JP6323245B2 - Installation table for gas purge unit, load port device and purge target container - Google Patents
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Description
本発明は、ガスパージユニット、ロードポート装置およびパージ対象容器の設置台に関する。 The present invention relates to a gas purge unit, a load port device, and an installation table for a purge target container.
たとえば半導体の製造工程では、ロードポート装置の載置台にガス給気ノズルを配置し、ウエハ搬送容器の底面に設けられたガス給気ポートに当該給気ノズルを接触させ、パージガスを導入することでウエハ搬送容器の内雰囲気をパージガスによって清浄化する技術がある(ボトムパージ)。 For example, in a semiconductor manufacturing process, a gas supply nozzle is arranged on a mounting table of a load port device, the supply nozzle is brought into contact with a gas supply port provided on the bottom surface of the wafer transfer container, and a purge gas is introduced. There is a technique for purging the inner atmosphere of a wafer transfer container with a purge gas (bottom purge).
このような技術において、ガス給気ポートの位置のばらつきや傾きによって、ガス給気ノズルとガス給気ポートとの間で位置ずれ生じる恐れがあった。このような隙間が生じることによって、ガス給気ノズルから給気される不活性ガスが漏れたり、隙間を介してウエハ搬送容器の内部に外気が混入する問題がある。 In such a technique, there is a possibility that a position shift occurs between the gas supply nozzle and the gas supply port due to the variation or inclination of the position of the gas supply port. When such a gap is generated, there is a problem that the inert gas supplied from the gas supply nozzle leaks or outside air is mixed into the wafer transfer container through the gap.
このような課題を解決するため、ガス給気ノズル先端をパージガスの導入圧に追従するような可撓性シールを用いる技術がある(特許文献1)。また、給気ノズルを支持する支持部材に関しノズルが傾動可能な態様とすることで、傾きに追従する技術もある(特許文献2)。 In order to solve such a problem, there is a technique using a flexible seal in which the tip of the gas supply nozzle follows the introduction pressure of the purge gas (Patent Document 1). In addition, there is a technique for following the inclination by adopting a mode in which the nozzle can tilt with respect to the support member that supports the air supply nozzle (Patent Document 2).
特許文献1では、ガス給気ポートと接触する部位が可撓性シール部材であるため、パージガス導入の観点では隙間を埋める効果が期待できる。しかしながら、別工程においてウエハ搬送容器を載置台から脱離するにあたり、可撓性シール部材がガス給気ポートに固着してしまい、脱離が困難になるといった問題が生じる。可撓性のある部材の変形部位が長時間直接接触し続けるため、パージガスの導入圧によって当該部材が固着してしまうものと考えられる。 In patent document 1, since the site | part which contacts a gas supply port is a flexible sealing member, the effect of filling a clearance gap can be anticipated from a viewpoint of purge gas introduction. However, when the wafer transfer container is detached from the mounting table in a separate process, there arises a problem that the flexible seal member adheres to the gas supply port, making it difficult to remove. Since the deformed part of the flexible member keeps in direct contact for a long time, it is considered that the member is fixed by the introduction pressure of the purge gas.
一方、特許文献2においては、給気ノズルを傾動することによって傾斜に追従しており、ノズル位置の調整は可能ではある。しかしながら、給気ノズルと傾動支持部との間にわずかでも付着物が生じた場合に追従性の妨げになりうる。また、給気ノズルの可動領域を確保しなければならず、ノズルユニット全体として小型化が困難である。
On the other hand, in
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、その目的は、シール特性に優れ、パージ対象容器の内部を清浄化ガスで満たすことが容易であり、しかもノズルとポートとの脱離がスムーズなガスパージユニット、ロードポート装置およびパージ対象容器の設置台を提供することである。 The present invention has been made in view of such a situation, and the object thereof is excellent in sealing characteristics, it is easy to fill the inside of the purge target container with the cleaning gas, and the desorption between the nozzle and the port is smooth. It is to provide a gas purge unit, a load port device, and an installation base for a purge target container.
上記目的を達成するために、本発明の第1の観点に係るガスパージユニットは、
給気口が形成してある給気ポートを有するパージ対象容器の内部に清浄化ガスを前記給気ポートを通して吹き込むためのガスパージユニットであって、
前記清浄化ガスを吹き出すノズル口を持つ給気ノズルと、
前記ノズル口の周囲を囲むように前記給気ノズルに基端部が固定され、弾性変形可能な筒状部材と、
前記筒状部材の先端部に設けられ、前記給気ポートに着脱自在に接触可能な接触部材とを有し、
前記接触部材の硬度が前記筒状部材の硬度よりも高いことを特徴とする。
In order to achieve the above object, a gas purge unit according to the first aspect of the present invention comprises:
A gas purge unit for blowing a cleaning gas into a purge target container having an air supply port formed with an air supply port through the air supply port,
An air supply nozzle having a nozzle port for blowing out the cleaning gas;
A cylindrical member whose base end is fixed to the air supply nozzle so as to surround the nozzle opening and is elastically deformable;
A contact member provided at a distal end portion of the cylindrical member and detachably contactable with the air supply port;
The contact member has a hardness higher than that of the cylindrical member.
