JP6300712B2 - 太陽電池および太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態1にかかる太陽電池の要部拡大斜視図、図2(a)および(b)は、本発明の実施の形態1にかかる太陽電池の構成を模式的に示す断面図および上面図である。図1はバス電極10とグリッド電極7の交点付近の領域R0の断面構造を示す斜視図である。ここで本発明において、バス電極10の伸張方向に平行な軸をX軸、グリッド電極7の伸張方向に平行な軸をY軸、X軸とY軸に直交する軸をZ軸とする。本実施の形態にかかる太陽電池は、単結晶シリコン基板とはバンドギャップの異なるアモルファスシリコン系薄膜を単結晶シリコン基板表面へ成膜してヘテロ接合が形成されたヘテロ接合型太陽電池セルを用いたものである。本実施の形態にかかる太陽電池は、ヘテロ接合型太陽電池セルからなる光電変換素子上に集電極を備える太陽電池であって、レジスト開口部に斜め方向から絶縁膜を成膜することにより、レジスト開口部側面とその下部にのみ、めっきのためのシード層が露出するようにし、そこから横方向にめっき被膜を成長させることを特徴とする。
前記実施の形態では薄膜型の太陽電池について説明したが、本実施の形態にかかる太陽電池は、拡散によってpn接合を形成する拡散型太陽電池セルである。実施の形態1とは下地基板とのコンタクト方法において、プロセス上の差異がある。図16は、本発明の実施の形態2にかかる太陽電池の構成を模式的に示す断面図である。本実施の形態2にかかる太陽電池は、半導体基板が第1の導電型を有しており、その基板表面にはテクスチャーと呼ばれる凹凸構造が形成されている。半導体基板としてp型の単結晶シリコン基板1pの受光面側には、第2の導電型の不純物拡散層としてn型拡散層2nが形成されており、その上部には反射防止膜12、グリッド電極7が順次積層されている。グリッド電極7下部の反射防止膜12は開口されており、グリッド電極7とn型拡散層2nの間には、シード層6S、バリアメタル層16、シリサイド層14が挿入されている。
前記実施の形態では、p型基板を用いた拡散型太陽電池について説明したが、本実施の形態にかかる太陽電池は、n型基板を用いた拡散型太陽電池である。実施の形態2とは、拡散層の形成方法あるいはパッシベーション層の形成方法について、プロセス上の差異がある。
実施の形態1,2,3では、グリッド電極の片側側面がZ軸に対し、平行である矩形のレジストパターンを用いてグリッド電極を作製したが、レジストの形成条件を制御することによって、様々な形状のグリッド電極を作製することが可能である。例えば、原理的に逆テーパ形状を作り易いネガ型レジストを用いる場合、レジストの露光時間と現像時間を調整することにより、逆テーパ型のレジストパターンを作製することが可能である。前述した逆テーパ型のレジストパターンを用いて、実施の形態1の手法でめっき処理を行いグリッド電極7を形成する。このとき、図31に示すように、シード層6Sの基板面に沿った第1シード面6Aが側面部の第2シード面6Bに対して鋭角をなすため、めっき電極形成後のめっき層パターンの断面形状は側面部の第2シード面6Bに対向するめっき層パターンの外側面である第2面7Bは、基板面に沿った第1シード面6Aに対してほぼ直角となる。
また実施の形態5では、原理的に順テーパ型になり易いポジ型レジストを用いて、レジストの露光時間と現像時間を調整することにより、テーパ型のレジストパターンを作製することが可能である。前述したテーパ型のレジストを用いて、実施の形態1の方法でめっき処理を行った。このとき、図32に示すように、シード層6Sの基板面に沿った第1シード面6Aが側面部の第2シード面6Bに対して鈍角をなしている。このため、めっき電極形成後のめっき層パターンの断面形状は、側面部の第2シード面6Bに当接するめっき層パターンの側面である第1面7Aおよび第1面7Aに対向するめっき層パターンの外側面7Bが、いずれも基板面に沿った第1シード面6Aに対してほぼ鈍角となる。
実施の形態6は丸みを帯びためっき層パターンからなるグリッド電極7について示す。本実施の形態では、製法的にパターンが丸みを帯び易いスクリーン印刷法を用いてレジストパターンを形成し、その後に実施の形態1の手法でめっき処理を行う。この方法によれば、めっき電極形成後の断面形状は図33に示すように丸みを帯びためっき層パターンを備えたグリッド電極7が形成される。
レジスト露光中の定在波の影響を利用して、レジスト壁面に凹凸を形成した後に、実施の形態1の方法でめっき処理を行った場合、めっき電極形成後の断面形状は図34に示すように、断面に凹凸を有するレジストパターン形状となる。この場合、シード層6Sの表面積が増大するため、めっき層の形成時に成膜速度が高くなり、めっき時間の低減を図ることができる。
