JP6274361B2 - Esd保護デバイスおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
図1Aは、本実施の形態に係るESD保護デバイスの構造の一例を示す模式縦断面図である。ESD保護デバイスAは、絶縁性セラミックス素体1の内部に形成された空洞部2と、空洞部2を介して互いに一部が対向するように形成された第1放電電極3および第2放電電極4と、少なくとも一部が空洞部2に露出し、第1放電電極3の一部を構成する第1ビア導体6と、空洞部2に少なくとも一部が露出するとともに、第1放電電極3および第2放電電極4と電気的に接続するように形成された補助電極5と、絶縁性セラミックス素体1の外表面に分離して形成された第1外部電極8と第2外部電極9を有し、第1外部電極8は第1放電電極3に電気的に接続され、第2外部電極9は第2放電電極4に電気的に接続されている。第1放電電極3の端面を除く主表面と、第2放電電極の端面を除く主表面は異なる平面上に位置している。なお、以下の説明において、第1放電電極3および第2放電電極4の互いに対向する部分を、対向部分という場合もある。
(1)第1放電電極と第2放電電極を形成する工程
用意したセラミックスグリーンシート11,12の上に、導電性ペーストを塗布して第1放電電極3と第2放電電極4を形成する。ここで、一つのセラミックスグリーンシート12にはビアホールを形成して、そのビアホールに導電性ペーストを充填して第1ビア導体6を形成する。この第1ビア導体6に、一部が接するように、第1放電電極3を形成する。また、第1放電電極3を形成するに先立って、セラミックスグリーンシート12にビアホールを形成し、そのビアホールに第1ビア導体6を充填し、その第1ビア導体6に一部が接するように第1放電電極3を形成する。
用意した補助電極用セラミックスグリーンシート15に、積層時には空洞部となる貫通孔14を形成する。貫通孔14の形状は特に限定されないが、断面がテーパー形状とあることが好ましい。
第1放電電極3と第2放電電極4が貫通孔14に露出するように、補助電極用セラミックスグリーンシート15を挟んで、セラミックスグリーンシート10,11,12,13を積層してグリーンシート積層体を形成する。
グリーンシート積層体の焼成は、N2雰囲気中、850℃以上1000℃以下の温度範囲で行うことができる。なお、焼成温度は、セラミックスグリーンシートの材料、第1放電電極および第2放電電極の焼結温度よりも高く、かつ補助電極用セラミックスグリーンシートの材料の焼結温度よりも低い温度を用いる。セラミックスグリーンシート、第1放電電極および第2放電電極は焼成による焼結に伴い収縮するが、補助電極用セラミックスグリーンシートの材料の焼結温度は焼成温度よりも高いので、補助電極の収縮の程度は、セラミックスグリーンシート、第1放電電極および第2放電電極に比べて小さい。その結果、焼成後、補助電極と絶縁性セラミックス素体と放電電極とが接する境界領域では、収縮率の差に応じて空隙部が形成される。
本実施の形態に係るESD保護デバイスは、実施の形態1のESD保護デバイスが、第1ビア導体と補助電極と絶縁性セラミックス素体との境界領域の少なくとも一部に空隙を有するのに対し、第1ビア導体と補助電極と絶縁性セラミックス素体との境界領域の少なくとも一部、および第2ビア導体と補助電極と絶縁性セラミックス素体との境界領域の少なくとも一部に空隙部を有している点で相違し、それ以外は実施の形態1に係るESD保護デバイスと同様の構造を有する。
本実施の形態に係るESD保護デバイスは、補助電極が、最上層、中間層および最下層からなる三層構造を有している以外は、実施の形態2に係るESD保護デバイスと同様の構造を有する。最上層および最下層の少なくとも一方の層は、中間層よりも難焼結性の材料を含み、中間層は最上層および最下層の少なくとも一方の層よりは導電性が高い。
本実施の形態に係るESD保護デバイスは、第1放電電極と第2放電電極のいずれもがビア導体を含まない構造を有する以外は、実施の形態3に係るESD保護デバイスと同様の構造を有する。
(1)セラミックスシート用材料の準備
セラミックスシートの材料となるセラミックス材料には、Ba、Al、Siを中心とした組成からなる材料(比誘電率εrが4〜9になるよう調整したLTCC材)を用いた。各材料を所定の組成になるよう調合し、混合し、800〜1000℃で仮焼した。得られた仮焼粉末をジルコニアボールミルで12時間粉砕し、セラミックス粉末を得た。このセラミックス粉末に、トルエン・エキネンなどの有機溶媒を加え混合した。さらにバインダー、可塑剤を加え混合しスラリーを得た。得られたスラリーをドクターブレード法により成形し、厚さ25μmのセラミックスグリーンシートを4枚得た。
