JP6276578B2 - 滅菌装置および滅菌方法 - Google Patents

Description

本発明は、滅菌装置および滅菌方法に関し、特に、滅菌剤の経路に残留する残留滅菌剤を取り除くための技術に関する。

一般に、注射器および手術道具などの医療器具には、病原菌が付着していることがあり、人体に悪影響を及ぼすおそれがあるので、使用後に滅菌しなければ再使用することができない。このため、医療器具などの滅菌が必要な対象物を滅菌処理する滅菌装置が使用されている。

この滅菌装置の１つに、滅菌剤として過酸化水素を用いて対象物を滅菌する滅菌装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

従来、滅菌装置で用いられる滅菌剤は、多くの場合、利便性および安全性のために専用の容器（以下滅菌カートリッジと呼ぶ）に入れられて供給されており、滅菌装置では、滅菌カートリッジから滅菌剤を吸い出して、当該滅菌剤を滅菌室において対象物に暴露させることによって滅菌を行っている。

特表平０８−５０５７８７号公報

上述のように、滅菌カートリッジから滅菌剤を吸い出して、当該滅菌剤を滅菌室において対象物に暴露させると、滅菌カートリッジから滅菌剤を吸い出して滅菌室に搬送する経路（各導管および各弁などの滅菌剤の経路）に、経路の材質および形状によって滅菌処理後滅菌剤が付着するか又は滞留して残留する恐れがある。

１）経路に残留した滅菌剤は、継時的に化学変化し（滅菌剤が過酸化水素水溶液の場合には分解され濃度が低下するが、分解されることで水が生成される）、次の滅菌処理の際に、新しい滅菌剤に押し出されることもあれば押し出されないこともある。そして、次の滅菌処理で用いられる滅菌剤と前回の滅菌処理で用いられた滅菌剤（又は前回の滅菌処理で用いられた滅菌剤が分解されることで生成された水）とが混ざり合って、次の滅菌処理における滅菌作用に不確定な影響を及ぼし、正常な滅菌処理の制御を妨げる恐れがある。

２）さらに、経路に残留した滅菌剤は経路に接触し続けることになる。滅菌剤（例えば、過酸化水素水溶液）は菌を不活性化させるために強力な化学的作用（酸化又は還元作用など）を有することを考慮すると、経路が劣化してその寿命を低下させる恐れがある。

３）また、滅菌装置のメンテナンスおよび部品交換の際に、部品交換などを行う作業者が経路に残留した滅菌剤に暴露する（直接触れてしまう。ガス化したものを吸引してしまうなど）恐れもある。

このように、滅菌剤の経路および各弁に滅菌剤が付着して、各弁が劣化するのを防止する必要があり、さらには、各弁に付着した滅菌剤が分解されて生成される水などによって、次の滅菌処理による滅菌効果が低下するおそれを防止する必要がある。

そこで、本発明の目的は、滅菌剤の経路に残留した滅菌剤を良好に除去することのできる滅菌装置および滅菌方法を提供することにある。

上記の目的を達成するため、本発明による滅菌装置は、液体の滅菌剤が気化された滅菌剤ガスを、滅菌対象物が収納された滅菌部に導入して前記滅菌対象物を滅菌する滅菌工程を行った後に、前記滅菌工程で当該滅菌剤ガスが導入された前記滅菌部を減圧する換気工程を行って、前記滅菌対象物を滅菌するための滅菌装置であって、前記滅菌部を減圧する減圧手段と、前記液体の滅菌剤を濃縮する濃縮部と、前記濃縮部で濃縮された前記液体の滅菌剤を溜める滅菌剤溜まり部と、前記滅菌剤ガスを前記滅菌部に供給するための供給手段として設けられ、前記滅菌剤溜まり部で溜められた液体の滅菌剤を気化させて前記滅菌剤ガスとする気化部と、前記滅菌部と前記気化部とを選択的に導通する第１の弁と、前記気化部と前記滅菌剤溜まり部とを選択的に導通する第２の弁と、前記濃縮部と前記滅菌剤溜まり部とを選択的に導通する第３の弁と、前記滅菌工程において、前記第３の弁を開弁して、前記濃縮部で濃縮された前記液体の滅菌剤を前記滅菌剤溜まり部に入れ、前記第２の弁を開弁することで、前記滅菌剤溜まり部で溜められた液体の滅菌剤を前記気化部に入れて気化させ、前記減圧手段によって前記滅菌部を前記気化部よりも減圧した状態で、前記第１の弁を開弁することにより前記気化部と前記滅菌部とを連通させる制御手段と、を有し、前記制御手段は、前記換気工程において、前記第１の弁、前記第２の弁、および前記第３の弁の各々を開弁した状態とし、前記第１の弁、前記第２の弁、および前記第３の弁の各々が開弁している状態で、前記減圧手段が前記滅菌部を減圧するように前記減圧手段を制御することを特徴とする。

また、本発明による滅菌装置は、液体の滅菌剤が気化された滅菌剤ガスを、滅菌対象物が収納された滅菌部に導入して前記滅菌対象物を滅菌する滅菌工程を行った後に、前記滅菌工程で当該滅菌剤ガスが導入された前記滅菌部を減圧する換気工程を行って、前記滅菌対象物を滅菌するための滅菌装置であって、前記滅菌部を減圧する減圧手段と、前記液体の滅菌剤を濃縮する濃縮部と、前記濃縮部で濃縮された前記液体の滅菌剤を溜める滅菌剤溜まり部と、前記滅菌剤ガスを前記滅菌部に供給するための供給手段として設けられ、前記滅菌剤溜まり部で溜められた液体の滅菌剤を気化させて前記滅菌剤ガスとする気化部と、前記滅菌部と前記気化部とを選択的に導通する第１の弁と、前記気化部と前記滅菌剤溜まり部とを選択的に導通する第２の弁と、前記濃縮部と前記滅菌剤溜まり部とを選択的に導通する第３の弁と、前記滅菌剤溜まり部と前記滅菌部とを選択的に導通する第４の弁と、前記気化部を選択的に大気に導通する第５の弁と、前記滅菌工程において、前記第３の弁を開弁して、前記濃縮部で濃縮された前記液体の滅菌剤を前記滅菌剤溜まり部に入れ、前記減圧手段により前記滅菌部が減圧された状態で前記第４の弁を開弁して閉弁し、前記第２の弁を開弁することで、前記滅菌剤溜まり部で溜められた液体の滅菌剤を前記気化部に入れて気化させ、前記減圧手段によって前記滅菌部を前記気化部よりも減圧した状態で、前記第１の弁を開弁することにより、前記気化部と前記滅菌部とを連通させる制御手段と、を有し、前記制御手段は、前記換気工程において、前記第１の弁および前記第３の弁を閉弁し、前記第２の弁、前記第４の弁、および前記第５の弁を開弁している状態として、前記減圧手段が前記滅菌部を減圧するように前記減圧手段を制御することを特徴とする。

本発明によれば、滅菌対象物を滅菌するための滅菌剤の経路に残留する残留滅菌剤を効果的に取り除くことができる。

本発明の第１の実施形態による滅菌装置の一例についてその外観を正面からみた図である。 図１に示す滅菌装置のハードウエア構成についてその一例を説明するための図である。 図２に示す滅菌装置で行われる滅菌処理の一例を説明するためのフローチャートである。 図２に示す滅菌装置において表示部に表示される滅菌開始画面の一例を示す図である。 図２に示す表示部に表示されるカートリッジ取付要求画面の一例を示す図である。 図３に示す滅菌処理についてその一例を説明するためのフローチャートである。 図６に示す滅菌前工程処理の一例を説明するためのフローチャートである。 図６に示す滅菌工程処理についてその一例を説明するためのフローチャートである（その１）。 図６に示す滅菌工程処理についてその一例を説明するためのフローチャートである（その２）。 図６に示す換気工程処理についてその一例を説明するためのフローチャートである。 図３に示す滅菌剤排出処理についてその一例を説明するためのフローチャートである。 図２に示す滅菌装置において、濃縮炉、弁、計量管、および気化炉を詳細に示すブロック図である。 図２に示す滅菌装置で用いられる滅菌剤のカートリッジを横側からみた図である。 図１２に示すカートリッジの断面を示す図である。 図９に示すバルブパージング処理についてその一例を説明するためのフローチャートである。 図１４に示す第１のバルブパージング工程を説明するためのフローチャートである。 図１４に示す第２のバルブパージング工程を説明するためのフローチャートである。 図１４に示す第３のバルブパージング工程を説明するためのフローチャートである。 図１４に示す第４のバルブパージング工程を説明するためのフローチャートである。 図１４に示す第５のバルブパージング工程を説明するためのフローチャートである。 図１４に示す第６のバルブパージング工程を説明するためのフローチャートである。 図７に示す滅菌前工程においてバルブパージング処理を行う際の一例を説明するためフローチャートである。 図８Ａおよび図８Ｂに示す滅菌工程においてバルブパージング処理を行う際の一例を説明するためフローチャートである（その１）。 図８Ａおよび図８Ｂに示す滅菌工程においてバルブパージング処理を行う際の一例を説明するためフローチャートである（その２）。

以下に、本発明の実施の形態による滅菌装置の一例について図面を参照して説明する。

＜図１の説明＞
図１は、本発明の第１の実施形態による滅菌装置の一例についてその外観を正面からみた図である。

図示の滅菌装置１００の正面には、カートリッジ取付用扉１０１、表示部１０２、印刷部１０３、および滅菌室の扉１０４が配置されている。カートリッジ取付用扉１０１は、滅菌剤（過酸化水素又は過酸化水素溶液の液体）が充填された容器であるカートリッジを取り付ける際に開閉される扉である。カートリッジ取付用扉１０１を開くと、カートリッジの取り付け場所があって、ユーザは当該取り付け場所にカートリッジを取り付けることができる。

表示部１０２は、例えば、液晶ディスプレイなどのタッチパネルの表示画面である。印刷部１０３は、滅菌処理の履歴および滅菌結果を印刷用紙に印刷するプリンタであり、ユーザは、プリンタを用いて適宜、滅菌処理の履歴および滅菌結果を印刷用紙に印刷する。

滅菌室の扉１０４は、例えば、医療用器具などの滅菌対象物（被滅菌物）を滅菌するために、当該被滅菌物を滅菌室に入れる際に開閉される扉である。滅菌室の扉１０４を開くと、滅菌室があって、ユーザは当該滅菌室に被滅菌物を入れて、滅菌室の扉１０４を閉じて、滅菌室に滅菌対象物を入れることができる。

滅菌室は、所定の容量を有する筐体である。滅菌室内の気圧（圧力）は大気圧から真空圧までの圧力を維持することが可能である。また、滅菌室内の温度は、滅菌処理中において所定の範囲の温度に維持される。

＜図２の説明＞
図２は、図１に示す滅菌装置のハードウエア構成についてその一例を説明するための図である。

滅菌装置１００は、演算処理部（ＭＰＵなど）２０１、表示部１０２、印刷部１０３、ロック動作制御部２０２、抽出針動作制御部２０３、カートリッジ取付用扉１０１、液センサー２０４、カートリッジ２０５、ＲＦ−ＩＤリーダ／ライタ２０６、液送ロータリーポンプ２０７、濃縮炉２０８、および気送加圧ポンプ２０９を備えている。さらに、滅菌装置１００は、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０、弁（Ｖ１）２１１、弁（Ｖ３）２１２、弁（Ｖ４）２１３、計量管２１４、弁（Ｖ２）２１５、気化炉２１６、弁（Ｖ５）２１７、弁（Ｖ９）２２７、弁（Ｖ７）２２６、滅菌室（真空チャンバーともいう）２１９、気送真空ポンプ２２０、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１、滅菌剤分解装置２２２、液送ロータリーポンプ２２３、および排気蒸発炉２２４を有している。

図示の滅菌装置１００は、滅菌剤が入っているカートリッジ２０５から滅菌剤を取り出して滅菌対象物を滅菌するための装置である。演算処理部（ＭＰＵなど）２０１は、演算処理を行って滅菌装置１００全体、つまり、滅菌装置１００を構成する各ハードウエアを制御する。なお、表示部１０２、印刷部１０３、およびカートリッジ取付用扉１０１ついては、図１を用いて説明したので、ここでは説明を省略する。

ロック動作制御部２０２は、カートリッジ取付用扉１０１の施錠および開錠の動作を行う。ロック動作制御部２０２はカートリッジ取付用扉１０１を施錠することによってカートリッジ取付用扉１０１を開かないようにし、またカートリッジ取付用扉１０１を開錠することによって、カートリッジ取付用扉１０１を開けることができるようにする。

カートリッジ２０５は、滅菌剤（過酸化水素、又は過酸化水素溶液の液体）が充填されて密閉された容器である。また、カートリッジ２０５の下側にはＲＦ−ＩＤなどの記憶媒体が備えられている。当該記憶媒体には、カートリッジを識別する情報であるシリアル番号、カートリッジの製造年月日、カートリッジが初めて滅菌装置で使用された日時（初回使用日時）、およびカートリッジ内に充填されている滅菌剤の残量が記憶される。

