JP6260990B2 - 多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液及び該塗布液を用いた多成分系酸化物半導体膜の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液及び該塗布液を用いた多成分系酸化物半導体膜の製造方法に関する。
従来、薄膜トランジスタにおける半導体層には、アモルファスシリコンや多結晶シリコンなどのシリコン材料が使用されている。しかしながら、アモルファスシリコンは移動度が１ｃｍ2／Ｖｓ以下と低く、また、多結晶シリコンは大面積での成膜が困難であるという問題がある。
この問題を解決するため、大面積に成膜可能であり、かつ、アモルファスシリコンより優れた能力を有する多成分系酸化物材料を半導体層として用いた酸化物薄膜トランジスタの開発が盛んに行われている。
この問題を解決するため、大面積に成膜可能であり、かつ、アモルファスシリコンより優れた能力を有する多成分系酸化物材料を半導体層として用いた酸化物薄膜トランジスタの開発が盛んに行われている。
このような酸化物薄膜トランジスタの半導体層として、特に、酸化インジウム、酸化亜鉛及び酸化ガリウムを含む非晶質の酸化物膜（Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物材料（以下、「ＩＧＺＯ系酸化物材料」又は、単に「ＩＧＺＯ」とする。）は、可視光透過性を有し、かつ、その電気抵抗率が半導体的な値を示すことが知られている。
例えば、東京工業大学の細野らは、透明な非晶質ＩＧＺＯ膜をＰＥＴフィルム上に室温成膜が可能であるうえ、非晶質シリコンと同等以上の移動度を達成することができることを報告しており（非特許文献１）、良好な薄膜トランジスタ特性を示す材料として注目されている。
例えば、東京工業大学の細野らは、透明な非晶質ＩＧＺＯ膜をＰＥＴフィルム上に室温成膜が可能であるうえ、非晶質シリコンと同等以上の移動度を達成することができることを報告しており（非特許文献１）、良好な薄膜トランジスタ特性を示す材料として注目されている。
従来、酸化物膜の成膜方法としては、スパッタリング、ＰＬＤ（パルスレーザーデポジション）、蒸着等の物理的な成膜法、及びゾルゲル法等の化学的な成膜法が用いられている。
しかしながら、スパッタリング、ＰＬＤ（パルスレーザーデポジション）及び蒸着等は、設備投資にコストがかかるうえ、複雑な形状や大面積への成膜が困難であるという問題があるため、高価な設備を必要とせず、簡便、低温、大気圧下成膜が可能な溶液プロセスで酸化物膜を形成することが好ましい。
しかしながら、スパッタリング、ＰＬＤ（パルスレーザーデポジション）及び蒸着等は、設備投資にコストがかかるうえ、複雑な形状や大面積への成膜が困難であるという問題があるため、高価な設備を必要とせず、簡便、低温、大気圧下成膜が可能な溶液プロセスで酸化物膜を形成することが好ましい。
この溶液プロセスの１つであるゾルゲル法は、酸化物半導体の前駆体として、加熱または酸化的な分解により金属酸化物半導体に転化する材料を用いるものであり、金属の硝酸塩、金属のハロゲン化物、或いは金属アルコキシド溶液等が酸化物半導体の前駆体として用いられる。そして、これらの酸化物半導体の前駆体を溶媒に溶解した溶液を用い、基板上に、ディップコーティング法、又はスプレイ法、スピンコーティング法等により薄膜を形成し、該薄膜を加熱或いは酸化的な分解により半導体に変換するものである。
例えば、非特許文献２には、ＩＧＺＯを用いた薄膜トランジスタにおいて、前駆体である硝酸インジウム、硝酸ガリウム、及び硝酸亜鉛を、溶剤である２−メトキシエタノール及び安定剤であるモノエタノールアミンに混合し、６０℃で２時間攪拌して均一な溶液とし、これをＳｉＯ2層が形成されたシリコンウェハ上にスピン塗布したことが記載されている。
同様に、非特許文献３にも、ＩＧＺＯを用いた薄膜トランジスタにおいて、硝酸インジウム、硝酸ガリウム、及び硝酸亜鉛を、これらの前駆体の溶解性を改良する安定剤としてのモノエタノールアミンを用いて、メトキシエタノールに溶解させてゾル−ゲル溶液として、スピン塗布したことが記載されている。
同様に、非特許文献３にも、ＩＧＺＯを用いた薄膜トランジスタにおいて、硝酸インジウム、硝酸ガリウム、及び硝酸亜鉛を、これらの前駆体の溶解性を改良する安定剤としてのモノエタノールアミンを用いて、メトキシエタノールに溶解させてゾル−ゲル溶液として、スピン塗布したことが記載されている。