本発明の第2の観点に係るガスパージユニットは、
排気口が形成してある排気ポートを有するパージ対象容器の内部から清浄化ガスを前記排気ポートを通して排気するためのガスパージユニットであって、
前記清浄化ガスを排気するノズル口を持つ排気ノズルと、
前記ノズル口の周囲を囲むように前記排気ノズルに基端部が固定され、弾性変形可能な筒状部材と、
前記筒状部材の先端部に設けられ、前記排気ポートに着脱自在に接触可能な接触部材とを有し、
前記接触部材の硬度が前記筒状部材の硬度よりも高いことを特徴とする。
The gas purge unit according to the second aspect of the present invention is:
A gas purge unit for exhausting a cleaning gas from the inside of a purge target container having an exhaust port formed with an exhaust port through the exhaust port,
An exhaust nozzle having a nozzle port for exhausting the cleaning gas;
A tubular member having a base end fixed to the exhaust nozzle so as to surround the periphery of the nozzle opening and elastically deformable,
A contact member provided at a distal end portion of the cylindrical member and detachably contactable with the exhaust port;
The contact member has a hardness higher than that of the cylindrical member.
本発明のガスパージユニットでは、給気ノズル(または排気ノズル/以下同様)に設けられた筒状部材の先端部に設けられた接触部材がパージ対象容器の給気ポート(または排気ポート/以下同様)に着脱自在に接触する。接触部材が取り付けられた筒状部材は、弾性変形可能な弾性部材で構成してある。そのため、パージ対象容器の位置ズレや傾きなどにより、給気ポートの位置ずれや傾きがある場合であっても、弾性変形可能な筒状部材が変形することで、接触部材は、給気口(または排気口/以下同様)の周囲で給気ポートに密着して接触する。そのため、筒状部材は、ノズル口および給気口を外気から良好に遮断してシールし、これらを気密に連結することができる。 In the gas purge unit of the present invention, the contact member provided at the tip of the cylindrical member provided in the air supply nozzle (or exhaust nozzle / hereinafter the same) is the air supply port (or exhaust port / hereinafter the same) of the purge target container. Removably contact with. The cylindrical member to which the contact member is attached is composed of an elastic member that can be elastically deformed. Therefore, even when the supply port is displaced or inclined due to the displacement or inclination of the purge target container, the elastically deformable cylindrical member is deformed, so that the contact member is Or contact closely with the air supply port around the exhaust port. For this reason, the cylindrical member can seal the nozzle port and the air supply port well from the outside air, and can seal them.
したがって、ノズル口から給気(または排気/以下同様)される清浄化ガスは、外部に漏れることなく、しかも外気が混入することなく、給気口からパージ対象容器の内部に流入し(または排気/以下同様)、その内部を良好に清浄化ガスで満たし、内部をクリーンな状態に維持することができる。 Therefore, the cleaning gas supplied from the nozzle port (or exhausted / hereinafter the same) flows into the purge target container from the supply port without leaking to the outside and without being mixed with outside air (or exhausted). / Same as below), the inside can be satisfactorily filled with the cleaning gas, and the inside can be maintained in a clean state.
さらに、接触部材は、弾性変形可能な筒状部材よりも硬度が高いため、筒状部材の先端が接触する場合に比較して、給気ポートに長時間で接触していたとしても、接触部材自体は変形せず、給気ポートに対する固着を効果的に防止することができる。また、摩耗を防止することができ、パーティクルの発生を抑制することができると共に、チリ・ホコリによる作動不具合が生じることもない。 Further, since the contact member has a higher hardness than the elastically deformable cylindrical member, even if the contact member is in contact with the air supply port for a long time compared to the case where the tip of the cylindrical member is in contact, the contact member It does not deform itself and can be effectively prevented from sticking to the air supply port. Further, wear can be prevented, generation of particles can be suppressed, and malfunction due to dust and dust does not occur.
さらにまた、給気ノズルのノズル口と、可動部(筒状部材)と、位置調整部(接触部材)とが独立した構成となるため、ノズル自体は傾斜せず、ノズルへの付着物による可動性の低下によるシール性の低下などが生じない。また、ノズル自体は傾斜しないことから、ノズルへの清浄化ガスの給気が容易である。さらに弾性変形可能な部分は、局所的な部位に構成すれば良いのでノズル全体の小型化も可能となる。 Furthermore, since the nozzle port of the air supply nozzle, the movable part (cylindrical member), and the position adjusting part (contact member) are independent, the nozzle itself does not tilt and can be moved by the deposits on the nozzle. There is no deterioration in sealing performance due to the deterioration in performance. Further, since the nozzle itself does not tilt, it is easy to supply the cleaning gas to the nozzle. Furthermore, since the elastically deformable portion may be formed in a local portion, the entire nozzle can be reduced in size.