このＲＦ−ＩＤは、カートリッジ２０５の中の滅菌剤の廃棄に係るデータ（シリアル番号、製造年月、初回使用日時、滅菌剤の残量の全て、またはいずれかのデータ）が記憶された記憶媒体である。

抽出針動作制御部２０３は、カートリッジ内の滅菌剤を吸引するための抽出針（注射針）をカートリッジの上部から刺すために、当該抽出針を動作させる。例えば、カートリッジ内の滅菌剤を吸引するための抽出針（注射針）をカートリッジの上部から刺す場合には、抽出針動作制御部２０３は抽出針（注射針）をカートリッジに向けて、カートリッジの上部から降ろすように動作させる。これによって、抽出針（注射針）をカートリッジの上部から刺すことができる。

また、抽出針（注射針）をカートリッジから抜く場合には、抽出針動作制御部２０３はカートリッジの上部の方向に抽出針（注射針）を上げるように動作させる。これによって、抽出針（注射針）をカートリッジから抜くことができる。抽出針は、例えば、カートリッジ内の滅菌剤を吸引するためのストロー（細い筒）である。

液センサー２０４は、カートリッジ２０５内の液体状の滅菌剤が、抽出針（注射針）から液送ロータリーポンプ２０７および液送ロータリーポンプ２２３に導通（連結）する管（導管）を通っているか否かを検出する。具体的には、当該導管に赤外線を照射した結果得られるスペクトルに応じて滅菌剤が導管を通っているか否かが検出される。

ＲＦ−ＩＤリーダ／ライタ２０６は、カートリッジ２０５の下側に備え付けられたＲＦ−ＩＤから、シリアル番号、製造年月、初回使用日時、および滅菌剤の残量を読み取るための装置である。また、ＲＦ−ＩＤリーダ／ライタ２０６からカートリッジ２０５の下側に備え付けられているＲＦ−ＩＤに、初回使用日時および滅菌剤の残量を書き込むことができる。さらに、ＲＦ−ＩＤリーダ／ライタ２０６は、カートリッジ取付用扉１０１の裏に位置するカートリッジの取り付け場所の下部に設置され、カートリッジ２０５の下側に備え付けられているＲＦ−ＩＤを読み取り、また初回使用日時および滅菌剤の残量などのデータをＲＦ−ＩＤに書き込むことができる。

液送ロータリーポンプ２０７は、導管によって濃縮炉２０８と導通して（繋がって）おり、さらに導管によって液センサー２０４と導通している。液送ロータリーポンプ２０７は、カートリッジ２０５内の液体の滅菌剤を吸引して、導管を通して滅菌剤を濃縮炉２０８に送る。また、液送ロータリーポンプ２０７は、液センサー２０４と連携して、カートリッジ２０５から滅菌剤の所定量を吸引する。

濃縮炉２０８は、液送ロータリーポンプ２０７、気送加圧ポンプ２０９、計量管２１４、および排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１にそれぞれ導管により導通している。濃縮炉２０８は、後述する図１０においても説明するが、液送ロータリーポンプ２０７から導管を通じて送り込まれた滅菌剤をヒータを用いて加熱し、滅菌剤に含まれる水分などを蒸発（気化）させ滅菌剤を濃縮する。そして、気化した水は気送加圧ポンプ２０９から導管を通して送り込まれる空気によって、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１に導通している導管に押し出され、濃縮炉２０８内から排気される。なお、計量管２１４と濃縮炉２０８との間の導管には弁（１）２１１が設けられている。

気送加圧ポンプ２０９は、導管によって濃縮炉２０８および吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０に導通している。気送加圧ポンプ２０９は、滅菌装置１００の外気（空気）を吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０を介して、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との導管によって導通して濃縮炉２０８に送る。

吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０は、導管によって気送加圧ポンプ２０９、滅菌室２１９、および気化炉２１６に導通している。吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０は、滅菌装置１００の外の外気（空気）中のちり、ほこり、および雑菌などを、ＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ）フィルタを用いてフィルタリングして空気を清浄する。そして、その清浄された空気は、気送加圧ポンプ２０９によって導管を通して濃縮炉２０８に送られる。また、清浄された空気は、気化炉２１６との導管によって導通された気化炉２１６に送り込まれ、さらに、滅菌室２１９との導管によって導通された滅菌室２１９に送り込まれる。

つまり、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０は、滅菌装置１００の外の外気（空気）に導通している。このため、気送加圧ポンプ２０９と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との間の導管、滅菌室２１９と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との間の導管、および気化炉２１６と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との間の導管は、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０を介して外気（空気）に導通している。

また、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０と気化炉２１６との間の導管には、弁（Ｖ９）２２７が設けられている。そして、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０と滅菌室２１９との間の導管には、弁（Ｖ７）２２６が設けられている。

弁（Ｖ１）２１１は、濃縮炉２０８と計量管２１４との間の導管に設けられた弁であって、開弁によって濃縮炉２０８と計量管２１４とを導通する。弁（Ｖ１）２１１は、閉弁によって濃縮炉２０８と計量管２１４とを不導通とする。

弁（Ｖ３）２１２は、計量管２１４と滅菌室２１９との間の導管に設けられた弁であって、開弁によって計量管２１４と滅菌室２１９とを導通する。弁（Ｖ３）２１２は、閉弁によって計量管２１４と滅菌室２１９とを不導通とする。また、この弁（Ｖ３）２１２は、計量管２１４の近くに設けられており、少なくとも後述する弁（Ｖ４）２１３よりも計量管２１４側の位置に設けられている。

弁（Ｖ４）２１３は、計量管２１４と滅菌室２１９との間の導管に設けられた弁であって、開弁によって計量管２１４と滅菌室２１９とを導通する。弁（Ｖ４）２１３は、閉弁によって計量管２１４と滅菌室２１９とを不導通とする。また、この弁（Ｖ４）２１３は、滅菌室２１９の近くに設けられており、少なくとも弁（Ｖ３）２１２よりも滅菌室２１９側の位置に設けられている。

図２に示す滅菌装置では、弁（Ｖ３）２１２および弁（Ｖ４）２１３の開閉によって、計量管２１４と滅菌室２１９とを導通又は不導通とするようにしたが、弁（Ｖ４）２１３および弁（Ｖ３）２１３のいずれか一方の開閉によって、計量管２１４と滅菌室２１９とを導通又は不導通とするようにしてもよい。

つまり、弁（Ｖ３）２１２および弁（Ｖ４）２１３のいずれか一方のみを設けて当該一方の弁を開閉して、計量管２１４と滅菌室２１９とを導通又は不導通とするようにしてもよい。

計量管２１４は、濃縮炉２０８、気化炉２１６、および滅菌室２１９の各々と導管によって導通している。弁（Ｖ１）２１１を開くことによって、濃縮炉２０８から計量管２１４に滅菌剤が流入する。一方、弁（Ｖ３）２１２および弁（Ｖ４）２１３を開くことによって、カートリッジ２０５から吸入した不要な空気、そして、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０から濃縮炉２０８に流入し濃縮炉２０８から計量管２１４に流入した不要な空気が計量管２１４によって取り除かれる。なお、計量管２１４の詳細については、図１０を用いて後述する。

弁（Ｖ２）２１５は、計量管２１４と気化炉２１６との間の導管に設けられた弁であって、開弁によって計量管２１４と気化炉２１６とを導通する。弁（Ｖ２）２１５は、閉弁によって計量管２１４と気化炉２１６とを不導通とする。

気化炉２１６は、計量管２１４、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０、および滅菌室２１９の各々に導管によって導通されている。気化炉２１６は気化室の一例である。気化炉２１６は、気送真空ポンプ２２０によって減圧されて滅菌剤を気化させる装置である。

弁（Ｖ５）２１７は、気化炉２１６と滅菌室２１９との間の導管に設けられた弁であって、開弁によって気化炉２１６と滅菌室２１９とを導通する。弁（Ｖ５）２１７は、閉弁によって気化炉２１６と滅菌室２１９とを不導通とする。

弁（Ｖ９）２２７は、気化炉２１６と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との間の導管に設けられた弁であって、開弁によって気化炉２１６と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０とを導通する。弁（Ｖ９）２２７は、閉弁によって気化炉２１６と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０とを不導通とする。つまり、弁（Ｖ９）２２７は、気化炉２１６と外気（大気）との導通を開閉する弁である。

弁（Ｖ７）２２６は、滅菌室２１９と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０との間の導管に設けられた弁であって、開弁によって滅菌室２１９と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０とを導通する。弁（Ｖ７）２２６は、閉弁によって滅菌室２１９と吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０とを不導通とする。つまり、弁（Ｖ７）２２６は、滅菌室２１９と外気（大気）との導通を開閉する弁である。

滅菌室（真空チャンバーともいう）２１９は、図１で説明したが、例えば、医療用器具などの滅菌対象物を滅菌する所定の容量を有する筐体である。滅菌室内の圧力は大気圧から真空圧までのいずれかの圧力に維持することができる。また、滅菌室内の温度は、滅菌処理中において所定の範囲の温度に維持される。さらに、滅菌室２１９内には圧力センサーが備えられており、圧力センサーによって滅菌室２１９内の圧力（気圧）が測定される。滅菌装置１００（つまり、ここでは、演算処理部２０１）は、この圧力センサーにより測定された滅菌室２１９内の気圧に応じて、滅菌室２１９内などの圧力（気圧）が所定の気圧となっているか否かを判定する。

気送真空ポンプ２２０は、滅菌室２１９内、気化炉２１６内、計量管２１４内、計量管２１４と気化炉２１６との間の導管内、気化炉２１６と滅菌室２１９との間の導管内、および計量管２１４と滅菌室２１９との間の導管内の空間の気体を吸引して、減圧し真空状態（大気圧より低い圧力の気体で満たされた空間内の状態）にする装置である。気送真空ポンプ２２０は、滅菌室２１９に導管により導通されており、さらに、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１に導管により導通されている。

排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１は、気送真空ポンプ２２０に導管によって導通している。また、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１は、排気蒸発炉２２４に導管によって導通している。そして、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１は、滅菌剤分解装置２２２に導管によって導通している。さらに、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１は、濃縮炉２０８に導管によって導通している。

排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１は、気送真空ポンプ２２０によって滅菌室２１９などから吸引された気体に含まれるちり、ほこり、および雑菌などを、ＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ）フィルタによってフィルタリングして、吸引された気体を清浄する。そして、清浄された気体は、滅菌剤分解装置２２２と排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間の導管を通って、滅菌剤分解装置２２２に送られる。そして、滅菌剤分解装置２２２によって、当該気体に含まれる滅菌剤の分子を分解して、分解後の分子を滅菌装置１００の外に放出する。

また、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１は、濃縮炉２０８と排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間の導管によって濃縮炉２０８から排気される気体を清浄する。この気体は、濃縮炉２０８において滅菌剤が加熱されて気化した水であるが、微量の滅菌剤を含むので、滅菌剤分解装置２２２と排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間の導管を通って、滅菌剤分解装置２２２に送られる。そして、滅菌剤分解装置２２２によって当該気体に含まれる滅菌剤の分子を分解して、分解後の分子を滅菌装置１００の外に放出する。

さらに、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１は、排気蒸発炉２２４から導管を通って送られてくる気化した滅菌剤を清浄する。そして、当該清浄された滅菌剤（気体）は、滅菌剤分解装置２２２と排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間の導管を通って、滅菌剤分解装置２２２に送られる。そして、滅菌剤分解装置２２２によって、当該気体に含まれる滅菌剤の分子を分解して、分解後の分子を滅菌装置１００の外に放出する。

このように、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１は、導管を通り送られてくる気体を清浄することによって、滅菌剤分解装置２２２にほこりおよびごみが溜まりにくくして、滅菌剤分解装置２２２の製品寿命を延ばすことができる。

滅菌剤分解装置２２２は、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１に導管によって導通されている。滅菌剤分解装置２２２は、滅菌剤分解装置２２２と排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間の導管から送られてくる気体に含まれる滅菌剤の分子を分解して、分解生成された分子を滅菌装置１００の外に放出する。

滅菌剤分解装置２２２は、滅菌剤を分解する装置であって、例えば、滅菌剤が過酸化水素又は過酸化水素溶液である場合、気化した過酸化水素を二酸化マンガンを触媒として用いて、水と酸素に分解する装置である。

液送ロータリーポンプ２２３は、排気蒸発炉２２４と導管によって導通するとともに、液センサー２０４と導管によって導通している。液送ロータリーポンプ２２３は、カートリッジ２０５内の全ての液体滅菌剤を吸引して導管を介して送られる全ての滅菌剤を、液送ロータリーポンプ２２３と排気蒸発炉２２４との間の導管を通して排気蒸発炉２２４に送る。