また、特許文献１にも、薄膜トランジスタ及びその製造方法が記載され、実施例には、硝酸インジウム、硝酸ガリウム、硝酸亜鉛を金属比率で１：１：１となるよう混合して１０質量％水／エタノール（９／１）溶液としたものをインクとして、支持体を１００℃に加熱した状態で、インクジェット装置にてインクを吐出することで、半導体の前駆体材料薄膜を形成したこと、ガラス基板の裏面側からマイクロ波を照射して酸化物半導体に変換したことが記載されている。
また、同様の酸化物前駆体を用いて、酸化物の微粒子を製造する方法も知られており、たとえば、非特許文献４には、Ｙ2Ｏ2Ｓ赤色蛍光体粉末を、化学的な溶液法で製造する方法に関し、硝酸イットリウム及び硝酸ユーロピウムの水溶液に、尿素（沈殿剤）とグリコール類を加えて加熱し、尿素の熱分解によるｐＨの上昇による金属塩の水酸化物化と、水の蒸発による当該水酸化物の沈殿を促し、当該水酸化物の微粒子を得る合成法が記載されている。
また、特許文献２では、１種又は２種以上の金属又は半金属のイオンを含む水溶液と、該水溶液のｐＨを上昇又は下降させ得る剤とを混合して、該金属又は半金属を含む含酸素化合物を生じさせ、水と有機溶剤とを溶媒置換して、該含酸素化合物を含む有機分散液を得、これを加熱して、酸化物の微粒子を含む高濃度の有機分散液を製造することが記載され、該有機分散液を用いてインクジェットインク等の各種インク或いはペーストとして用いることが記載されている。
また、特許文献２では、１種又は２種以上の金属又は半金属のイオンを含む水溶液と、該水溶液のｐＨを上昇又は下降させ得る剤とを混合して、該金属又は半金属を含む含酸素化合物を生じさせ、水と有機溶剤とを溶媒置換して、該含酸素化合物を含む有機分散液を得、これを加熱して、酸化物の微粒子を含む高濃度の有機分散液を製造することが記載され、該有機分散液を用いてインクジェットインク等の各種インク或いはペーストとして用いることが記載されている。
Nature，432(2004) 488-492
J．H．Choi et al.，J．Kor．Phys．Soc.，2010，57，1836-1841
D．Kim etal.，Appl．Phys．Lett.，2009，95，103501.
Y．Kawahara，et al.，Chem．Mater．2006，18，6303-6307.
前記特許文献１、２に記載されているように、インクジェット法等の印刷方法を用いた場合には、酸化物半導体膜を必要な部分だけに形成（パターン化）することができるばかりでなく、フレキシブルな基材への成膜が可能となる。
こうした印刷方法には、インクジェット法以外にも各種の方式が知られているが、印刷方式により用いられるインクの粘度は大きく異なっている。
たとえば、前記のインクジェット法におけるインクの粘度は、「０.５〜１００ｍＰａ・ｓ」であり、さらに、反転法やマイクロコンタクトプリントでは、それぞれ「０.０１Ｐａ・ｓ以下」及び「０.３Ｐａ・ｓ以下」と低粘度のインクが用いられる。
しかしながら、グラビア印刷法及びフレキソ印刷法では、それぞれインクの粘度は「０.０３〜０.２Ｐａ・ｓ」及び「０.１〜０.２Ｐａ・ｓ」と、中程度の粘度が要求される。さらに、スクリーン印刷法、及びオフセット印刷法では、インクには、ぞれぞれ「２〜１０Ｐａ・ｓ」及び「１０〜８０Ｐａ・ｓ」という、高い粘度が要求される。
こうした印刷方法には、インクジェット法以外にも各種の方式が知られているが、印刷方式により用いられるインクの粘度は大きく異なっている。
たとえば、前記のインクジェット法におけるインクの粘度は、「０.５〜１００ｍＰａ・ｓ」であり、さらに、反転法やマイクロコンタクトプリントでは、それぞれ「０.０１Ｐａ・ｓ以下」及び「０.３Ｐａ・ｓ以下」と低粘度のインクが用いられる。
しかしながら、グラビア印刷法及びフレキソ印刷法では、それぞれインクの粘度は「０.０３〜０.２Ｐａ・ｓ」及び「０.１〜０.２Ｐａ・ｓ」と、中程度の粘度が要求される。さらに、スクリーン印刷法、及びオフセット印刷法では、インクには、ぞれぞれ「２〜１０Ｐａ・ｓ」及び「１０〜８０Ｐａ・ｓ」という、高い粘度が要求される。
しかしながら、前記非特許文献２、３に記載されているゾルゲル法に用いる塗布液について、発明者らが文献に記載のとおりに調製してその粘度を測定したところ、粘度が５ｍＰａ・ｓ程度であり、インクジェット法などの低粘度のインクが用いられる印刷方法には適用可能であるが、中程度の粘度から高い粘度が必要な印刷法での成膜・パターンニングを行うことが困難である。