実施の形態8として、めっき時間を制御することによって、図35に示すように、頂点付近に丸みを帯びた形状のめっき層パターンからなるグリッド電極7を有するめっき電極を作製することも可能である。本実施の形態ではめっき時間を十分に長くとることで、第2シード面の頂点よりも突出してめっき層が形成される。
前記実施の形態1から8では、シード層6Sをグリッド電極7の一部として用いているが、図37に示すように、シード層6Sの内、第2シード面6Bをエッチング除去してもよい。他部については実施の形態1の太陽電池とまったく同様であるためここでは説明を省略する。
Claims (24)
- pn接合を有する太陽電池セルと、前記太陽電池セルの受光面に、一定の間隔で一方向に伸張するように設けられ、光電変換された電荷を集電する、複数のグリッド電極を有する受光面側電極と、前記太陽電池セルの受光面に対向する裏面に設けられた裏面電極とを備え、前記グリッド電極は、前記太陽電池セルの受光面に当接する第1シード面と、前記第1シード面に対して起立され、前記第1シード面に接続された第2シード面と、前記第1シード面および前記第2シード面に当接するめっき層とで構成され、
前記めっき層は、前記第2シード面との当接面は前記受光面に対して垂直であり、片側側面に傾斜面を有することを特徴とする太陽電池。 - 前記めっき層は、前記第1シード面および前記第2シード面から成長されためっき層であることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池。
- 前記めっき層と前記第2シード面の頂点は一致したことを特徴とする請求項2に記載の太陽電池。
- 前記めっき層の頂点は、前記第2シード面の頂点よりも突出したことを特徴とする請求項2に記載の太陽電池。
- 前記第2シード面の頂点の高さは、前記めっき層の頂点の高さの70%以上であることを特徴とする請求項4に記載の太陽電池。
- 前記グリッド電極の立面のうち一方の第1面は前記太陽電池セルの基板表面に対して垂直、他の一方の第2面は前記第1面に対して鋭角をなす断面直角三角形であることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の太陽電池。
- 前記第2シード面は前記第1シード面に対して法線方向に起立せしめられており、
第1および第2シード面は断面L字状であることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の太陽電池。 - 前記太陽電池セルは、
第1導電型の結晶系シリコン基板と、前記結晶系シリコン基板の受光面側に形成された透光性電極とを備え、前記第1シード面は、前記透光性電極にコンタクトしていることを特徴とする請求項2に記載の太陽電池。 - 前記太陽電池セルは、
第1導電型の結晶系シリコン基板と、前記結晶系シリコン基板の受光面側に形成された第2導電型の不純物拡散層と、前記不純物拡散層の受光面側に形成された反射防止膜とを備え、前記第1シード面は、前記反射防止膜の開口部に形成されたバリア層とシリサイド層とを介して、前記不純物拡散層にコンタクトしていることを特徴とする請求項2に記載の太陽電池。 - 前記第1シード面および前記第2シード面は、銀層または銅層であり、前記めっき層は銅めっき層であることを特徴とする請求項8または9に記載の太陽電池。
- 前記第1シード面および前記第2シード面は、前記太陽電池セルの受光面に当接するとともに、前記受光面の法線方向に起立せしめられたバリア層を備えたことを特徴とする請求項9または10に記載の太陽電池。
- 前記グリッド電極は、アスペクト比が1以上であることを特徴とする請求項1から11のいずれか1項に記載の太陽電池。
- 前記受光面側電極は、前記グリッド電極と、前記グリッド電極に直交するバス電極とを備えたことを特徴とする請求項1から12のいずれか1項に記載の太陽電池。
- さらに前記太陽電池セルの受光面を覆うように配置された透光性表面部材と、前記透光性表面部材と前記太陽電池セルの受光面との間に配置された封止材とを備えたことを特徴とする請求項1から13のいずれか1項に記載の太陽電池。
- pn接合を有する太陽電池セルを形成する工程と、一定の間隔で一方向に伸張するように、前記太陽電池セルの受光面に、複数のグリッド電極を有する受光面側電極を形成する工程と、前記太陽電池セルの受光面に対向する裏面に裏面電極を形成する工程とを備える太陽電池の製造方法であって、