排気蒸発炉２２４は、液送ロータリーポンプ２２３と導管によって導通するとともに、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１と導管により導通している。排気蒸発炉２２４は、液送ロータリーポンプ２２３から導管を通して送られるカートリッジ２０５内の全ての液体の滅菌剤を、排気蒸発炉２２４に備え付けられたヒータにより加熱して、滅菌剤の全てを気化させる。そして、気化された滅菌剤は、排気蒸発炉２２４から導管を通して、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１に送られる。

＜図３の説明＞
図３は、図２に示す滅菌装置で行われる滅菌処理についてその一例を説明するためのフローチャートである。

なお、図３に示す滅菌処理は演算処理部２０１の制御下で行われる。つまり、演算処理部２０１が読み取り実行可能なプログラムを実行することによって、滅菌装置１００の動作を制御して滅菌処理が行われる。

滅菌装置１００において、電源がオンされると、ＲＦ−ＩＤリーダ／ライタ２０６（読取部／書込部）はカートリッジ２０５の下側に設けられたＲＦ−ＩＤ（記憶媒体）からデータを読み取る（ステップＳ３０１）。

ステップＳ３０１において、ＲＦ−ＩＤ（記憶媒体）から読み取られるデータとして、前述のように、カートリッジを識別する情報であるシリアル番号、カートリッジの製造年月日、カートリッジが滅菌装置で初めて使用された日時（初回使用日時）、およびカートリッジ内に充填されている滅菌剤の残量が読み取られる。言い換えると、カートリッジ２０５に設けられたＲＦ−ＩＤ（記憶媒体）には、予めシリアル番号、製造年月日、初回使用日時（初回使用日時情報）、および滅菌剤の残量が記憶されている。

なお、滅菌装置１００で初めて使用されるカートリッジのＲＦ−ＩＤには、初回使用日時（カートリッジが滅菌装置で初めて使用された日時）が記憶されていない。つまり、初めて使用されるカートリッジのＲＦ−ＩＤには、シリアル番号、製造年月日、および滅菌剤の残量が記憶されていることになる。そして、２回目以降に使用されるカートリッジのＲＦ−ＩＤには、シリアル番号、製造年月日、初回使用日時、および滅菌剤の残量が記憶されている。

従って、ステップＳ３０１においては、初めて使用されるカートリッジのＲＦ−ＩＤについては、シリアル番号、製造年月日、および滅菌剤の残量が読み取られる。一方、２回目以降に使用されるカートリッジのＲＦ−ＩＤについては、シリアル番号、製造年月日、初回使用日時、および滅菌剤の残量が読み取られることになる。

続いて、演算処理部２０１は、ＲＦ−ＩＤからデータの読み取りができたか否かを判定する（ステップＳ３０２）。ステップＳ３０２の処理では、初めて使用されるカートリッジのＲＦ−ＩＤから初回使用日時が読み取れなかったとしても、シリアル番号、製造年月日、滅菌剤の残量が読み取ることができれば、演算処理部２０１はＲＦ−ＩＤからデータが読み取れたと判定する。

次に、ＲＦ−ＩＤからデータが読み取れたと判定すると（ステップＳ３０２において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１はカートリッジの取り付け場所にカートリッジが設置されていると判定して、ロック動作制御部２０２によってカートリッジ取付用扉１０１を施錠（ロック）する（ステップＳ３０３）。すなわち、演算処理部２０１はカートリッジを取り出すことができないようにロック（施錠）する。

このようにして、読取手段であるＲＦ−ＩＤリーダ／ライタ２０６によってＲＦ−ＩＤからデータが読み取れると、演算処理部２０１はカートリッジ２０５を取り出すことができないようにロックする。

なお、例えば、カートリッジに挿入される注射針を抜かないようにすることによって、カートリッジを取り出すことができないようにすることもできる。つまり、ステップＳ３０３の処理において、注射針をカートリッジに挿入して、カートリッジ内の滅菌剤を抽出することを可能とするとともに、カートリッジを取り出すことができないようにすることができる。

このようにして、演算処理部２０１はカートリッジの取り付け場所にカートリッジが取り付けられると、カートリッジを取り出すことができないようにカートリッジ取付用扉１０１をロック（施錠）する。

滅菌装置１００内のカートリッジの取り付け場所に滅菌剤の余りが入っているカートリッジが取り付けられている場合、カートリッジを取り出すことができないようにロック（施錠）が行われるため、ユーザが滅菌剤を触れないようにすることができる。

以上のように、演算処理部２０１はカートリッジが滅菌装置に取り付けられている場合には、カートリッジを取り出すことができないようにロックを行う。

次に、演算処理部２０１は、カートリッジ内に滅菌１回分に当たる所定の量以上の滅菌剤（例えば、８ミリリットル）が存在するか否かを判定する（ステップＳ３０４）。具体的には、演算処理部２０１は、ＲＦ−ＩＤから取得した滅菌剤の残量が滅菌１回分の所定の量よりも多いか否かを判定する。

滅菌剤の残量が滅菌１回分の所定の量以上であると判定すると（ステップＳ３０４において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、少なくともカートリッジ内に滅菌１回分の滅菌剤の所定の量がある（十分な滅菌処理を実行できる）と判定する。そして、演算処理部２０１はＲＦ−ＩＤから取得したカートリッジの製造年月日から、所定の期間（例えば、１３か月）を経過しているか否かを判定する（ステップＳ３０５）。

製造年月日から所定の期間を経過していないと判定すると（ステップＳ３０５において、ＮＯ）、演算処理部２０１は十分な滅菌処理を実行できると判定する。そして、演算処理部２０１は、ＲＦ−ＩＤから取得した初回使用日時から所定の期間（例えば、２週間）を経過しているか否かを判定する（ステップＳ３０６）。

ステップＳ３０６の処理においては、初めて使用されるカートリッジのＲＦ−ＩＤからは初回使用日時を読み取ることができないので、ステップＳ３０６の処理では、演算処理部２０１は初めて使用されるカートリッジについては常に初回使用日時から所定の期間（例えば、２週間）を経過していないと判定する。

初回使用日時から所定の期間（例えば、２週間）を経過していないと判定すると（ステップＳ３０６において、ＮＯ）、演算処理部２０１は十分な滅菌処理を実行できると判定する。そして、演算処理部２０１は表示部１０２に、後述する滅菌開始画面を表示する（ステップＳ３０７）。
＜図４の説明＞
図４は、図２に示す滅菌装置１００において表示部１０２に表示される滅菌開始画面についてその一例を示す図である。

滅菌開始画面４０１には、滅菌開始ボタン４０２が表示されており、当該滅菌開始ボタン３０２はユーザによって押下可能（アクティブ）となっている。

図３も参照して、演算処理部２０１はユーザによって滅菌開始ボタン４０２が押下されたか否かを判定する（ステップＳ３０８）。滅菌開始ボタン４０２が押し下げられないと（ステップＳ３０８において、ＮＯ）、演算処理部２０１は、ステップＳ３０７の処理に戻って滅菌開始画面４０１の表示を継続する。

一方、滅菌開始ボタン４０２が押し下げられると（ステップＳ３０８において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、図４に示す滅菌モード選択画面４０３を表示部１０２に表示する（ステップＳ４０９）。

図４に示す滅菌モード選択画面４０３には、「滅菌剤を濃縮して滅菌するモード」ボタン４０４と、「滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモード」ボタン４０５とが表示される。

演算処理部２０１は、「滅菌剤を濃縮して滅菌するモード」ボタン４０４と「滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモード」ボタン４０５のいずれか一方の選択をユーザから受け付ける（ステップＳ３１０）。そして、演算処理部２０１は、ユーザによって選択されたボタンのモードに応じた滅菌処理を行う（ステップＳ３１１）。

なお、ステップＳ３１１の滅菌処理については、図６を用いて後述する。演算処理部２０１は、ステップＳ３１１の滅菌処理が終了すると、ステップＳ３０１の処理に戻る。

このようにして、ユーザの指示に応じて、滅菌処理するモードを１台の滅菌装置で切り替えて行うことが可能となる。つまり、「滅菌剤を濃縮して滅菌するモード」ボタン４０４がユーザによって押下された場合には、滅菌剤を濃縮して滅菌処理が行われる。一方、「滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモード」ボタン４０５が押下された場合には、滅菌剤を濃縮しないで滅菌処理が行われることになる。

滅菌剤の残量が滅菌１回分の所定の量（例えば、８ミリリットル）よりも少ないと判定すると（ステップＳ３０４において、ＮＯ）、演算処理部２０１はカートリッジ内に滅菌１回分の所定量の滅菌剤がない（十分な滅菌処理を実行できない）と判定する。そして、演算処理部２０１は、図４に示す滅菌開始画面４０１を表示部１０２に表示する（ステップＳ３１２）。

但し、ここでは、滅菌開始画面４０１に表示される滅菌開始ボタン４０２は、ユーザによって押下ができないように表示される（つまり、滅菌開始ボタン４０２はアクティブではない）。これによって、演算処理部２１０は、ユーザによる滅菌処理の開始指示を受け付けないようにする。

なお、製造年月日から所定の期間を経過している判定すると（ステップＳ３０５において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は十分な滅菌処理を実行できないと判定して、ステップＳ３１２の処理に進む。

同様にして、初回使用日時から所定の期間（例えば、２週間）を経過していると判定すると（ステップＳ３０６において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、十分な滅菌処理を実行できないと判定して、ステップＳ３１２の処理に進む。

ステップＳ３１２の処理の後、演算処理部２０１は、ステップＳ３０１でＲＦ−ＩＤから取得したシリアル番号に基づいて、カートリッジの取り付け場所に設置してあるカートリッジが既に滅菌剤の排出処理済みのカートリッジであるか否かを判定する（ステップＳ３１３）。

具体的には、滅菌装置１００内のメモリ（記憶部）には既に滅菌剤の排出処理済みのカートリッジを識別するシリアル番号が記憶されており、演算処理部２０１は、ステップＳ３０１でＲＦ−ＩＤから取得したシリアル番号が当該メモリ（記憶部）に記憶されているシリアル番号に一致するか否かを判定する。これによって、演算処理部２０１は、現在滅菌装置１００に取り付けられているカートリッジが既に滅菌剤の排出処理済みのカートリッジであるか否かを判定する。

ここで、滅菌剤の排出処理済みのカートリッジであるか否かを判定する他の例について説明する。

演算処理部２０１は、ステップＳ３１４に示す滅菌剤排出処理を行うと、カートリッジ２０５のＲＦ−ＩＤに既に滅菌剤の排出処理済みのカートリッジである旨を示す情報を記録する。このようにして、現在、滅菌装置１００に取り付けられているカートリッジが既に滅菌剤の排出処理済みのカートリッジであるか否かを判定するようにしてもよい。

カートリッジが既に滅菌剤の排出処理済みのカートリッジでないと判定すると（ステップＳ３１３において、ＮＯ）、演算処理部２０１は、液送ロータリーポンプ２０７によってカートリッジ内に残っている液体滅菌剤の残量の全てを吸い取って、滅菌剤を分解処理した後、滅菌装置１００の外に放出する滅菌剤の排出処理を行う（ステップＳ３１４）。

ステップＳ３１４の処理は、カートリッジの中の過酸化水素水溶液を廃棄する廃棄手段として機能することになる。つまり、廃棄手段は、カートリッジの中の全ての過酸化水素溶液を、触媒を用いて分解して廃棄する。そして、ステップＳ３１４の処理を行うと、演算制御部２０１は、滅菌装置１００内のメモリ（記憶部）に、既に滅菌剤の排出処理（廃棄処理）済みのカートリッジを識別するシリアル番号として、ステップＳ３０１で読み取ったシリアル番号を記憶する。

なお、ステップＳ３１４の滅菌剤排出処理については、図１０を用いて後述する。

その後、演算処理部２０１は、例えば、抽出針動作制御部２０３によってカートリッジに挿入されている注射針をカートリッジから抜くことによって、ロックを解除する。そして、演算処理部２０１は、ロック動作制御部２０２によってカートリッジ取付用扉１０１を開錠して（ステップＳ３１５）、演算処理部２０１はステップＳ３０１の処理に戻る。

このようにして、ロックを解除する前に、カートリッジ２０５内の全ての滅菌剤を吸い出して廃棄する処理を行うので、ユーザに滅菌剤を触れさせないようにすることができ、安全性が向上する。

カートリッジが既に滅菌剤の排出処理済みのカートリッジであると判定すると（ステップＳ３１３において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、ステップＳ３１５の処理に進む。

ステップＳ３０２において、ＲＦ−ＩＤからデータが読み取れないと判定すると（ステップＳ３０２において、ＮＯ）、演算処理部２０１は、カートリッジの取り付け場所にカートリッジが設置されていないと判定して、図５に示すカートリッジ取付要求画面を表示する（ステップＳ３１６）。