放電電極間に配置する補助電極用材料は、Cu/Al2O3の混合物からなる。平均粒径が0.5μmのCu粉末、平均粒径が0.1μmのAl2O3粉末を30体積%:70体積%の比率となるように調合し、トルエン・エキネンなどの有機溶媒を加え混合した。さらにバインダー、可塑剤を加え混合しスラリーを得た。得られたスラリーをドクターブレード法により成形し、厚さ10μmの補助電極用シートを得た。
(3−1)ビア導体用ペースト材料の準備
平均粒径3μmのCu粉末を80重量%と、平均粒径1μmの架橋アクリル樹脂ビーズ5重量%と、エチルセルロースをターピネオールに溶解して作製した有機ビヒクルを15重量%とを調合し、三本ロールにより混合することにより、ビア導体用ペーストを作製した。
平均粒径1μmのCu粉末を40重量%と、平均粒径3μmのCu粉末を40重量%と、エチルセルロースをターピネオールに溶解して作製した有機ビヒクルを20重量%とを調合し、三本ロールにより混合することにより、放電電極用ペーストを作製した。
平均粒径1μmの架橋アクリル樹脂ビーズ38重量%と、ターピネオール中にエトセル樹脂を10wt%溶解した有機ビヒクル62重量%とを調合し、三本ロールにより混合することにより、空洞形成用ペーストを作製した。
平均粒径が約1μmのCu粉末を80重量%と、転移点620℃、軟化点720℃で平均粒径が約1μmのホウケイ酸アルカリ系ガラスフリットを5重量%と、エチルセルロースをターピネオールに溶解して作製した有機ビヒクル15重量%とを調合し、三本ロールにより混合することにより、外部電極用ペーストを作製した。
セラミックスグリーンシートと補助電極シートへ、CO2レーザーによりビアホールを形成した。セラミックスグリーンシートへは、入射φ130μm(出射φ120μm)のビアホールを形成し、ビア導体用ペーストを充填した。補助電極用シートへは、入射φ100μm(出射φ95μm)のビアホールを形成し、空洞形成用ペーストを充填した。その後、補助電極用シートから、所定のサイズを切り出し、積層時の放電部形成に用いた。
放電電極用ペーストをスクリーン印刷により、塗布形成した。ビアホールを形成していない1枚のセラミックスグリーンシ−トと、ビアホールを形成しビアを充填したセラミックスグリーンシート上に、放電電極用ペーストを塗布し、外部へ引き出した。
図5に示すように、第2放電電極4が形成されたセラミックスグリーンシート11と、ビアホールに第1ビア導体6が充填されるとともに第1放電電極3が形成されたセラミックスグリーンシート12との間に補助電極用セラミックスグリーンシート15を挟むように、セラミックスグリーンシート10,11,12,13を積層し、圧着して積層体を作製した。ここで、第1放電電極の一部と、第1ビア導体6が貫通孔14を介して互いに対向するように、セラミックスグリーンシート10,11,12,13を積層した。本実施例では、積層体の厚みが0.3mmとなるように積層・圧着した。
LCフィルタのようなチップタイプの電子部品の場合と同様に、マイクロカッタでカットして、各チップに分割した。本実施例では、縦×横が、1.0mm×0.5mm、となるようにカットした。
次いで、通常のセラミックス多層部品の場合と同様に、N2雰囲気中で焼成した。酸化しない電極材料の場合には、大気雰囲気でもよい。放電電極を形成したセラミックスグリーンシートの焼結温度は900℃、補助電極用シートの焼結温度は1000℃以上であるので、焼成温度は950℃とした。
焼成後、端面に電極ペーストを塗布し、焼き付けることで外部電極を形成した。
外部電極上に電解Ni−Snめっきを行った。
本実施例では、積層体の厚さ方向に沿って、空洞部の両側にビア導体が配置されたESD保護デバイスを作製した。
本実施例では、積層体の厚さ方向に沿って、空洞部の両側にビア導体が配置され、補助電極を3層構造としたESD保護デバイスを作製した。
補助電極用材料Aは、Cu/Al2O3の混合物からなる。平均粒径が0.5μmのCu粉末と、平均粒径が0.1μmのAl2O3粉末を30体積%:70体積%の比率に調合し、トルエン・エキネンなどの有機溶媒を加え混合した。さらにバインダー、可塑剤を加え混合しスラリーを得た。
本実施例では、空洞部の両側にビア導体を形成しなかった以外は、実施例3と同様の方法を用いてESD保護デバイスを作製した。
補助電極用材料に、CuとBAS材の混合物を用いた以外は、実施例2と同様の方法を用いてESD保護デバイスを作製した。
作製したESD保護デバイスの放電開始電圧は、IEC規格(IEC61000−4−2)に定められている静電気放電イミュニティ試験に基づき、接触放電にて1.5kV〜3.0kVの電圧を印加して動作率を測定した。各実施例および比較例について、それぞれ100個のサンプルについて評価を行った。ここで、動作率とは、総サンプル数に対する、所定電圧で放電したサンプル数の比である。