好ましくは、前記接触部材の硬度は、当該接触部材が接触する給気ポートの接触面の硬度よりも高い。このように構成することで、給気ポートに対する固着を、より効果的に防止することができる。 Preferably, the hardness of the contact member is higher than the hardness of the contact surface of the air supply port with which the contact member contacts. By comprising in this way, the adhering with respect to an air supply port can be prevented more effectively.
好ましくは、前記接触部材は、前記筒状部材とは異なる材料で構成してある。このように構成することで、接触部材の硬度を筒状部材に比較して容易に高くすることができる。なお、筒状部材の先端部を、化学処理や物理処理などで変質させて硬化させることにより、硬度が高い接触部材を形成しても良い。 Preferably, the contact member is made of a material different from that of the cylindrical member. By comprising in this way, the hardness of a contact member can be easily made high compared with a cylindrical member. In addition, you may form a contact member with high hardness by changing and hardening the front-end | tip part of a cylindrical member by chemical processing or physical processing.
前記筒状部材は、前記給気ノズルに固定される基端部と、前記基端部と前記先端部とを連絡する筒本体とを有しても良く、
前記基端部に近い前記筒本体の内径よりも、前記先端部に近い前記筒本体の内径が大きくしても良い。
The cylindrical member may have a base end portion fixed to the air supply nozzle, and a tube main body that connects the base end portion and the tip end portion,
The inner diameter of the cylinder body close to the distal end may be larger than the inner diameter of the cylinder body close to the base end.
その場合には、接触部材と給気ポートとの接触性をさらに向上させることができる。また、筒状部材の基端部が固定される給気ノズルの台座の径を小さくすることが可能になる。 In that case, the contact property between the contact member and the air supply port can be further improved. In addition, the diameter of the base of the air supply nozzle to which the base end portion of the cylindrical member is fixed can be reduced.
あるいは、前記基端部に近い前記筒本体の内径よりも、前記先端部に近い前記筒本体の内径が小さくしてもよい。このように構成することで、給気ノズルから給気ポートに向かう清浄化ガスの流れが良くなる。 Or you may make the internal diameter of the said cylinder main body near the said front-end | tip part smaller than the internal diameter of the said cylinder main body near the said base end part. With this configuration, the flow of the cleaning gas from the supply nozzle toward the supply port is improved.
前記接触部材は、前記筒状部材の先端部を覆うリング状被覆部材であってもよい。あるいは、前記接触部材は、前記筒状部材の先端部に埋め込まれるリング状埋込部材であってもよい。 The contact member may be a ring-shaped covering member that covers a distal end portion of the cylindrical member. Alternatively, the contact member may be a ring-shaped embedded member embedded in the distal end portion of the cylindrical member.
あるいは、前記接触部材は、
前記筒状部材の先端部の内縁に設けられる取付部と、
前記取付部から径方向の外側に広がる拡径部と、
前記拡径部に形成され、前記給気ポートの接触面に着脱自在に接触する接触部分とを有してもよい。
Alternatively, the contact member is
A mounting portion provided at the inner edge of the tip of the tubular member;
An enlarged diameter portion extending radially outward from the mounting portion;
A contact portion that is formed on the enlarged diameter portion and removably contacts the contact surface of the air supply port.
あるいは、前記接触部材は、
前記筒状部材の先端部の内縁に設けられる取付部と、
前記取付部から径方向の外側に広がる拡径部と、
前記拡径部の外周に形成され、前記給気ポートの接触面に着脱自在に接触する凸状の接触凸部とを有してもよい。
Alternatively, the contact member is
A mounting portion provided at the inner edge of the tip of the tubular member;
An enlarged diameter portion extending radially outward from the mounting portion;
It may have a convex contact convex part formed on the outer periphery of the enlarged diameter part and detachably contacting the contact surface of the air supply port.
本発明のロードポート装置は、上述したガスパージユニットを有する。本発明のパージ対象容器の設置台は、上述したガスパージユニットを有する。本発明のガスパージユニットは、その他の装置や場所に設置しても良い。 The load port apparatus of the present invention has the gas purge unit described above. The installation base of the purge target container of the present invention has the gas purge unit described above. The gas purge unit of the present invention may be installed in other devices or places.
以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。 Hereinafter, the present invention will be described based on embodiments shown in the drawings.
