JP6336834B2 - 電界計測装置 - Google Patents

Description

本発明は、アンテナや電子機器などから発生する電界成分を計測する電界計測装置に関する。

電子機器の開発試作品等の評価において電磁的な相互干渉による誤作動等の原因となる部位（ノイズ源）を特定したり、アンテナの指向性や電磁エネルギーの伝搬経路を特定したりする場合、電磁エネルギーの流れを示すポインティングベクトルを計測することが有効である。このポインティングベクトルは、磁界の強度及び位相を表す磁界ベクトルと、電界の強度及び位相を表す電界ベクトルとの外積で求められるベクトルである。このため、ポインティングベクトルを計測する場合、一般には磁界及び電界を個別に計測し、その計測結果を演算処理する必要がある。なお、磁界計測用プローブとしては、例えば、シールテッドループコイル等が用いられ、電界計測用プローブとしては、例えば、モノポールアンテナ等が用いられている。

ところで、電界計測用プローブは、サイズを小さくすることが困難であり、磁界計測用プローブと比較して、広い周波数帯域を確保しづらい。さらに、電界計測用プローブ自体が電界の空間分布に影響を与えるため、精度の良い計測が困難であるという問題が生じていた。

そこで、特許文献１に記載のポインティングベクトル計測装置では、マクスウェル方程式から導出される磁界と電界の関係を利用して、磁界計測用プローブによる磁界成分の検出結果から電界成分を計算により推定している。すなわち、電界センサや電位センサを使用することなく、磁界計測用プローブによる計測結果だけを使用して電界ベクトルＥを算出し、電界ベクトルＥと磁界ベクトルＨの外積を求めることで、ポインティングベクトルを算出している。

特開２０１４−８５１７６号公報

しかしながら、特許文献１に記載のポインティングベクトル計測装置では、簡易な構成でポインティングベクトルを精度良く計測することができるとの記載があるものの、磁界計測用プローブの具体的かつ現実的な形状については何ら言及されていない。

本発明は、このような点に鑑みて創作されたものであり、その目的は、簡易な構成で、電界の３次元空間分布を算出することができる電界計測装置を提供することにある。

本発明の電界計測装置は、計測対象となる計測ポイントを通り互いに直交する三つの軸をＸ軸，Ｙ軸，Ｚ軸として、計測ポイントにおける各軸方向の磁界成分を検出する磁界検出部と、磁界成分算出手段と、電界成分算出手段とを備える。

磁界検出部は、Ｘ軸用磁界プローブと、Ｙ軸用磁界プローブと、Ｚ軸用磁界プローブとを有して構成されている。Ｘ軸用磁界プローブには、計測ポイントを挟んでＹ軸上で対向する２位置及びＺ軸上で対向する２位置のそれぞれに、Ｘ軸の磁界を検出する磁界センサであるＸ軸用ループコイルが配置される。

Ｙ軸用磁界プローブには、計測ポイントを挟んでＺ軸上で対向する２位置及びＸ軸上で対向する２位置のそれぞれに、Ｙ軸の磁界を検出する磁界センサであるＹ軸用ループコイルが配置される。Ｚ軸用磁界プローブには、計測ポイントを挟んでＸ軸上で対向する２位置及びＹ軸上で対向する２位置のそれぞれに、Ｚ軸の磁界を検出する磁界センサであるＺ軸用ループコイルが配置される。

磁界成分算出手段は、計測ポイントにおける各軸方向の磁界成分について、Ｘ軸用ループコイルの検出結果からＸ軸方向の成分を、Ｙ軸用ループコイルの検出結果からＹ軸方向の成分を、Ｚ軸用ループコイルの検出結果からＺ軸方向の成分を求める。

電界成分算出手段は、計測ポイントにおける各軸方向の電界成分について、Ｙ軸用ループコイル及びＺ軸用ループコイルの検出結果からＸ軸方向の成分を、Ｚ軸用ループコイル及びＸ軸用ループコイルの検出結果からＹ軸方向の成分を、Ｘ軸用ループコイル及びＹ軸用ループコイルの検出結果からＺ軸方向の成分を、マクスウェル方程式から導出される磁界と電界の関係を利用して求める。

