JP6302765B2

JP6302765B2 - Tape sticking device

Info

Publication number: JP6302765B2
Application number: JP2014130128A
Authority: JP
Inventors: 淳裕大西
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2014-06-25
Filing date: 2014-06-25
Publication date: 2018-03-28
Anticipated expiration: 2034-06-25
Also published as: JP2016009786A

Description

本発明は、ウェーハとこれを支持するリングフレームとに粘着テープを貼着する装置に関する。 The present invention relates to an apparatus for attaching an adhesive tape to a wafer and a ring frame that supports the wafer.

半導体ウェーハなどの被加工物は、その表面に、ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画されて形成されており、当該表面に保護テープを貼着して裏面側を研削によって所定の厚みに薄化した後、分割予定ラインに沿って例えば切削ブレードまたはレーザー光線の照射によって切断することにより、ウェーハを個々のチップに分割している。 A workpiece such as a semiconductor wafer is formed on the surface by a plurality of devices such as IC, LSI, etc., which are partitioned by lines to be divided. A protective tape is attached to the surface, and the back side is ground by a predetermined process. After the thickness is reduced, the wafer is divided into individual chips by cutting along a predetermined division line by, for example, a cutting blade or laser beam irradiation.

ウェーハを分割するときは、中央に開口部を有しウェーハの直径より大きい内径のリングフレームの該開口部にウェーハを載置して分割予定ラインが形成される表面を上向きにし、該表面の反対側の裏面とリングフレームとに粘着性のテープを貼着してウェーハを支持することにより、ウェーハが個々のチップに分割されたときに各チップが飛散するのを防止している。 When dividing the wafer, place the wafer in the opening of the ring frame having an opening in the center and an inner diameter larger than the diameter of the wafer so that the surface on which the line to be divided is formed is facing upward, opposite to the surface. By sticking an adhesive tape to the back surface of the side and the ring frame to support the wafer, each chip is prevented from scattering when the wafer is divided into individual chips.

ウェーハにテープを貼着するテープ貼着装置としては、粘着テープとこれに貼り合わせられた剥離テープとからなるテープ体がロール状に巻回されたロールテープからテープ体を引き出す複数のローラと、引き出されたテープ体をウェーハに対して押圧し剥離テープからテープを剥がしてテープをウェーハに貼着する押圧ローラとを少なくとも備えているものが知られている（例えば、下記の特許文献１−３を参照）。 As a tape adhering device for adhering the tape to the wafer, a plurality of rollers for pulling out the tape body from a roll tape in which a tape body composed of an adhesive tape and a release tape bonded to the tape is wound into a roll, It is known to include at least a pressing roller that presses the drawn tape against the wafer, peels the tape from the peeling tape, and sticks the tape to the wafer (for example, Patent Documents 1-3 below) See).

通常、テープ貼着装置は、リングフレームを収容するリングフレーム収容部を備えている。このリングフレーム収容部にリングフレームのストックがなくなると、テープ貼着装置を一時停止してリングフレーム収容部にリングフレームを補充してから、ウェーハ及びリングフレームに対するテープ貼着の作業を行うようにしている。 Usually, the tape sticking apparatus is provided with a ring frame housing portion for housing the ring frame. When there is no more ring frame stock in the ring frame housing part, the tape sticking device is temporarily stopped to replenish the ring frame housing part with the ring frame, and then the tape sticking work is performed on the wafer and the ring frame. ing.

また、このようなテープ貼着装置においては、リングフレーム収容部に対してリングフレームの補充の回数を少なくするため、大型のリングフレーム収容部を用いて多くのリングフレームを収容するようにしている。 Further, in such a tape adhering device, a large number of ring frames are accommodated by using a large ring frame accommodating portion in order to reduce the number of times the ring frame is replenished with respect to the ring frame accommodating portion. .

特開２００６−０４４１５２号公報JP 2006-044152 A 特開２０１１−２３６０２４号公報JP 2011-236024 A 特開２０１１−０８６６８７号公報JP 2011-086687 A

しかし、上記したようなリングフレーム収容部においては、リングフレームのストックがなくなる度に装置を一時停止してリングフレームを補充しているため、作業効率が悪いという問題がある。 However, in the above-described ring frame accommodating portion, there is a problem that work efficiency is poor because the apparatus is temporarily stopped and the ring frame is replenished every time the ring frame is exhausted.

また、大型のリングフレーム収容部が、リングフレームを縦に積み上げて収容するタイプの場合、リングフレーム収容部の縦幅が長くなってしまい、リングフレームを保持して昇降動作する搬送アームに長い昇降軸が必要となり、装置全体が大型化してしまうという問題もある。 In addition, when the large ring frame accommodating portion is of a type in which the ring frames are stacked and accommodated vertically, the ring frame accommodating portion becomes longer in length, and is moved up and down by the transport arm that moves up and down while holding the ring frame. There is also a problem that a shaft is required and the entire apparatus becomes large.

本発明は、上記の事情にかんがみなされたもので、装置の大型化を招くことなしに、テープ貼着装置を一時停止させることなくリングフレーム収容部にリングフレームを補充できるようにすることを目的としている。 The present invention has been considered in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to allow a ring frame to be replenished in a ring frame housing portion without temporarily stopping the tape sticking device without causing an increase in size of the device. It is said.

第１の発明は、円板状のウェーハを保持する保持テーブルと、該保持テーブルを囲繞しウェーハの外径より大きい内径のリング状のリングフレームを保持するリングフレーム保持テーブルと、該保持テーブルの下方側に位置して該リングフレームを積み重ねて収容する少なくとも２つのリングフレーム収容部と、該リングフレームを吸引保持するフレーム保持部を用いて該リングフレーム収容部に収容される該リングフレームを該リングフレーム保持テーブルに搬送するリングフレーム搬送手段と、該保持テーブルが保持するウェーハと該リングフレーム保持テーブルが保持する該リングフレームとに粘着テープを貼着するテープ貼着機構と、を備えるテープ貼着装置であって、少なくとも２つの該リングフレーム収容部は、該保持テーブルの下方側に配設される第１のリングフレーム収容部と、
該第１のリングフレーム収容部に接近した受渡位置と該受渡位置から遠ざかり該リングフレームの補給を可能とする補給位置とに移動する移動手段を備える第２のリングフレーム収容部と、を備え、該フレーム保持部は昇降可能であり、該リングフレーム搬送手段は、該保持テーブル及び該リングフレーム保持テーブルが該第１のリングフレーム収容部の上方に配置されていないときに、該第１のリングフレーム収容部に収容された該リングフレームを該フレーム保持部によって吸引保持して該保持テーブル及び該リングフレーム保持テーブルよりも高い位置に上昇させ、該保持テーブル及び該リングフレーム保持テーブルが該フレーム保持部の下方に移動した後に、該リングフレームを該リングフレーム保持テーブルに搬送することにより、該第１のリングフレーム収容部から該リングフレーム保持テーブルに該リングフレームを搬送するとともに、該保持テーブル及び該リングフレームの下方側で、該受渡位置に位置づけられた該第２のリングフレーム収容部から該第１のリングフレーム収容部に該リングフレームを搬送して該リングフレームの連続供給を可能にする。 A first invention includes a holding table that holds a disk-shaped wafer, a ring frame holding table that surrounds the holding table and holds a ring-shaped ring frame having an inner diameter larger than the outer diameter of the wafer, and the holding table The ring frame accommodated in the ring frame accommodating portion using the at least two ring frame accommodating portions positioned on the lower side for stacking and accommodating the ring frames and the frame retaining portions for sucking and holding the ring frames. A tape attaching device comprising: a ring frame carrying means for carrying to a ring frame holding table; a wafer holding the holding table; and a tape attaching mechanism for attaching an adhesive tape to the ring frame held by the ring frame holding table. A ring attachment device, wherein at least two of the ring frame accommodating portions are provided on the holding table A first ring frame accommodating portion disposed on the lower side,
A second ring frame housing portion including a delivery position that is close to the first ring frame housing portion and a moving means that moves away from the delivery position and that enables the refilling of the ring frame; The frame holding portion can be moved up and down, and the ring frame transport means is configured to move the first ring when the holding table and the ring frame holding table are not disposed above the first ring frame housing portion. The ring frame housed in the frame housing portion is sucked and held by the frame holding portion and raised to a position higher than the holding table and the ring frame holding table, and the holding table and the ring frame holding table hold the frame. By moving the ring frame to the ring frame holding table after moving downward Conveys the ring frame to the ring frame holding table from the first ring frame accommodating portion, said at holding table and the lower side of the ring frame, the second ring frame accommodating portion positioned in the receiving pass position The ring frame is conveyed from the first to the first ring frame accommodating portion to enable continuous supply of the ring frame.

上記テープ貼着装置は、少なくとも前記第１のリングフレーム収容部に収容される前記リングフレームの収容量を認識する収容量認識部と、該収容量認識部が認識する収容量により前記第２のリングフレーム収容部から該第１のリングフレーム収容部に対する該リングフレームの移送の開始及び該リングフレームの移送の停止をさせる判断部と、を備えることが望ましい。 The tape adhering device includes at least a second capacity recognition unit for recognizing a storage amount of the ring frame stored in the first ring frame storage unit, and a storage amount recognized by the storage amount recognition unit. It is desirable to include a determination unit that starts the transfer of the ring frame from the ring frame storage unit to the first ring frame storage unit and stops the transfer of the ring frame.