本発明は、こうした現状を鑑みてなされたものであって、スクリーン印刷、転写印刷など高い粘度が必要な印刷法、或いは中程度の粘度が必要なグラビア印刷、フレキソ印刷などの印刷法によって成膜又はパターンニングが可能で、かつ塗布後の焼成によって優れた半導体電気特性を有する多成分系酸化物半導体膜を得ることが可能な多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液を提供することを目的とするものである。
本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意研究を重ねた結果、塩基性を示すアミンおよび酸素を含む有機溶媒を主たる液体成分に用いて分子間での水素結合を引き起こすことによって、塗布液の粘度を上げることができることを見いだした。
本発明はこれらの知見に基づいて完成に至ったものであり、本発明によれば、以下の発明が提供される。
［１］複数の金属の塩及び尿素を水に溶解した水溶液に、主たる有機溶剤としてヒドロキシ基を有するアミン又は含酸素複素環式アミンを加えて攪拌した後、常圧で１００℃以上に加熱して得られたものであることを特徴とする多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液。
［２］前記複数の金属の塩が、インジウム、ガリウム、及び亜鉛の塩である[１]に記載の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液。
［３］前記主たる有機溶媒は、常圧での沸点が、１００〜３００℃であることを特徴とする、[１]又は[２]に記載の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液。
［４］前記の各塩が、いずれも７０℃以下の水に溶解することを特徴とする、[１]〜[３]のいずれかに記載の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液。
［５］前記の各塩が、硝酸塩であることを特徴とする、[１]〜[４]のいずれかに記載の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液。
［６］室温での粘度が０.５Ｐａ・ｓ以上であることを特徴とする[１]〜[５]のいずれかに記載の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液。
［７］常圧で、３５０℃以上、３０分以上の加熱により、質量の７０％以上が減少することを特徴とする、[１]〜[６]のいずれかに記載の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液。
［８］[１]〜[７]のいずれかに記載の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液を用いて、薄膜を形成し、該薄膜を常圧で、３５０℃以上、３０分以上加熱して、酸化物半導体に変換することを特徴とする多成分系酸化物半導体膜の製造方法。
［９］[１]〜[７]のいずれかに記載の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液を用いて、基板表面に塗布膜を形成し、該薄膜を常圧で、マイクロ波照射による加熱をして、酸化物半導体に変換することを特徴とする多成分系酸化物半導体膜の製造方法。
［１］複数の金属の塩及び尿素を水に溶解した水溶液に、主たる有機溶剤としてヒドロキシ基を有するアミン又は含酸素複素環式アミンを加えて攪拌した後、常圧で１００℃以上に加熱して得られたものであることを特徴とする多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液。
［２］前記複数の金属の塩が、インジウム、ガリウム、及び亜鉛の塩である[１]に記載の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液。
［３］前記主たる有機溶媒は、常圧での沸点が、１００〜３００℃であることを特徴とする、[１]又は[２]に記載の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液。
［４］前記の各塩が、いずれも７０℃以下の水に溶解することを特徴とする、[１]〜[３]のいずれかに記載の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液。
［５］前記の各塩が、硝酸塩であることを特徴とする、[１]〜[４]のいずれかに記載の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液。