さらに、Ｘ軸用ループコイル、Ｙ軸用ループコイル、Ｚ軸用ループコイルは、計測ポイントから各ループコイルの中心までの距離が等しく、同位置の異なる２軸用のループコイルが干渉を回避するように配置されている。

好ましくは、Ｘ軸用ループコイル、Ｙ軸用ループコイル及びＺ軸用ループコイルは、コイル面積が同一の楕円形状に形成されている。ここで、「中心までの距離が等しい」、「同一の楕円形状」とは、厳密な意味での「等しい」又は「同一」に限らず、当該技術分野の技術常識に照らして、通常、「等しい」又は「同一」と判断される範囲の同一性を有していれば、「等しい」又は「同一」であると解釈する。

本発明の構成によれば、異なる２軸用のループコイルが互いに干渉することなく、計測ポイントＰからの距離が等しい位置に配置される。電界センサや電位センサを使用することなく、磁界センサによる計測結果だけを使用して電界成分を算出する装置を、簡易な構成により容易に実現することができる。

また、簡易な構成とすることで小型化が可能となり、装置自体が電界の空間分布に与える影響を極力少なくすることができる。したがって、電界の３次元空間分布を精度良く算出することができる。

本発明の第１実施形態による電界計測装置の全体を示す模式図。 磁界検出部を示す全体斜視図。 Ｘ軸用磁界プローブを示す平面図。 Ｙ軸用磁界プローブを示す平面図。 Ｚ軸用磁界プローブを示す平面図。 本発明の第２実施形態による電界計測装置の全体を示す模式図。

〈第１実施形態〉
［構成］
本発明の第１実施形態の構成について、図１〜図５を参照して説明する。図１に示すように、本実施形態の電界計測装置１０１は、複数の磁界センサによって構成された磁界検出部１と、磁界検出部１での検出結果を取り込み計算処理する計算処理部２とを備えている。磁界検出部１と計算処理部２とは複数の配線により接続されており、磁界検出部１の検出結果が計算処理部２へ出力されるようになっている。計算処理部２は、「磁界成分算出手段」及び「電界成分算出手段」に相当する。

磁界検出部１の構成について、図２〜図５を参照して説明する。以下では、磁界検出部１の中心を、電界計測の計測ポイントＰとし、計測ポイントＰを通り、かつ、それぞれが互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸と呼ぶものとする。そして、図２に各軸の先端に矢印で示す方向を各軸の正方向として説明する。図２に示すように、磁界検出部１は、Ｘ軸用磁界プローブ１１と、Ｙ軸用磁界プローブ１２と、Ｚ軸用磁界プローブ１３とで構成されている。図２〜図５における磁界検出部１、各軸用磁界プローブ１１，１２，１３の形状は、実際の形状を示している。

Ｘ軸用磁界プローブ１１は、図３に示すように、ＹＺ平面上に配置され、全体として計測ポイントＰを中心とした略十字形状に形成されている。Ｘ軸用磁界プローブ１１は、基板２０と、基板２０上に配置された磁界センサとしてのＸ軸用ループコイル１１１，１１２，１１３，１１４とを有している。基板２０は、例えば樹脂製の薄板状部材から形成される。

基板２０は、第１Ｌ字部２１と、第２Ｌ字部２２と、第１Ｌ字部２１と第２Ｌ字部２２とを連結する連結部２３とを有する。第１Ｌ字部２１は、Ｙ軸位置成分及びＺ軸位置成分が正となる位置に形成されて、計測ポイントＰを角として略Ｌ字形状をなす。第２Ｌ字部２２は、Ｙ軸位置成分及びＺ軸位置成分が負となる位置に形成されて、計測ポイントＰを角として略Ｌ字形状をなす。連結部２３は、Ｙ軸位置成分が負でありＺ軸位置成分が正となる位置に形成されて、一角が円弧形状に切り欠かれた略正方形状をなしている。

第１Ｌ字部２１のＹ軸正方向の先端寄りには、略正方形状をなす突出部２４が、Ｙ軸（Ｚ＝０）からＺ軸負方向側へ出っ張るように形成されている。突出部２４の突出量は、第１Ｌ字部２１の幅と略同じであって、Ｙ軸方向長さは後述するＸ軸用ループコイル１１２の短径よりも長くなるように形成されている。