＜図５の説明＞
図５は、図２に示す表示部１０２に表示されるカートリッジ取付要求画面５０１についてその一例を示す図である。

図５において、表示部１０２に表示されたカートリッジ取付要求画面５０１には、ＯＫボタン５０２が表示される。

図３も参照して、演算処理部２０１は、カートリッジ取付要求画面５０１においてＯＫボタン５０２がユーザによって押下されたか否かを判定する（ステップＳ３１７）。ＯＫボタン５０２が押下されると（ステップＳ３１６において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、ロック動作制御部２０２によってカートリッジ取付用扉１０１を開錠する（ステップＳ３１８）。そして、演算処理部２０１は、ステップＳ３０１の処理に戻る。

一方、ＯＫボタン５０２が押し下げられないと（ステップＳ３１６において、ＮＯ）、演算処理部２０１は、待機してカートリッジ取付要求画面１１０１の表示を継続する。

ここで、図３に示す滅菌処理について説明する。

＜図６の説明＞
図６は、図３に示す滅菌処理（ステップＳ３１１）についてその一例を説明するためのフローチャートである。

なお、図６に示すフローチャートに係る処理は演算処理部２０１の制御下で行われる。つまり、演算処理部２０１は読み取り実行可能なプログラムを実行することによって、滅菌装置１００の動作を制御して滅菌処理を行うことになる。

滅菌処理を開始する際、演算処理部２０１は全ての弁（弁（Ｖ１）２１１、弁（Ｖ２）２１５、弁（Ｖ３）２１２、弁（Ｖ４）２１３、弁（Ｖ５）２１７、弁（Ｖ９）２２７、および弁（Ｖ７）２２６）を閉じた状態する。

その後、演算処理部２０１は、気送真空ポンプ２２０を動作させて、滅菌室２１９の気体を吸引し、滅菌室２１９内の気圧が所定の気圧（例えば、４５パスカル）になるまで減圧する滅菌前工程処理を行う（ステップＳ６０１）。なお、滅菌前工程処理については、図７を用いて後述する。

続いて、演算処理部２０１は、滅菌室２１９に滅菌剤を入れて、滅菌対象物を滅菌する滅菌工程の処理を行う（ステップＳ６０２）。滅菌工程の処理の詳細な処理は、図８Ａおよび図８Ｂを用いて後で説明する。

次に、演算処理部２０１は、滅菌室２１９内および気化炉２１６内に含まれている滅菌剤および／又は滅菌剤が流れる経路に付着している滅菌剤を取り除くための換気工程処理を行う（ステップＳ６０３）。そして、演算処理部２０１は、図３に示すステップＳ３０１の処理に戻る。なお、換気工程処理については、図９を用いて後述する。

＜図７の説明＞
図７は、図６に示す滅菌前工程処理（ステップＳ６０１）についてその一例を説明するためのフローチャートである。

なお、図７に示す滅菌前工程は、図２に示す演算処理部２０１の制御下で行われる。つまり、演算処理部２０１が読み取り実行可能なプログラムを実行することによって、滅菌装置１００の動作を制御して、滅菌前工程を行う。

滅菌前工程が開始されると、演算処理部２０１は、気送真空ポンプ２２０を駆動して、滅菌室２１９の気体を吸引する処理（つまり、滅菌室２１９の減圧）を開始する（ステップＳ７０１）。そして、演算処理部２０１は滅菌室２１９内の圧力（気圧）が、所定の気圧（例えば、４５パスカル）まで減圧されているか否かを判定する（ステップＳ７０２）。

具体的には、演算処理部２０１は、滅菌室２１９内に備えられた圧力センサーによって測定された滅菌室２１９内の圧力（気圧）が所定の気圧（例えば、４５パスカル）まで減圧されているか否かを判定する。

滅菌室２１９内の圧力（気圧）が、所定の気圧（例えば、４５パスカル）まで減圧されていないと判定すると（ステップＳ７０２において、ＮＯ）、演算処理部２０１は、気送真空ポンプ２２０を引き続き駆動して、滅菌室２１９の気体を吸引し、滅菌室２１９内の圧力（気圧）を減圧する。

一方、滅菌室２１９内の圧力（気圧）が、所定の気圧（例えば、４５パスカル）まで減圧されたと判定すると（ステップＳ７０２において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、気送真空ポンプ２２０を引き続き駆動して、滅菌室２１９の気体を吸引し、図６に示すステップＳ６０２の処理を開始する。

＜図８Ａおよび図８Ｂの説明＞
図８Ａおよび図８Ｂは、図６に示す滅菌工程処理（ステップＳ６０２）についてその一例を説明するためのフローチャートである。

なお、図８Ａおよび図８Ｂに示す滅菌工程は、図２に示す演算処理部２０１の制御下で行われる。つまり、演算処理部２０１が読み取り実行可能なプログラムを実行することによって、滅菌装置１００の動作を制御して、滅菌工程を行う。

滅菌工程が開始されると、演算処理部２０１は、弁（Ｖ５）２１７を開いて、滅菌室２１９と気化炉２１６とを導管によって導通させる（ステップＳ８０１）。これによって、現在、気送真空ポンプ２２０によって滅菌室２１９の気体が吸引されて減圧が行われているので、滅菌室２１９および気化炉２１６の減圧が開始される（ステップＳ８０２）。

続いて、演算処理部２０１は「滅菌剤を濃縮して滅菌するモード」ボタン４０４と「滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモード」ボタン４０５のいずれが押下されたかを判定するつまり、演算処理部２０１は濃縮モードであるか否かを判定する（ステップＳ８０３）。「滅菌剤を濃縮して滅菌するモード」ボタン４０４が押下されたと判定すると、つまり、濃縮モードであると（ステップＳ８０３において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、液送ロータリーポンプ２０７を駆動して、カートリッジ２０５内の滅菌剤を所定量（例えば、２ミリリットル）吸い取る。これによって、吸い取られた所定量の滅菌剤が濃縮炉２０８に入る（ステップＳ８０４）。ここで、所定量は、例えば、滅菌室２１９内の空間を滅菌剤で飽和状態にさせることができる量である。

次に、演算処理部２０１は、カートリッジの取り付け場所に取り付けられているカートリッジ２０５のＲＦ−ＩＤに、カートリッジ２０５内に残っている滅菌剤の残量を書き込む（ステップＳ８０５）。

具体的には、演算処理部２０１は、ステップＳ３０１で読み取ったカートリッジ２０５内の滅菌剤の残量から、ステップＳ８０４でカートリッジ２０５から吸い取った所定量（例えば、２ミリリットル）減算した値をＲＦ−ＩＤに記憶する。つまり、ステップＳ８０５においては、演算処理部２０１は、ステップＳ３０１で読み取ったカートリッジ２０５内の滅菌剤の残量から、ステップＳ８０４でカートリッジ２０５から滅菌剤を吸い取った量の累計を減算した値をＲＦ−ＩＤに記憶する。

また、ステップＳ８０５においては、演算処理部２０１は、ステップＳ３０１でＲＦ−ＩＤから読み取った初回使用日時（カートリッジが滅菌装置で初めて使用された日時）に日時を示す情報が含まれていない場合には、今回、カートリッジが滅菌装置１００で初めて使用されたと判定する。つまり、演算処理部２０１は、ステップＳ３０１でＲＦ−ＩＤから初回使用日時を読み取ることができなかった場合には、今回、カートリッジが滅菌装置で初めて使用されたと判定することになる。

このように、カートリッジが滅菌装置１００で初めて使用されたと判定した場合のみ、演算処理部２０１は現在の日時情報をＲＦ−ＩＤに書き込む。

次に、滅菌装置１００に電源が入っている際には、常に、濃縮炉２０８に備え付けられたヒータに通電されるため、ステップＳ８０４で濃縮炉２０８に入れられた滅菌剤は、ヒータの熱によって加熱されて、濃縮炉２０８内の滅菌剤に含まれる水分が蒸発する（ステップＳ８０６）。つまり、殺菌剤が濃縮されることになる。

滅菌装置１００に電源が入っている際に、常に、濃縮炉２０８に備え付けられたヒータに通電を行うのは、例えば、手術室で、いつでも直ぐに滅菌装置１００を使用することができるようにするためである。このように、常に濃縮炉２０８のヒータに通電して濃縮炉２０８を加熱するために要する時間を低減しているので、いつでも直ぐに滅菌装置を使用することができることになる。

つまり、滅菌剤が過酸化水素水（過酸化水素水溶液ともいう）である場合に、濃縮炉２０８に備え付けられたヒータを、例えば、８０度とする。これによって、主に水分を蒸発（気化）させることができ、滅菌剤を濃縮させることが可能となる。

次に、演算処理部２０１は、ステップＳ８０４において濃縮炉２０８に滅菌剤を入れてから所定の時間（例えば、６分）が経過したか否かを判定する（ステップＳ８０７）。濃縮炉２０８に滅菌剤を入れてから所定の時間が経過しないと判定すると（ステップＳ８０７において、ＮＯ）、演算処理部２０１は、ステップＳ８０６の処理に戻って、引き続き濃縮炉２０８に滅菌剤を入れたままにして滅菌剤を濃縮する。

濃縮炉２０８に滅菌剤を入れてから所定の時間が経過したと判定すると（ステップＳ８０７において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、滅菌室２１９および気化炉２１６の気圧が所定の気圧（例えば、５００パスカル）まで減圧されたか否かを判定する（ステップＳ８０８）。

滅菌室２１９および気化炉２１６の気圧が所定の気圧まで減圧されていない場合には（ステップＳ８０８において、ＮＯ）、演算処理部２０１は、ステップＳ８０６の処理に戻って引き続き滅菌剤の濃縮を行う。

一方、滅菌室２１９および気化炉２１６の気圧が所定の気圧まで減圧された場合には（ステップＳ８０８において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、弁（Ｖ３）２１２および弁（Ｖ４）２１３を所定の時間開ける（ステップＳ８０９）。ここでは、弁（Ｖ３）２１２および弁（Ｖ４）２１３を所定の時間（例えば、３秒）開けて、弁（Ｖ３）２１２および弁（Ｖ４）２１３を閉じる。これによって、演算処理部２０１は計量管２１４内を減圧する（負圧とする）。

ステップＳ８０９において、弁（Ｖ３）２１２および弁（Ｖ４）２１３を所定の時間開けて、弁（Ｖ３）２１２および弁（Ｖ４）２１３を閉じた後に、演算処理部２０１は、弁（Ｖ１）を所定時間（例えば、３秒）開ける（ステップＳ８１０）。これによって、濃縮炉２０８（外部）の気圧よりも計量管２１４内の気圧の方が低いので、濃縮炉２０８に入っている滅菌剤が計量管２１４に吸い込まれて入る。

ここでは、弁（Ｖ１）を所定の時間開けて閉じることによって、濃縮炉２０８に入っている滅菌剤が計量管２１４に吸い込まれて入る。そして、滅菌剤のみではなく、濃縮炉２０８内の空気も一緒に計量管２１４内に吸い込まれる。

そして、この後、引き続いて、気送真空ポンプ２２０によって滅菌室２１９内が減圧される。このため、滅菌室２１９内の気圧は、計量管内の気圧よりも低くなる。具体的には、滅菌室２１９内の気圧は４００Ｐａ程度であり、計量管２１４内の気圧は大気圧（１０１３２５Ｐａ）程度である。

計量管２１４内の気圧が大気圧近くまで上がるのは、滅菌剤のみではなく、濃縮炉２０８内の空気も一緒に計量管２１４に吸い込まれてくるためである。

次に、演算処理部２０１は、弁（Ｖ３）２１２および弁（Ｖ４）２１３を所定時間（例えば、３秒）開けて、計量管２１４内の空気（液体の滅菌剤は含まない）を滅菌室２１９に吸い出す（ステップＳ８１１）。つまり、ここでは、弁（Ｖ３）２１２および弁（Ｖ４）２１３を開けて所定時間が経過すると、演算処理部２０１は、弁（Ｖ３）２１２および弁（Ｖ４）２１３を閉じる。

続いて、演算処理部２０１は、滅菌室２１９内および気化炉２１６内の気圧が所定の気圧（例えば、８０Ｐａ）まで減圧されているか否かを判定する（ステップＳ８１１）。滅菌室２１９内および気化炉２１６内の気圧が所定の気圧（例えば、８０Ｐａ）まで減圧されていないと（ステップＳ８１１において、ＮＯ）、演算処理部２０１は、待機する。

一方、滅菌室２１９内および気化炉２１６内の気圧が所定の気圧（例えば、８０Ｐａ）まで減圧されると（ステップＳ８１１において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、弁（Ｖ５）２１７を閉める（ステップＳ８１３）。

その後、演算処理部２０１は、弁（Ｖ２）２１５を開ける（ステップＳ８１４）。これによって、計量管２１４内の滅菌剤が気化炉２１６に吸い込まれて、気化炉２１６内で気化する。ここで、滅菌剤は、分子クラスターとして気化炉２１６内で気化する。

滅菌室２１９はその容積が気化炉２１６よりも大きく、気化炉２１６においては、滅菌剤は分子クラスターとして気化される。これは、気化炉２１６の容積が滅菌室２１９より小さいため、滅菌室２１９内の滅菌剤の分子間の距離が近く分子間力によって、分子クラスターを形成しやすいためである。