第1実施形態
図1に示すように、本発明の一実施形態に係るロードポート装置10は、半導体処理装置60に連結してある。ロードポート装置10は、設置台12と、その設置台12に対して、X軸方向に移動可能な可動テーブル14とを有する。なお、図面において、X軸が可動テーブル14の移動方向を示し、Z軸が鉛直方向の上下方向を示し、Y軸がこれらのX軸およびZ軸に垂直な方向を示す。
First Embodiment As shown in FIG. 1, a
可動テーブル14のZ軸方向の上部には、複数のウエハ1を密封して保管して搬送するポットやフープなどで構成される密封搬送容器2が着脱自在に載置可能になっている。密封搬送容器2は、ケーシング2aを有する。ケーシング2aの内部には、被処理物たるウエハ1を内部に収めるための空間が形成されている。ケーシング2aは、水平方向に存在するいずれか一面に開口を有する略箱状の形状を有する。
On the upper part of the movable table 14 in the Z-axis direction, a sealed
また、密封搬送容器2は、ケーシング2aの開口2bを密閉するための蓋4を備えている。ケーシング2aの内部に水平に保持されたウエハ1を鉛直方向に重ねる為の複数の段を有する棚(不図示)が配置されており、ここに載置されるウエハ1各々はその間隔を一定として容器2の内部に収容される。
The sealed
ロードポート装置10は、密封搬送容器2の内部に密封状態で収容してあるウエハを、クリーン状態を維持しながら、半導体処理装置60の内部に、移し替えるためのインターフェース装置である。このロードポート装置10は、壁部材11の受渡口13を開閉するドア18を有する。壁部材11は、半導体処理装置60の内部をクリーン状態に密封するケーシングの一部、または半導体処理装置60とロードポート装置10とを連結するイーフェム(EFEM)などの装置の内部をクリーン状態に密封するケーシングの一部として機能するようになっている。ドア18の動きについては、図5A〜図5Dを用いて簡単に説明する。
The
図5Aに示すように、テーブル14の上に容器2が設置されると、後述するボトムガスパージが行われる。そして、図5Bに示すように、ボトムガスパージが行われた状態で、テーブル14がX軸方向に移動し、容器2の開口2bを気密に塞いでいる蓋4が取り付けられている開口縁部2cが、壁部材11の受渡口13の内部に入り込む。
As shown in FIG. 5A, when the
それと同時に、壁11の内部(テーブル14とは反対側)に位置するドア18が、容器2の蓋4に係合する。その際に、開口縁部2cと受渡口13の開口縁との間はガスケットなどによりシールされ、これらの間は良好に密封される。その後に、図5Cに示すように、ドア18を蓋4と共に、X軸方向に平行移動させ、あるいは回動移動させて、蓋4を開口縁部2cから取り外し、開口2cを開き、容器2の内部と壁11の内部とを連通させる。その際にも、ボトムガスパージを継続させて動作させても良いし、ボトムパージに加えて、壁11の内部から容器2の内部に向けて、窒素ガスやその他の不活性ガスなどのパージガス(清浄化ガス)を吹き出す(フロントパージ)ようにしても良い。
At the same time, the
次に、図5Dに示すように、壁11の内部で、ドア18をZ軸下方に移動させれば、容器2の開口2bは、壁11の内部に対して完全に開き、壁11の内部に配置されたロボットハンドなどにより、開口2bを通して、壁11の内部に、ウエハ1の受渡が行われる。その際にも、容器2の内部および壁11の内部は、外気から遮断され、ボトムパージおよび/またはフロントパージが継続されても良く、容器2の内部はクリーンな環境に維持される。容器2の内部にウエハ1を戻して容器2をテーブル14から取り外すには、上記の逆の動作を行えば良い。
Next, as shown in FIG. 5D, if the
図2に示すように、可動テーブル14の上面14aには、1つ以上の位置決めピン16が埋設されており、ケーシング2aの下面に設けられた位置決め部3の凹部に位置決めピン16が嵌合することにより、容器2と可動テーブル14との位置関係が一義的に決定される。
As shown in FIG. 2, one or more positioning pins 16 are embedded in the
ウエハ1の保管や搬送中には、密封搬送容器2の内部は密封され、ウエハ1の周囲は、クリーンな環境に維持される。密封搬送容器2が可動テーブル14の上面14aに位置決めされて設置されると、密封搬送容器2の下面に形成してある給気ポート5と排気ポート6とが、それぞれ給気用ガスパージユニット20の給気用シール装置30と、排気用ガスパージユニット40の排気用シール装置50とに気密に連結される。本実施形態では、給気用ガスパージユニット20および排気用ガスパージユニット40により、容器2の内部のボトムガスパージ処理が行われる。なお、図面においては、理解を容易にするために、密封搬送容器2に比較して、給気ポート5、排気ポート6、給気用ガスパージユニット20、および排気用ガスパージユニット40などを拡大して図示してあるが、実際の寸法比とは異なる。
During the storage and transfer of the wafer 1, the inside of the sealed