第１Ｌ字部２１のＺ軸正方向の先端には、長方形状をなす突出部２５が、Ｚ軸（Ｙ＝０）からＹ軸負方向へ出っ張るように形成されている。突出部２５の突出量は、第１Ｌ字部２１の幅と略同じであって、Ｚ軸方向長さは後述するＸ軸用ループコイル１１１の長径よりも長くなるように形成されている。

第２Ｌ字部２２のＹ軸負方向の先端寄りには、略正方形状をなす突出部２６が、Ｙ軸（Ｚ＝０）からＺ軸正方向側へ出っ張るように形成されている。突出部２６の突出量は、第２Ｌ字部２２の幅と略同じであって、Ｙ軸方向長さは後述するＸ軸用ループコイル１１４の短径よりも長くなるように形成されている。

第２Ｌ字部２２のＺ軸負方向の先端には、長方形状をなす突出部２７が、Ｚ軸（Ｙ＝０）からＹ軸正方向へ出っ張るように形成されている。突出部２７の突出量は、第２Ｌ字部２２の幅と略同じであって、Ｚ軸方向長さは後述するＸ軸用ループコイル１１３の長径よりも長くなるように形成されている。

第１Ｌ字部２１と各突出部２４，２５とで構成される部位と、第２Ｌ字部２２と各突出部２６，２７とで構成される部位とは、計測ポイントＰを中心に点対称となっている。さらに、計測ポイントＰとなる基板２０の中心部には、計測ポイントＰを中心に４分の３円弧形状をなす円弧状スリット部２８が形成されている。円弧状スリット部２８は、第１Ｌ字部２１と連結部２３と第２Ｌ字部２２のそれぞれにおける計測ポイントＰ側の１角を、４分の１円弧形状に切り欠いた形状に形成されている。これにより、基板２０の中心部は、Ｙ軸位置成分が正かつＺ軸位置成分が負である円弧部分が切り欠かれて開放した形状となっている。

そして、基板２０には、計測ポイントＰを挟んでＺ軸上で対向し、かつ、計測ポイントＰからの距離が同一となる位置に、Ｘ軸用ループコイル１１１，１１３が設けられており、計測ポイントＰを挟んでＹ軸上で対向し、かつ、計測ポイントＰからの距離が同一となる位置に、Ｘ軸用ループコイル１１２，１１４が設けられている。

各Ｘ軸用ループコイル１１１，１１２，１１３，１１４は、例えばシールデッドループコイルであって、楕円形状をなしている。なお、上述した「計測ポイントＰからの距離」とは、計測ポイントＰから各Ｘ軸用ループコイル１１１，１１２，１１３，１１４の楕円中心までの距離のことを言う。そして、各Ｘ軸用ループコイル１１１，１１２，１１３，１１４は、その長径方向がＺ軸方向と一致し、短径方向がＹ軸方向と一致するように基板２０上に取り付けられている。各Ｘ軸用ループコイル１１１，１１２，１１３，１１４の内側は基板２０の肉が取られて孔空きになっている。

Ｙ軸用磁界プローブ１２は、ＸＺ平面上に配置されており、その形状についてはＸ軸用磁界プローブ１１と同一であるため、詳細については一部説明を省略する。Ｙ軸用磁界プローブ１２は、図４に示すように、基板３０と、基板３０上に配置された磁界センサとしてのＹ軸用ループコイル１２１，１２２，１２３，１２４とを有している。

Ｘ軸用磁界プローブ１１と同様に、基板３０は、第１Ｌ字部３１と、第２Ｌ字部３２と、連結部３３とを有する。第１Ｌ字部３１は、Ｘ軸位置成分が負でありＺ軸位置成分が正となる位置に形成されており、第２Ｌ字部３２は、Ｘ軸位置成分が正でありＺ軸位置成分が負となる位置に形成されている。連結部３３は、Ｘ軸位置成分及びＺ軸位置成分が負となる位置に形成されている。

第１Ｌ字部３１のＺ軸正方向の先端寄りには、略正方形状をなす突出部３４が、Ｚ軸（Ｘ＝０）からＸ軸正方向側へ出っ張るように形成されている。第１Ｌ字部３１のＸ軸負方向の先端には、長方形状をなす突出部３５が、Ｘ軸（Ｚ＝０）からＺ軸負方向へ出っ張るように形成されている。