前記グリッド電極を形成する工程が、前記太陽電池セルの受光面のグリッド電極を形成すべき領域に開口を有するレジストパターンを形成する工程と、前記レジストパターンの形成された前記受光面全体に少なくとも、前記レジストパターンの前記開口に臨む側面および底面を含むように、前記レジストパターンに沿ってシード層を形成する工程と、
めっき工程に先立ち、前記シード層上に斜めスパッタリングにより、絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜から露呈する前記シード層に選択めっきを行い、めっき層を形成するめっき工程と、
前記めっき工程後に、前記めっき層から露呈する前記絶縁膜および前記シード層を除去する除去工程と、前記レジストパターンを剥離する工程とを含むことを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 前記絶縁膜を形成する工程は、前記受光面に当接する第1シード面と、基板の法線方向に起立せしめられ、第1シード面と電気的に接続された第2シード面とを露呈するように絶縁膜を形成する工程であり、前記めっき工程は、前記第1シード面および前記第2シード面からめっき層を成長させ、少なくとも片側側面に傾斜面を有するめっき層を形成する選択めっき工程であることを特徴とする請求項15に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記絶縁膜を形成する工程は、スパッタリング方向に対して基板を傾斜する傾斜角を調整しながら、前記絶縁膜の幅を調整することでグリッド電極底部の線幅を調整する工程を含むことを特徴とする請求項15または16に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記太陽電池セルを形成する工程は、第1導電型の結晶系シリコン基板の受光面側に第2導電型のアモルファスシリコン層を成膜する工程と受光面側透光性電極を形成する工程とを含み、前記シード層を形成する工程は前記受光面側透光性電極に当接するようにスパッタリング法により形成する工程であることを特徴とする請求項15から17のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記太陽電池セルを形成する工程は、第1導電型の結晶系シリコン基板の受光面側に第2導電型の不純物拡散層を形成する拡散工程と、前記不純物拡散層の受光面側に反射防止膜を形成する工程とを備え、前記シード層を形成する工程は、前記反射防止膜に形成された開口を介して、前記不純物拡散層にコンタクトするようにスパッタリングを行う工程であることを特徴とする請求項15から17のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記シード層を形成する工程は、銀層または銅層をスパッタリングする工程であり、
前記めっき工程は、電解銅めっき工程であることを特徴とする請求項18または19に記載の太陽電池の製造方法。 - 前記シード層の形成に先立ち、前記太陽電池セルの受光面に当接するとともに、前記レジストパターンの側壁に沿うようにバリア層を形成する工程を含むことを特徴とする請求項15から20のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記めっき工程後、前記めっき層を、幅狭化するスリミング工程を含むことを特徴とする請求項15から20のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記めっき工程は、前記グリッド電極上部の線幅が目的値となるまでめっきを続行するようにめっき時間を制御する工程を含むことを特徴とする請求項15から22のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
- pn接合を有する太陽電池セルと、前記太陽電池セルの受光面に、一定の間隔で一方向に伸張するように設けられ、光電変換された電荷を集電する、複数のグリッド電極を有する受光面側電極と、前記太陽電池セルの受光面に対向する裏面に設けられた裏面電極とを備え、前記グリッド電極は、前記太陽電池セルの受光面に当接するシード面と、前記シード面に当接するとともに、前記シード面から起立した側面を有するめっき層とで構成され、前記グリッド電極の立面のうち一方の第1面は前記太陽電池セルの基板表面に対して垂直、他の一方の第2面は前記第1面に対して鋭角をなす断面直角三角形であることを特徴とする太陽電池。
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