給気ポート5および排気ポート6にはそれぞれ給気口5aおよび排気口6aが形成してあり、これらは、逆止弁5b,6bを介してケーシング2aの内部に連通可能になっている。給気口5aの途中に設けられた逆止弁5bは、給気口5aを通してケーシング2aの内部に所定以上の圧力で入り込もうとする清浄化ガスの流入は許容するが、その逆の排気を許容しない弁である。
An
排気口6aの途中に設けられた逆止弁6bは、排気口5aを通してケーシング2aの内部から所定以上の圧力で排出されようとする清浄化ガスの排出は許容するが、その逆の給気を許容しない弁である。これらの弁5b,6bを設けることで、給気ポート5または排気ポート6にガスパージユニット20または40が接続されない限りは、容器2の搬送中や保管中に、容器2の内部が給気口5aまたは排気口6aを通して外気と連通することはない。
The
図2に示すように、本実施形態では、給気用ガスパージユニット20と排気用ガスパージユニット40とは、同様な構造を有する。これらのユニット20および40は、可動デーブル14の内部に収容してあり、これらのユニット20および40におけるシール装置30および50の頭部のみが、テーブル14の上面14aからZ軸方向の上部に飛び出している。
As shown in FIG. 2, in this embodiment, the supply
給気用ガスパージユニット20は、たとえば窒素ガスやその他の不活性ガスなどの清浄化ガスを供給するための給気流路22が形成してある給気部材24を有し、給気部材24はテーブル14の内部に配置してある。給気部材24のZ軸方向の上部には、ノズル口26が形成してある給気ノズル28が気密に連結してあり、ノズル口26と給気流路22とが連通している。ノズル口26は、給気用シール装置30の内部に気密に連通している。
The air supply
排気用ガスパージユニット40は、たとえば窒素ガスや不活性ガスなどの清浄化ガスを排気するための排気流路42が形成してある排気部材44を有し、排気部材44はテーブル14の内部に配置してある。排気部材44のZ軸方向の上部には、ノズル口46が形成してある排気ノズル48が気密に連結してあり、ノズル口46と排気流路42とが連通している。ノズル口46は、排気用シール装置50の内部に気密に連通している。
The exhaust
本実施形態では、給気用シール装置30と排気用シール装置50とは、同一な構成を有するために、給気用シール装置30についてのみ詳細に説明し、排気用シール装置50の説明は省略する。
In the present embodiment, the
図4Aに示すように、給気用シール装置30は、筒状部材31を有する。筒状部材31は、筒本体31aを有し、筒本体31aの基端部32が給気ノズル28の上端部に埋め込まれて固定してあり、筒本体31aがノズル口26の周囲を囲むようになっている。
As shown in FIG. 4A, the air
筒本体31aの途中には、拡径フランジ部31bが一体的に形成してある。本実施形態では、拡径フランジ部31bは、水平板状に広がるように形成してある。拡径フランジ部31bを含む筒本体31aの先端部33には、その先端部33を覆うように、リング状の接触部材34がカシメ止めや接着などの手段で接合してある。接触部材34は、ノズル口26を囲み、筒状部材の先端部33を覆うリング状被覆部材であり、その横断面形状は、上側に半円状に凸部となる形状である。
An
接触部材34の硬度は、弾性変形可能な筒状部材31の硬度よりも高く、接触部34が給気口5aに接触する際に変形する程度の硬さであるOリング35に対し、変形を生じない硬さであることが好ましい。たとえば筒状部材31は、弾力性に富んで使用圧力においてガスを透過させない材料と厚みで構成される。具体的には、筒状部材31は、たとえばゴム、軟質プラスチック、スポンジなどで構成される。
The hardness of the
また、接触部材34は、弾力性に乏しく硬度が高く、使用圧力においてガスを透過させない材料と厚みで構成される。具体的には、接触部材34は、たとえばアルミニウム、鋼、銅、チタニウムなどの金属で構成されるが、硬度が高い材料であれば金属に限らず、プラスチックなどで構成されても良い。
Further, the
本実施形態では、図4Aに示すように、基端部32に近い筒本体31aの内径d1よりも、先端部33に近い筒本体31aの内径d2が大きい。また、ノズル口26の内径をd0とすれば、d0<d1<d2の関係にある。
In the present embodiment, as shown in FIG. 4A, the inner diameter d2 of the
図3Aおよび図3Bに示すように、上側に断面半円状の凸部となる接触部材34の凸部は、給気ポート5の給気口5aを囲む接触下面5cに接触する。接触下面5cには、図示省略してあるシール用ガスケットシートが装着してあっても良い。ガスケットシートは、弾力性を有し、接触部材34の硬度は、接触部材34が接触する給気ポート5の接触下面5cの硬度よりも高い。
As shown in FIGS. 3A and 3B, the convex portion of the