第２Ｌ字部３２のＺ軸負方向の先端寄りには、略正方形状をなす突出部３６が、Ｚ軸（Ｘ＝０）からＸ軸負方向側へ出っ張るように形成されている。第２Ｌ字部３２のＸ軸正方向の先端には、長方形状をなす突出部３７が、Ｘ軸（Ｚ＝０）からＺ軸正方向へ出っ張るように形成されている。さらに、計測ポイントＰとなる基板３０の中心部には、円弧状スリット部３８が形成されている。

そして、基板３０には、計測ポイントＰを挟んでＺ軸上で対向し、かつ、計測ポイントＰからの距離が同一となる位置に、Ｙ軸用ループコイル１２１，１２３が設けられており、計測ポイントＰを挟んでＸ軸上で対向し、かつ、計測ポイントＰからの距離が同一となる位置に、Ｙ軸用ループコイル１２２，１２４が設けられている。そして、各Ｙ軸用ループコイル１２１，１２２，１２３，１２４は、その長径方向がＸ軸方向と一致し、短径方向がＺ軸方向と一致するように基板３０上に取り付けられている。

Ｚ軸用磁界プローブ１３は、ＸＹ平面上に配置されており、その形状についてはＸ軸用磁界プローブ１１及びＹ軸用磁界プローブ１２と同一であるため、詳細については一部説明を省略する。Ｚ軸用磁界プローブ１３は、図５に示すように、基板４０と、基板４０上に配置された磁界センサとしてのＺ軸用ループコイル１３１，１３２，１３３，１３４とを有している。

基板４０は、第１Ｌ字部４１と、第２Ｌ字部４２と、連結部４３とを有する。第１Ｌ字部４１は、Ｘ軸位置成分が負でありＹ軸位置成分が正となる位置に形成されており、第２Ｌ字部４２は、Ｘ軸位置成分が正でありＹ軸位置成分が負となる位置に形成されている。連結部４３は、Ｘ軸位置成分及びＹ軸位置成分が正となる位置に形成されている。

第１Ｌ字部４１のＸ軸負方向の先端寄りには、略正方形状をなす突出部４４が、Ｘ軸（Ｙ＝０）からＹ軸負方向側へ出っ張るように形成されている。第１Ｌ字部４１のＹ軸正方向の先端には、長方形状をなす突出部４５が、Ｙ軸（Ｘ＝０）からＸ軸正方向へ出っ張るように形成されている。

第２Ｌ字部４２のＸ軸正方向の先端寄りには、略正方形状をなす突出部４６が、Ｘ軸（Ｙ＝０）からＹ軸正方向側へ出っ張るように形成されている。第２Ｌ字部４２のＹ軸負方向の先端には、長方形状をなす突出部４７が、Ｙ軸（Ｘ＝０）からＸ軸負方向へ出っ張るように形成されている。さらに、計測ポイントＰとなる基板４０の中心部には、円弧状スリット部４８が形成されている。

そして、基板４０には、計測ポイントＰを挟んでＹ軸上で対向し、かつ、計測ポイントＰからの距離が同一となる位置に、Ｚ軸用ループコイル１３１，１３３が設けられており、計測ポイントＰを挟んでＸ軸上で対向し、かつ、計測ポイントＰからの距離が同一となる位置に、Ｚ軸用ループコイル１３２，１３４が設けられている。そして、各Ｚ軸用ループコイル１３１，１３２，１３３，１３４は、その長径方向がＹ軸方向と一致し、短径方向がＸ軸方向と一致するように基板４０上に取り付けられている。

本実施形態では、各ループコイル１１１，１１２，１１３，１１４，１２１，１２２，１２３，１２４，１３１，１３２，１３３，１３４は全て同一楕円形状であり、かつ、各軸用磁界プローブ１１，１２，１３についても互いに同一形状であることを特徴とする。ここで、「同一」であるとは、当該技術分野の技術常識に照らして、通常、「同一」と判断される範囲の同一性を有していれば、「同一」であると解釈する。

以上、詳述した各軸用磁界プローブ１１，１２，１３は、図２に示すように、計測ポイントＰとなる中心位置を一致させた状態で一体に組み付けられる。このとき、各軸用磁界プローブ１１，１２，１３の円弧状スリット部２８，３８，４８において円弧部分が切り欠かれて開放されている部位から、各軸用磁界プローブ１１，１２，１３の各軸を一致させるように組み付ける。組み合わせられた際、組み合わせの中心部、すなわち各円弧状スリット部２８，３８，４８の内側部位が計測ポイントＰとなる。

