JP6278677B2 - プラスチックモールドされた半導体集積回路パッケージの開封装置及びプラスチックモールドされた半導体集積回路パッケージの開封方法 - Google Patents
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Description
2 薬液収納容器2
3 排液タンク
4、5、31、32〜35,37、54 配管
6、42、44 排液管
11〜18、36 バルブ
21〜23 ポンプ
30 マニホールド
40 ステージ
43 サンプル
43a ICチップ
50 試料台
50a 耐食性のブロック
50b 温度制御される金属ブロック
50c ゴムシール材
50d 加熱ヒータ
51 カバー
52 気液分離器
53 チーズ
60 薬液貯蔵部
Claims (15)
- プラスチックによりモールドされたサンプルを開封するプラスチックモールド開封装置であって、
薬液を薬液収納容器から一定量を第1の配管中に吸引し、前記第1の配管中に吸引された前記薬液を薬液貯蔵部に押し出す薬液供給用定量ポンプと、
前記サンプル表面に前記薬液を接触させる液留部を有し、前記液留部に通じる第2の配管と、第3の配管とが接続されるサンプルステージと、
前記薬液貯蔵部の前記薬液を、前記液留部へ供給する薬液供給ポンプと、
を備え、
前記薬液供給ポンプにより、前記第2の配管を通じて前記液留部に前記薬液を流入させ、かつ、前記液留部に供給された前記薬液を前記第2の配管に流出させ、
前記薬液は、前記薬液供給ポンプによって前記液留部へ供給されるとき、前記第2の配管中の気体を媒介として押し出され、気体を媒介として吸い戻されることを特徴とするプラスチックモールド開封装置。 - プラスチックによりモールドされたサンプルを開封するプラスチックモールド開封装置であって、
薬液を薬液収納容器から一定量を第1の配管中に吸引し、前記第1の配管中に吸引された前記薬液を薬液貯蔵部に押し出す薬液供給用定量ポンプと、
前記サンプル表面に前記薬液を接触させる液留部を有し、前記液留部に通じる第2の配管と、第3の配管とが接続されるサンプルステージと、
前記薬液貯蔵部の前記薬液を、前記液留部へ供給する薬液供給ポンプと、
を備え、
前記薬液供給ポンプにより、前記第2の配管を通じて前記液留部に前記薬液を流入させ、かつ、前記液留部に供給された前記薬液を前記第2の配管に流出させ、
第2の薬液を第2の薬液収納容器から一定量を第4の配管中に吸引し、前記第4の配管中に吸引された前記第2の薬液を前記薬液貯蔵部に押し出す第2の薬液供給用定量ポンプと、
前記薬液と前記第2の薬液とを撹拌させる薬液貯蔵部とをさらに含むことを特徴とするプラスチックモールド開封装置。 - 前記気体は窒素であることを特徴とする請求項1に記載のプラスチックモールド開封装置。
- 前記サンプルステージの下部に加熱ヒータをさらに備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のプラスチックモールド開封装置。
- 前記第2の配管または前記第3の配管またはその両方による薬液流路に、気液分離器をさらに含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のプラスチックモールド開封装置。
- 前記薬液供給ポンプは、前記薬液貯蔵部から前記第2の配管を通じて前記液留部へ前記薬液を供給し、前記第3の配管側へ前記薬液を流出させる順回転モードと、前記第3の配管から前記液留部へ前記薬液を流入させ、前記第2の配管側へ前記薬液を流出させる逆回転モードとを有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載のプラスチックモールド開封装置。
- 前記薬液供給用定量ポンプ、薬液供給ポンプ及び第2の薬液供給用定量ポンプのそれぞれはプランジャポンプであることを特徴とする請求項2又は6に記載のプラスチックモールド開封装置。
- 前記薬液供給ポンプは薬液の流速を変化させることができることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載のプラスチックモールド開封装置。
- プラスチックによりモールドされたサンプルを開封するためのプラスチックモールド開封方法であって、
薬液供給用定量ポンプによって薬液を薬液収納容器から一定量を第1の配管中に吸引し、
前記第1の配管中に吸引された前記薬液を薬液貯蔵部に押し出し、
薬液供給ポンプによって、前記薬液貯蔵部から、前記サンプル表面に前記薬液を接触させる液留部に前記薬液を供給して前記サンプルの開封をする各段階を有し、
前記サンプルの開封をするときに、前記薬液供給ポンプにより、前記液留部に通じる第2の配管を通じて前記液留部に前記薬液を流入させ、かつ、前記液留部に供給された前記薬液を前記第2の配管に流出させ、
前記薬液は、前記薬液供給ポンプによって前記サンプルへ接触させられるとき、気体を媒介として押し出し、気体を媒介として吸い戻すことを特徴とするプラスチックモールド開封方法。 - プラスチックによりモールドされたサンプルを開封するためのプラスチックモールド開封方法であって、
薬液供給用定量ポンプによって薬液を薬液収納容器から一定量を第1の配管中に吸引し、
前記第1の配管中に吸引された前記薬液を薬液貯蔵部に押し出し、
薬液供給ポンプによって、前記薬液貯蔵部から、前記サンプル表面に前記薬液を接触させる液留部に前記薬液を供給して前記サンプルの開封をする各段階を有し、
前記サンプルの開封をするときに、前記薬液供給ポンプにより、前記液留部に通じる第2の配管を通じて前記液留部に前記薬液を流入させ、かつ、前記液留部に供給された前記薬液を前記第2の配管に流出させ、
第2の薬液供給用定量ポンプによって第2の薬液を第2の薬液収納容器から一定量を第4の配管中に吸引し、前記第4の配管中に吸引された前記第2の薬液を前記薬液貯蔵部に押し出し、
前記薬液貯蔵部において前記薬液と前記第2の薬液とを撹拌させることを特徴とするプラスチックモールド開封方法。 - 前記気体は窒素であることを特徴とする請求項9に記載のプラスチックモールド開封方法。
- 前記第2の配管と、第3の配管とが接続されるサンプルステージの下部において前記薬液を加熱して前記液留部に供給することを特徴とする請求項9又は10に記載のプラスチックモールド開封方法。
- 前記第2の配管と、第3の配管とがサンプルステージで接続され、
前記薬液供給ポンプは、前記薬液貯蔵部から前記第2の配管を通じて前記液留部へ前記薬液を供給し、前記第3の配管側へ前記薬液を流出させる順回転モードと、前記第3の配管から前記液留部へ前記薬液を流入させ、前記第2の配管側へ前記薬液を流出させる逆回転モードとを有し、
前記第2の配管または前記第3の配管またはその両方による前記薬液流路において、前記薬液に混入する気体を除去することを特徴とする請求項9乃至12のいずれか一項に記載のプラスチックモールド開封方法。 - 第2の薬液供給用定量ポンプによって第2の薬液を第2の薬液収納容器から一定量を第4の配管中に吸引し、前記第4の配管中に吸引された前記第2の薬液を前記薬液貯蔵部に押し出し、
前記薬液貯蔵部において前記薬液と前記第2の薬液とを撹拌させることをさらに含むことを特徴とする請求項9に記載のプラスチックモールド開封方法。 - 前記プラスチックによりモールドされた前記サンプルを開封する過程で前記サンプルに接触されない薬液が、前記プラスチックによりモールドされた前記サンプルを開封する過程終了後に前記サンプルを洗浄することを特徴とする請求項9乃至14のいずれか一項に記載のプラスチックモールド開封方法。
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