図3Bに示すように、筒状部材31は、弾性変形が可能な部材、たとえばゴムなどで構成されるために、テーブル14に対して容器2が多少傾斜して設置されたとしても、筒状部材31が弾性変形し、接触部材34の断面半円状の凸部は、接触下面5cに対して全周にわたり密着して、内部の気密性が保たれる。
As shown in FIG. 3B, the
図3Bに示す状態で、給気流路22にパージガスを供給すれば、ノズル口26の内部圧力が高まり、逆止弁5bが開き、ノズル口26から給気口5aを通り、容器2の内部にパージガスが供給される。容器2の内部では、パージガスによる圧力が高まり、図2に示す排気口6aの逆止弁6bが開き、排気口6a、ノズル口46および排気流路42を通して、パージガスが排気される。そのため、容器2の内部は、清浄なパージガスで満たされ、容器2の内部の清浄度が向上する。
If purge gas is supplied to the
本実施形態のガスパージユニット20および40では、給気ノズル28(または排気ノズル48/以下同様)に設けられた筒状部材31の先端部に設けられた接触部材34が容器2の給気ポート5(または排気ポート6/以下同様)に着脱自在に接触する。接触部材34が取り付けられた筒状部材31は、弾性変形可能な弾性部材で構成してある。そのため、図3Bに示すように、容器2の位置ズレや傾きなどにより、給気ポート5の位置ずれや傾きがある場合であっても、弾性変形可能な筒状部材31が変形することで、接触部材34は、給気口5a(または排気口6a/以下同様)の周囲で給気ポート5に密着して接触する。そのため、筒状部材31は、ノズル口26および給気口5aを外気から良好に遮断してシールし、これらを気密に連結することができる。
In the
そのため、ノズル口26から給気(または排気/以下同様)されるパージガスは、外部に漏れることなく、しかも外気が混入することなく、給気口5aから容器2の内部に流入し(または排気/以下同様)、その内部を良好にパージガスで満たし、内部をクリーンな状態に維持することができる。
Therefore, the purge gas supplied (or exhausted / hereinafter the same) from the
さらに、接触部材34は、弾性変形可能な筒状部材31よりも硬度が高いため、筒状部材31の先端が直接に接触する場合に比較して、給気ポート5に長時間で接触していたとしても、接触部材34自体は変形せず、給気ポート5に対する固着を効果的に防止することができる。また、給気ノズル28のノズル口26と、可動部である筒状部材31と、位置調整部である接触部材34とが独立した構成となるため、ノズル28自体は傾斜せず、ノズル28への付着物による可動性の低下によるシール性の低下などが生じない。また、ノズル28自体は傾斜しないことから、ノズル28への清浄化ガスの給気が容易である。さらに弾性変形可能な部分は、局所的な部位に構成すれば良いのでノズル28全体の小型化も可能となる。
Furthermore, since the
本実施形態では、接触部材34の硬度が、当該接触部材34が接触する給気ポート5の接触下面5cの硬度よりも高い。このように構成することで、給気ポート5の接触下面5cに対する接触部材34の固着を、より効果的に防止することができる。
In this embodiment, the hardness of the
さらに本実施形態では、接触部材34は、筒状部材31とは異なる材料で構成してあることから、接触部材34の硬度を筒状部材31に比較して容易に高くすることができる。
Furthermore, in the present embodiment, the
また、本実施形態では、図4Aに示すように、基端部32に近い筒本体31aの内径d1よりも、先端部33に近い筒本体31aの内径が大きくしてあるため、接触部材34と給気ポート5(図3B参照)との接触性をさらに向上させることができる。また、筒状部材31の基端部32が固定される給気ノズル28の台座の径を小さくすることが可能になる。
In the present embodiment, as shown in FIG. 4A, the inner diameter d1 of the
第2実施形態
図4B〜図4Gは、本発明の他の実施形態に係るガスパージユニットに用いられるシール装置の要部断面図であり、給気または排気の双方または片方に用いられ、下述する以外は、前述した第1実施形態と同様な構成を有し、同様な作用効果を奏する。
Second Embodiment FIGS. 4B to 4G are cross-sectional views of a main part of a sealing device used in a gas purge unit according to another embodiment of the present invention, which is used for both or one of air supply and exhaust, and will be described below. Except for the above, it has the same configuration as that of the first embodiment described above, and has the same effects.