そして、Ｘ軸用ループコイル１１１の内側に、Ｙ軸用磁界プローブ１２の突出部３４がＸ軸負方向側から挿通し、Ｘ軸用ループコイル１１３の内側に、Ｙ軸用磁界プローブ１２の突出部３６がＸ軸正方向側から挿通するように組み付けされる。また、Ｙ軸用ループコイル１２２の内側に、Ｚ軸用磁界プローブ１３の突出部４６がＹ軸負方向側から挿通し、Ｙ軸用ループコイル１２４の内側に、Ｚ軸用磁界プローブ１３の突出部４４がＹ軸正方向側から挿通する。

さらに、Ｚ軸用ループコイル１３１の内側に、Ｘ軸用磁界プローブ１１の突出部２４がＺ軸正方向側から挿通し、Ｚ軸用ループコイル１３３の内側に、Ｘ軸用磁界プローブ１１の突出部２６がＺ軸負方向側から挿通する。

上述のように各軸用磁界プローブ１１，１２，１３が一体に組み付けられると、図２に示すように、Ｘ軸用ループコイル１１１とＹ軸用ループコイル１２１、Ｘ軸用ループコイル１１３とＹ軸用ループコイル１２３、Ｙ軸用ループコイル１２２とＺ軸用ループコイル１３２、Ｙ軸用ループコイル１２４とＺ軸用ループコイル１３４、Ｚ軸用ループコイル１３１とＸ軸用ループコイル１１２、Ｚ軸用ループコイル１３３とＸ軸用ループコイル１１４とが、楕円中心のＸＹＺ座標を共通とする同位置に配置される。

［電界計測処理］
次に、本実施形態の電界計測装置１０１を用いた電界計測処理、すなわち計測ポイントＰにおける電界ベクトルＥの算出方法について説明する。まず、３次元空間内において、計測ポイントＰが磁界検出部１の原点と一致するように磁界検出部１を配置する。

次に、計測ポイントＰの磁界ベクトルＨを算出する。各軸方向の磁界成分について、Ｘ軸用ループコイル１１１，１１２，１１３，１１４の検出結果からその平均値を算出することにより、Ｘ軸方向の磁界成分Ｈｘを求める。同様に、Ｙ軸用ループコイル１２１，１２２，１２３，１２４の検出結果からＹ軸方向の磁界成分Ｈｙを、Ｚ軸用ループコイル１３１，１３２，１３３，１３４の検出結果からＺ軸方向の磁界成分Ｈｚを求める。

一方、電界ベクトルＥの算出は、計測ポイントＰにおける各軸方向の電界成分として、Ｙ軸用ループコイル１２１，１２２，１２３，１２４とＺ軸用ループコイル１３１，１３２，１３３，１３４の検出結果からＸ軸方向の電界成分Ｅｘを、Ｚ軸用ループコイル１３１，１３２，１３３，１３４とＸ軸用ループコイル１１１，１１２，１１３，１１４の検出結果からＹ軸方向の電界成分Ｅｙを、Ｘ軸用ループコイル１１１，１１２，１１３，１１４とＹ軸用ループコイル１２１，１２２，１２３，１２４の検出結果からＺ軸方向の電界成分Ｅｚを求める。

ここで、各軸の電界成分は、マクスウェル方程式から導出される磁界と電界の関係を利用して求める。マクスウェル方程式によれば、電界と磁界は式（１）に示すように関係付けられる。

式（１）より、計測ポイントＰ（ｉ，ｊ，ｋ）におけるＸ軸方向の電界成分Ｅｘについては式（２）、Ｙ軸方向の電界成分Ｅｙについては式（３）、Ｚ軸方向の電界成分Ｅｚについては式（４）の関係が得られる。