このときも、引き続き気送真空ポンプ２２０によって、滅菌室２１９内の気体が吸引されて、滅菌室２１９内が減圧される。そして、計量管２１４内の滅菌剤が吸い込まれた気化炉２１６内は気圧が上昇する。つまり、気化炉２１６内の気圧は、滅菌室２１９内の気圧よりも高くなる。

次に、演算処理部２０１は、滅菌室２１９内の気圧が、所定の気圧（例えば、５０Ｐａ）まで減圧され、かつステップＳ８１４で弁（Ｖ２）２１５を開けてから所定時間が経過したか否かを判定する（ステップＳ８１５）。滅菌室２１９内の気圧が所定の気圧（例えば、５０Ｐａ）まで減圧されないか又は弁（Ｖ２）２１５を開けてから所定時間が経過しないと（ステップＳ８１５において、ＮＯ）、演算処理部２０１は待機する。

一方、滅菌室２１９内の気圧が所定の気圧（例えば、５０Ｐａ）まで減圧され、かつ弁（Ｖ２）２１５を開けてから所定時間が経過すると（ステップＳ８１５において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、気送真空ポンプ２２０による滅菌室２１９内の吸引（真空引き）を停止する（ステップＳ８１６）。そして、演算処理部２０１は弁（Ｖ５）２１７を開ける（ステップＳ８１７）。

これによって、滅菌室２１９内で気化した滅菌剤が拡散して、滅菌対象物を滅菌することができる。ここでは、気化炉２１６内の気圧よりも滅菌室２１９内の気圧（例えば、５０Ｐａ）の方が低いため、滅菌剤が拡散する。

ここで拡散する滅菌剤においては、気化炉内の分子クラスターがさらに細分化される結果、より効果的に滅菌剤を滅菌室内に拡散させることができ、滅菌作用を高めることが可能となる。また、細かい内腔などの滅菌対象物を効果的に滅菌することができるようになる。

続いて、演算処理部２０１は、ステップＳ８１７で弁（Ｖ５）２１７を開けてから所定時間（例えば、３３０秒）が経過したか否かを判定する（ステップＳ８１８）。弁（Ｖ５）２１７を開けてから所定時間（例えば、３３０秒）が経過しないと（ステップＳ８１８において、ＮＯ）、演算処理部２０１は待機する。

一方、弁（Ｖ５）２１７を開けてから所定時間（例えば、３３０秒）が経過すると（ステップＳ８１８において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、弁（Ｖ９）２２７を開ける（ステップＳ８１９）。

これによって、滅菌装置１００の外の気圧よりも気化炉２１６内および滅菌室２１９内の気圧の方が低いので、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０で清浄された外気（空気）が、気化炉２１６内に吸い込まれる。そして、気化炉２１６内に送り込まれた空気によって、気化炉２１６内に気体として充満している滅菌剤および気化炉２１６の内部の表面に付着した滅菌剤が滅菌室２１９内に送り込まれて、滅菌室２１９内にある滅菌対象物に対する滅菌作用が高まる。つまり、例えば、滅菌対象物である細いチューブなどの奥などの滅菌し難い部分についても滅菌作用が高まる。

続いて、演算処理部２０１は、ステップＳ８１９において弁（Ｖ９）２２７を開けてから所定の時間（１５秒）が経過すると、弁（Ｖ７）２２６を開ける（ステップＳ８２０）。これによって、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０で清浄された外気（空気）が滅菌室２１９内に吸い込まれる。

ここでは、滅菌装置１００の外の気圧よりも滅菌室２１９内および気化炉２１６内の気圧の方が低いため、滅菌装置１００の外の外気（空気）が滅菌室２１９内に吸い込まれることになる。これによって、滅菌対象物である細いチューブなどの奥などの滅菌し難い部分（特に、内腔部分）についても滅菌作用が高まる。

次に、演算処理部２０１は、滅菌室２１９内および気化炉２１６内が大気圧まで上昇したか否かを判定する（ステップＳ８２１）。滅菌室２１９内および気化炉２１６内が大気圧まで上昇しないと（ステップＳ８２１において、ＮＯ）、演算処理部２０１は待機する。

一方、滅菌室２１９内および気化炉２１６内が大気圧まで上昇すると（ステップＳ８２１において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、弁（Ｖ２）２１５を閉める（ステップＳ８２２）。

続いて、演算処理部２０１は、弁（Ｖ７）２２６を閉める（ステップＳ８２３）。そして、演算処理部２０１は、気送真空ポンプ２２０による滅菌室２１９内の吸引（真空引き）を再開する（ステップＳ８２４）。これによって、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０で清浄された外気（空気）が吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０と気化炉２１６とが導通している導管を通じて、気化炉２１６内に吸い込まれる。

気化炉２１６内に送り込まれた空気によって、気化炉２１６内に気体として充満している滅菌剤および気化炉２１６の内部の表面に付着した滅菌剤が、さらに滅菌室２１９内に送り込まれる。

これによって、滅菌対象物である細いチューブなどの奥などの滅菌し難い部分（特に内腔部分）についても滅菌作用が高まるばかりでなく、気化炉２１６内の滅菌剤を効果的に減少させることが可能となる。

次に、演算処理部２０１は、気送真空ポンプ２２０による滅菌室２１９内の吸引（真空引き）を再開してから、所定時間（例えば、１５秒）の後、弁（Ｖ９）２２７を閉める（ステップＳ８２５）。

この際も、引き続き、気送真空ポンプ２２０による滅菌室２１９内の吸引（真空引き）が行われて、ステップＳ８２５の閉弁によって、滅菌室２１９および気化炉２１６が密閉されて、滅菌室２１９内および気化炉２１６内が減圧されることになる（ステップＳ８２６）。

次に、演算処理部２０１は、所定回数（例えば、４回）、ステップＳ８０２からステップＳ８２６の処理を実行したか否かを判定する（ステップＳ８２７）。所定回数の実行を行ったと判定すると（ステップＳ８２７において、ＹＥＳ）演算処理部２０１は、図６に示すステップＳ６０３の処理に進む。

一方、所定回数の実行を行っていないと判定すると（ステップＳ８２７において、ＮＯ）、演算処理部２０１はステップＳ８０２の処理に戻る。

このように、所定回数ステップＳ８０２からステップＳ８２６の処理を実行することによって、滅菌対象物に対する滅菌作用の効果が高まって、滅菌対象物を十分に滅菌することが可能となる。

次に、ステップＳ８０３において、「滅菌剤を濃縮しないで滅菌するモード」ボタン３０５が押下されたと判定すると、つまり、濃縮モードではないと判定すると（ステップＳ８０３において、ＮＯ）、演算処理部２０１は、滅菌室２１９内および気化炉２１６内の気圧が所定の気圧（例えば、１０００Ｐａ）にまで減圧されたか否かを判定する（ステップＳ８２８）。

滅菌室２１９内および気化炉２１６内の気圧が所定の気圧（例えば、１０００Ｐａ）にまで減圧されていないと判定すると（ステップＳ８２８において、ＮＯ）、演算処理部２０１は、待機する。

一方、滅菌室２１９内および気化炉２１６内の気圧が所定の気圧（例えば、１０００Ｐａ）にまで減圧されたと判定すると（ステップＳ８２８において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、液送ロータリーポンプ２０７を駆動してカートリッジ２０５内の滅菌剤を、所定量（例えば、２ミリリットル）吸い取る（ステップＳ８２９）。これによって、吸い取られた所定量の滅菌剤が濃縮炉２０８に入る。

ここで吸い取る滅菌剤の所定量は、例えば、滅菌室２１９内の空間を滅菌剤で飽和状態にさせることができる量である。

次に、演算処理部２０１は、カートリッジの取り付け場所に取り付けられているカートリッジ２０５のＲＦ−ＩＤに、カートリッジ２０５内に残っている滅菌剤の残量を書き込む（ステップＳ８３０）。

具体的には、演算処理部２０１は、ステップＳ３０１で読み取ったカートリッジ２０５内の滅菌剤の残量から、ステップＳ８２９でカートリッジ２０５から吸い取った所定量（例えば、２ミリリットル）を減算した値をＲＦ−ＩＤに記憶する。

ここで、カートリッジ２０５から滅菌剤を吸い取った１回当たりの所定量が、例えば、２ミリリットルであり、ステップＳ８２７において所定回数の実行を行っていないと判定されたとする。

この場合、ステップＳ８０２以降の処理が、例えば、２回目であるとすると、ステップＳ８２９においてカートリッジ２０５から滅菌剤を吸い取った量の累計は、（２ミリリットル（所定量）×２回目）４ミリリットルであるので、演算処理部２０１は、ステップＳ３０１において読み取ったカートリッジ２０５内の滅菌剤の残量から、ステップＳ８２９でカートリッジ２０５から滅菌剤を吸い取った量の累計である４ミリリットルを減算した値を、ステップＳ８３０においてＲＦ−ＩＤに記憶することになる。

つまり、演算処理部２０１は、ステップＳ３０１で読み取ったカートリッジ２０５内の滅菌剤の残量から、ステップＳ８２９においてカートリッジ２０５から滅菌剤を吸い取った量の累計を減算した値を、ステップＳ８３０においてＲＦ−ＩＤに記憶する。

また、ステップＳ３０１でＲＦ−ＩＤから読み取った初回使用日時（カートリッジが滅菌装置で初めて使用された日時）に日時を示す情報が含まれていない場合には、演算処理部２０１は、ステップＳ８３０において、今回カートリッジ２０５が滅菌装置１００で初めて使用されたと判定する。

つまり、演算処理部２０１は、ステップＳ３０１においてＲＦ−ＩＤから初回使用日時を読み取ることができなかった場合には、今回カートリッジ２０５が滅菌装置１００で初めて使用されたと判定することになる。

このようにして、演算処理部２０１は、カートリッジ２０５が滅菌装置１００で初めて使用されたと判定した場合のみ、現在の日時情報をＲＦ−ＩＤに書き込む。

ステップＳ８３０の処理の後、演算処理部２０１は、ステップＳ８０９の処理に進む。

ステップＳ８２８において滅菌室２１９内が所定の気圧（例えば、１０００Ｐａ）になると、ステップＳ８２９において滅菌剤の吸引が開始されて、ステップＳ８２９において滅菌剤の吸引が終了する頃には気圧が５００Ｐａを下回るので、効率的にＳ８０９に移行することができる。

このようにして、滅菌室２１９内および気化炉２１６内の気圧が、計量管２１４内の減圧を開始する所定の気圧（例えば、１０００パスカル）まで減圧された後、吸い取られた所定量の滅菌剤を濃縮炉２０８に入れて、直ぐにステップＳ８０９において計量管２１４内を減圧することができる。

その後、ステップＳ８１０において濃縮炉２０８内の滅菌剤を計量管２１４に入れるので、濃縮炉２０８から計量管２１４に直ぐに滅菌剤を入れることが可能となる。つまり、滅菌剤が濃縮炉２０８でほぼ濃縮されることなく、滅菌剤を計量管２１４に入れることが可能となる。

＜図９の説明＞
図９は、図６に示す換気工程処理（ステップＳ６０３）についてその一例を説明するためのフローチャートである。

なお、図９に示す換気工程は、図２に示す演算処理部２０１の制御下で行われる。つまり、演算処理部２０１が読み取り実行可能なプログラムを実行することによって、滅菌装置１００の動作を制御して、換気工程を行う。

換気工程が開始されると、演算処理部２０１は、弁Ｖ（７）２２６を開ける（ステップＳ９０１）。続いて、演算処理部２０１は弁Ｖ（７）２２６を開けてから所定時間が経過したか否かを判定する（ステップＳ９０２）。弁Ｖ（７）２２６を開けてから所定時間が経過しないと（ステップＳ９０２において、ＮＯ）、演算処理部２０１は待機する。

弁Ｖ（７）２２６を開けてから所定時間が経過すると（ステップＳ９０２において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、弁Ｖ（７）２２６を閉める（ステップＳ９０３）。そして、演算処理部２０１は、気送真空ポンプ２２０による滅菌室２１９内の吸引（真空引き）を引き続き行う。これによって、滅菌室２１９内が減圧される。

続いて、演算処理部２０１は、後述するバルブパージング処理を行う（ステップＳ９０４）。

バルブパージング処理では、各弁に付着した滅菌剤（過酸化水素水溶液等）および／又は滅菌剤（過酸化水素水溶液等）が分解して生成された水などの生成物が取り除かれる。

演算処理部２０１は、滅菌室２１９内の減圧を継続する（ステップＳ９０５）。そして、演算処理部２０１は滅菌室２１９内が所定の気圧（５０Ｐａ）まで減圧されたか否かを判定する（ステップＳ９０６）。滅菌室２１９内が所定の気圧（５０Ｐａ）まで減圧されないと（ステップＳ９０６において、ＮＯ）、演算処理部２０１は待機する。