［６］室温での粘度が０.５Ｐａ・ｓ以上であることを特徴とする[１]〜[５]のいずれかに記載の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液。
［７］常圧で、３５０℃以上、３０分以上の加熱により、質量の７０％以上が減少することを特徴とする、[１]〜[６]のいずれかに記載の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液。
［８］[１]〜[７]のいずれかに記載の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液を用いて、薄膜を形成し、該薄膜を常圧で、３５０℃以上、３０分以上加熱して、酸化物半導体に変換することを特徴とする多成分系酸化物半導体膜の製造方法。
［９］[１]〜[７]のいずれかに記載の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液を用いて、基板表面に塗布膜を形成し、該薄膜を常圧で、マイクロ波照射による加熱をして、酸化物半導体に変換することを特徴とする多成分系酸化物半導体膜の製造方法。
本発明の塗布液は、高粘度化を実現でき、さらに簡単な溶媒希釈によって低粘度にすることもできるため、あらゆる印刷手法をカバーできる。また、塗布後の焼成膜が好ましい半導体特性を有していることから、プリンテッドエレクトロニクス、ディスプレイ、センサ、タッチパネル、デジタルサイネージ、スマート建材等の各種電子デバイス作製に利用することができる。
本発明の塗布液は、複数の金属の塩及び尿素を溶解した水溶液に、主たる有機溶剤としてヒドロキシル基を有するアミン又は含酸素複素環式アミンを加えて、攪拌しながら、常圧で１００℃以上に加熱することによって得られるものであって、加熱により水が蒸発し、粘調なペースト状の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液が得られるものである。
本発明においては、上記の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液を用いて薄膜を形成した後、該薄膜を加熱することにより薄膜に含有されている前駆体を多成分系酸化物半導体に変換し、多成分系酸化物半導体膜を形成するものであり、本発明の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液を用いた多成分系酸化物半導体膜の形成方法は、前述のインジウム、ガリウム及び亜鉛を含有するＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系酸化物半導体をはじめとする各種の多成分系酸化物半導体膜に適用することができる。
本発明において、多成分系酸化物半導体の前駆体を含有する薄膜を、各種印刷法により形成するためには、常温で０.５Ｐａ・ｓ以上、好ましくは２〜１０Ｐａ・ｓの高粘度にすることができ、且つ、分散性が高いものを用いることが必要であるが、そのためには主たる有機溶剤が重要であって、ヒドロキシル基を有するアミン又は含酸素複素環式アミンを用いることにより、これらの目的を達成することができることを見出したものである。
また、前駆体を含有する塗布液を印刷した後に焼成して多成分系酸化物半導体としての機能を発現させるため、すなわち、キャリア移動度が大きく、薄膜トランジスタとしたときｏｎ／ｏｆｆ比の大きいものを得るためには、主たる有機溶媒としては、沸点が１００℃以上３００℃以下であることが必要であり、ヒドロキシル基を有するアミン又は含酸素複素環式アミンとしては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミンなどのアルコールアミン類や、モルホリン、４−メチルモルホリンなどが望ましい。
本発明において、前記前駆体の分散液を調整するために、複数の金属の塩（以下、「出発物質」ということもある。）の水溶液を用いるが、キャリア移動度の大きく、薄膜トランジスタとしたときｏｎ／ｏｆｆ比の大きい良好な特性を示す多成分系酸化物半導体を得るためは、出発物質として、硝酸塩、硫酸塩、燐酸塩、炭酸塩、酢酸塩または蓚酸塩から選ばれる金属塩を用いることが好ましく、金属塩の中でも硝酸塩が最も好ましい。具体的には、例えば、インジウム、ガリウム及び亜鉛を含有する多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液である場合には、出発物質として、硝酸インジウム、硝酸亜鉛、硝酸ガリウムが用いられる。なお、出発物質に含まれる複数の金属の塩の金属種は、インジウム、ガリウム、亜鉛の他にも最終的に多成分系酸化物半導体となる種類の組み合わせであればよい。