式（２）〜式（４）により、各軸方向の電界成分Ｅｘ、Ｅｙ，Ｅｚを算出する。なお、磁界成分及び電界成分の算出は計算処理部２によって実行される。

［効果］
本実施形態では、各ループコイル１１１，１１２，１１３，１１４、１２１，１２２，１２３，１２４，１３１，１３２，１３３，１３４を同一の楕円形状とすることで、異なる２軸用のループコイル、例えばＸ軸用ループコイル１１１とＹ軸用ループコイル１２１、Ｘ軸用ループコイル１１２とＺ軸用ループコイル１３１等を互いに干渉させることなく楕円中心を同座標位置に配置することができる。すなわち、各ループコイルの中心から計測ポイントＰまでの距離が等しく、かつコイル面積が同一である磁界検出部１の装置構成を容易に実現することができる。

さらに、全てのループコイル１１１，１１２，１１３，１１４、１２１，１２２，１２３，１２４，１３１，１３２，１３３，１３４は、コイル面積が同一であり計測ポイントＰからの距離が等しいため、各磁界成分を求める際には単純平均値を用いれば良く、距離やコイル面積に応じて重み付けした加重平均値をわざわざ用いる必要もなく、簡易な処理で磁界成分を検出し、ひいては電界成分を算出することができる。すなわち、電界計測装置１０１の処置負荷を軽減することができる。

本実施形態では、各軸用磁界プローブ１１，１２，１３のそれぞれに円弧状スリット部２８，３８，４８を形成しており、円弧部分が切り欠かれて開放されている部位から各軸用磁界プローブ１１，１２，１３を組み付けることが可能である。つまり、円弧状スリット部２８，３８，４８が各軸用磁界プローブ１１，１２，１３を組み合わせる際の逃げとして機能するため、各軸用磁界プローブ１１，１２，１３の基板２０，３０，４０を互いに干渉させることなく容易に３つの各軸用磁界プローブ１１，１２，１３を組み合わせることができる。

さらに、本実施形態では、３つの各軸用磁界プローブ１１，１２，１３がすべて同一形状であるため、製造が容易であり、装置構成を簡易化することができる。さらには、装置全体の小型化を図ることができ、装置によって被測定電磁界が攪乱されることを抑制し、精度の良い計測結果を得ることができる。

〈第２実施形態〉
［構成］
次に、本発明の第２実施形態の電界計測装置１０２について、図６を参照して説明する。なお、第１実施形態と同様の構成については同じ符号を付し、説明を省略する。

本実施形態の電界計測装置１０２は、第１実施形態と同様の構成である磁界検出部１と、磁界検出部１を移動させるステージ５１と、磁界検出部１の各軸用磁界プローブ１１，１２，１３を切り替えるスイッチ５２と、各軸用磁界プローブ１１，１２，１３の信号を増幅するアンプ５３と、磁界検出部１の検出結果から磁界成分及び電界成分を算出する計算処理部５４とを備えている。

ステージ５１は、磁界検出部１を移動可能に保持し、磁界検出部１の３次元空間内での位置を制御する。ステージ５１は、特許請求の範囲に記載の「位置制御手段」に相当する。スイッチ５２は、検出信号の取得対象となる磁界センサを切り替える。アンプ５３は、スイッチ５２を介して取得した検出信号を増幅する。計算処理部５４は、スイッチによって選択された磁界センサから出力される検出信号を順次周波数解析する周知のスペクトルアナライザからなる。

なお、ステージ５１、スイッチ５２、計算処理部５４は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを中心に構成される周知のマイクロコンピュータにより制御される。
本実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果を奏し、さらに、ステージ５１によって磁界検出部１を自動的に所望の計測位置に移動させることができ、より高度な電界計測を行うことができる。

〈他の実施形態〉
上記各実施形態では、全てのループコイル１１１，１１２，１１３，１１４、１２１，１２２，１２３，１２４，１３１，１３２，１３３，１３４を同一の楕円形状としたが、本発明では、例えば同座標位置に配置されるループコイルのうち、一方のループコイルのみ楕円形状とし他方のループコイルを正円形状に形成しても良い。この場合でも、同座標位置に異なる２軸用のループコイルを配置することができる。また、楕円形状をなすループコイルと正円形状をなすループコイルのコイル面積を同じくすれば、上記各実施形態と同様に、各軸方向の磁界成分を求める際には加重平均をとることなく簡易な処理で磁界及び電界を算出することができる。

その他、本発明のループコイルの形状は、円及び楕円形状に限らず、多角形状等であっても良い。ループコイルのコイル面積が異なる場合に各軸方向の磁界成分を求める際には、コイル面積に応じて重み付けした加重平均値を用いれば良い。

