JP6270882B2 - 大きなメッシュの部分一括露光方式電子線リソグラフィ方法 - Google Patents
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Description
− ラインと間隔が等しい幅(1:1)を有する密集したネットワークに挿入された第1のライン;
− 間隔の幅がラインの幅の2倍に等しい(1:2)半密集したネットワークに挿入された第2のライン;
− 孤立ライン;
− 1セットの接触ポイント。
垂直な直線250は、方法の限界寸法を示す。
Claims (14)
- 樹脂被覆基板への少なくとも1つのブロックの投影のプロセスに基づいた照射リソグラフィ方法であって、前記ブロックを前記基板に投影すべき個々のセルに分割するステップと、照射源によって前記セルを形成するステップとを含み、前記個々のセルのメッシュを前記プロセスの最大アパーチャにより特定の寸法に合わせる方法であり、
エッチングすべき前記少なくとも一つのブロックの内側の領域内の個別のセルに、第1の照射エネルギー線量が付与され、
前記領域の端部の外側で、当該領域とストリップとの間に所定の間隔を取り、当該ストリップは、所定の幅を有し、当該所定の幅のストリップに第2の照射エネルギー線量が付与され、
前記照射エネルギーの線量は、
前記領域内で均一であること
を特徴とする方法。 - 照射エネルギーの線量が、前記少なくとも1つのブロックのすべての個々のセルについて、前記ブロックの端部近傍以外において均一である、請求項1に記載のリソグラフィ方法。
- 個々のセルの少なくとも1つの列が、エッチングすべき前記ブロックの端部の外側に位置する、請求項1に記載のリソグラフィ方法。
- エッチングすべき前記ブロックの端部近傍に位置していない個々のセルが隣接していない、請求項1に記載のリソグラフィ方法。
- 前記個々のセルの前記メッシュが、約1.6μm×1.6μmより約125%大きい、請求項1に記載のリソグラフィ方法。
- 請求項1に記載のリソグラフィ方法が、ブロック端部の外側に位置付けすべきショットの幅を計算するステップと、前記ブロックの前記端部上の線量調整を計算するステップと、前記ショットを前記ブロックの外側に位置付けするステップとをさらに含み、前記幅の計算と前記線量調整の計算が、工程エネルギー自由度に関する関数関係によって関連している、リソグラフィ方法。
- 前記ブロックの前記端部上の前記線量調整を計算する前記ステップが、前記照射エネルギーの線量と前記端部のパターンとの畳み込みによって前記線量を計算するサブステップを含む、請求項6に記載のリソグラフィ方法。
- 前記ブロックの前記端部上の前記線量調整を計算する前記ステップが、パラメータの表を呼び出すことにより前記線量を計算するサブステップを含む、請求項6に記載のリソグラフィ方法。
- 請求項7に記載のリソグラフィ方法が、前記ブロックの前記端部と、前記ブロックの外側に位置付けすべきショットとの間の少なくとも1つの間隔を計算するステップをさらに含む、リソグラフィ方法。
- ブロックの寸法が500μmと実質的に等しいことを特徴とする、請求項1に記載のリソグラフィ方法。
- 樹脂被覆基板への少なくとも1つのブロックの投影のプロセスに基づいた照射リソグラフィ方法を実行するように構成されたプログラムコード命令を含むコンピュータプログラムであって、前記プログラムをコンピュータ上で実行する場合、前記プログラムが、前記基板へ投影すべき個々のセルに前記ブロックを分割するモジュールと、照射源によって前記セルの形成を制御することができるモジュールとを含み、前記モジュールが前記プロセスの最大アパーチャによって決定した寸法への前記個々のセルの形成を制御することができる、コンピュータプログラムであり、
エッチングすべき前記少なくとも一つのブロックの内側の領域内の個別のセルに、第1の照射エネルギー線量が付与され、
前記領域の端部の外側で、当該領域とストリップとの間に所定の間隔を取り、当該ストリップは、所定の幅を有し、当該所定の幅のストリップに第2の照射エネルギー線量が付与され、
前記照射エネルギーの線量は、
前記領域内で均一であるようにコンピュータ上で実行されるコンピュータプログラム。 - 前記セルの前記形成を制御するための前記モジュールが、前記少なくとも1つのブロックのすべての前記個々のセルについて、前記ブロックの端部近傍以外において均一な前記照射エネルギーの線量を生成する、請求項11に記載のコンピュータプログラム。
- 請求項11に記載のコンピュータプログラムが、ブロック端部の外側に位置付けすべきショットの幅の計算および、前記ブロックの前記端部上の線量調整の計算を行うことができるモジュールと、前記ブロックの外側に前記ショットを位置付けすることができるモジュールとをさらに含み、前記幅の計算と前記線量調整の計算とが工程エネルギー自由度に関する関数関係によって関連している、コンピュータプログラム。
- 請求項11に記載のコンピュータプログラムが、前記ブロックの前記端部と前記ブロックの外側に位置付けすべきショットとの間の少なくとも1つの間隔の計算を行うことができるモジュールをさらに含む、コンピュータプログラム。
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