また、上記テープ貼着装置は、前記第１のリングフレーム収容部に前記リングフレームを補給するため、該第１のリングフレーム収容部の補給位置に該第１のリングフレーム収容部を移動させる第２の移動手段を備えることが望ましい。 The tape adhering device moves the first ring frame housing portion to the replenishment position of the first ring frame housing portion in order to replenish the ring frame to the first ring frame housing portion. It is desirable to provide two moving means.

第２の発明は、円板状のウェーハを保持する保持テーブルと、該保持テーブルを囲繞しウェーハの外径より大きい内径のリング状のリングフレームを保持するリングフレーム保持テーブルと、該保持テーブルの下方側に位置して該リングフレームを積み重ねて収容する少なくとも２つのリングフレーム収容部と、該リングフレームを吸引保持するフレーム保持部を用いて該リングフレーム収容部に収容される該リングフレームを該リングフレーム保持テーブルに搬送するリングフレーム搬送手段と、該保持テーブルが保持するウェーハと該リングフレーム保持テーブルが保持する該リングフレームとに粘着テープを貼着する貼着機構と、を備えるテープ貼着装置であって、少なくとも２つの該リングフレーム収容部は、それぞれに、該リングフレーム搬送手段が該リングフレームを受け取る受取位置と該リングフレーム収容部に該リングフレームの補給を可能とする補給位置とにそれぞれの該リングフレーム手段を移動させる切り替え手段と、該リングフレーム収容部に収容される該リングフレームの収容量を認識する収容量認識部と、を備え、該リングフレーム搬送手段は、水平方向の旋回および昇降によって該保持テーブル及び該リングフレーム保持テーブルの上方と下方との間を移動可能であり、該受取位置に位置づけられた該リングフレーム収容部から該リングフレーム保持テーブルに該リングフレームを搬送し、該受取位置に位置づけられた一方の該リングフレーム収容部に該リングフレームが収容されていないと該収容量認識部が認識すると、一方の該リングフレーム収容部を該補給位置に移動させてリングフレームの補給を行うとともに、他の該リングフレーム収容部を該受取位置に移動させて該リングフレームの連続供給を可能にする。 A second invention includes a holding table for holding a disk-shaped wafer, a ring frame holding table that surrounds the holding table and holds a ring-shaped ring frame having an inner diameter larger than the outer diameter of the wafer, and the holding table The ring frame accommodated in the ring frame accommodating portion using the at least two ring frame accommodating portions positioned on the lower side for stacking and accommodating the ring frames and the frame retaining portions for sucking and holding the ring frames. Tape sticking comprising: a ring frame carrying means for carrying to a ring frame holding table; a wafer held by the holding table; and a sticking mechanism for sticking an adhesive tape to the ring frame held by the ring frame holding table. An apparatus, wherein at least two of the ring frame receptacles each have a ring Switching means for moving the ring frame means to a receiving position where the frame transport means receives the ring frame and a replenishment position enabling the ring frame to be replenished to the ring frame accommodation part; and A ring capacity recognizing unit for recognizing the volume of the ring frame to be stored . The ring frame is transported from the ring frame housing portion positioned at the receiving position to the ring frame holding table, and is moved to the one ring frame housing portion positioned at the receiving position. When the accommodation amount recognition unit recognizes that the frame is not accommodated, one of the ring frames Moves containers portion to 該補 supply position performs replenishment of the ring frame, it is moved to the receiving preparative position other of the ring frame accommodating portion to permit a continuous supply of the ring frame.

第１の発明のテープ貼着装置は、保持テーブルの下に位置してリングフレームを積み重ねて収容する少なくとも２つのリングフレーム収容部と、該リングフレームを吸引保持するフレーム保持部を用いて該リングフレーム収容部に収容される該リングフレームをリングフレーム保持テーブルに搬送するリングフレーム搬送手段とを備え、２つのリングフレーム収容部が、リングフレームを収容する第１のリングフレーム収容部と、第１のリングフレーム収容部の近接して隣り合わせに配設された第２のリングフレームとから構成されているため、リングフレーム収容部の縦幅を短く構成できるとともに、装置全体が大型化するのを防止できる。
また、第２のリングフレーム収容部を、リングフレームをリングフレーム搬送手段に受け渡す受渡位置とリングフレームを第２のリングフレーム収容部に補給する補給位置とに移動させる第１の移動手段を備えるため、例えば第１のリングフレーム収容部にリングフレームがなくなっても、リングフレーム搬送手段によって、受渡位置に位置する第２のリングフレーム収容部からリングフレームを補充可能となるとともに、第２のリングフレーム収容部にリングフレームがなくなっても、第２のリングフレーム収容部を補給位置に移動させてリングフレームを補給できるため、テープ貼着装置を一時停止することなく、リングフレームをリングフレーム保持テーブルに連続供給することができる。 The tape sticking device according to the first aspect of the present invention uses at least two ring frame accommodating portions that are positioned below the holding table and stack and accommodate the ring frames, and the ring holding portions that suck and hold the ring frames. A ring frame conveying means for conveying the ring frame accommodated in the frame accommodating portion to the ring frame holding table, wherein the two ring frame accommodating portions include a first ring frame accommodating portion for accommodating the ring frame; Since the second ring frame is disposed adjacent to and adjacent to the ring frame housing portion, the vertical length of the ring frame housing portion can be shortened and the entire device is prevented from being enlarged. it can.
In addition, a first moving means for moving the second ring frame accommodating portion to a delivery position for delivering the ring frame to the ring frame conveying means and a replenishing position for replenishing the ring frame to the second ring frame accommodating portion is provided. Therefore, for example, even if there is no ring frame in the first ring frame accommodating portion, the ring frame can be replenished from the second ring frame accommodating portion located at the delivery position by the ring frame conveying means, and the second ring Even if there is no ring frame in the frame accommodating portion, the ring frame can be replenished by moving the second ring frame accommodating portion to the replenishment position. Can be continuously supplied.

少なくとも第１のリングフレーム収容部に収容されるリングフレームの収容量を認識する収容量認識部と、これが認識するリングフレームの収容量に基づいて第２のリングフレーム収容部から第１のリングフレーム収容部に対しリングフレームの移送の開始及びリングフレームの移送の停止をさせる判断を行う判断部とを備えることにより、常に第１のリングフレーム収容部におけるリングフレームの収容量を把握して第１のリングフレーム収容部にリングフレームを補充できるため、リングフレーム保持テーブルに対してリングフレームを効率よく連続供給することができる。 An accommodation amount recognizing unit for recognizing an accommodation amount of the ring frame accommodated in at least the first ring frame accommodation unit, and a first ring frame from the second ring frame accommodation unit based on the accommodation amount of the ring frame recognized by the accommodation amount recognition unit A determination unit that determines whether to start the transfer of the ring frame and to stop the transfer of the ring frame with respect to the storage unit, so as to always grasp the ring frame storage amount in the first ring frame storage unit and Since the ring frame can be replenished to the ring frame housing portion, the ring frame can be efficiently and continuously supplied to the ring frame holding table.

第１のリングフレーム収容部の補給位置に第１のリングフレーム収容部を移動させる第２の移動手段を備えることにより、第１のリングフレーム収容部にリングフレームがなくなっても、第１のリングフレーム収容部を補給位置に移動させることでリングフレームを第１のリングフレーム収容部に直接補給することができ、テープ貼着装置を一時停止することなく、リングフレーム保持テーブルにリングフレームの連続供給を行うことができる。 By providing the second moving means for moving the first ring frame housing portion to the replenishment position of the first ring frame housing portion, the first ring can be used even if the ring frame is not present in the first ring frame housing portion. The ring frame can be directly supplied to the first ring frame storage unit by moving the frame storage unit to the supply position, and the ring frame is continuously supplied to the ring frame holding table without temporarily stopping the tape sticking device. It can be performed.

第２の発明のテープ貼着装置は、少なくとも２つのリングフレーム収容部と、該リングフレームを吸引保持するフレーム保持部を用いて該リングフレーム収容部に収容される該リングフレームをリングフレーム保持テーブルに搬送するリングフレーム搬送手段とを備え、それぞれのリングフレーム収容部にリングフレーム搬送手段がリングフレームを受け取る受取位置とリングフレーム収容部にリングフレームの補給を可能とする補給位置とに移動する切り替え手段と、リングフレーム収容部に収容されるリングフレームの収容量を認識する収容量認識部とを備えるため、一方のリングフレーム収容部からリングフレームがなくなっても、一方の切り換え手段によって当該リングフレーム収容部を補給位置に移動させて新たなリングフレームを補給しつつ、他方の切り替え手段によって他方のリングフレーム収容部を受取位置に移動させることでリングフレームをリングフレーム保持テーブルに連続供給でき、テープ貼着装置を一時停止する必要がない。 According to a second aspect of the present invention, there is provided a tape adhering device comprising: a ring frame holding table that includes at least two ring frame accommodating portions and a frame holding portion that sucks and holds the ring frame; A ring frame transporting means for transporting the ring frame to each of the ring frame accommodating portions, and switching to move between a receiving position where the ring frame conveying means receives the ring frame and a replenishment position enabling the ring frame accommodating portion to replenish the ring frame And a storage amount recognition unit for recognizing the storage amount of the ring frame stored in the ring frame storage unit, even if the ring frame disappears from one of the ring frame storage units, Move the storage part to the replenishment position to create a new ring frame While replenishing the other of the ring frame accommodating portion by the other of the switching means can continuously supply the ring frame by moving the receiving position to the ring frame holding table, there is no need to pause the tape adhering apparatus.

