JP6327041B2 - 分光測定装置 - Google Patents
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Description
ここでは、ラマン分光測定を例に挙げて説明したが、ノッチフィルタやエッジフィルタを用いる他の分光測定方法や分光測定装置においても同様の問題が生じる。
前記測定光を非単一の入射角で前記光学フィルタに入射させ、該光学フィルタを透過した測定光の分光特性を測定する
ことを特徴とする。
測定点から発せられる測定光を所定の集光位置に集光する集光光学系と、
前記測定光が非単一の入射角で入射し、特定の波長範囲の光を除去する光学フィルタと、
を備えることを特徴とする。
前記光学フィルタが、前記測定点から前記集光位置までの光路上であって、前記測定光が非平行光である光路上に配置された特定の波長範囲の光を除去する平板状の光学フィルタを有する
ように構成することができる。
前記集光光学系が、測定点から発せられる測定光を平行光に変換する第1集光レンズと、前記平行光を所定の集光位置に集光する第2集光レンズとを有し、
前記光学フィルタが、前記第1集光レンズと前記第2集光レンズとの間において前記平行光の光路上に配置された複数枚の平板状の光学フィルタを有し、それらのうちの少なくとも2枚について該平行光の光軸と入射面がなす角度が互いに異なる
ように構成することができる。
前記集光光学系が、測定点から発せられる測定光を平行光に変換する第1集光レンズと、前記平行光を所定の集光位置に集光する第2集光レンズとを有し、
前記光学フィルタが、前記第1集光レンズと前記第2集光レンズの間とにおいて、複数に分割された前記平行光の光路上にそれぞれ配置された特定の波長範囲の光を除去する複数枚の平板状の光学フィルタを有し、それらのうちの少なくとも2枚について該平行光の光軸と入射面がなす角度が互いに異なる
ように構成することができる。
前記集光光学系が、測定点から発せられる測定光を平行光に変換する第1集光レンズと、前記平行光を所定の集光位置に集光する第2集光レンズとを有し、
前記光学フィルタが、前記第1集光レンズと前記第2集光レンズとの間において前記平行光の光路上に配置され、
前記第1集光レンズと前記光学フィルタとの間に配置された、前記平行光のうちの一部の光を進行方向を変更する方向変更部を更に備える
ように構成することができる。
実施例4においても、実施例3と同様に、入射角に対する光透過特性のシフト量を考慮し、光透過率の増減傾向が逆になる入射角の組み合わせとなるように構成することが好ましい。また、3枚以上のノッチフィルタを用いて検出光学系352を構成してもよい。
上記の実施例はいずれも一例であって、本発明の趣旨に沿って適宜に変更することができる。
上記の実施例では、ラマン分光測定装置を例に挙げて説明したが、特定の波長を有する光を除去する光学フィルタを用いる分光測定装置であれば、ラマン分光測定装置以外のものに適用して上記同様の効果を得ることができる。
また、上記実施例では、光学フィルタがノッチフィルタである場合について説明したが、光学フィルタとしてエッジフィルタを用いる場合にも同様の効果を得ることができる。
2…配管
3…筐体
4…光源部
41…光源
42…照射光学系
5…検出部
51、151、251、351、451…検出器
52、152、252、352、452…検出光学系
7、17、27、37、47…第1集光レンズ
8、18、28、38、48…第2集光レンズ
9、19、291、292、391、392、49…ノッチフィルタ
501…プリズム
6…窓部
Claims (6)
- 測定点から発せられる測定光を所定の集光位置に集光する集光光学系と、
前記測定点から前記集光位置までの光路上であって、前記測定光が非平行光である光路上に配置され、前記測定光が非単一の入射角で入射し、特定の波長範囲の光を除去する平板状の光学フィルタと
を備え、前記測定光の光軸と前記光学フィルタの入射面とがなす角度が、リップルの影響が最も低減される角度に設定されている分光測定装置。 - 測定点から発せられる測定光を平行光に変換する第1集光レンズと、前記平行光を所定の集光位置に集光する第2集光レンズとを有する集光光学系と、
前記第1集光レンズと前記第2集光レンズとの間において前記平行光の光路上に配置された複数枚の平板状の光学フィルタであって、それらのうちの少なくとも2枚について該平行光の光軸と入射面がなす角度が互いに異なる複数枚の平板状の光学フィルタと
を備え、
前記平行光の光軸と前記光学フィルタの入射面がなす角度が、リップルの影響が最も低減される角度に設定されている分光測定装置。 - 測定点から発せられる測定光を平行光に変換する第1集光レンズと、前記平行光を所定の集光位置に集光する第2集光レンズとを有する集光光学系と、
前記測定光が非単一の入射角で入射し、特定の波長範囲の光を除去する光学フィルタと
を備えた分光測定装置であって、
前記光学フィルタが、前記第1集光レンズと前記第2集光レンズとの間において、複数に分割された前記平行光の光路上にそれぞれ配置された複数枚の平板状の光学フィルタであり、それらのうちの少なくとも2枚について該平行光の光軸と入射面がなす角度が互いに異なる分光測定装置。 - 前記平行光の光軸と前記光学フィルタの入射面がなす角度が、リップルの影響が最も低減される角度に設定されている、請求項3に記載の分光測定装置。
- 測定点から発せられる測定光を平行光に変換する第1集光レンズと、前記平行光を所定の集光位置に集光する第2集光レンズとを有する集光光学系と、
前記第1集光レンズと前記第2集光レンズとの間において前記平行光の光路上に配置され、前記測定光が非単一の入射角で入射し、特定の波長範囲の光を除去する光学フィルタと、
前記第1集光レンズと前記光学フィルタとの間に配置された、前記平行光のうちの一部の光を進行方向を変更する方向変更部と
を備える分光測定装置。 - 前記方向変更部によって進行方向を変更された平行光の光軸と前記光学フィルタの入射面がなす角度が、リップルの影響が最も低減される角度に設定されている、請求項5に記載の分光測定装置。
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JP2014151540A JP6327041B2 (ja) | 2014-07-25 | 2014-07-25 | 分光測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014151540A JP6327041B2 (ja) | 2014-07-25 | 2014-07-25 | 分光測定装置 |
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JP2016029341A JP2016029341A (ja) | 2016-03-03 |
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Family Applications (1)
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JP2014151540A Active JP6327041B2 (ja) | 2014-07-25 | 2014-07-25 | 分光測定装置 |
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