台32から反力を受けて可動台32にから離れる方向へ加速移動できるメイン作動手段33と、を有しており、反力相殺ユニット4は、メイン作動手段33に取付けられる相殺作動手段41と、基座ユニット1と相殺作動手段41との間に配置されていると共に、相殺作動手段41による作動を受けてメイン作動手段33が加速移動する方向の反対方向へ移動することにより、前記反力を相殺する相殺移動手段42とを有している。
【選択図】図2
Description
11 基台
111 底壁
112 頂壁
12、12a 直立台
2 設置台ユニット
21 設置シート
211 下壁
212 上壁
213 摺動溝
214 摺動レール
22 振動絶縁手段
221 振動絶縁ベアリング
3 可動台ユニット
31 エアベアリング手段
311a、311b、311c エアベアリング
32 可動台
320 摺動空間
321 可動台本体
322 摺動ブロック
33 メイン作動手段
34 保持台
35 サブ作動手段
4、4a 反力相殺ユニット
41 相殺作動手段
42、42a 相殺移動手段
43 第1の減衰手段
44 第2の減衰手段
5 制御ユニット
X 第1の方向
Y 第2の方向
Claims (5)
- 基座ユニット(1)と、設置台ユニット(2)と、可動台ユニット(3)と、反力相殺ユニット(4)と、制御ユニット(5)とを備えた反力相殺装置であって、
前記基座ユニット(1)は基台(11)を有しており、
前記設置台ユニット(2)は、前記基台(11)と間を開けて該基台(11)の上側に配置されている設置シート(21)と、前記設置シート(21)と前記基台(11)とを接続させるように配置されている振動絶縁手段(22)とを有しており、
前記可動台ユニット(3)は、前記設置シート(21)に取付けられていると共に、
前記設置シート(21)に対して可動的に配置されている可動台(32)と、
前記可動台(32)を作動することにより、前記可動台(32)から反力を受けて前記可動台(32)から離れる方向へ加速移動することができるように構成されたメイン作動手段(33)と、
前記可動台(32)と共に移動することができると共に、前記可動台(32)に対して移動することもできるように、前記可動台(32)に取付けられている保持台(34)とを有しており、
前記反力相殺ユニット(4)は、
前記メイン作動手段(33)に取付けられている少なくとも1つの相殺作動手段(41)と、
前記基座ユニット(1)と前記相殺作動手段(41)との間に配置されていると共に、前記相殺作動手段(41)による作動を受けて前記メイン作動手段(33)が加速移動する方向の反対方向へ移動することにより、前記反力を相殺するように構成されている相殺移動手段(42)とを有しており、
前記制御ユニット(5)は、前記メイン作動手段(33)及び前記相殺作動手段(41)に電気的に接続されていると共に、前記メイン作動手段(33)と前記可動台(32)との相対移動の時間に関連する位置情報及び前記相殺作動手段(41)と前記相殺移動手段(42)との相対移動の時間に関連する位置情報を読み取ることができるように構成され、且つ、該位置情報から加速情報に変換した上で該加速情報に基づいて前記相殺作動手段(41)の移動を制御しており、
また、前記メイン作動手段(33)は、前記可動台(32)の第1の方向(X)に沿った移動を作動するように配置されており、
前記相殺作動手段(41)は、前記相殺移動手段(42)の前記第1の方向(X)に沿った移動を作動するよう配置されており、
前記可動台ユニット(3)は、前記可動台(32)に配置されると共に、前記保持台(34)の前記第1の方向(X)と略直交する第2の方向(Y)に沿った移動を作動する少なくとも1つのサブ作動手段(35)と、を有しており、
更に、前記設置シート(21)は、
前記基台(11)に臨む下壁(211)と、
前記下壁(211)の反対側にある上壁(212)と、
前記上壁(212)から前記下壁(211)へ、且つ前記第1の方向(X)に沿って延伸すると共に、前記第2の方向(Y)において互いに相対するように配置される2つの摺動溝(213)と、
前記上壁(212)から上へ突起すると共に、各前記摺動溝(213)の隣りにそれぞれ配置される2つの摺動レール(214)と、を有しており、
前記可動台(32)は、
前記保持台(34)を前記第2の方向(Y)において移動可能に収容する摺動空間(320)が画成される可動台本体(321)と、
前記可動台本体(321)と連接すると共に、各前記摺動溝(213)にそれぞれ摺動可能に配置される2つの摺動ブロック(322)と、を有しており、
前記可動台ユニット(3)は、各前記摺動レール(214)にそれぞれ摺動可能に保持されると共に、各前記摺動ブロック(322)とそれぞれ接続する2つの前記メイン作動手段(33)を有していることを特徴とする反力相殺装置。 - 前記可動台ユニット(3)は、前記設置シート(21)の前記上壁(212)に配置されるエアベアリング手段(31)を更に有しており、
前記可動台(32)及び前記保持台(34)は、前記エアベアリング手段(31)に支持されて前記上壁(212)の上で浮動できることを特徴とする請求項1に記載の反力相殺装置。 - 前記メイン作動手段(33)及び前記相殺作動手段(41)は、いずれもリニアサーボモータであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の反力相殺装置。
- 前記反力相殺ユニット(4)は、前記相殺移動手段(42)と前記基座ユニット(1)との間に配置される第1の減衰手段(43)を更に有していることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の反力相殺装置。
- 前記反力相殺ユニット(4)は、前記相殺作動手段(41)に配置される第2の減衰手段(44)を更に有していることを特徴とする請求項4に記載の反力相殺装置。
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2017
- 2017-01-30 JP JP2017013826A patent/JP6338230B1/ja active Active
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