テープ貼着装置の第１例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the 1st example of a tape sticking apparatus. リングフレームを吸引保持したリングフレーム搬送手段を第１のリングフレーム収容部から上昇させる状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which raises the ring frame conveyance means which attracted and held the ring frame from the 1st ring frame accommodating part. リングフレーム保持テーブルにリングフレームを搬送する状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which conveys a ring frame to a ring frame holding table. 受渡位置にある第２のリングフレーム収容部からリングフレーム搬送手段によってリングフレームを搬出する状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which carries out a ring frame by the ring frame conveyance means from the 2nd ring frame accommodating part in a delivery position. リングフレーム搬送手段によって、第１のリングフレーム収容部にリングフレームを搬入する状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which carries in a ring frame in the 1st ring frame accommodating part by a ring frame conveyance means. 第１の移動手段によって第２のリングフレーム収容部を受渡位置から補給位置に移動させる状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which moves a 2nd ring frame accommodating part from a delivery position to a replenishment position by a 1st moving means. 補給位置に移動させた第２のリングフレーム収容部にリングフレームを補給する状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which supplies a ring frame to the 2nd ring frame accommodating part moved to the replenishment position. テープ貼着装置の第２例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the 2nd example of a tape sticking apparatus. 第２の移動手段によって第１のリングフレーム収容部を受取位置から補給位置に移動させる状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which moves a 1st ring frame accommodating part from a receiving position to a replenishment position by a 2nd moving means. 補給位置に移動させた第１のリングフレーム収容部にリングフレームを補給する状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which supplies a ring frame to the 1st ring frame accommodating part moved to the replenishment position. テープ貼着装置の第３例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the 3rd example of a tape sticking apparatus. ２つの切り替え手段によって、第１のリングフレーム収容部を補給位置に移動させるとともに、第２のリングフレーム収容部を受取位置に移動させる状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which moves a 1st ring frame accommodating part to a replenishment position and a 2nd ring frame accommodating part to a receiving position by two switching means. 第１のリングフレーム収容部にリングフレームを補給するとともにリングフレームを第２のリングフレーム収容部からリングフレーム保持テーブルに搬送する状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which supplies a ring frame to a 1st ring frame accommodating part, and conveys a ring frame from a 2nd ring frame accommodating part to a ring frame holding table.

図１に示すテープ貼着装置１は、被加工物に粘着テープを貼着するテープ貼着装置の第１例であって、被加工物である円板状のウェーハを保持する保持テーブル１０と、保持テーブル１０を囲繞しウェーハの外径より大きい内径を有するリング状のリングフレーム３を保持するリングフレーム保持テーブル１２と、保持テーブル１０が保持するウェーハとリングフレーム保持テーブル１２が保持するリングフレーム３とに粘着テープを貼着するテープ貼着機構２とを備えている。保持テーブル１０及びリングフレーム保持テーブル１２は、テーブル移動手段１１によって下方から支持されており、テープ貼着機構２の下方に保持テーブル１０及びリングフレーム保持テーブル１２を移動させることができる。 A tape adhering device 1 shown in FIG. 1 is a first example of a tape adhering device for adhering an adhesive tape to a workpiece, and includes a holding table 10 for holding a disk-shaped wafer as a workpiece. A ring frame holding table 12 surrounding the holding table 10 and holding a ring-shaped ring frame 3 having an inner diameter larger than the outer diameter of the wafer; a wafer held by the holding table 10; and a ring frame held by the ring frame holding table 12 3 and a tape adhering mechanism 2 for adhering an adhesive tape. The holding table 10 and the ring frame holding table 12 are supported from below by the table moving means 11, and the holding table 10 and the ring frame holding table 12 can be moved below the tape sticking mechanism 2.

テープ貼着装置１は、保持テーブル１０の下方側の位置に、リングフレーム３を積み重ねて収容する少なくとも２つのリングフレーム収容部を備えている。２つのリングフレーム収容部は、保持テーブル１０の下に配設される第１のリングフレーム収容部１３と、第１のリングフレーム収容部１３に近接して配設される第２のリングフレーム収容部１４とにより構成されている。 The tape sticking apparatus 1 is provided with at least two ring frame accommodating portions for accumulating and accommodating the ring frames 3 at positions below the holding table 10. The two ring frame accommodating portions include a first ring frame accommodating portion 13 disposed under the holding table 10 and a second ring frame accommodating portion disposed in proximity to the first ring frame accommodating portion 13. Part 14.

第１のリングフレーム収容部１３は、リングフレーム３の内周面に接触するリング状の収容部材１３０と、収容部材１３０の下端に連結され複数のリングフレーム３を積載可能な載置部１３１と、載置部１３１を下方から支持する基台１３２とを備えており、テープ貼着装置1において固定された構成となっている。収容部材１３０は、積載するリングフレーム３の厚さの総和以上の高さを有している。収容部材１３０は、少なくとも３本の細い円柱を均等間隔に配設して構成し、３本の細い円柱の外側面がリングフレーム３の内周面に接する配置にしていれば良い。または、３本の細い円柱の外側面がリングフレーム３の外周面に接する配置にしていても良い。 The first ring frame housing portion 13 includes a ring-shaped housing member 130 that contacts the inner peripheral surface of the ring frame 3, and a placement portion 131 that is connected to the lower end of the housing member 130 and can stack a plurality of ring frames 3. , And a base 132 that supports the mounting portion 131 from below, and is fixed in the tape sticking device 1. The accommodating member 130 has a height equal to or greater than the sum of the thicknesses of the ring frames 3 to be stacked. The housing member 130 may be configured by arranging at least three thin cylinders at equal intervals, and the outer surface of the three thin cylinders may be in contact with the inner peripheral surface of the ring frame 3. Alternatively, the outer surfaces of the three thin cylinders may be arranged so as to contact the outer peripheral surface of the ring frame 3.

第２のリングフレーム収容部１４は、リングフレーム３の内周面に接触するリング状の収容部材１４０と、収容部材１４０の下端に連結され複数のリングフレーム３を積載可能な載置部１４１と、第１のリングフレーム収容部１３に接近しリングフレーム搬送手段１５にリングフレーム３を受け渡す受渡位置４と受渡位置４から遠ざかり第２のリングフレーム収容部１４にリングフレーム３を補給可能とする補給位置５とに第２のリングフレーム収容部１４を移動させる第１の移動手段１８とを備えている。収容部材１４０は、積載するリングフレーム３の厚さの総和以上の高さを有している。収容部材１４０は、少なくとも３本の細い円柱を均等間隔に配設して構成し、３本の細い円柱の外側面がリングフレーム３の内周面に接する配置にしていれば良い。または、３本の細い円柱の外側面がリングフレーム３の外周面に接する配置にしていても良い The second ring frame accommodating portion 14 includes a ring-shaped accommodating member 140 that contacts the inner peripheral surface of the ring frame 3, and a placement portion 141 that is connected to the lower end of the accommodating member 140 and can stack a plurality of ring frames 3. The ring frame 3 can be replenished to the second ring frame accommodating portion 14, approaching the first ring frame accommodating portion 13 and delivering the ring frame 3 to the ring frame conveying means 15 and away from the delivery position 4. First moving means 18 for moving the second ring frame accommodating portion 14 to the replenishment position 5 is provided. The housing member 140 has a height equal to or greater than the sum of the thicknesses of the ring frames 3 to be stacked. The housing member 140 may be configured by arranging at least three thin cylinders at equal intervals, and the outer surface of the three thin cylinders may be in contact with the inner peripheral surface of the ring frame 3. Alternatively, the outer surface of the three thin cylinders may be arranged so as to contact the outer peripheral surface of the ring frame 3.

第１の移動手段１８は、モータ１８０と、モータ１８０に接続された回転軸１８１と、回転軸１８１に接続され第２のリングフレーム収容部１４が載置された支持台１８２とにより構成されている。モータ１８０が回転軸１８１を回転させることにより、第２のリングフレーム収容部１４を支持台１８２とともに回転させ、第２のリングフレーム収容部１４を受渡位置４と補給位置５とに移動させることができる。この第１の移動手段１８は、支持台１８２を回転させる構成に限定されるものはない。例えばスライダー機構を設けて第２のリングフレーム収容部１４を受渡位置４と補給位置５との間でスライド移動させるようにしてもよい。 The first moving means 18 includes a motor 180, a rotating shaft 181 connected to the motor 180, and a support base 182 connected to the rotating shaft 181 and on which the second ring frame housing portion 14 is placed. Yes. When the motor 180 rotates the rotating shaft 181, the second ring frame housing portion 14 is rotated together with the support base 182, and the second ring frame housing portion 14 is moved to the delivery position 4 and the replenishment position 5. it can. The first moving means 18 is not limited to the configuration for rotating the support base 182. For example, a slider mechanism may be provided to slide the second ring frame accommodating portion 14 between the delivery position 4 and the replenishment position 5.