本発明において用いる水の量は、出発物質であるインジウム塩、ガリウム塩、亜鉛塩をすべて溶解できる量であればよく、出発物質の各塩の合計の濃度が水に対して０.１０ｍｏｌ／Ｌ以上となる量、好ましくは０.３３ｍｏｌ／Ｌとなる量である。
本発明において用いる水の量は、出発物質であるインジウム塩、ガリウム塩、亜鉛塩をすべて溶解できる量であればよく、出発物質の各塩の合計の濃度が水に対して０.１０ｍｏｌ／Ｌ以上となる量、好ましくは０.３３ｍｏｌ／Ｌとなる量である。
本発明においては、出発物質であるインジウム塩、ガリウム塩、亜鉛塩等の複数の塩を水溶液とした後、前記有機溶剤を加えてゾルを形成させるが、出発物質の水溶液中に、沈殿剤としての尿素を混合しておく。尿素の混合により、有機溶剤を添加した際に、出発物質であるインジウム塩、ガリウム塩、亜鉛塩等は金属水酸化物に変化して、より均一なゾルを形成することが可能となる。
本発明における尿素の添加量は、出発物質であるインジウム塩、ガリウム塩、亜鉛塩を合計した量に対して８当量以上、好ましくは１０当量である。
本発明における尿素の添加量は、出発物質であるインジウム塩、ガリウム塩、亜鉛塩を合計した量に対して８当量以上、好ましくは１０当量である。
本発明においては、出発物質であるインジウム塩、ガリウム塩、亜鉛塩及び尿素に水を加えた後、攪拌しながら、均一な溶液とする。得られた溶液に前記の主たる有機溶剤を添加すると白濁した状態となるが、強く攪拌しながら、１００℃以上、好ましくは１００℃と前記主たる有機溶媒の沸点の間の温度で加熱すると、水、或いは水と有機溶剤の一部が蒸発除去されて、透明ないしは半透明なペーストが得られる。
本発明において、常温で０.５Ｐａ・ｓ以上、好ましくは２〜１０Ｐａ・ｓの高粘度を得ることが必要であり、そのために、各塩の合計の濃度が主たる有機溶媒に対して０.２ｍｏｌ／Ｌ以上であることが望ましい。
また、本発明では、本発明の塗布液を、用いた有機溶剤で希釈することにより、インクジェット法、反転法、マイクロコンタクトプリント法などの低粘度のインクが用いられる印刷方法に用いることが可能となる。
本発明において、常温で０.５Ｐａ・ｓ以上、好ましくは２〜１０Ｐａ・ｓの高粘度を得ることが必要であり、そのために、各塩の合計の濃度が主たる有機溶媒に対して０.２ｍｏｌ／Ｌ以上であることが望ましい。
また、本発明では、本発明の塗布液を、用いた有機溶剤で希釈することにより、インクジェット法、反転法、マイクロコンタクトプリント法などの低粘度のインクが用いられる印刷方法に用いることが可能となる。
本発明の多成分系酸化物半導体の前駆体を含有する塗布液を用いて、基材上に印刷し、多成分系酸化物半導体の前駆体を含有する膜を成膜する。
成膜ないしパターン形成される膜の好ましい膜厚は、多成分系酸化物半導体を必要とするデバイスにより異なるが、印刷方法を選択することにより、好ましい膜厚とすることができる。例えば、スピンコートでは通常２０〜２００ｎｍの膜が成膜されるが、スクリーン印刷法を用いれば、スクリーン版の乳剤厚程度の膜を成膜ないしパターン形成することができる。
成膜ないしパターン形成される膜の好ましい膜厚は、多成分系酸化物半導体を必要とするデバイスにより異なるが、印刷方法を選択することにより、好ましい膜厚とすることができる。例えば、スピンコートでは通常２０〜２００ｎｍの膜が成膜されるが、スクリーン印刷法を用いれば、スクリーン版の乳剤厚程度の膜を成膜ないしパターン形成することができる。
膜に含有される前駆体を多成分系酸化物半導体に変換する方法としては、電気炉中での加熱方法が簡便な方法として最もよく用いられるが、この場合、加熱温度は基材の耐熱温度や主たる有機溶媒の沸点および分解点を鑑みて３５０〜４５０℃で適宜設定できる。また、加熱時間は基材上に成膜された多成分系酸化物半導体の前駆体の薄膜の膜厚によって制御されることが好ましく、例えば膜厚が５０ｎｍ以下であれば３０分程度が望ましい。また、昇温速度は、いずれの膜厚においても１０℃／分程度が望ましい。