一方、滅菌室２１９内が所定の気圧（５０Ｐａ）まで減圧されると（ステップＳ９０６において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、弁Ｖ（７）２２６を開ける（ステップＳ９０７）。

これによって、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０で清浄された外気（空気）が、滅菌室２１９内に吸い込まれる。ここでは、滅菌装置１００の外の気圧よりも滅菌室２１９内の気圧の方が低いので、外気（空気）が滅菌室２１９内に吸い込まれることになる。

続いて、演算処理部２０１は、滅菌室２１９内の気圧が大気圧まで上昇したか否かを判定する（ステップＳ９０８）。そして、滅菌室２１９内の気圧が大気圧まで上昇していないと（ステップＳ９０８において、ＮＯ）、演算処理部２０１は待機する。

一方、滅菌室２１９内の気圧が大気圧まで上昇すると（ステップＳ９０８において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、ステップＳ９０３からステップＳ９０８の処理を所定回数（例えば、４回）行ったかを判定する（ステップＳ９０９）。

ステップＳ９０３からステップＳ９０８までの処理が所定回数（例えば、４回）行われていないと（ステップＳ９０９において、ＮＯ）、演算処理部２０１はステップＳ９０３の処理に戻る。ステップＳ９０３からステップＳ９０８までの処理が所定回数（例えば、４回）行われると（ステップＳ９０９において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、弁Ｖ（７）２２６を閉めて（ステップＳ９１０）、換気工程を終了する。

これによって、滅菌室２１９内の表面に付着している滅菌剤および滅菌室２１９内に気体として残っている滅菌剤が気送真空ポンプ２２０により吸引される。ここで、吸引された気体（滅菌剤を含む）は、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１を通って、滅菌剤分解装置２２２に送られる。そして、滅菌剤分解装置２２２において滅菌剤が分解されて、分解後の分子が外部に放出される。

＜図１０の説明＞
図１０は、図３に示す滅菌剤排出処理（ステップＳ３１４）についてその一例を説明するためのフローチャートである。

なお、図１０に示す滅菌剤排出処理は、図２に示す演算処理部２０１の制御下で行われる。つまり、演算処理部２０１が読み取り実行可能なプログラムを実行することによって、滅菌装置１００の動作を制御して、滅菌剤排出処理を行う。

滅菌剤排出処理が開始されると、演算処理部２０１は、液送ロータリーポンプ２２３によって、カートリッジ２０５内の全ての液体滅菌剤を吸引する（ステップＳ１００１）。この液体滅菌剤は、液送ロータリーポンプ２２３によって導管を介して、排気蒸発炉２２４に送られる。

続いて、演算処理部２０１は、排気蒸発炉２２４によって、全ての液体滅菌剤（排気蒸発炉２２４内に溜められた滅菌剤）を、排気蒸発炉２２４に備え付けられたヒータにより加熱して、滅菌剤の全てを気化させる。そして、気化した滅菌剤は、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１と排気蒸発炉２２４との間の導管を通して排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１に送られる（ステップＳ１００２）。

ここで、排気蒸発炉２２４に備え付けられたヒータは、例えば、滅菌剤（過酸化水素）の沸点（過酸化水素の沸点は１４１度）よりも高い温度に加熱される。このため、排気蒸発炉２２４によって滅菌剤は全て気化されることとなる。

次に、演算処理部２０１は、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１によって、排気蒸発炉２２４と排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間の導管を通って送られる気化した滅菌剤を清浄する。そして、清浄された気体（滅菌剤を含む）は、滅菌剤分解装置２２２と排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１との間の導管を通って、滅菌剤分解装置２２２に送られる。

滅菌剤分解装置２２２は、演算処理部２０１の制御下で、気体に含まれる滅菌剤の分子を分解して、分解して生成される分子を滅菌装置１００の外に放出する（ステップＳ１００３）。その後、演算処理部２０１は、図３に示すステップＳ３１５の処理に進む。

＜図１１の説明＞
図１１は、図２に示す滅菌装置１００において、濃縮炉、弁、計量管、および気化炉を詳細に示すブロック図である。

なお、図１１において、図２に示す構成要素と同一の構成要素について同一参照番号を付す。

前述のステップＳ８０４又はステップＳ８２９の処理において、演算処理部２０１は、液送ロータリーポンプ２０７を駆動して、カートリッジ２０５内の滅菌剤を所定量（例えば、２ミリリットル）吸い取って、当該吸い取った所定量の滅菌剤を濃縮炉２０８に入れる。

図１１に示すように、濃縮炉２０８の下部にヒータが設けられており、ステップＳ８０６の処理において、このヒータの熱によって滅菌剤が加熱される。滅菌剤が過酸化水素水溶液の場合、このヒータの熱によって水が気化される。そして、気化した水は、気送加圧ポンプ２０９から導管を通して送り込まれる空気によって、排気用ＨＥＰＡフィルタ２２１に導通している導管に押し出され、濃縮炉２０８内から排気される。これによって、滅菌剤（過酸化水素水溶液）が濃縮される。

図８Ａおよび図８Ｂで説明したように、ステップＳ８１０で、濃縮炉２０８内の滅菌剤は計量管２１４内に入る。

図１１に示すように、計量管２１４は、直管部１１０１と枝管部１１０２とを有している。直管部１１０１は、直線の管状の部分であり、重力方向に延在している。一方、枝管部１１０２は、直管部１１０１の中間部又は上部から枝状に延びた管状の部分である。直管部１１０１は、直管部の軸心と枝管部１１０２の軸心とが垂直になるように据え付けられる。

このような構成によって、濃縮炉２０８から入ってきた滅菌剤は、計量管２１４内の直管部１１０１に溜まることになる。ここでは、直管部１１０１において滅菌剤が溜まる部分を滅菌剤溜まり部１１０３という。そして、滅菌剤溜まり部１１０３は、濃縮炉２０８から入ってくる滅菌剤が入るために十分な空間を有している。

これによって、濃縮炉２０８から入ってきた滅菌剤は、滅菌剤溜まり部１１０３に溜まり、滅菌剤とともに濃縮炉２０８から入ってきた空気は、滅菌剤溜まり部１１０３に溜まっている滅菌剤の空間以外の空間に充満することとなる。つまり、滅菌剤の空間以外の空間は、枝管部１１０２内の空間と通じた空間であるため、ステップＳ８１１において、弁（Ｖ３）２１２および弁（Ｖ４）２１３を開けると、滅菌室２１９内にその空気が吸い取られることになる。

そして、ステップＳ８１４で弁（Ｖ２）を開けると、滅菌剤溜まり部１１０３に溜まっていた滅菌剤が、気化炉２１６に吸い込まれて、気化する。図１１に示すように、気化炉２１６の上部から液体滅菌剤が気化炉２１６に入るので、滅菌剤は気化しやすい。

また、図１１に示すように、吸気用ＨＥＰＡフィルタ２１０と気化炉２１６との間の導管は、気化炉２１６の上部に備え付けられている。このため、ステップＳ８１９において、弁（Ｖ９）を開けると、空気（外気）が気化炉２１６の上部から気化炉２１６の下部にある滅菌室２１９に抜ける。

これによって、気化炉２１６の内部に付着している滅菌剤および気化炉２１６内の気化した滅菌剤を広範囲に取り除きやすくなって、その取り除いた滅菌剤を滅菌室２１９に流すことが可能となる。

＜図１２の説明＞
図１２は、図２に示す滅菌装置１００で用いられる滅菌剤のカートリッジ２０５を横側からみた図である。

図１２に示すカートリッジ２０５は、１つのボトルに滅菌処理を複数回行える量の滅菌剤が入ったカートリッジである。このカートリッジ２０５には、滅菌剤として用いられる過酸化水素などの薬液が格納される。

図１２に示すように、カートリッジ２０５は、第１の容器と、当該第１の容器を塞ぐ蓋とを有している。第１の容器の外観は、コップの形状をしている。また、この第１の容器の材質（材料）は、例えば、滅菌剤である過酸化水素に対して耐性のあるポリプロピレン（プラスチック）である。この第１の容器は、後述する第２の容器を保護するためにも設けられている。

蓋は、第１の容器の上側に第１の容器を閉じるため蓋である。つまり、蓋は、第１の容器の外周淵に接着している。また、この蓋の材質は、例えば、滅菌剤である過酸化水素に対して耐性のあるポリプロピレン（プラスチック）である。

ここで、カートリッジ２０５の上側から見て、カートリッジ２０５の中心点におけるカートリッジ２０５の断面を断面１とする。

次に、図１２に示すカートリッジ２０５の内部に滅菌剤を吸引するための抽出針（注射針）を挿入した際の構造について説明する。

＜図１３の説明＞
図１３は、図１２に示すカートリッジ２０５の断面１を示す図である。

抽出針動作制御部２０３が演算処理部２０１の制御下で、抽出針（注射針）をカートリッジ２０５に向けて、カートリッジ２０５の上部から降ろすと、蓋の穴、キャップの穴に抽出針（注射針）が挿入される。この際、抽出針動作制御部２０３は、注射針が蓋の穴、キャップの穴を貫通して、第２の容器に下部に注射針の先端が来るように制御する。

図３で説明したステップＳ３０３においては、注射針をカートリッジ２０５に挿入することによって、カートリッジ２０５内の滅菌剤を抽出することが可能となるととともに、カートリッジ２０５を取り出すことができないようにすることができる。

＜図１４の説明＞
図１４は、図９に示すバルブパージング処理についてその一例を説明するためのフローチャートである。

なお、図１４に示すバルブパージング処理は、図２に示す演算処理部２０１の制御下で行われる。つまり、演算処理部２０１が読み取り実行可能なプログラムを実行することによって、滅菌装置１００の動作を制御して、バルブパージング処理を行う。

図示のように、バブルパージング処理は、第１のバルブパージング工程（バルブパージング工程１）から第６のバルブパージング工程（バルブパージング工程６）を有しており、演算処理部２０１の制御下で、順次バルブパージング工程１（ステップＳ１４０１）、バルブパージング工程２（ステップＳ１４０２）、バルブパージング工程３（ステップＳ１４０３）、バルブパージング工程４（ステップＳ１４０４）、バルブパージング工程５（ステップＳ１４０５）、およびバルブパージング工程６（ステップＳ１４０６）が行われる。

＜図１５の説明＞
図１５は、図１４に示す第１のバルブパージング工程を説明するためのフローチャートである。

演算処理部２０１は、引き続き、気送真空ポンプ２２０を駆動して吸引を行っており、ステップＳ１５０１からＳ１５０７において、順次弁（Ｖ１）２１１、弁（Ｖ２）２１５、弁（Ｖ３）２１２、弁（Ｖ４）２１３、弁（Ｖ５）２１７、弁（Ｖ７）２２６、および弁（Ｖ９）２２７を閉じる。

そして、演算処理部２０１は、滅菌室２１９内が所定の圧力に達したか否かを判定する（ステップＳ１５０８）。滅菌室２１９内が所定の圧力に達しないと（ステップＳ１５０８において、ＮＯ）、演算処理部２０１は待機する。

一方、滅菌室２１９内が所定の圧力に達すると（ステップＳ１５０８において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、弁（Ｖ５）２１７を開ける（ステップＳ１５０９）。

この際、気化炉２１６は真空状態である滅菌室２１９より高い圧力にある。このため、圧力差によって気化炉２１６から滅菌室２１９に強い空気の流れが生じて、弁（Ｖ５）２１７およびその導管に残留している滅菌剤の移動が促される。

一般に、弁の内部の構造には凹凸があり、その隙間に入り込んだ滅菌剤は蒸発しにくい。また、コストを低減させるため、弁および導管は加温していない。このため、弁および導管に付着した滅菌剤は蒸発しにくい。このように蒸発しにくい残留滅菌剤を、滅菌室に送り出すべく、吹き飛ばしによって除去することができる。

そして、滅菌室２１９に移動した滅菌剤は、気送真空ポンプ２２０によって滅菌剤分解装置２２２に吸い出される。

引き続いて、気送真空ポンプを駆動することによって、滅菌室２１９、弁（Ｖ５）２１７、気化炉２１６、およびそれらに接続されている導管内が真空となって、気圧低下によって沸点の低下した滅菌剤は徐々に蒸発し続ける。

続いて、演算処理部２０１は、弁（Ｖ５）２１７を開けた後、所定の時間が経過したか否かを判定する（ステップＳ１５１０）。所定の時間が経過しないと（ステップＳ１５１０において、ＮＯ）、演算処理部２０１は待機する。

一方、所定の時間が経過すると（ステップＳ１５１０において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、滅菌室２１９内が所定の圧力以下となったか否かを判定する（ステップＳ１５１１）。滅菌室２１９内が所定の圧力以下とならないと（ステップＳ１５１１において、ＮＯ）、演算処理部２０１は待機する。

滅菌室２１９内が所定の圧力以下となると（ステップＳ１５１１において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、第２のバルブパージング工程（バルブパージング工程２）に進む。