テープ貼着装置１は、第１のリングフレーム収容部１３及び第２のリングフレーム収容部１４に収容されているリングフレーム３を保持して所望の搬送先に搬送するリングフレーム搬送手段１５を備えている。リングフレーム搬送手段１５は、アーム部１５０と、連結部１５１を介してアーム部１５０の一端に連結された支持部１５２と、支持部１５２の端部に配設された複数（例えば３つ）のフレーム保持部１５４とを備えている。フレーム保持部１５４には、図示しない吸引源が接続されており、リングフレーム３を吸引保持することが可能となっている。支持部１５２には、第１のリングフレーム収容部１３の収容部材１３０と第２のリングフレーム収容部１４の収容部材１４０とが挿通可能な挿通孔１５３が形成されている。挿通孔１５３は、収容部材１３０と収容部材１４０とを挿通可能にしていれば良く、フレーム保持部１５４とフレーム保持部１５４との間に形成されていてもよいし、収容部材１３０，１４０がリングフレーム３の外側面を支持する場合にはフレーム保持部１５４の外側に形成されていてもよい。 The tape sticking apparatus 1 includes a ring frame transporting unit 15 that holds the ring frame 3 housed in the first ring frame housing part 13 and the second ring frame housing part 14 and transports the ring frame 3 to a desired transport destination. ing. The ring frame transport means 15 includes an arm unit 150, a support unit 152 connected to one end of the arm unit 150 via the connection unit 151, and a plurality (for example, three) of the support unit 152 disposed at the end of the support unit 152. A frame holding portion 154. A suction source (not shown) is connected to the frame holding portion 154 so that the ring frame 3 can be sucked and held. The support portion 152 is formed with an insertion hole 153 into which the accommodation member 130 of the first ring frame accommodation portion 13 and the accommodation member 140 of the second ring frame accommodation portion 14 can be inserted. The insertion hole 153 only needs to allow the accommodation member 130 and the accommodation member 140 to be inserted, and may be formed between the frame holding portion 154 and the frame holding portion 154, or the accommodation members 130 and 140 may be ring-shaped. When the outer surface of the frame 3 is supported, it may be formed outside the frame holding portion 154.

リングフレーム搬送手段１５は、鉛直方向にのびる昇降軸１６０を有しリングフレーム搬送手段１５を昇降軸１６０に沿って上下方向に昇降させる昇降手段１６と、リングフレーム搬送手段１５を鉛直方向と直交する水平方向に回転させる水平移動手段１７とに接続されている。水平移動手段１７は、例えば旋回モータによって構成されており、該旋回モータは、リングフレーム搬送手段１５を第１のリングフレーム収容部１３側と第２のリングフレーム収容部１４側とにそれぞれ移動させることができる。 The ring frame conveying means 15 has an elevating shaft 160 extending in the vertical direction, elevating means 16 for elevating the ring frame conveying means 15 in the vertical direction along the elevating axis 160, and the ring frame conveying means 15 orthogonal to the vertical direction. It is connected to a horizontal moving means 17 that rotates in the horizontal direction. The horizontal moving means 17 is constituted by, for example, a turning motor, and the turning motor moves the ring frame transport means 15 to the first ring frame housing portion 13 side and the second ring frame housing portion 14 side, respectively. be able to.

テープ貼着装置１は、少なくとも第１のリングフレーム収容部１３に収容されるリングフレーム３の収容量を認識する収容量認識部２０と、収容量認識部２０が認識するリングフレーム３の収容量に基づいて第２のリングフレーム収容部１４から第１のリングフレーム収容部へのリングフレーム３の移送を開始するとともにその移送を停止させる判断を行う判断部とを備えている。この収容量認識部２０は、第１のリングフレーム収容部１３に積載されるリングフレーム３の位置に対応して載置部１３１に埋設されており、例えば第１のリングフレーム収容部１３に収容されているリングフレーム３の収容量の下限値の重量に反応する下限センサと、リングフレーム３の収容量の上限値の重量に反応する上限センサとを備えている。そして、下限センサが反応すると、判断部によって第２のリングフレーム収容部１４から第１のリングフレーム収容部１３に対するリングフレーム３の移送の開始し、上限センサが反応すると、判断部によって第１のリングフレーム収容部１３に対するリングフレーム３の移送を停止する。 The tape adhering device 1 includes at least an accommodation amount recognition unit 20 that recognizes the accommodation amount of the ring frame 3 that is accommodated in the first ring frame accommodation unit 13 and an accommodation amount of the ring frame 3 that the accommodation amount recognition unit 20 recognizes. And a determination unit for determining whether to start the transfer of the ring frame 3 from the second ring frame storage unit 14 to the first ring frame storage unit and stop the transfer. The accommodation amount recognition unit 20 is embedded in the placement unit 131 corresponding to the position of the ring frame 3 loaded on the first ring frame accommodation unit 13. For example, the accommodation amount recognition unit 20 is accommodated in the first ring frame accommodation unit 13. The lower limit sensor responding to the weight of the lower limit value of the capacity of the ring frame 3 and the upper limit sensor responding to the weight of the upper limit value of the capacity of the ring frame 3 are provided. When the lower limit sensor reacts, the determination unit starts the transfer of the ring frame 3 from the second ring frame accommodation unit 14 to the first ring frame accommodation unit 13, and when the upper limit sensor reacts, the judgment unit The transfer of the ring frame 3 to the ring frame accommodating portion 13 is stopped.

図示の例における収容量認識部２０は、第１のリングフレーム収容部１３に備えているが、この構成に限定されるものではない。例えばリングフレーム搬送手段１５に収容量認識部２０を備えてもよい。この場合は、収容量認識部２０が、フレーム保持部１５４でリングフレーム３を吸引保持する時の昇降軸１６０におけるフレーム搬送手段１５の停止位置を認識することにより、第１のリングフレーム収容部１３に収容されているリングフレーム３の収容量を認識できる。 The accommodation amount recognition unit 20 in the illustrated example is provided in the first ring frame accommodation unit 13, but is not limited to this configuration. For example, the ring frame transport means 15 may be provided with a capacity recognition unit 20. In this case, the accommodation amount recognizing unit 20 recognizes the stop position of the frame conveying means 15 on the elevating shaft 160 when the ring frame 3 is sucked and held by the frame holding unit 154, whereby the first ring frame housing unit 13 is recognized. The amount of the ring frame 3 that is accommodated in the ring frame 3 can be recognized.

次に、テープ貼着装置１の動作例について説明する。まず、第１のリングフレーム収容部１３からリングフレーム保持テーブル１２にリングフレーム３を搬送する。具体的には、昇降手段１６が作動し、リングフレーム搬送手段１５を、昇降軸１６０に沿って第１のリングフレーム収容部１３に収容されているリングフレーム３に接近する方向に下降させる。リングフレーム搬送手段１５の下降にともなって、収容部材１３０が、その先端側から挿通孔１５３に挿通されていくとともに、支持部１５２に形成されたフレーム保持部１５４で、第１のリングフレーム収容部１３において積み重なったリングフレーム３のうち最も上に位置するリングフレーム３を吸引保持する。 Next, an operation example of the tape sticking apparatus 1 will be described. First, the ring frame 3 is transported from the first ring frame accommodating portion 13 to the ring frame holding table 12. Specifically, the lifting / lowering means 16 operates, and the ring frame transporting means 15 is lowered along the lifting / lowering shaft 160 in a direction approaching the ring frame 3 accommodated in the first ring frame accommodating portion 13. As the ring frame conveying means 15 is lowered, the accommodating member 130 is inserted into the insertion hole 153 from the tip side, and the first ring frame accommodating portion is formed by the frame holding portion 154 formed in the support portion 152. The ring frame 3 positioned at the top of the ring frames 3 stacked at 13 is sucked and held.

図２に示すように、フレーム保持部１５４でリングフレーム３を吸引保持したら、昇降手段１６が作動し、昇降軸１６０に沿ってリングフレーム搬送手段１５を例えば二点鎖線に示す位置まで上昇させる。この上昇動作は、図１に示した保持テーブル１０及びリングフレーム保持テーブル１２がリングフレーム搬送手段１５の上方側に配置されていないときに行う。 As shown in FIG. 2, when the ring frame 3 is sucked and held by the frame holding portion 154, the lifting / lowering means 16 operates to raise the ring frame transporting means 15 along the lifting / lowering shaft 160 to a position indicated by a two-dot chain line, for example. This raising operation is performed when the holding table 10 and the ring frame holding table 12 shown in FIG. 1 are not arranged above the ring frame conveying means 15.

その後、図３に示すように、保持テーブル１０及びリングフレーム保持テーブル１２がリングフレーム搬送手段１５の下方に移動させ、リングフレーム搬送手段１５は、リングフレーム保持テーブル１２にリングフレーム３を搬送する。そして、保持テーブル１０に被加工物を載置し、図１に示したテープ装着機構２が、被加工物及びフレーム３にテープを貼着する。被加工物及びフレーム３にテープが貼着されると、テープを介して被加工物とフレーム３とが一体となったものが、図示しない移送機構によって加工装置に移送される。かかる移送によって保持テーブル１０及びリングフレーム保持テーブル１２の上に何もない状態となると、リングフレーム搬送手段１５が、次のリングフレーム３をリングフレーム保持テーブル１２に搬送するとともに、次の被加工物が保持テーブル１０に搬送され、同様にテープが貼着される。このような動作を繰り返し行う。 After that, as shown in FIG. 3, the holding table 10 and the ring frame holding table 12 are moved below the ring frame conveying means 15, and the ring frame conveying means 15 conveys the ring frame 3 to the ring frame holding table 12. Then, the workpiece is placed on the holding table 10, and the tape mounting mechanism 2 shown in FIG. 1 attaches the tape to the workpiece and the frame 3. When the tape is attached to the workpiece and the frame 3, the workpiece and the frame 3 integrated with each other through the tape are transferred to the processing apparatus by a transfer mechanism (not shown). When there is nothing on the holding table 10 and the ring frame holding table 12 by this transfer, the ring frame transport means 15 transports the next ring frame 3 to the ring frame holding table 12 and the next workpiece. Is conveyed to the holding table 10 and the tape is similarly attached. Such an operation is repeated.

