JP5605413B2 - Esd保護デバイスとその製造方法 - Google Patents
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Description
2 第1の放電電極層
2a 第1の放電電極層の端面
2b 第1の放電電極層の主面
3 第2のセラミックグリーンシート
4 第2の放電電極層
4a 第2の放電電極層の端面
4b 第2の放電電極層の主面
6 セラミック素体
10 積層体
11 保護膜
12 外部電極
100 ESD保護デバイス
G 間隔
D 表面、分割面
Claims (2)
- セラミック素体と、
前記セラミック素体の内部に、間隔を設けて層状に対向するように配置された第1の放電電極層および第2の放電電極層と、
前記セラミック素体の表面上に形成され、前記第1の放電電極層または前記第2の放電電極層と電気的に接続された複数の外部電極とを備え、
前記第1の放電電極層および前記第2の放電電極層の端面が、前記第1の放電電極層と前記第2の放電電極層の間の前記セラミック素体の表面に対して突出しており、
前記第1の放電電極層および前記第2の放電電極層の突出した端面を覆うように、前記セラミック素体の表面上に、導体粒子および絶縁体材料を含む保護膜が形成されていることを特徴とするESD保護デバイス。 - 複数枚の第1のセラミックグリーンシートを準備する工程と、
少なくとも1枚の第2のセラミックグリーンシートを準備する工程と、
前記第2のセラミックグリーンシートよりも焼成収縮率が小さい放電電極層形成用ペーストを準備する工程と、
前記複数枚の第1のセラミックグリーンシートのうち、所定のものの一方主面上に、前記放電電極層形成用ペーストを塗布することにより、未焼成の第1の放電電極層を形成する工程と、
前記第1の放電電極層上に、少なくとも1枚の前記第2のセラミックグリーンシートを積層する工程と、
前記第1の放電電極層上に積層された前記第2のセラミックグリーンシート上に、前記放電電極層形成用ペーストを塗布することにより、未焼成の第2の放電電極層を形成する工程と、
前記第2の放電電極層上に、少なくとも1枚の前記第1のセラミックグリーンシートを積層し、圧着することにより、積層体を形成する工程と、
前記第1の放電電極層および前記第2の放電電極層の断面を含む面を分割面として、前記積層体を分割する工程と、
分割された前記積層体を焼成する工程と、
前記第1の放電電極層および前記第2の放電電極層の分割面を覆うように、前記積層体の表面上に、導体粒子および絶縁体材料を含む保護膜を形成する工程と、
分割された前記積層体の表面上に、前記第1の放電電極層または前記第2の放電電極層と電気的に接続された複数の外部電極を形成する工程と、
を備えていることを特徴とするESD保護デバイスの製造方法。
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