図4Bに示すシール装置30aでは、筒状部材31の筒本体31aが、テーパ状に内径が大きくなる拡径フランジ部31b1を有する。テーパ状に内径が大きくなる拡径フランジ部31b1を筒本体31aが有することで、筒状部材31の弾力性(特にZ軸方向の弾力性)が向上する。
In the
図4Cに示すシール装置30bでは、筒状部材31の筒本体31aが、内径が先端部33に向けて小さくなる縮径フランジ部31b2を有する。すなわち、基端部32に近い筒本体31aの内径d1よりも、先端部33に近い筒本体31aの内径d2が小さい。このように構成することで、図4Cに示す給気ノズル26から図3Bに示す給気ポート5に向かうパージガスの流れが良くなる。
In the
図4Dに示すシール装置30cでは、筒状部材31の筒本体31aが、内径が先端部33に向けてテーパ状に小さくなる縮径フランジ部31b3を有する。このように構成することで、図4Dに示す給気ノズル26から図3Bに示す給気ポート5に向かうパージガスの流れがさらに良くなる。また、筒状部材31の弾力性(特にZ軸方向の弾力性)が向上する。
In the
図4Eに示すシール装置30dでは、筒状部材31の筒本体31aが、内径が先端部33に向けてテーパ状に小さくなる縮径フランジ部31b4を有する。また、接触部材34dは、筒状部材31の先端部33の内縁に設けられる取付部35dと、取付部35dから径方向の外側に広がる拡径部36dと、拡径部36dに形成され、図3Bに示す給気ポート5の接触下面5cに着脱自在に接触する平面状の接触部分37dとを有する。
In the
このように構成することで、図4Eに示す給気ノズル26から図3Bに示す給気ポート5に向かうパージガスの流れがさらに良くなる。また、筒状部材31の弾力性(特にZ軸方向の弾力性)が向上する。さらに接触部分37dを有するために、接触部材34dと図3Bに示す給気ポート5の接触下面5cとの密着性が向上し、シール特性も向上する。
With this configuration, the flow of the purge gas from the
図4Fに示すシール装置30eでは、筒状部材31の筒本体31aが、内径が先端部33に向けてテーパ状に小さくなる縮径フランジ部31b4を有する。また、接触部材34eは、筒状部材31の先端部33の内縁に設けられる取付部35eと、取付部35eから径方向の外側に広がる拡径フランジ部36eと、拡径フランジ部36eの外周に形成され、図3Bに示す給気ポート5の接触下面5cに着脱自在に接触する断面半円凸状の接触凸部37eとを有する。
In the
このように構成することで、図4Fに示す給気ノズル26から図3Bに示す給気ポート5に向かうパージガスの流れがさらに良くなる。また、筒状部材31の弾力性(特にZ軸方向の弾力性)が向上する。さらに接触凸部37eを有するために、接触部材34eと図3Bに示す給気ポート5の接触下面5cとの密着性が向上し、シール特性も向上する。さらにまた接触凸部37eが、筒状部材31の先端部の外周側に配置してあるために、図3Bに示す給気ポート5の接触下面5cが大きく傾斜しても、接触凸部37eが追随変位しやすく、接触下面5cと接触部材34eとの密着性に優れている。
With this configuration, the purge gas flow from the
図4Gに示すシール装置30fは、図4Aに示すシール装置30の変形例であり、リング形状で断面円形の接触部材34fは、筒状部材31の先端部33に一部が埋め込まれるリング状埋込部材である。
A
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be variously modified within the scope of the present invention.
たとえば、ガスパージユニット20および40は、必ずしも同じ構成を有することなく、異なる構成を有していても良い。たとえば一方が、図4A〜図4Fのいずれかのシール装置を持ち、他方が、それ以外のシール装置を有していても良い。あるいは、ガスパージユニット20および40のいずれか一方のみが、本発明に係るガスパージユニットの構成を有していても良い。
For example, the
さらに、上述した実施形態では、筒状部材31と接触部材34,34a〜34fとを別部材で構成したが、それに限らず、これらを同一部材で一体に構成し、接触部材34,34a〜34fに対応する部分で、筒状部材31に対応する部分の硬度よりも高くなるようにしてもよい。具体的には、たとえば筒状部材31の全体をゴム部材で構成し、その先端部のみを硬化処理することで、接触部材を形成しても良い。硬化処理としては、たとえば加熱による熱硬化、紫外線硬化などが例示される。
Further, in the above-described embodiment, the
また、上述した実施形態では、本発明のガスパージユニットを、ロードポート装置10に適用したが、それ以外の装置にも適用しても良い。たとえば複数の容器2を並べて保管しておく棚や設置台などに本発明のガスパージユニットを取り付けても良い。あるいは、本発明のガスパージユニットは、その他の装置や場所に設置しても良い。
In the above-described embodiment, the gas purge unit of the present invention is applied to the
1… ウエハ
2… 密封搬送容器
2a… ケーシング
2b… 開口
2c… 開口縁部
3… 位置決め部
4… 蓋
5… 給気ポート
5a… 給気口
6… 排気ポート
6a… 排気口
10… ロードポート装置
11… 壁部材
12… 設置台
13… 受渡口
14… 可動テーブル
16… 位置決めピン
18… ドア
20… 給気用ガスパージユニット
22… 給気流路
24… 給気部材
26… ノズル口
28… 給気ノズル
30,30a〜30f… 給気用シール装置
31… 筒状部材
31a… 筒本体
31b,31b1… 拡径フランジ部
31b2… 縮径フランジ部
31b3,31b4… 筒状テーパ部
32… 基端部
33… 先端部
34,34d,34f… 接触部材
35d,35e… 取付部
36d,36e… 拡径部
37d… 接触部分
37e… 接触凸部
40… 排気用ガスパージユニット
42… 排気流路
44… 排気部材
46… ノズル口
48… 排気ノズル
50… 排気用シール装置
60… 半導体処理装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ...