次に、第２のリングフレーム収容部１４から第１のリングフレーム収容部１３に対してリングフレーム３を移送する動作及び第２のリングフレーム収容部１４にリングフレーム３を補給する動作について説明する。上記した第１のリングフレーム収容部１３からリングフレーム保持テーブル１２に対するリングフレーム３の搬送動作を繰り返し行うことで、図４に示す第１のリングフレーム収容部１３にリングフレーム３がなくなると、収容量認識部２０の下限センサが反応し、収容量認識部２０が第１のリングフレーム収容部１３にリングフレーム３のストックがないと認識する。判断部は、収容量認識部２０の認識に基づいて第２のリングフレーム収容部１４から第１のリングフレーム収容部１３に対するリングフレーム３の移送を開始する。 Next, an operation of transferring the ring frame 3 from the second ring frame housing portion 14 to the first ring frame housing portion 13 and an operation of supplying the ring frame 3 to the second ring frame housing portion 14 will be described. . When the ring frame 3 is removed from the first ring frame accommodation unit 13 shown in FIG. 4 by repeatedly carrying the ring frame 3 from the first ring frame accommodation unit 13 to the ring frame holding table 12, the accommodation is performed. The lower limit sensor of the amount recognizing unit 20 reacts and the accommodation amount recognizing unit 20 recognizes that there is no stock of the ring frame 3 in the first ring frame housing unit 13. The determination unit starts to transfer the ring frame 3 from the second ring frame accommodation unit 14 to the first ring frame accommodation unit 13 based on the recognition of the accommodation amount recognition unit 20.

図４に示すように、水平移動手段１７が例えば矢印Ａ方向に回転し、リングフレーム搬送手段１５を第２のリングフレーム収容部１４の上方側に移動させるとともに、昇降手段１６によってリングフレーム搬送手段１５を第２のリングフレーム収容部１４に収容されているリングフレーム３に接近する方向に下降させる。リングフレーム搬送手段１５の下降にともなって、収容部材１４０が、その先端側から挿通孔１５３に挿通されていくとともに、フレーム保持部１５４で、第２のリングフレーム収容部１４において積み重なったリングフレーム３のうち最も上端側のリングフレーム３を吸引保持する。 As shown in FIG. 4, the horizontal moving means 17 rotates in the direction of arrow A, for example, to move the ring frame conveying means 15 to the upper side of the second ring frame accommodating portion 14, and the lifting means 16 causes the ring frame conveying means to move. 15 is lowered in a direction approaching the ring frame 3 accommodated in the second ring frame accommodating portion 14. As the ring frame conveying means 15 descends, the accommodating member 140 is inserted into the insertion hole 153 from the tip side, and the ring frame 3 stacked in the second ring frame accommodating portion 14 by the frame holding portion 154. Among them, the ring frame 3 at the uppermost side is sucked and held.

次いで、図５に示すように、水平移動手段１７が例えば矢印Ｂ方向に回転し、リングフレーム３を吸引保持したリングフレーム搬送手段１５を第１のリングフレーム収容部１３の上方側に移動させるとともに、昇降手段１６によってリングフレーム搬送手段１５を第１のリングフレーム収容部１３に接近する方向に下降させ、第１のリングフレーム収容部１３にリングフレーム３を移送する。このようなリングフレーム３の移送動作を繰り返し行い、第１のリングフレーム収容部１３にリングフレーム３を積み重ねる。このリングフレーム３の移送動作は、例えば図１に示したテープ貼着機構２において保持テーブル１０に保持されたウェーハ及びリングフレーム保持テーブル１２に保持されたリングフレーム３に粘着テープを貼着している間に行うことが望ましい。 Next, as shown in FIG. 5, the horizontal movement means 17 rotates in the direction of arrow B, for example, and the ring frame transport means 15 that sucks and holds the ring frame 3 is moved to the upper side of the first ring frame accommodating portion 13. The ring frame conveying means 15 is lowered by the elevating means 16 in a direction approaching the first ring frame accommodating portion 13, and the ring frame 3 is transferred to the first ring frame accommodating portion 13. Such a transfer operation of the ring frame 3 is repeatedly performed, and the ring frame 3 is stacked on the first ring frame accommodating portion 13. For example, the transfer operation of the ring frame 3 is performed by attaching an adhesive tape to the wafer held by the holding table 10 and the ring frame 3 held by the ring frame holding table 12 in the tape applying mechanism 2 shown in FIG. It is desirable to do this while you are.

第１のリングフレーム収容部１３に複数のリングフレーム３が積み重なり、収容量認識部２０の上限センサが反応すると、収容量認識部２０が第１のリングフレーム収容部１３にリングフレーム３のストックが十分にあると認識する。判断部は、収容量認識部２０の認識に基づいて、第２のリングフレーム収容部１４から第１のリングフレーム収容部１３に対するリングフレーム３の移送を停止する。このように、収容量認識部２０及び判断部によって、常に第１のリングフレーム収容部１３におけるリングフレーム３の収容量を的確に把握して第１のリングフレーム収容部１３にリングフレーム３を補充できるため、リングフレーム保持テーブル１２に対するリングフレーム３の搬送効率が向上する。 When the plurality of ring frames 3 are stacked on the first ring frame housing portion 13 and the upper limit sensor of the housing amount recognition unit 20 reacts, the housing amount recognition unit 20 stores the stock of the ring frame 3 in the first ring frame housing portion 13. Recognize that there is enough. The determination unit stops the transfer of the ring frame 3 from the second ring frame accommodation unit 14 to the first ring frame accommodation unit 13 based on the recognition of the accommodation amount recognition unit 20. In this way, the accommodation amount recognition unit 20 and the determination unit always accurately grasp the accommodation amount of the ring frame 3 in the first ring frame accommodation unit 13 and replenish the first ring frame accommodation unit 13 with the ring frame 3. Therefore, the conveyance efficiency of the ring frame 3 with respect to the ring frame holding table 12 is improved.

上記した第２のリングフレーム収容部１４から第１のリングフレーム収容部１３に対するリングフレーム３の移送動作を繰り返し行うことで、図６に示すように、第２のリングフレーム収容部１４にリングフレーム３がなくなると、第２のリングフレーム収容部１４にリングフレーム３を補給する。なお、図示していないが、第２のリングフレーム収容部１４にも、収容量認識部２０と同様のセンサを設けておく。具体的には、第１の移動手段１８が作動することにより、モータ１８０が回転軸１８１を例えば矢印Ａ方向に回転させて第２のリングフレーム収容部１４を矢印Ａ方向に回転させ、図７に示すように、第２のリングフレーム収容部１４を受渡位置４から補給位置５に移動させる。そして、補給位置５に位置づけられた第２のリングフレーム収容部１４にリングフレーム３を補給する。 By repeatedly performing the transfer operation of the ring frame 3 from the second ring frame housing portion 14 to the first ring frame housing portion 13 as described above, the ring frame is moved to the second ring frame housing portion 14 as shown in FIG. When 3 disappears, the ring frame 3 is replenished to the second ring frame accommodating portion 14. Although not shown, the second ring frame housing portion 14 is also provided with a sensor similar to the housing amount recognition portion 20. Specifically, when the first moving means 18 is operated, the motor 180 rotates the rotary shaft 181 in the direction of arrow A, for example, to rotate the second ring frame housing portion 14 in the direction of arrow A, and FIG. As shown in FIG. 2, the second ring frame accommodating portion 14 is moved from the delivery position 4 to the replenishment position 5. Then, the ring frame 3 is replenished to the second ring frame accommodating portion 14 positioned at the replenishment position 5.