作製したESD保護デバイスについて、繰り返し放電が生じた場合の耐性について評価した。具体的には、IEC規格(IEC61000−4−2)に定められている静電気放電イミュニティ試験に基づき、接触放電にて8kVまたは10kVの電圧を100回連続印加し、IR値が10kΩまで低下したサンプルを故障、10kΩまで低下しなかったサンプルを良品と判断して、良品率を比較した。各実施例および比較例について、それぞれ50個のサンプルについて評価を行った。ここで、良品率とは、総サンプル数に対する、良品と判断されたサンプル数の比である。
比較例1では、1.5kVにおける動作率が10%以下であった。これに対し、実施例1〜4では、1.5kVでも30%以上の動作率、特に実施例3では50%以上の動作率が得られた。また、IR劣化耐性に関し、10kVにおける良品率が、比較例1では10%以下であるのに対し、実施例1〜4では50%以上の良品率が得られた。
2 空洞部
3 第1放電電極
4 第2放電電極
5 補助電極
6 第1ビア導体
7 第2ビア導体
8 第1外部電極
9 第2外部電極
10 セラミックスグリーンシート
11 セラミックスグリーンシート
12 セラミックスグリーンシート
13 セラミックスグリーンシート
14 貫通孔
15 補助電極用セラミックスグリーンシート
15a 補助電極の最上層
15b 補助電極の中間層
15c 補助電極の最下層
16 第1空隙部
17 第2空隙部
Claims (13)
- 絶縁性セラミックス素体の内部に形成された空洞部と、該空洞部を介して互いに一部が対向するように形成された第1放電電極および第2放電電極と、前記空洞部に少なくとも一部が露出するとともに、前記第1放電電極および前記第2放電電極と電気的に接続するように形成された補助電極を有し、
前記第1放電電極および前記第2放電電極の少なくとも一方と、前記補助電極と、前記絶縁性セラミックス素体との境界領域の少なくとも一部に前記空洞部と分離した空隙部を設けてなる、ESD保護デバイス。 - 前記第1放電電極の端面を除く主表面と前記第2放電電極の端面を除く主表面は異なる平面上に位置する、請求項1記載のESD保護デバイス。
- 前記第1放電電極は第1ビア導体を含み、該第1ビア導体が前記空洞部に露出するように配置されている、請求項2記載のESD保護デバイス。
- 前記第1ビア導体と、前記補助電極と、前記絶縁性セラミックス素体との境界領域の少なくとも一部に空隙部を設けてなる、請求項3記載のESD保護デバイス。
- 前記第1放電電極は第1ビア導体を含み、前記第2放電電極は第2ビア導体を含み、該第1ビア導体と該第2ビア導体が前記空洞部に露出するとともに、互いに対向するように配置されている、請求項2記載のESD保護デバイス。
- 前記第1ビア導体と、前記補助電極と、前記絶縁性セラミックス素体との境界領域の少なくとも一部、および前記第2ビア導体と、前記補助電極と、前記絶縁性セラミックス素体との境界領域の少なくとも一部に空隙部を設けてなる、請求項5記載のESD保護デバイス。
- 前記補助電極が、前記空洞部となる貫通孔を有する円環形状を有し、前記絶縁性セラミックス素体の内部に配置されている、請求項1から6のいずれか1項に記載のESD保護デバイス。
- 前記補助電極の少なくとも一方の主面上に、少なくとも1つの空隙部が形成されている、請求項7記載のESD保護デバイス。
- 前記補助電極が、最上層、中間層および最下層からなる多層構造を有し、前記最上層および前記最下層の少なくとも一方の層は、前記中間層よりも難焼結性の材料を含む、請求項1から8のいずれか1項に記載のESD保護デバイス。
- 前記中間層は、前記最上層および前記最下層の少なくとも一方の層よりも導電性が高い、請求項9に記載のESD保護デバイス。
- 請求項1記載のESD保護デバイスの製造方法であって、
第1セラミックスグリーンシートと第2セラミックスグリーンシートの各セラミックスグリーンシートの一主面上に、それぞれ第1放電電極と第2放電電極を形成する工程と、
前記第1セラミックスグリーンシートと前記第2セラミックスグリーンシートよりは難焼結性の補助電極用セラミックスグリーンシートに空洞部となる貫通孔を形成する工程と、
第1放電電極と第2放電電極が前記貫通孔に露出するとともに、第1放電電極と第2放電電極とが前記貫通孔を介して一部が対向するように、補助電極用セラミックグリーンシートを挟んで第1セラミックスグリーンシート、第2セラミックスグリーンシートおよび補助電極用セラミックスグリーンシートを積層して積層体を形成する工程と、
該積層体を焼成する工程とを有する、該製造方法。 - 前記補助電極用セラミックスグリーンシートが、前記第1セラミックスグリーンシートおよび前記第2セラミックスグリーンシートよりも焼結温度の高い材料を含む請求項11記載の製造方法。
- 第1放電電極および/または第2放電電極と、前記補助電極用セラミックスグリーンシートとの間に空孔形成剤を挟んだ状態で第1セラミックスグリーンシート、第2セラミックスグリーンシートおよび前記補助電極用セラミックスグリーンシートを積層する、請求項12記載の製造方法。
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