Claims (12)
前記清浄化ガスを吹き出すノズル口を持つ給気ノズルと、
前記ノズル口の周囲を囲むように前記給気ノズルに基端部が固定され、弾性変形可能な筒状部材と、
前記筒状部材の先端部に設けられ、前記給気ポートに着脱自在に接触可能な接触部材とを有し、
前記接触部材の硬度が前記筒状部材の硬度よりも高いことを特徴とするガスパージユニット。 A gas purge unit for blowing a cleaning gas into a purge target container having an air supply port formed with an air supply port through the air supply port,
An air supply nozzle having a nozzle port for blowing out the cleaning gas;
A cylindrical member whose base end is fixed to the air supply nozzle so as to surround the nozzle opening and is elastically deformable;
A contact member provided at a distal end portion of the cylindrical member and detachably contactable with the air supply port;
The gas purge unit, wherein the hardness of the contact member is higher than the hardness of the cylindrical member.
前記基端部に近い前記筒本体の内径よりも、前記先端部に近い前記筒本体の内径が大きい請求項1〜3のいずれかに記載のガスパージユニット。 The tubular member has a base end fixed to the air supply nozzle, and a tube main body that connects the base end and the tip.
The gas purge unit according to any one of claims 1 to 3, wherein an inner diameter of the cylindrical body close to the distal end is larger than an inner diameter of the cylindrical main body close to the base end.
前記基端部に近い前記筒本体の内径よりも、前記先端部に近い前記筒本体の内径が小さい請求項1〜3のいずれかに記載のガスパージユニット。 The tubular member has a base end fixed to the air supply nozzle, and a tube main body that connects the base end and the tip.
The gas purge unit according to any one of claims 1 to 3, wherein an inner diameter of the tube main body near the tip end portion is smaller than an inner diameter of the tube main body close to the base end portion.
前記筒状部材の先端部の内縁に設けられる取付部と、
前記取付部から径方向の外側に広がる拡径部と、
前記拡径部に形成され、前記給気ポートの接触面に着脱自在に接触する接触部分とを有する請求項1〜5のいずれかに記載のガスパージユニット。 The contact member is
A mounting portion provided at the inner edge of the tip of the tubular member;
An enlarged diameter portion extending radially outward from the mounting portion;
The gas purge unit according to any one of claims 1 to 5, further comprising a contact portion that is formed in the enlarged diameter portion and detachably contacts with a contact surface of the air supply port.
前記筒状部材の先端部の内縁に設けられる取付部と、
前記取付部から径方向の外側に広がる拡径部と、
前記拡径部の外周に形成され、前記給気ポートの接触面に着脱自在に接触する凸状の接触凸部とを有する請求項1〜5のいずれかに記載のガスパージユニット。 The contact member is
A mounting portion provided at the inner edge of the tip of the tubular member;
An enlarged diameter portion extending radially outward from the mounting portion;
The gas purge unit according to any one of claims 1 to 5, further comprising a convex contact convex portion formed on an outer periphery of the enlarged diameter portion and detachably contacting a contact surface of the air supply port.
前記清浄化ガスを排気するノズル口を持つ排気ノズルと、
前記ノズル口の周囲を囲むように前記排気ノズルに基端部が固定され、弾性変形可能な筒状部材と、
前記筒状部材の先端部に設けられ、前記排気ポートに着脱自在に接触可能な接触部材とを有し、
前記接触部材の硬度が前記筒状部材の硬度よりも高いことを特徴とするガスパージユニット。 A gas purge unit for exhausting a cleaning gas from the inside of a purge target container having an exhaust port formed with an exhaust port through the exhaust port,
An exhaust nozzle having a nozzle port for exhausting the cleaning gas;
A tubular member having a base end fixed to the exhaust nozzle so as to surround the periphery of the nozzle opening and elastically deformable,
A contact member provided at a distal end portion of the cylindrical member and detachably contactable with the exhaust port;
The gas purge unit, wherein the hardness of the contact member is higher than the hardness of the cylindrical member.
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