また、膜に含有される前駆体を多成分系酸化物半導体に変換する他の方法として、電磁波であるマイクロ波を照射する方法がある。この方法は、材料特異的かつ急速な加熱が特徴であり、短時間の照射で基材へのダメージを抑制できる有効な方法である。とりわけ、マイクロ波の周波数が２.４５ＧＨｚ、ＴＥ１０３と呼ばれる導波モードで照射される場合、照射装置内の電場あるいは磁場が最大となる位置で前駆体へ照射を行うと、概ね１００Ｗ以下の出力および１０分以内に、前駆体から酸化物半導体へ変換される。また、前駆体に含有される金属塩の比率によっては１００Ｗ以下で５分以内に酸化物の結晶を含む膜を形成することが可能である。
以下、本発明を実施例に基づいて説明するが、本発明はこの実施例に限定されるものではない。
（実施例１）
ビーカーに、硝酸インジウム三水和物（Ｉｎ(ＮＯ3)2・３Ｈ2Ｏ）２.１３ｇ（６ｍｍｏｌ）、硝酸ガリウム八水和物（Ｇａ(ＮＯ3)2・８Ｈ2Ｏ）０.４０ｇ（１ｍｍｏｌ）、硝酸亜鉛六水和物（Ｚｎ(ＮＯ3)2・６Ｈ2Ｏ）０.８９ｇ（３ｍｍｏｌ）、及び尿素６.０１ｇ（１００ｍｍｏｌ）を加えて水３０ｍＬに溶解した後、ジエタノールアミン３０ｍＬを添加し、白濁した状態のものを撹拌しながら、１１０〜１１０℃で５時間加熱することにより、水が蒸発し、淡黄色透明なペーストを約３０ｍＬ得た。図１は、得られたペーストをガラス瓶に入れた状態を撮影した写真である。
得られたペーストの粘度を、回転粘度計（ＴＶ−２２，東機産業製）を用いて室温で測定したところ、２.７Ｐａ・ｓの粘度が得られた。
また、示差熱熱重量同時測定装置（ＴＧ／ＤＴＡ６２００，ＳＩＩ）で加熱による質量および熱量変化を測定した結果を図２に示す。図から明らかなように、２８４℃の加熱で質量（一点鎖線）の約８６％が減少しており、焼成によって塗布液に含まれる有機成分を除去できることを示している。これは半導体特性の発現につながるものである。
（実施例１）
ビーカーに、硝酸インジウム三水和物（Ｉｎ(ＮＯ3)2・３Ｈ2Ｏ）２.１３ｇ（６ｍｍｏｌ）、硝酸ガリウム八水和物（Ｇａ(ＮＯ3)2・８Ｈ2Ｏ）０.４０ｇ（１ｍｍｏｌ）、硝酸亜鉛六水和物（Ｚｎ(ＮＯ3)2・６Ｈ2Ｏ）０.８９ｇ（３ｍｍｏｌ）、及び尿素６.０１ｇ（１００ｍｍｏｌ）を加えて水３０ｍＬに溶解した後、ジエタノールアミン３０ｍＬを添加し、白濁した状態のものを撹拌しながら、１１０〜１１０℃で５時間加熱することにより、水が蒸発し、淡黄色透明なペーストを約３０ｍＬ得た。図１は、得られたペーストをガラス瓶に入れた状態を撮影した写真である。
得られたペーストの粘度を、回転粘度計（ＴＶ−２２，東機産業製）を用いて室温で測定したところ、２.７Ｐａ・ｓの粘度が得られた。
また、示差熱熱重量同時測定装置（ＴＧ／ＤＴＡ６２００，ＳＩＩ）で加熱による質量および熱量変化を測定した結果を図２に示す。図から明らかなように、２８４℃の加熱で質量（一点鎖線）の約８６％が減少しており、焼成によって塗布液に含まれる有機成分を除去できることを示している。これは半導体特性の発現につながるものである。
（実施例２）
ビーカーに、硝酸インジウム三水和物（Ｉｎ(ＮＯ3)2・３Ｈ2Ｏ）２.１３ｇ（６ｍｍｏｌ）、硝酸ガリウム八水和物（Ｇａ(ＮＯ3)2・８Ｈ2Ｏ）０.４０ｇ（１ｍｍｏｌ）、硝酸亜鉛六水和物（Ｚｎ(ＮＯ3)2・６Ｈ2Ｏ）０.８９ｇ（３ｍｍｏｌ）、及び尿素６.０１ｇ（１００ｍｍｏｌ）を加えて水３０ｍＬに溶解した後、モノエタノールアミン３０ｍＬを添加し、白濁した状態のものを撹拌しながら、１１０〜１１０℃で２時間加熱することにより、水及びモノエタノールアミンの一部が蒸発し、山吹色のペーストを約２０ｍＬ得た。図３は、得られたペーストをガラス瓶に入れた状態を撮影した写真である。
得られたペーストの粘度を、回転粘度計（ＴＶ−２２，東機産業製）を用いて室温で測定したところ、０.６２Ｐａ・ｓの粘度が得られた。
また、示差熱熱重量同時測定装置（ＴＧ／ＤＴＡ６２００，ＳＩＩ）で加熱による質量および熱量変化を測定した結果を図４に示す。図から明らかなように、２４０℃以下の加熱で質量（一点鎖線）の約９０％が減少しており、焼成によって塗布液に含まれる有機成分を除去できることを示している。これは半導体特性の発現につながるものである。
ビーカーに、硝酸インジウム三水和物（Ｉｎ(ＮＯ3)2・３Ｈ2Ｏ）２.１３ｇ（６ｍｍｏｌ）、硝酸ガリウム八水和物（Ｇａ(ＮＯ3)2・８Ｈ2Ｏ）０.４０ｇ（１ｍｍｏｌ）、硝酸亜鉛六水和物（Ｚｎ(ＮＯ3)2・６Ｈ2Ｏ）０.８９ｇ（３ｍｍｏｌ）、及び尿素６.０１ｇ（１００ｍｍｏｌ）を加えて水３０ｍＬに溶解した後、モノエタノールアミン３０ｍＬを添加し、白濁した状態のものを撹拌しながら、１１０〜１１０℃で２時間加熱することにより、水及びモノエタノールアミンの一部が蒸発し、山吹色のペーストを約２０ｍＬ得た。図３は、得られたペーストをガラス瓶に入れた状態を撮影した写真である。