このように、テープ貼着装置１は、リングフレーム３を収容する少なくとも２つのリングフレーム収容部を備え、２つのリングフレーム収容部は、第１のリングフレーム収容部１３と第２のリングフレーム１４とを近接した位置で隣り合わせに配設したことにより、リングフレーム収容部の高さを低く構成してリングフレーム搬送手段１５を昇降させる昇降手段１６の昇降軸１６０を短くすることができるため、装置全体が大型化するのを防止できる。さらに、２つのリングフレーム収容部を備えるため、多くのリングフレーム３を収容しておくことができる。
また、テープ貼着装置１は、第２のリングフレーム収容部１４を、リングフレーム３をリングフレーム搬送手段１５に受け渡す受渡位置４とリングフレーム３を第２のリングフレーム収容部１４に補給する補給位置５とに移動させる第１の移動手段１８を備えるため、第１のリングフレーム収容部１３にリングフレーム３がなくなった時には、リングフレーム搬送手段１５によって、受渡位置４に移動してきた第２のリングフレーム収容部１４から第１のリングフレーム収容部１３にリングフレーム３を補充できる上、第２のリングフレーム収容部１４からリングフレーム保持テーブル１２にリングフレーム３を搬送する事も可能とし、第２のリングフレーム収容部１４にリングフレーム３がなくなった時には、第２のリングフレーム収容部１４を補給位置５に移動させてリングフレーム３を補給できることから、装置を一時停止することなく、リングフレーム３をリングフレーム保持テーブル１２に連続供給することが可能となる。 As described above, the tape adhering device 1 includes at least two ring frame accommodating portions that accommodate the ring frame 3, and the two ring frame accommodating portions include the first ring frame accommodating portion 13 and the second ring frame 14. Are arranged adjacent to each other at close positions so that the elevating shaft 160 of the elevating means 16 for elevating the ring frame conveying means 15 by lowering the height of the ring frame accommodating portion can be shortened. It can prevent the whole from becoming large. Furthermore, since the two ring frame accommodating portions are provided, a large number of ring frames 3 can be accommodated.
Further, the tape adhering apparatus 1 replenishes the second ring frame housing part 14 with the delivery position 4 for delivering the ring frame 3 to the ring frame transport means 15 and the ring frame 3 with the second ring frame housing part 14. Since the first moving means 18 for moving to the replenishment position 5 is provided, the second moving frame 18 is moved to the delivery position 4 by the ring frame transporting means 15 when the ring frame 3 disappears in the first ring frame accommodating portion 13. The ring frame 3 can be replenished from the ring frame housing part 14 to the first ring frame housing part 13, and the ring frame 3 can be transported from the second ring frame housing part 14 to the ring frame holding table 12. When the ring frame 3 is no longer in the second ring frame accommodating portion 14, the second ring frame accommodating portion Since 4 can supply the ring frame 3 is moved to the supply position 5, without pause device, it is possible to continuously supply the ring frame 3 to a ring frame holding table 12.

図８に示すテープ貼着装置１ａは、被加工物に粘着テープを貼着するテープ貼着装置の第２例であり、リングフレーム３を積み重ねて収容可能な第１のリングフレーム収容部１３ａと、第１のリングフレーム収容部１３ａに近接して配設された第２のリングフレーム収容部１４ａとの少なくとも２つのリングフレーム収容部を備え、各リングフレーム収容部にそれぞれリングフレーム３を補給可能な構成となっている。なお、テープ貼着装置１ａにおいて、図１で示したテープ貼着装置１と同様の構成部分には同様の符号を付し、その説明は省略する。 The tape sticking apparatus 1a shown in FIG. 8 is a second example of a tape sticking apparatus for sticking an adhesive tape to a workpiece, and includes a first ring frame housing portion 13a capable of stacking and housing the ring frames 3. , Including at least two ring frame accommodating portions with the second ring frame accommodating portion 14a disposed in the vicinity of the first ring frame accommodating portion 13a, and the ring frame 3 can be replenished to each ring frame accommodating portion. It has become a structure. In addition, in the tape sticking apparatus 1a, the same code | symbol is attached | subjected to the component similar to the tape sticking apparatus 1 shown in FIG. 1, and the description is abbreviate | omitted.

具体的には、保持テーブル１０の下方側の位置に配設された第１のリングフレーム収容部１３ａは、リング状の収容部材１３０と、複数のリングフレーム３を積載可能な載置部１３１と、保持テーブル１０の下方に位置でリングフレーム３を受け取る受取位置６と該受取位置６から遠ざかり第１のリングフレーム収容部１３ａにリングフレーム３の補給を可能とする補給位置７とに第１のリングフレーム収容部１３ａを移動させる第２の移動手段１９とを備えている。 Specifically, the first ring frame accommodating portion 13a disposed at the lower position of the holding table 10 includes a ring-shaped accommodating member 130 and a placement portion 131 on which a plurality of ring frames 3 can be stacked. The first position is a receiving position 6 that receives the ring frame 3 at a position below the holding table 10 and a supply position 7 that is away from the receiving position 6 and that allows the ring frame 3 to be supplied to the first ring frame accommodating portion 13a. And a second moving means 19 for moving the ring frame accommodating portion 13a.

第２の移動手段１９は、モータ１９０と、モータ１９０に接続された回転軸１９１と、回転軸１９１に接続され第１のリングフレーム収容部１３ａが載置された支持台１９２とにより構成されている。モータ１９０が回転軸１９１を回転させることにより、第１のリングフレーム収容部１３ａを支持台１９２とともに回転させ、第１のリングフレーム収容部１３ａを受取位置６と補給位置７とに移動させることができる。この第２の移動手段１９は、回転可能な構成に限定されるものはない。例えばスライダー機構を設けて、第１のリングフレーム収容部１３ａを受取位置６と補給位置７とにスライド移動させるようにしてもよい。 The second moving means 19 includes a motor 190, a rotating shaft 191 connected to the motor 190, and a support base 192 connected to the rotating shaft 191 and on which the first ring frame accommodating portion 13a is placed. Yes. The motor 190 rotates the rotary shaft 191 to rotate the first ring frame housing portion 13a together with the support base 192, and to move the first ring frame housing portion 13a to the receiving position 6 and the replenishment position 7. it can. The second moving means 19 is not limited to a rotatable configuration. For example, a slider mechanism may be provided so that the first ring frame accommodating portion 13a is slid to the receiving position 6 and the replenishing position 7.

テープ貼着装置１ａは、少なくとも第１のリングフレーム収容部１３ａに収容されるリングフレーム３の収容量を認識する収容量認識部２０ａと、収容量認識部２０ａが認識するリングフレーム３の収容量に基づいて、少なくとも第１のリングフレーム収容部１３ａにリングフレーム３の補給の開始及びリングフレーム３の補給の停止をさせる判断を行う判断部とを備えている。 The tape adhering device 1a includes at least an accommodation amount recognition unit 20a that recognizes an accommodation amount of the ring frame 3 accommodated in the first ring frame accommodation unit 13a, and an accommodation amount of the ring frame 3 that is recognized by the accommodation amount recognition unit 20a. And at least the first ring frame housing portion 13a is provided with a determination unit that makes a determination to start the supply of the ring frame 3 and stop the supply of the ring frame 3.

次に、テープ貼着装置１ａの動作例について説明する。図８に示す第１のリングフレーム収容部１３ａからリングフレーム保持テーブル１２に対するリングフレーム３の搬送動作を繰り返し行うことにより、図９に示すように、第１のリングフレーム収容部１３ａからリングフレーム３がなくなったら、第１のリングフレーム収容部１３ａにリングフレーム３を補給する。第１のリングフレーム収容部１３ａからリングフレーム３がなくなると、収容量認識部２０ａの下限センサが反応して第１のリングフレーム収容部１３ａにリングフレーム３のストックがないと認識する。判断部は、収容量認識部２０ａの認識に基づいて、第１のリングフレーム収容部１３ａにリングフレーム３の補給を開始する。 Next, an operation example of the tape sticking apparatus 1a will be described. By repeatedly carrying the ring frame 3 from the first ring frame housing part 13a to the ring frame holding table 12 shown in FIG. 8, the first ring frame housing part 13a to the ring frame 3 as shown in FIG. When there is no more, the ring frame 3 is replenished to the first ring frame accommodating portion 13a. When the ring frame 3 disappears from the first ring frame housing portion 13a, the lower limit sensor of the housing amount recognition unit 20a reacts and recognizes that there is no stock of the ring frame 3 in the first ring frame housing portion 13a. The determination unit starts to supply the ring frame 3 to the first ring frame storage unit 13a based on the recognition of the storage amount recognition unit 20a.

具体的には、第２の移動手段１９が作動することにより、モータ１９０が回転軸１９１を例えば矢印Ｂ方向に回転させることにより、第１のリングフレーム収容部１３ａを矢印Ｂ方向に回転させ、図１０に示すように、第１のリングフレーム収容部１３ａを受取位置６から補給位置７に移動させる。そして、補給位置７に位置づけられた第１のリングフレーム収容部１３ａにリングフレーム３を補給する。 Specifically, when the second moving means 19 is operated, the motor 190 rotates the rotating shaft 191 in the direction of the arrow B, for example, thereby rotating the first ring frame housing portion 13a in the direction of the arrow B, As shown in FIG. 10, the first ring frame accommodating portion 13 a is moved from the receiving position 6 to the replenishing position 7. Then, the ring frame 3 is replenished to the first ring frame accommodating portion 13 a positioned at the replenishment position 7.

第１のリングフレーム収容部１３ａにリングフレーム３を積み重ねていき、収容量認識部２０ａの上限センサが反応すると、第１のリングフレーム収容部１３ａにリングフレーム３のストックが十分にあると認識する。判断部は、収容量認識部２０ａの認識に基づいて、第１のリングフレーム収容部１３ａに対するリングフレーム３の補給を停止する。 When the ring frame 3 is stacked on the first ring frame accommodating portion 13a and the upper limit sensor of the accommodation amount recognizing portion 20a reacts, it is recognized that there is sufficient stock of the ring frame 3 in the first ring frame accommodating portion 13a. . The determination unit stops the supply of the ring frame 3 to the first ring frame storage unit 13a based on the recognition of the storage amount recognition unit 20a.

さらに、テープ貼着装置１ａでは、上記したテープ貼着装置１と同様に、図８に示す第２のリングフレーム収容部１４ａから第１のリングフレーム収容部１３ａにリングフレーム３を移送することもできるし、図９に示す第２のリングフレーム収容部１４ａにリングフレーム３を補給することもできる。 Further, in the tape adhering apparatus 1a, the ring frame 3 may be transferred from the second ring frame accommodating part 14a shown in FIG. 8 to the first ring frame accommodating part 13a as in the tape adhering apparatus 1 described above. Alternatively, the ring frame 3 can be replenished to the second ring frame accommodating portion 14a shown in FIG.