上記各実施形態における円弧状スリット部２８，３８，４８は円弧形状に形成したが、３軸の各軸用磁界プローブ１１，１２，１３が組み付けられる際に基板２０，３０，４０が干渉しないように逃げ部として機能することができれば、その他の形状でも良い。

上記各実施形態では、各軸用磁界プローブ１１，１２，１３をすべて同一形状としたが、多少の形状の相違がある構成でも良い。
上記実施形態において、さらにポインティングベクトルＳを求める構成としても良い。ポインティングベクトルＳは、電界ベクトルＥと磁界ベクトルＨの外積として求められ、この算出は計算処理部２，５４が実行する。

上記各実施形態において、計測結果としての電界ベクトルＥの出力を、例えば図示しない表示装置にて表示するようにしても良い。
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の形態で実施可能である。

１ ・・・磁界検出部
２，５４ ・・・計算処理部（磁界成分算出手段、電界成分算出手段）
１１ ・・・Ｘ軸用磁界プローブ
１２ ・・・Ｙ軸用磁界プローブ
１３ ・・・Ｚ軸用磁界プローブ
２８，３８，４８ ・・・円弧状スリット部（スリット部）
１０１，１０２ ・・・電界計測装置
１１１，１１２，１１３，１１４ ・・・Ｘ軸用ループコイル
１２１，１２２，１２３，１２４ ・・・Ｙ軸用ループコイル
１３１，１３２，１３３，１３４ ・・・Ｚ軸用ループコイル
Ｐ ・・・計測ポイント

Claims (6)