＜図１６の説明＞
図１６は、図１４に示す第２のバルブパージング工程を説明するためのフローチャートである。

第２のバルブパージング工程（バルブパージング工程２）が開始されると、演算処理部２０１は、弁（Ｖ２）２１５を開ける（ステップＳ１６０１）。この際、計量管２１４は真空状態にある滅菌室２１９および気化炉２１６より高い圧力にある。このため、圧力差に起因して、計量管２１４から気化炉２１６に強い空気の流れが生じて、弁（Ｖ２）２１５およびその導管に残留している滅菌剤の移動が促される。

また、引き続いて、演算処理部２０１は気送真空ポンプの動作を継続しているので、気化炉２１６に移動した滅菌剤は、滅菌室２１９に移動し、滅菌室２１９に移動した滅菌剤は気送真空ポンプ２２０により排出される。

気送真空ポンプを動作させ続けることによって、滅菌室２１９、弁（Ｖ５）２１７、気化炉２１６およびそれらに接続されている導管は真空状態となって、気圧低下によって沸点の低下した滅菌剤は徐々に蒸発し続ける。

続いて、演算処理部２０１は、弁（Ｖ２）２１５を開けた後、所定の時間が経過したか否かを判定する（ステップＳ１６０２）。所定の時間が経過しないと（ステップＳ１６０２において、ＮＯ）、演算処理部２０１は待機する。

一方、所定の時間が経過すると（ステップＳ１６０２において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、滅菌室２１９内が所定の圧力以下となったか否かを判定する（ステップＳ１６０３）。滅菌室２１９内が所定の圧力以下とならないと（ステップＳ１６０３において、ＮＯ）、演算処理部２０１は待機する。

滅菌室２１９内が所定の圧力以下となると（ステップＳ１６０３において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、第３のバルブパージング工程（バルブパージング工程３）に進む。

＜図１７の説明＞
図１７は、図１４に示す第３のバルブパージング工程を説明するためのフローチャートである。

第３のバルブパージング工程（バルブパージング工程３）が開始されると、演算処理部２０１は、弁（Ｖ１）２１１を開ける（ステップＳ１７０１）。この際、滅菌室２１９、気化炉２１６、および計量管２１４は真空状態であるのに対して、弁（Ｖ１）２１１によって接続された濃縮炉２０８は大気圧の状態にある。

このため、その圧力差によって濃縮炉２０８から計量管２１４に強い空気の流れが生じて、弁（Ｖ１）２１１およびその導管に残留している滅菌剤の移動が促される。その結果、滅菌室２１９に移動した滅菌剤は気送真空ポンプ２２０によって排出される。

気送真空ポンプの動作を継続することによって、滅菌室２１９、弁（Ｖ５）２１７、気化炉２１６、弁（Ｖ２）２１５、計量管２１４、弁（Ｖ１）２１１、およびそれらに接続されている導管にはエア（空気）が流れ続けて、当該経路に残留している滅菌剤の移動が促される。

続いて、演算処理部２０１は、弁（Ｖ１）２１１を開けた後、所定の時間が経過したか否かを判定する（ステップＳ１７０２）。所定の時間が経過しないと（ステップＳ１７０２において、ＮＯ）、演算処理部２０１は待機する。

一方、所定の時間が経過すると（ステップＳ１７０２において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、滅菌室２１９内が所定の圧力以下となったか否かを判定する（ステップＳ１７０３）。滅菌室２１９内が所定の圧力以下とならないと（ステップＳ１７０３において、ＮＯ）、演算処理部２０１は待機する。

滅菌室２１９内が所定の圧力以下となると（ステップＳ１７０３において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、第４のバルブパージング工程（バルブパージング工程４）に進む。

バルブパージング工程３においては、濃縮炉２０８から大気が導入され続けるが、濃縮炉２０８と弁（Ｖ１）２１１との間の導管は、その内径が、例えば、直径１ｍｍと細く、物理的な配管抵抗が大きく、エア流量も少ないので、気送真空ポンプの排気量が十分に大きい場合には、滅菌室２１９内を所定の圧力以下とすることができる。

＜図１８の説明＞
図１８は、図１４に示す第４のバルブパージング工程を説明するためのフローチャートである。

第４のバルブパージング工程（バルブパージング工程４）が開始されると、演算処理部２０１は、弁（Ｖ２）２１５を閉じる（ステップＳ１８０１）。そして、所定時間が経過すると、演算処理部２０１は、順次弁（Ｖ３）２１２および弁（Ｖ４）２１３を開ける（ステップＳ１８０２およびＳ１８０３）。

そして、演算処理部２０１は、気送真空ポンプ２２０の動作を継続して、弁（Ｖ３）２１２および弁（Ｖ４）２１３に、弁（Ｖ１）２１１および計量管２１４を経由したエアを流す。これによって、当該経路に残留している滅菌剤の移動が促される。

演算処理部２０１は、ステップＳ１８０３において弁（Ｖ４）２１３を開いてから所定時間が経過したか否かを判定する（ステップＳ１８０４）。所定の時間が経過しないと（ステップＳ１８０４において、ＮＯ）、演算処理部２０１は待機する。

一方、所定の時間が経過すると（ステップＳ１８０４において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、滅菌室２１９内が所定の圧力以下となったか否かを判定する（ステップＳ１８０５）。滅菌室２１９内が所定の圧力以下とならないと（ステップＳ１８０５において、ＮＯ）、演算処理部２０１は待機する。

滅菌室２１９内が所定の圧力以下となると（ステップＳ１８０５において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、第５のバルブパージング工程（バルブパージング工程５）に進む。

第５のバルブパージング工程においても、空気が導入され続けるが、濃縮炉２０８と弁（Ｖ１）２１１と間の導管は、その内径が、例えば、直径１ｍｍと細く、物理的な配管抵抗が大きく、エア流量も少ないものとなる。このため、今回のように気送真空ポンプの排気量が十分に大きい場合には、滅菌室２１９を所定の圧力以下とすることができる。

＜図１９の説明＞
図１９は、図１４に示す第５のバルブパージング工程を説明するためのフローチャートである。

第５のバルブパージング工程（バルブパージング工程５）が開始されると、演算処理部２０１は、順次弁（Ｖ１）２１１および弁（Ｖ５）２１７を閉じる（ステップＳ１９０１およびＳ１９０２）。その後、演算処理部２０１は、順次弁（Ｖ２）２１５および弁（Ｖ９）２２７を開ける（ステップＳ１９０３およびＳ１９０４）。

この際、演算処理部２０１は、気送真空ポンプ２２０の動作を継続して、弁（Ｖ９）２２７、弁（Ｖ２）２１５、弁（Ｖ３）２１２、および弁（Ｖ４）２１３にエアを流す。これによって、当該経路に残留している滅菌剤の移動が促される。

この場合、弁（Ｖ２）２１５にはバルブパージング工程１〜４とは逆向きにエアが流れるので、一方向のエアの流れでは移動しきれないような残留滅菌剤の移動を促す効果が期待できる。

演算処理部２０１は、ステップＳ１９０４において弁（Ｖ９）２２７を開いてから所定時間が経過したか否かを判定する（ステップＳ１９０５）。所定の時間が経過しないと（ステップＳ１９０５において、ＮＯ）、演算処理部２０１は待機する。

一方、所定の時間が経過すると（ステップＳ１９０５において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、滅菌室２１９内が所定の圧力以下となったか否かを判定する（ステップＳ１９０６）。滅菌室２１９内が所定の圧力以下とならないと（ステップＳ１９０６において、ＮＯ）、演算処理部２０１は待機する。

滅菌室２１９内が所定の圧力以下となると（ステップＳ１９０６において、ＹＥＳ）、演算処理部２０１は、第６のバルブパージング工程（バルブパージング工程６）に進む。

＜図２０の説明＞
図２０は、図１４に示す第６のバルブパージング工程を説明するためのフローチャートである。

第６のバルブパージング工程（バルブパージング工程６）が開始されると、演算処理部２０１は、順次弁（Ｖ１）２１１、弁（Ｖ２）２１５、弁（Ｖ３）２１２、弁（Ｖ４）２１３、弁（Ｖ５）、弁（Ｖ７）２２６、および弁（Ｖ９）２２７を閉じる（ステップＳ２００１〜Ｓ２００７）。そして、演算制御部２０１は、図９に示すステップＳ９０５の処理に進む。

図１４から図２０で説明したバルブパージング処理は、図６に示す換気工程において行われるが、バルブパージング処理を図６に示す滅菌前工程で行うようにしてもよい。

＜図２１の説明＞
図２１は、図７に示す滅菌前工程においてバルブパージング処理を行う際の一例を説明するためフローチャートである。

なお、図２１において、図７に示す滅菌前工程と同一のステップについては同一の参照符号を付す。

滅菌前工程が開始されると、演算処理部２０１は、気送真空ポンプ２２０を駆動して、滅菌室２１９の気体を吸引する処理（つまり、滅菌室２１９の減圧）を開始する（ステップＳ７０１）。

続いて、演算処理部２０１は、図１４〜図２０で説明したバルブパージング処理を行う（ステップＳ９０４）。そして、演算処理部２０１は、前述のように、ステップＳ７０２において、滅菌室２１９内の圧力（気圧）が、所定の気圧（例えば、４５パスカル）まで減圧されているか否かを判定することになる。

このようにして、滅菌前工程においてバルブパージング処理を行うと、次のような事態が発生した場合においても、各弁などの経路に付着した滅菌剤を効果的に取り除くことができる。

１）滅菌前工程の途中で停電などによって異常終了が生じて、配管および計量管などに滅菌剤が残留している場合における滅菌剤の除去。

２）結露によって、配管および計量管などに滅菌剤および水分が残留している場合における水分および滅菌剤の除去。

３）その他の理由によって前回の換気工程において十分にバルブパージングされなかった場合における滅菌剤の除去。

＜図２２Ａおよび図２２Ｂの説明＞
図２２Ａおよび図２２Ｂは、図８Ａおよび図８Ｂに示す滅菌工程においてバルブパージング処理を行う際の一例を説明するためフローチャートである。

なお、図２２Ａおよび図２２Ｂにおいて、図８Ａおよび図８Ｂに示す滅菌前工程と同一のステップについては同一の参照符号を付す。

滅菌工程が開始されると、演算処理部２０１は、図１４〜図２０で説明したバルブパージング処理を行う（ステップＳ９０４）。その後、演算処理部２０１は、ステップＳ８０１の処理に進んで、図８Ａおよび図８Ｂで説明したようにして滅菌工程を行う。

このようにして、滅菌工程においてバルブパージング処理を行うと、次のような事態が発生した場合においても、各弁などの経路に付着した滅菌剤を効果的に取り除くことができる。

４）滅菌処理の途中で停電などによって異常終了が生じて、配管および計量管などに滅菌剤が残留している場合における滅菌剤の除去。

５）結露によって、配管および計量管などに滅菌剤および水分が残留している場合における水分および滅菌剤の除去。

６）その他の理由によって前回の換気工程において十分にバルブパージングされなかった場合における滅菌剤の除去。

なお、滅菌工程において、ステップＳ８０１からＳ８２７の処理は所定回数繰り返される。そして、この繰り返し毎にバルブパージング処理を行えば、配管および計量管などに残留している滅菌剤の量が低減されることになって、より滅菌効果を向上させることができるばかりでなく、滅菌処理に係る精度を向上させることが可能となる。

以上の説明から明らかなように、本発明の実施の形態では、医療器具などの滅菌対象物を滅菌するための滅菌剤の供給経路などに残留する残留滅菌剤を効果的に取り除くことができるという効果がある。

なお、図１に示す例においては、弁機構とは弁および導管を含むものであり、経路とは複数の弁および導管を含むものである。また、ここでは、演算制御部２０１が制御手段として機能して、滅菌装置１００を制御する。そして、少なくとも濃縮炉２０８（濃縮部）、計量管２１４（計量部）、および気化炉２１６（気化部）は供給手段として機能し、気送真空ポンプ２２０は減圧手段として機能することになる。さらに、滅菌室２１９（滅菌部）には前述のように、医療器具などの滅菌対象物が収納される。

以上、本発明について実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。

例えば、上記の実施の形態の機能を滅菌方法として、この滅菌方法を滅菌装置に実行させるようにすればよい。また、上述の実施の形態の機能を有するプログラムを滅菌装置が備えるコンピュータに実行させるようにしてもよい。なお、制御プログラムは、例えば、コンピュータに読み取り可能な記録媒体に記録される。

また、本発明は、以下の処理を実行することによっても実現される。つまり、上述した実施形態の機能を実現するソフトウェア（プログラム）を、ネットワーク又は各種の記録媒体を介してシステム或いは装置に供給し、そのシステム或いは装置のコンピュータ（またはＣＰＵやＭＰＵなど）がプログラムを読み出して実行する処理である。

１００ 滅菌装置
１０１ カートリッジ取付用扉
１０２ 表示部
１０３ 印刷部
１０４ 滅菌室の扉
２０１ 演算処理部
２１６ 気化炉
２１９ 滅菌室（真空チャンバー）
２２６ 弁（Ｖ７）
２２７ 弁（Ｖ９）