このように、テープ貼着装置１ａでは、第１のリングフレーム収容部１３ａにリングフレーム搬送手段１５がリングフレーム３を受け取る受取位置６とリングフレーム３を第１のリングフレーム収容部１３ａに補給する補給位置７とに第１のリングフレーム収容部１３ａを移動させる第２の移動手段１９を備えるため、第１のリングフレーム収容部１３ａにリングフレーム３がなくなっても、第１のリングフレーム収容部１３ａ自体を補給位置７に移動させることでリングフレーム３を直接補給することができ、第１のリングフレーム収容部１３ａにリングフレーム３を補給中には、第２のリングフレーム収容部１４ａを第１の移動手段１８で受取位置４に移動させ、フレーム搬送手段１５で第２のリングフレーム収容部１４ａからリングフレーム保持テーブル１２にリングフレーム３を搬送する事を可能にし、装置を一時停止することなく、リングフレーム保持テーブル１２にリングフレーム３の連続供給を行うことが可能となる。 Thus, in the tape sticking apparatus 1a, the receiving position 6 where the ring frame transport means 15 receives the ring frame 3 and the ring frame 3 are supplied to the first ring frame accommodating portion 13a. Since the second moving means 19 for moving the first ring frame accommodating portion 13a to the replenishment position 7 is provided, the first ring frame accommodating portion even if the ring frame 3 is removed from the first ring frame accommodating portion 13a. The ring frame 3 can be directly replenished by moving the 13a itself to the replenishment position 7. While the ring frame 3 is being replenished to the first ring frame accommodating portion 13a, the second ring frame accommodating portion 14a is 1 is moved to the receiving position 4 by the moving means 18, and the ring carrier is moved from the second ring frame accommodating portion 14 a by the frame conveying means 15. Was it possible to convey the ring frame 3 over arm holding table 12, without pause device, it is possible to perform a continuous supply of the ring frame 3 to a ring frame holding table 12.

図１１に示すテープ貼着装置１ｂは、被加工物に粘着テープを貼着するテープ貼着装置の第３例であり、リングフレーム３を積み重ねて収容可能な第１のリングフレーム収容部１３ｂと、第１のリングフレーム収容部１３ｂに近接して配設された第２のリングフレーム収容部１４ｂとの少なくとも２つのリングフレーム収容部を備え、各リングフレーム収容部にそれぞれリングフレーム３を補給可能とするとともに、各リングフレーム収容部からリングフレーム保持テーブル１２に対してリングフレーム３を搬送できる構成となっている。なお、テープ貼着装置１ｂにおいて、図１で示したテープ貼着装置１と同様の構成部分には同様の符号を付してその説明は省略する。 A tape adhering device 1b shown in FIG. 11 is a third example of a tape adhering device for adhering an adhesive tape to a workpiece, and includes a first ring frame accommodating portion 13b capable of accumulating and accommodating ring frames 3; , Including at least two ring frame accommodating portions with the second ring frame accommodating portion 14b disposed in the vicinity of the first ring frame accommodating portion 13b, and the ring frame 3 can be replenished to each ring frame accommodating portion. In addition, the ring frame 3 can be transported from each ring frame housing portion to the ring frame holding table 12. In addition, in the tape sticking apparatus 1b, the same code | symbol is attached | subjected to the component similar to the tape sticking apparatus 1 shown in FIG. 1, and the description is abbreviate | omitted.

具体的には、第１のリングフレーム収容部１３ｂは、リング状の収容部材１３０と、複数のリングフレーム３を積載可能な載置部１３１と、リングフレーム搬送手段１５のフレーム保持部１５４でリングフレーム３を受け取る受取位置６と第１のリングフレーム収容部１３ｂにリングフレーム３の補給を可能とする補給位置７とに第１のリングフレーム収容部１３ｂを移動させる切り替え手段２１とを備えている。第２のリングフレーム収容部１４ｂは、リング状の収容部材１４０と、複数のリングフレーム３を積載可能な載置部１４１と、該受取位置６と第２のリングフレーム収容部１４ｂにリングフレーム３の補給を可能とする補給位置８とに第２のリングフレーム収容部１４ｂを移動させる切り替え手段２２と備えている。 Specifically, the first ring frame accommodating portion 13 b is formed by a ring-shaped accommodating member 130, a placement portion 131 on which a plurality of ring frames 3 can be stacked, and a frame holding portion 154 of the ring frame conveying means 15. There is provided switching means 21 for moving the first ring frame housing part 13b to the receiving position 6 for receiving the frame 3 and the replenishment position 7 enabling the replenishment of the ring frame 3 to the first ring frame housing part 13b. . The second ring frame accommodating portion 14b includes a ring-shaped accommodating member 140, a placement portion 141 on which a plurality of ring frames 3 can be stacked, and the receiving frame 6 and the second ring frame accommodating portion 14b. And a switching means 22 for moving the second ring frame accommodating portion 14b to the replenishment position 8 that enables replenishment of the second ring frame.

切り替え手段２１は、モータ２１０と、モータ２１０に接続された回転軸２１１と、回転軸２１１に接続され第１のリングフレーム収容部１３ｂが載置された支持台２１２とにより構成されている。モータ２１０が回転軸２１１を回転させることにより、第１のリングフレーム収容部１３ｂを受取位置６と補給位置７とに移動させることができる。また、切り替え手段２２は、上記切り替え手段２１と同様の構成となっており、モータ２２０と、モータ２２０に接続された回転軸２２１と、回転軸２２１に接続され第２のリングフレーム収容部１４ｂが載置された支持台２２２とにより構成されている。モータ２２０が回転軸２２１を回転させることにより、第２のリングフレーム収容部１４ｂを受取位置６と補給位置８とに移動させることができる。 The switching means 21 includes a motor 210, a rotating shaft 211 connected to the motor 210, and a support base 212 that is connected to the rotating shaft 211 and on which the first ring frame accommodating portion 13b is placed. When the motor 210 rotates the rotating shaft 211, the first ring frame housing portion 13 b can be moved to the receiving position 6 and the replenishing position 7. The switching unit 22 has the same configuration as the switching unit 21, and includes a motor 220, a rotating shaft 221 connected to the motor 220, and a second ring frame housing portion 14 b connected to the rotating shaft 221. It is comprised by the support base 222 mounted. When the motor 220 rotates the rotating shaft 221, the second ring frame accommodating portion 14b can be moved to the receiving position 6 and the replenishing position 8.

テープ貼着装置１ｂは、第１のリングフレーム収容部１３ｂ及び第２のリングフレーム収容部１４ｂのそれぞれに、リングフレーム３の収容量を認識する収容量認識部２０ｂと、それぞれの収容量認識部２０ｂが認識するリングフレーム３の収容量に基づいて第１のリングフレーム収容部１３ｂ及び第２のリングフレーム収容部１４ｂに対してリングフレーム３の補給の開始及び補給の停止をさせる判断を行う判断部とを備えている。 The tape sticking device 1b includes a first capacity storage unit 20b that recognizes a capacity of the ring frame 3 and a second capacity recognition unit for each of the first ring frame storage unit 13b and the second ring frame storage unit 14b. Judgment for determining whether the first ring frame housing portion 13b and the second ring frame housing portion 14b start and stop the supply of the ring frame 3 based on the amount of the ring frame 3 recognized by 20b. Department.

次に、テープ貼着装置１ｂの動作例について説明する。上記したテープ貼着装置１と同様に、図１１に示す第１のリングフレーム収容部１３ｂからリングフレーム保持テーブル１２に対するリングフレーム３の搬送動作を繰り返し行った後、図１２に示すように、第１のリングフレーム収容部１３ｂからリングフレーム３がなくなって載置部１３１が露出すると、第１のリングフレーム収容部１３ｂ側の収容量認識部２０ｂの下限センサが反応し、第１のリングフレーム収容部１３ｂにリングフレーム３のストックがないと認識する。判断部は、収容量認識部２０ｂの認識に基づいて、第１のリングフレーム収容部１３ｂに対してリングフレーム３の補給を行うとともに、第２のリングフレーム収容部１４ｂからリングフレーム保持テーブル１２に対するリングフレーム３の搬送を行う。 Next, an operation example of the tape sticking apparatus 1b will be described. Similarly to the tape sticking device 1 described above, after the transport operation of the ring frame 3 from the first ring frame housing portion 13b shown in FIG. 11 to the ring frame holding table 12 is repeatedly performed, as shown in FIG. When the ring frame 3 disappears from the first ring frame housing portion 13b and the placement portion 131 is exposed, the lower limit sensor of the housing amount recognition unit 20b on the first ring frame housing portion 13b side reacts to react with the first ring frame housing portion 13b. It is recognized that there is no stock of the ring frame 3 in the part 13b. The determination unit supplies the ring frame 3 to the first ring frame accommodation unit 13b based on the recognition of the accommodation amount recognition unit 20b, and from the second ring frame accommodation unit 14b to the ring frame holding table 12. The ring frame 3 is transported.

