JP2018124068A - 反力相殺装置 - Google Patents
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Landscapes
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Abstract
Description
11 基台
111 底壁
112 頂壁
12、12a 直立台
2 設置台ユニット
21 設置シート
211 下壁
212 上壁
213 摺動溝
214 摺動レール
22 振動絶縁手段
221 振動絶縁ベアリング
3 可動台ユニット
31 エアベアリング手段
311a、311b、311c エアベアリング
32 可動台
320 摺動空間
321 可動台本体
322 摺動ブロック
33 メイン作動手段
34 保持台
35 サブ作動手段
4、4a 反力相殺ユニット
41 相殺作動手段
42、42a 相殺移動手段
43 第1の減衰手段
44 第2の減衰手段
5 制御ユニット
X 第1の方向
Y 第2の方向
Claims (7)
- 基座ユニットと、設置台ユニットと、可動台ユニットと、反力相殺ユニットと、制御ユニットとを備えた反力相殺装置であって、
前記基座ユニットは基台を有しており、
前記設置台ユニットは、前記基台と間を開けて該基台の上側に配置されている設置シートと、前記設置シートと前記基台とを接続させるように配置されている振動絶縁手段とを有しており、
前記可動台ユニットは、前記設置シートに取付けられていると共に、
前記設置シートに対して可動的に配置されている可動台と、
前記可動台を作動することにより、前記可動台から反力を受けて前記可動台から離れる方向へ加速移動することができるように構成されたメイン作動手段と、
前記可動台と共に移動することができると共に、前記可動台に対して移動することもできるように、前記可動台に取付けられている保持台とを有しており、
前記反力相殺ユニットは、
前記メイン作動手段に取付けられている少なくとも1つの相殺作動手段と、
前記基座ユニットと前記相殺作動手段との間に配置されていると共に、前記相殺作動手段による作動を受けて前記メイン作動手段が加速移動する方向の反対方向へ移動することにより、前記反力を相殺するように構成されている相殺移動手段とを有しており、
前記制御ユニットは、前記メイン作動手段及び前記相殺作動手段に電気的に接続されていると共に、前記メイン作動手段と前記可動台との相対移動の時間に関連する位置情報及び前記相殺作動手段と前記相殺移動手段との相対移動の時間に関連する位置情報を読み取ることができるように構成され、且つ、該位置情報から加速情報に変換した上で該加速情報に基づいて前記相殺作動手段の移動を制御することを特徴とする反力相殺装置。 - 前記メイン作動手段は、前記可動台の第1の方向に沿った移動を作動するように配置されており、
前記相殺作動手段は、前記相殺移動手段の前記第1の方向に沿った移動を作動するよう配置されており、
前記可動台ユニットは、前記可動台に配置されると共に、前記保持台の前記第1の方向と略直交する第2の方向に沿った移動を作動する少なくとも1つのサブ作動手段と、を有していることを特徴とする請求項1に記載の反力相殺装置。 - 前記設置シートは、
前記基台に臨む下壁と、
前記下壁の反対側にある上壁と、
前記上壁から前記下壁へ、且つ前記第1の方向に沿って延伸すると共に、前記第2の方向において互いに相対するように配置される2つの摺動溝と、
前記上壁から上へ突起すると共に、各前記摺動溝の隣りにそれぞれ配置される2つの摺動レールと、を有しており、
前記可動台は、
前記保持台を前記第2の方向において移動可能に収容する摺動空間が画成される可動台本体と、
前記可動台本体と連接すると共に、各前記摺動溝にそれぞれ摺動可能に配置される2つの摺動ブロックと、を有しており、
前記可動台ユニットは、各前記摺動レールにそれぞれ摺動可能に保持されると共に、各前記摺動ブロックとそれぞれ接続する2つの前記メイン作動手段を有していることを特徴とする請求項2に記載の反力相殺装置。 - 前記可動台ユニットは、前記設置シートの前記上壁に配置されるエアベアリング手段を更に有しており、
前記可動台及び前記保持台は、前記エアベアリング手段に支持されて前記上壁の上で浮動できることを特徴とする請求項3に記載の反力相殺装置。 - 前記メイン作動手段及び前記相殺作動手段は、いずれもリニアサーボモータであることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の反力相殺装置。
- 前記反力相殺ユニットは、前記相殺移動手段と前記基座ユニットとの間に配置される第1の減衰手段を更に有していることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載の反力相殺装置。
- 前記反力相殺ユニットは、前記相殺作動手段に配置される第2の減衰手段を更に有していることを特徴とする請求項6に記載の反力相殺装置。
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Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0671532A (ja) * | 1992-08-25 | 1994-03-15 | Sony Corp | 可動体の微振動抑制方法と装置 |
JPH10125593A (ja) * | 1996-10-22 | 1998-05-15 | Canon Inc | ステージ装置 |
JPH11168064A (ja) * | 1997-09-22 | 1999-06-22 | Nikon Corp | ステージ駆動方法、ステージ装置、及び露光装置 |
JP2001242937A (ja) * | 2000-03-01 | 2001-09-07 | Sharp Corp | ステージ装置 |
EP1341044A2 (en) * | 1995-05-30 | 2003-09-03 | ASML Netherlands B.V. | Positioning device with a reference frame for a measuring system |
CN103472681A (zh) * | 2012-06-08 | 2013-12-25 | 上海微电子装备有限公司 | 光刻机运动台反力抵消装置及应用其的光刻机 |
CN105467770A (zh) * | 2014-09-09 | 2016-04-06 | 上海微电子装备有限公司 | 反力外引装置及其方法 |
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0671532A (ja) * | 1992-08-25 | 1994-03-15 | Sony Corp | 可動体の微振動抑制方法と装置 |
EP1341044A2 (en) * | 1995-05-30 | 2003-09-03 | ASML Netherlands B.V. | Positioning device with a reference frame for a measuring system |
JPH10125593A (ja) * | 1996-10-22 | 1998-05-15 | Canon Inc | ステージ装置 |
JPH11168064A (ja) * | 1997-09-22 | 1999-06-22 | Nikon Corp | ステージ駆動方法、ステージ装置、及び露光装置 |
JP2001242937A (ja) * | 2000-03-01 | 2001-09-07 | Sharp Corp | ステージ装置 |
CN103472681A (zh) * | 2012-06-08 | 2013-12-25 | 上海微电子装备有限公司 | 光刻机运动台反力抵消装置及应用其的光刻机 |
CN105467770A (zh) * | 2014-09-09 | 2016-04-06 | 上海微电子装备有限公司 | 反力外引装置及其方法 |
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