得られたペーストの粘度を、回転粘度計（ＴＶ−２２，東機産業製）を用いて室温で測定したところ、０.６２Ｐａ・ｓの粘度が得られた。
また、示差熱熱重量同時測定装置（ＴＧ／ＤＴＡ６２００，ＳＩＩ）で加熱による質量および熱量変化を測定した結果を図４に示す。図から明らかなように、２４０℃以下の加熱で質量（一点鎖線）の約９０％が減少しており、焼成によって塗布液に含まれる有機成分を除去できることを示している。これは半導体特性の発現につながるものである。
（実施例３）
ビーカーに、硝酸インジウム三水和物（Ｉｎ(ＮＯ3)2・３Ｈ2Ｏ）２.１３ｇ（６ｍｍｏｌ）、硝酸ガリウム八水和物（Ｇａ(ＮＯ3)2・８Ｈ2Ｏ）０.４０ｇ（１ｍｍｏｌ）、硝酸亜鉛六水和物（Ｚｎ(ＮＯ3)2・６Ｈ2Ｏ）０.８９ｇ（３ｍｍｏｌ）、及び尿素６.０１ｇ（１００ｍｍｏｌ）を加えて水３０ｍＬに溶解した後、モルホリン３０ｍＬを添加し、白濁した状態のものを撹拌しながら、１３０〜１４０℃で２時間加熱することにより、水及びモルホリンの一部が蒸発し、山吹色半透明の高粘度のペーストを約１０ｍＬ得た。図５は、得られた塗布液をガラス瓶に入れた状態を撮影した写真である。
得られたペースト状塗布液の粘度を、回転粘度計（ＴＶ−２２，東機産業製）を用いて室温で測定したところ、５５６Ｐａ・ｓの粘度が得られた。
また、示差熱熱重量同時測定装置（ＴＧ／ＤＴＡ６２００，ＳＩＩ）で加熱による質量および熱量変化を測定した結果を図６に示す。図から明らかなように、３０５℃以下の加熱で質量（一点鎖線）が約８６％減少しており、焼成によって塗布液に含まれる有機成分を除去できることを示している。これは半導体特性の発現につながる。
ビーカーに、硝酸インジウム三水和物（Ｉｎ(ＮＯ3)2・３Ｈ2Ｏ）２.１３ｇ（６ｍｍｏｌ）、硝酸ガリウム八水和物（Ｇａ(ＮＯ3)2・８Ｈ2Ｏ）０.４０ｇ（１ｍｍｏｌ）、硝酸亜鉛六水和物（Ｚｎ(ＮＯ3)2・６Ｈ2Ｏ）０.８９ｇ（３ｍｍｏｌ）、及び尿素６.０１ｇ（１００ｍｍｏｌ）を加えて水３０ｍＬに溶解した後、モルホリン３０ｍＬを添加し、白濁した状態のものを撹拌しながら、１３０〜１４０℃で２時間加熱することにより、水及びモルホリンの一部が蒸発し、山吹色半透明の高粘度のペーストを約１０ｍＬ得た。図５は、得られた塗布液をガラス瓶に入れた状態を撮影した写真である。
得られたペースト状塗布液の粘度を、回転粘度計（ＴＶ−２２，東機産業製）を用いて室温で測定したところ、５５６Ｐａ・ｓの粘度が得られた。
また、示差熱熱重量同時測定装置（ＴＧ／ＤＴＡ６２００，ＳＩＩ）で加熱による質量および熱量変化を測定した結果を図６に示す。図から明らかなように、３０５℃以下の加熱で質量（一点鎖線）が約８６％減少しており、焼成によって塗布液に含まれる有機成分を除去できることを示している。これは半導体特性の発現につながる。
（実施例４）
実施例１で製造されたペーストを用いて、スクリーン印刷法によりＳｉＯ2膜付きのシリコンウェハ上に薄膜パターンを形成した。用いたスクリーン版は、メッシュカウントが１インチあたり５００本、線径が１６μｍ、紗厚が２０μｍ、乳剤厚が１０μｍで、東京プロセス工業社製の手刷りスクリーン印刷機（Ｔ−３２０−２３）を用いた。
図７は、形成された薄膜パターンを撮影した写真である。
実施例１で製造されたペーストを用いて、スクリーン印刷法によりＳｉＯ2膜付きのシリコンウェハ上に薄膜パターンを形成した。用いたスクリーン版は、メッシュカウントが１インチあたり５００本、線径が１６μｍ、紗厚が２０μｍ、乳剤厚が１０μｍで、東京プロセス工業社製の手刷りスクリーン印刷機（Ｔ−３２０−２３）を用いた。
図７は、形成された薄膜パターンを撮影した写真である。
（実施例５）
実施例１で製造されたペーストを、３００ｎｍのＳｉＯ２膜付きのシリコンウェハ表面に１８０ｎｍの膜厚で塗布し、４５０℃で３０分オーブン中にて大気雰囲気での焼成を行った。焼成後、Ｘ線回折を行ったところ、図８に示すとおり、アモルファス相であることを示す結果が得られた。なお、図中の５２°付近のシャープなピークは、基板由来のものである。
次いで、焼成後の膜上に、半導体特性測定用電極の金を蒸着し（チャネル長５０μｍ、チャネル幅５００μｍ）、薄膜トランジスタ特性を計測した。図９は、測定結果を示す図である。
左のＶｇ−Ｉｄ特性におけるＩｄの波形は、半導体としての性能を有する場合に特徴的な曲線を示している。また、この曲線から計算によって得られる飽和移動度は０.０１１ｃｍ2／Ｖ・ｇ、ｏｎ／ｏｆｆ比は６.４５×１０4であり、半導体としての特性を有することがわかる。