Claims (8)

1. 液体の滅菌剤が気化された滅菌剤ガスを、滅菌対象物が収納された滅菌部に導入して前記滅菌対象物を滅菌する滅菌工程を行った後に、前記滅菌工程で当該滅菌剤ガスが導入された前記滅菌部を減圧する換気工程を行って、前記滅菌対象物を滅菌するための滅菌装置であって、
   前記滅菌部を減圧する減圧手段と、
   前記液体の滅菌剤を濃縮する濃縮部と、
   前記濃縮部で濃縮された前記液体の滅菌剤を溜める滅菌剤溜まり部と、
   前記滅菌剤ガスを前記滅菌部に供給するための供給手段として設けられ、前記滅菌剤溜まり部で溜められた液体の滅菌剤を気化させて前記滅菌剤ガスとする気化部と、
   前記滅菌部と前記気化部とを選択的に導通する第１の弁と、
   前記気化部と前記滅菌剤溜まり部とを選択的に導通する第２の弁と、
   前記濃縮部と前記滅菌剤溜まり部とを選択的に導通する第３の弁と、
   前記滅菌工程において、前記第３の弁を開弁して、前記濃縮部で濃縮された前記液体の滅菌剤を前記滅菌剤溜まり部に入れ、前記第２の弁を開弁することで、前記滅菌剤溜まり部で溜められた液体の滅菌剤を前記気化部に入れて気化させ、前記減圧手段によって前記滅菌部を前記気化部よりも減圧した状態で、前記第１の弁を開弁することにより前記気化部と前記滅菌部とを連通させる制御手段と、
   を有し、
   前記制御手段は、前記換気工程において、前記第１の弁、前記第２の弁、および前記第３の弁の各々を開弁した状態とし、前記第１の弁、前記第２の弁、および前記第３の弁の各々が開弁している状態で、前記減圧手段が前記滅菌部を減圧するように前記減圧手段を制御することを特徴とする滅菌装置。
2. 前記制御手段は、前記換気工程において、前記第１の弁および前記第２の弁を開弁し、前記第３の弁が閉弁している状態で前記減圧手段が前記滅菌部を減圧するように前記減圧手段を制御し、前記第１の弁および前記第２の弁が開弁し、前記第３の弁が閉弁している状態であって前記減圧手段によって前記滅菌部を大気圧よりも減圧した状態で、前記第３の弁を開弁し、前記第１の弁、前記第２の弁、および前記第３の弁の各々が開弁している状態で前記減圧手段が前記滅菌部を減圧するように前記減圧手段を制御することを特徴とする請求項１に記載の滅菌装置。
3. 前記制御手段は、前記換気工程において、前記第１の弁を開弁し、前記第２の弁および前記第３の弁が閉弁している状態で前記減圧手段が前記滅菌部を減圧するように前記減圧手段を制御し、前記第１の弁が開弁し、前記第２の弁および前記第３の弁が閉弁している状態であって前記減圧手段によって前記滅菌部が前記滅菌剤溜まり部よりも減圧された状態で、前記第２の弁を開弁し、前記第１の弁および前記第２の弁が開弁し、前記第３の弁が閉弁している状態で前記減圧手段が前記滅菌部を減圧するように前記減圧手段を制御し、前記第１の弁および前記第２の弁が開弁し、前記第３の弁が閉弁している状態であって前記減圧手段によって前記滅菌部を大気圧よりも減圧した状態で前記第３の弁を開弁し、前記第１の弁、前記第２の弁、および前記第３の弁の各々が開弁している状態で、前記減圧手段が前記滅菌部を減圧するように前記減圧手段を制御することを特徴とする請求項２に記載の滅菌装置。
4. 前記制御手段は、前記換気工程において、前記第１の弁、前記第２の弁、および前記第３の弁を閉弁した状態とし、前記第１の弁、前記第２の弁、および前記第３の弁が閉弁した状態であって前記減圧手段により前記滅菌部が減圧された状態で、前記第１の弁を開弁し、前記第１の弁が開弁し、前記第２の弁および前記第３の弁が閉弁している状態で前記減圧手段が前記滅菌部を減圧するように前記減圧手段を制御し、前記第１の弁が開弁し、前記第２の弁および前記第３の弁が閉弁している状態であって前記減圧手段によって前記滅菌部が前記滅菌剤溜まり部よりも減圧された状態で前記第２の弁を開弁し、前記第１の弁および前記第２の弁が開弁し、前記第３の弁が閉弁している状態で前記減圧手段が前記滅菌部を減圧するように前記減圧手段を制御し、前記第１の弁および前記第２の弁が開弁し、前記第３の弁が閉弁している状態であって前記減圧手段によって前記滅菌部を大気圧よりも減圧した状態で前記第３の弁を開弁し、前記第１の弁、前記第２の弁、および前記第３の弁の各々が開弁している状態で、前記減圧手段が前記滅菌部を減圧するように前記減圧手段を制御することを特徴とする請求項３に記載の滅菌装置。
5. 前記滅菌剤溜まり部と前記滅菌部とを選択的に導通する第４の弁と、
   前記気化部を選択的に大気に導通する第５の弁と、を更に有し、
   前記制御手段は、前記換気工程において、前記第１の弁、前記第２の弁、前記第３の弁、前記第４の弁、および前記第５の弁を閉弁した状態とし、前記第１の弁、前記第２の弁、前記第３の弁、前記第４の弁、および前記第５の弁が閉弁した状態であって前記減圧手段により前記滅菌部が減圧された状態で前記第１の弁を開弁し、前記第１の弁が開弁し、前記第２の弁、前記第３の弁、前記第４の弁、および前記第５の弁が閉弁している状態で前記減圧手段が前記滅菌部を減圧するように前記減圧手段を制御し、前記第１の弁が開弁し、前記第２の弁、前記第３の弁、前記第４の弁、および前記第５の弁が閉弁している状態であって前記減圧手段によって前記滅菌部が前記滅菌剤溜まり部よりも減圧された状態で前記第２の弁を開弁し、前記第１の弁および前記第２の弁が開弁し、前記第３の弁、前記第４の弁、および前記第５の弁が閉弁している状態で前記減圧手段が前記滅菌部を減圧するように前記減圧手段を制御し、前記第１の弁および前記第２の弁が開弁し、前記第３の弁、前記第４の弁、および前記第５の弁が閉弁している状態であって前記減圧手段によって前記滅菌部を大気圧よりも減圧した状態で前記第３の弁を開弁し、前記第１の弁、前記第２の弁、および前記第３の弁の各々が開弁している状態で前記減圧手段が前記滅菌部を減圧するように前記減圧手段を制御し、前記第１の弁および前記第３の弁を閉弁し、前記第２の弁、前記第４の弁、および前記第５の弁を開弁した状態として、前記第１の弁および前記第３の弁が閉弁し、前記第２の弁、前記第４の弁および前記第５の弁が開弁した状態で前記減圧手段によって前記滅菌部を減圧して前記大気を前記滅菌部に導入することを特徴とする請求項４に記載の滅菌装置。
6. 液体の滅菌剤が気化された滅菌剤ガスを、滅菌対象物が収納された滅菌部に導入して前記滅菌対象物を滅菌する滅菌工程を行った後に、前記滅菌工程で当該滅菌剤ガスが導入された前記滅菌部を減圧する換気工程を行って、前記滅菌対象物を滅菌するための滅菌装置であって、
   前記滅菌部を減圧する減圧手段と、
   前記液体の滅菌剤を濃縮する濃縮部と、
   前記濃縮部で濃縮された前記液体の滅菌剤を溜める滅菌剤溜まり部と、
   前記滅菌剤ガスを前記滅菌部に供給するための供給手段として設けられ、前記滅菌剤溜まり部で溜められた液体の滅菌剤を気化させて前記滅菌剤ガスとする気化部と、
   前記滅菌部と前記気化部とを選択的に導通する第１の弁と、
   前記気化部と前記滅菌剤溜まり部とを選択的に導通する第２の弁と、
   前記濃縮部と前記滅菌剤溜まり部とを選択的に導通する第３の弁と、
   前記滅菌剤溜まり部と前記滅菌部とを選択的に導通する第４の弁と、
   前記気化部を選択的に大気に導通する第５の弁と、
   前記滅菌工程において、前記第３の弁を開弁して、前記濃縮部で濃縮された前記液体の滅菌剤を前記滅菌剤溜まり部に入れ、前記減圧手段により前記滅菌部が減圧された状態で前記第４の弁を開弁して閉弁し、前記第２の弁を開弁することで、前記滅菌剤溜まり部で溜められた液体の滅菌剤を前記気化部に入れて気化させ、前記減圧手段によって前記滅菌部を前記気化部よりも減圧した状態で、前記第１の弁を開弁することにより、前記気化部と前記滅菌部とを連通させる制御手段と、
   を有し、
   前記制御手段は、前記換気工程において、前記第１の弁および前記第３の弁を閉弁し、前記第２の弁、前記第４の弁、および前記第５の弁を開弁している状態として、前記減圧手段が前記滅菌部を減圧するように前記減圧手段を制御することを特徴とする滅菌装置。
7. 液体の滅菌剤が気化された滅菌剤ガスを、滅菌対象物が収納された滅菌部に導入して前記滅菌対象物を滅菌する滅菌工程を行った後に、前記滅菌工程で当該滅菌剤ガスが導入された前記滅菌部を減圧する換気工程を行って、前記滅菌対象物を滅菌するための滅菌方法であって、
   前記滅菌部を減圧する減圧ステップと、
   前記液体の滅菌剤を濃縮部で濃縮する濃縮ステップと、
   前記濃縮ステップで濃縮された前記液体の滅菌剤を滅菌剤溜まり部に溜める滅菌剤溜まりステップと、
   前記滅菌剤ガスを前記滅菌部に供給するため、前記滅菌剤溜まり部に溜められた液体の滅菌剤を気化部で気化させて前記滅菌剤ガスとする気化ステップと、
   前記滅菌工程において、前記濃縮部と前記滅菌剤溜まり部とを選択的に導通する第１の弁を開弁して、前記濃縮部に濃縮された前記液体の滅菌剤を前記滅菌剤溜まり部に入れ、前記気化部と前記滅菌剤溜まり部とを選択的に導通する第２の弁を開弁することで、前記滅菌剤溜まり部に溜められた液体の滅菌剤を前記気化部に入れ、前記減圧ステップによって前記滅菌部を前記気化部よりも減圧した状態で、前記滅菌部と前記気化部とを選択的に導通する第３の弁を開弁することにより前記気化部と前記滅菌部とを連通させる制御ステップと、
   を有し、
   前記制御ステップでは、前記換気工程において、前記第１の弁、前記第２の弁、および前記第３の弁の各々を開弁した状態とし、前記第１の弁、前記第２の弁、および前記第３の弁の各々が開弁している状態で、前記減圧ステップによって前記滅菌部を減圧するように制御することを特徴とする滅菌方法。
8. 液体の滅菌剤が気化された滅菌剤ガスを、滅菌対象物が収納された滅菌部に導入して前記滅菌対象物を滅菌する滅菌工程を行った後に、前記滅菌工程で当該滅菌剤ガスが導入された前記滅菌部を減圧する換気工程を行って、前記滅菌対象物を滅菌するための滅菌方法であって、
   前記滅菌部を減圧する減圧ステップと、
   前記液体の滅菌剤を濃縮部で濃縮する濃縮ステップと、
   前記濃縮ステップで濃縮された前記液体の滅菌剤を滅菌剤溜まり部に溜める滅菌剤溜まりステップと、
   前記滅菌剤ガスを前記滅菌部に供給するため、前記滅菌剤溜まり部で溜められた液体の滅菌剤を気化部で気化させて前記滅菌剤ガスとする気化ステップと、
   前記滅菌工程において、前記濃縮部と前記滅菌剤溜まり部とを選択的に導通する第１の弁を開弁して、前記濃縮部に濃縮された前記液体の滅菌剤を前記滅菌剤溜まり部に入れ、前記減圧ステップによって前記滅菌部が減圧された状態で、前記滅菌剤溜まり部と前記滅菌部とを選択的に導通する第２の弁を開弁して閉弁し、前記気化部と前記滅菌剤溜まり部とを選択的に導通する第３の弁を開弁することで、前記滅菌剤溜まり部に溜められた液体の滅菌剤を前記気化部に入れて、前記減圧ステップによって前記滅菌部を前記気化部よりも減圧した状態で、前記滅菌部と前記気化部とを選択的に導通する第4の弁を開弁することにより、前記気化部と前記滅菌部とを連通させる制御ステップと、
   を有し、
   前記制御ステップでは、前記換気工程において、前記第１の弁および前記第４の弁を閉弁し、前記第2の弁、前記第3の弁、および前記気化部を選択的に大気に導通する第５の弁を開弁している状態として、前記減圧ステップによって前記滅菌部を減圧するように制御することを特徴とする滅菌方法。

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