1. 計測対象となる計測ポイント（Ｐ）を通り互いに直交する三つの軸をＸ軸，Ｙ軸，Ｚ軸とし、前記計測ポイントを通り前記Ｘ軸と直交する平面をＹＺ平面とし、前記計測ポイントを通り前記Ｙ軸と直交する平面をＸＺ平面とし、前記計測ポイントを通り前記Ｚ軸と直交する平面をＸＹ平面とし、前記ＹＺ平面上において前記計測ポイントを挟んで前記Ｙ軸上で対向する２位置及び前記Ｚ軸上で対向する２位置のそれぞれに、前記Ｘ軸の磁界を検出する磁界センサであるＸ軸用ループコイル（１１１，１１２，１１３，１１４）を配置するＸ軸用磁界プローブ（１１）、
   前記ＸＺ平面上において前記計測ポイントを挟んで前記Ｚ軸上で対向する２位置及び前記Ｘ軸上で対向する２位置のそれぞれに、前記Ｙ軸の磁界を検出する磁界センサであるＹ軸用ループコイル（１２１，１２２，１２３，１２４）を配置するＹ軸用磁界プローブ（１２）及び、
   前記ＸＹ平面上において前記計測ポイントを挟んで前記Ｘ軸上で対向する２位置及び前記Ｙ軸上で対向する２位置のそれぞれに、前記Ｚ軸の磁界を検出する磁界センサであるＺ軸用ループコイル（１３１，１３２，１３３，１３４）を配置するＺ軸用磁界プローブ（１３）を有する磁界検出部（１）と、
   前記計測ポイントにおける各軸方向の磁界成分について、前記Ｘ軸用ループコイルの検出結果からＸ軸方向の成分を、前記Ｙ軸用ループコイルの検出結果からＹ軸方向の成分を、前記Ｚ軸用ループコイルの検出結果からＺ軸方向の成分を求める磁界成分算出手段（２，５４）と、
   前記計測ポイントにおける各軸方向の電界成分について、前記Ｙ軸用ループコイル及び前記Ｚ軸用ループコイルの検出結果からＸ軸方向の成分を、前記Ｚ軸用ループコイル及び前記Ｘ軸用ループコイルの検出結果からＹ軸方向の成分を、前記Ｘ軸用ループコイル及び前記Ｙ軸用ループコイルの検出結果からＺ軸方向の成分を、マクスウェル方程式から導出される磁界と電界の関係を利用して求める電界成分算出手段（２，５４）と、
   を備え、前記Ｘ軸用ループコイル、前記Ｙ軸用ループコイル及び前記Ｚ軸用ループコイルは、前記計測ポイントから前記各ループコイルの中心までの距離が等しく、同位置の異なる２軸用の前記ループコイルが干渉を回避するように配置されており、
   前記Ｘ軸用ループコイル、前記Ｙ軸用ループコイル及び前記Ｚ軸用ループコイルは、
   コイル面積が同一の楕円形状に形成されていることを特徴とする電界計測装置（１０１，１０２）。
2. 前記Ｘ軸用磁界プローブ、前記Ｙ軸用磁界プローブ及び前記Ｚ軸用磁界プローブは、
   前記計測ポイントに一致する中心部に、他の２つの前記磁界プローブとの組み付けを可能とするスリット部（２８，３８，４８）が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の電界計測装置。
3. 前記スリット部は、円弧形状の一部をなすように形成されていることを特徴とする請求項２に記載の電界計測装置。
4. 前記Ｘ軸用磁界プローブ、前記Ｙ軸用磁界プローブ及び前記Ｚ軸用磁界プローブは、互いに同一形状であることを特徴とする請求項１〜請求項３のうちいずれか一項に記載の電界計測装置。
5. 計測対象となる計測ポイント（Ｐ）を通り互いに直交する三つの軸をＸ軸，Ｙ軸，Ｚ軸とし、前記計測ポイントを通り前記Ｘ軸と直交する平面をＹＺ平面とし、前記計測ポイントを通り前記Ｙ軸と直交する平面をＸＺ平面とし、前記計測ポイントを通り前記Ｚ軸と直交する平面をＸＹ平面とし、前記ＹＺ平面上において前記計測ポイントを挟んで前記Ｙ軸上で対向する２位置及び前記Ｚ軸上で対向する２位置のそれぞれに、前記Ｘ軸の磁界を検出する磁界センサであるＸ軸用ループコイル（１１１，１１２，１１３，１１４）を配置するＸ軸用磁界プローブ（１１）、
   前記ＸＺ平面上において前記計測ポイントを挟んで前記Ｚ軸上で対向する２位置及び前記Ｘ軸上で対向する２位置のそれぞれに、前記Ｙ軸の磁界を検出する磁界センサであるＹ軸用ループコイル（１２１，１２２，１２３，１２４）を配置するＹ軸用磁界プローブ（１２）及び、
   前記ＸＹ平面上において前記計測ポイントを挟んで前記Ｘ軸上で対向する２位置及び前記Ｙ軸上で対向する２位置のそれぞれに、前記Ｚ軸の磁界を検出する磁界センサであるＺ軸用ループコイル（１３１，１３２，１３３，１３４）を配置するＺ軸用磁界プローブ（１３）を有する磁界検出部（１）と、
   前記計測ポイントにおける各軸方向の磁界成分について、前記Ｘ軸用ループコイルの検出結果からＸ軸方向の成分を、前記Ｙ軸用ループコイルの検出結果からＹ軸方向の成分を、前記Ｚ軸用ループコイルの検出結果からＺ軸方向の成分を求める磁界成分算出手段（２，５４）と、
   前記計測ポイントにおける各軸方向の電界成分について、前記Ｙ軸用ループコイル及び前記Ｚ軸用ループコイルの検出結果からＸ軸方向の成分を、前記Ｚ軸用ループコイル及び前記Ｘ軸用ループコイルの検出結果からＹ軸方向の成分を、前記Ｘ軸用ループコイル及び前記Ｙ軸用ループコイルの検出結果からＺ軸方向の成分を、マクスウェル方程式から導出される磁界と電界の関係を利用して求める電界成分算出手段（２，５４）と、
   を備え、前記Ｘ軸用ループコイル、前記Ｙ軸用ループコイル及び前記Ｚ軸用ループコイルは、前記計測ポイントから前記各ループコイルの中心までの距離が等しく、同位置の異なる２軸用の前記ループコイルが干渉を回避するように配置されており、
   前記Ｘ軸用磁界プローブ、前記Ｙ軸用磁界プローブ及び前記Ｚ軸用磁界プローブは、互いに同一形状であることを特徴とする電界計測装置（１０１，１０２）。
6. 前記磁界検出部を移動可能に保持し、前記磁界検出部の３次元空間内での位置を制御する位置制御手段（５１）を備えることを特徴とする請求項１〜請求項５のうちいずれか一項に記載の電界計測装置（１０２）。

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