具体的には、切り替え手段２１によって回転軸２１１が例えば矢印Ｂ方向に回転することにより、第１のリングフレーム収容部１３ｂを矢印Ｂ方向に回転させるとともに、切り替え手段２２によって回転軸２２１が例えば矢印Ｂ方向に回転し、第２のリングフレーム収容部１４ｂを矢印Ｂ方向に回転させる。このようにして、図１３に示すように、第１のリングフレーム収容部１３ｂを受取位置６から補給位置７に移動させるとともに第２のリングフレーム収容部１４ｂを補給位置８から受取位置６に移動させる。そして、補給位置７に位置づけられた第１のリングフレーム収容部１３ｂにリングフレーム３を補給しながら、リングフレーム搬送手段１５によって第２のリングフレーム収容部１４ｂからリングフレーム保持テーブル１２にリングフレーム３を搬送する。一方、第２のリングフレーム収容部１４ｂにリングフレーム３がなくなった場合は、リングフレーム３が補給された第１のリングフレーム収容部１３ａを受取位置６に移動させるとともに、第２のリングフレーム収容部１４ａを補給位置８に移動させることで、リングフレーム３をリングフレーム保持テーブル１２に連続供給することができる。 Specifically, the rotation shaft 211 is rotated in the direction of arrow B by the switching means 21 to rotate the first ring frame accommodating portion 13b in the direction of arrow B, and the rotation shaft 221 is rotated in the direction of arrow B by the switching means 22, for example. Rotate in the B direction to rotate the second ring frame accommodating portion 14b in the arrow B direction. In this way, as shown in FIG. 13, the first ring frame accommodating portion 13b is moved from the receiving position 6 to the replenishing position 7 and the second ring frame accommodating portion 14b is moved from the replenishing position 8 to the receiving position 6. Let Then, while the ring frame 3 is being supplied to the first ring frame accommodating portion 13b positioned at the replenishment position 7, the ring frame 3 is transferred from the second ring frame accommodating portion 14b to the ring frame holding table 12 by the ring frame conveying means 15. Transport. On the other hand, when the ring frame 3 disappears in the second ring frame accommodating portion 14b, the first ring frame accommodating portion 13a to which the ring frame 3 is replenished is moved to the receiving position 6 and the second ring frame accommodating portion is accommodated. The ring frame 3 can be continuously supplied to the ring frame holding table 12 by moving the portion 14 a to the replenishment position 8.

以上のとおり、テープ貼着装置１ｂでは、第１のリングフレーム収容部１３ｂに、リングフレーム手段１５がリングフレーム３を受け取る受取位置６と第１のリングフレーム収容部１３ｂにリングフレーム３を補給する補給位置７とに移動させる切り替え手段２１を備えるとともに、第２のリングフレーム収容部１４ｂに、該受取位置６と第２のリングフレーム収容部１４ｂにリングフレーム３を補給する補給位置８とに移動させる切り替え手段２２を備えるため、例えば、第１のリングフレーム収容部１３ｂにリングフレーム３がなくなっても、第１のリングフレーム収容部１３ａ自体を補給位置７に移動させるとともに、第２のリングフレーム収容部１４ｂを受取位置６に移動させることでリングフレーム３をリングフレーム保持テーブル１２に連続供給することができる。よって、装置を一時停止することなく、リングフレーム保持テーブル１２に対するリングフレーム３の搬送を効率よく行うことが可能となる。 As described above, in the tape adhering device 1b, the ring frame 3 is supplied to the first ring frame housing portion 13b, the receiving position 6 where the ring frame means 15 receives the ring frame 3, and the first ring frame housing portion 13b. A switching means 21 for moving to the replenishment position 7 is provided, and the second ring frame accommodating portion 14b is moved to the receiving position 6 and a replenishment position 8 for replenishing the ring frame 3 to the second ring frame accommodating portion 14b. For example, even if the ring frame 3 is not present in the first ring frame housing portion 13b, the first ring frame housing portion 13a itself is moved to the replenishment position 7 and the second ring frame is provided. The ring frame 3 is moved to the receiving position 6 to move the ring frame 3 to the ring frame holding table. It can be continuously fed to 12. Therefore, it is possible to efficiently carry the ring frame 3 to the ring frame holding table 12 without temporarily stopping the apparatus.

１，１ａ，１ｂ：テープ貼着装置２：テープ貼着機構
３：リングフレーム４：受渡位置５：補給位置６：受取位置
７:補給位置８：補給位置
１０：保持テーブル１１：テーブル移動手段１２：リングフレーム保持テーブル
１３，１３ａ，１３ｂ：第１のリングフレーム収容部
１３０：収容部材１３１：載置部１３２：基台
１４，１４ａ，１４ｂ：第２のリングフレーム収容部
１４０：収容部材１４１：載置部
１５：リングフレーム搬送手段１５０：アーム部１５１：連結部
１５２：支持部１５３：挿通孔１５４：フレーム保持部
１６：昇降手段１６０：昇降軸１７：水平移動手段
１８：第１の移動手段１８０：モータ１８１：回転軸１８２：支持台
１９：第２の移動手段１９０：モータ１９１：回転軸１９２：支持台
２０：収容量認識部
２１：切り替え手段２１０：モータ２１１：回転軸２１２：支持台
２２：切り替え手段２２０：モータ２２１：回転軸２２２：支持台 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 1a, 1b: Tape sticking apparatus 2: Tape sticking mechanism 3: Ring frame 4: Delivery position 5: Supply position 6: Receiving position 7: Supply position 8: Supply position 10: Holding table 11: Table moving means 12 : Ring frame holding tables 13, 13a, 13b: first ring frame housing part 130: housing member 131: mounting part 132: bases 14, 14a, 14b: second ring frame housing part 140: housing member 141: Placement part 15: Ring frame conveying means 150: Arm part 151: Connecting part 152: Support part 153: Insertion hole 154: Frame holding part 16: Lifting means 160: Lifting shaft 17: Horizontal moving means 18: First moving means 180: motor 181: rotating shaft 182: support base 19: second moving means 190: motor 191: rotating shaft 192: support base 20: storage The amount recognition unit 21: switching means 210: motor 211: rotary shaft 212: support base 22: switching means 220: motor 221: rotary shaft 222: support base

Claims

A holding table for holding a disk-shaped wafer, a ring frame holding table for surrounding the holding table and holding a ring-shaped ring frame having an inner diameter larger than the outer diameter of the wafer, and positioned below the holding table The ring frame accommodated in the ring frame accommodating portion is transported to the ring frame retaining table using at least two ring frame accommodating portions for accumulating and accommodating the ring frames and a frame retaining portion for sucking and holding the ring frames. A tape adhering device comprising: a ring frame conveying means; a wafer held by the holding table; and a tape adhering mechanism for adhering an adhesive tape to the ring frame held by the ring frame holding table,
At least two of the ring frame receiving portions are
A first ring frame accommodating portion disposed on the lower side of the holding table;
A second ring frame housing portion including a delivery position that is close to the first ring frame housing portion and a moving means that moves away from the delivery position and that enables the refilling of the ring frame;
The frame holder can be raised and lowered,
The ring frame transport means includes the ring frame accommodated in the first ring frame accommodating portion when the retaining table and the ring frame retaining table are not disposed above the first ring frame accommodating portion. Is sucked and held by the frame holding portion and is raised to a position higher than the holding table and the ring frame holding table, and the ring and the ring frame holding table are moved below the frame holding portion, and then the ring is moved. By transporting the frame to the ring frame holding table, the ring frame is transported from the first ring frame housing portion to the ring frame holding table, and the delivery is performed below the holding table and the ring frame. The first ring frame receiving portion positioned at a position from the first ring frame receiving portion Tape sticking device that enables a continuous supply of the ring frame and conveys the ring frame to the ring frame accommodating portion.

An accommodation amount recognition unit for recognizing the accommodation amount of the ring frame accommodated in at least the first ring frame accommodation unit;
A determination unit that starts transfer of the ring frame from the second ring frame storage unit to the first ring frame storage unit and stops transfer of the ring frame according to a storage amount recognized by the storage amount recognition unit; The tape sticking apparatus of Claim 1 provided with.

2. A second moving means for moving the first ring frame accommodating portion to a replenishment position of the first ring frame accommodating portion in order to replenish the ring frame in the first ring frame accommodating portion. Or the tape sticking apparatus of 2.

A holding table for holding a disk-shaped wafer, a ring frame holding table for surrounding the holding table and holding a ring-shaped ring frame having an inner diameter larger than the outer diameter of the wafer, and positioned below the holding table The ring frame accommodated in the ring frame accommodating portion is transported to the ring frame retaining table using at least two ring frame accommodating portions for accumulating and accommodating the ring frames and a frame retaining portion for sucking and holding the ring frames. A tape sticking device comprising: a ring frame transport means; a wafer held by the holding table; and a sticking mechanism for sticking an adhesive tape to the ring frame held by the ring frame holding table;
At least two of the ring frame accommodating portions are respectively connected to the ring at a receiving position where the ring frame transport means receives the ring frame and a replenishment position where the ring frame accommodating portion can replenish the ring frame. Switching means for moving the frame accommodating portion;
A storage amount recognition unit for recognizing the storage amount of the ring frame stored in the ring frame storage unit,
The ring frame transport means is movable between the holding table and the upper and lower sides of the holding frame and the ring frame holding table by horizontal turning and raising / lowering, and from the ring frame receiving portion positioned at the receiving position. Transport the ring frame to the ring frame holding table;
When the accommodation amount recognition unit recognizes that the ring frame is not accommodated in one of the ring frame accommodation portions positioned at the receiving position, the one ring frame accommodation portion is moved to the replenishment position and the ring frame is moved. A tape adhering device that enables continuous supply of the ring frame by replenishing the ring frame and moving the other ring frame accommodating portion to the receiving position.