この結果、本発明で得られた高粘度の塗布液を用いれば、有機成分を除去できる温度で加熱することによって半導体特性が得られることがわかった。
実施例１で製造されたペーストを、３００ｎｍのＳｉＯ２膜付きのシリコンウェハ表面に１８０ｎｍの膜厚で塗布し、４５０℃で３０分オーブン中にて大気雰囲気での焼成を行った。焼成後、Ｘ線回折を行ったところ、図８に示すとおり、アモルファス相であることを示す結果が得られた。なお、図中の５２°付近のシャープなピークは、基板由来のものである。
次いで、焼成後の膜上に、半導体特性測定用電極の金を蒸着し（チャネル長５０μｍ、チャネル幅５００μｍ）、薄膜トランジスタ特性を計測した。図９は、測定結果を示す図である。
左のＶｇ−Ｉｄ特性におけるＩｄの波形は、半導体としての性能を有する場合に特徴的な曲線を示している。また、この曲線から計算によって得られる飽和移動度は０.０１１ｃｍ2／Ｖ・ｇ、ｏｎ／ｏｆｆ比は６.４５×１０4であり、半導体としての特性を有することがわかる。
この結果、本発明で得られた高粘度の塗布液を用いれば、有機成分を除去できる温度で加熱することによって半導体特性が得られることがわかった。
（実施例６）
硝酸インジウム三水和物（Ｉｎ(ＮＯ3)2・３Ｈ2Ｏ）１０.７ｇ（３０ｍｍｏｌ）、硝酸ガリウムｎ水和物（Ｇａ(ＮＯ3)2・８Ｈ2Ｏ）２.００ｇ（５ｍｍｏｌ）、硝酸亜鉛六水和物（Ｚｎ(ＮＯ3)2・６Ｈ2Ｏ）４.４５ｇ（１５ｍｍｏｌ）、尿素３０ｇ（５００ｍｍｏｌ）を加えて水５０ｍＬに溶解した後、ジエタノールアミンを６０ｍＬ添加し撹拌しながら加熱することにより得た多成分系酸化物半導体塗布材料を酸化膜付シリコンウェハ上に、実施例４と同様にしてスクリーン印刷し、富士電波工機社製のマイクロ波照射装置（FSU201VP-02）を使用して、２.４５ＧＨｚ，ＴＥ１０３モードで６０Ｗの出力でこのスクリーン印刷体にマイクロ波を３分照射したところ、図１０に示すＸ線回折パターンが得られた。得られたピークのフィッティング解析を行ったところ、酸化インジウム結晶が含まれることが確認された。なお、図中の●は、ICDD pdf cardデータベースとフィッティング解析によって同定した酸化インジウム結晶相のピークを示す。
実施例５で得られたＸ線回折パターンを示す図８と比較すると、オーブン加熱ではアモルファス相であることを示すスペクトルが観察されたのに対し、マイクロ波加熱では、結晶化が観察され、短時間で効率的に焼成ができるとことが分かる。
硝酸インジウム三水和物（Ｉｎ(ＮＯ3)2・３Ｈ2Ｏ）１０.７ｇ（３０ｍｍｏｌ）、硝酸ガリウムｎ水和物（Ｇａ(ＮＯ3)2・８Ｈ2Ｏ）２.００ｇ（５ｍｍｏｌ）、硝酸亜鉛六水和物（Ｚｎ(ＮＯ3)2・６Ｈ2Ｏ）４.４５ｇ（１５ｍｍｏｌ）、尿素３０ｇ（５００ｍｍｏｌ）を加えて水５０ｍＬに溶解した後、ジエタノールアミンを６０ｍＬ添加し撹拌しながら加熱することにより得た多成分系酸化物半導体塗布材料を酸化膜付シリコンウェハ上に、実施例４と同様にしてスクリーン印刷し、富士電波工機社製のマイクロ波照射装置（FSU201VP-02）を使用して、２.４５ＧＨｚ，ＴＥ１０３モードで６０Ｗの出力でこのスクリーン印刷体にマイクロ波を３分照射したところ、図１０に示すＸ線回折パターンが得られた。得られたピークのフィッティング解析を行ったところ、酸化インジウム結晶が含まれることが確認された。なお、図中の●は、ICDD pdf cardデータベースとフィッティング解析によって同定した酸化インジウム結晶相のピークを示す。
実施例５で得られたＸ線回折パターンを示す図８と比較すると、オーブン加熱ではアモルファス相であることを示すスペクトルが観察されたのに対し、マイクロ波加熱では、結晶化が観察され、短時間で効率的に焼成ができるとことが分かる。
Claims (9)
- 複数の金属の塩及び尿素を水に溶解した水溶液に、主たる有機溶剤としてヒドロキシ基を有するアミン又は含酸素複素環式アミンを加えて攪拌しながら、常圧で１００℃以上に加熱して多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液を製造する多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液の製造方法。
- 前記複数の金属の塩が、インジウム、ガリウム、及び亜鉛の塩である請求項１に記載の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液の製造方法。
- 前記主たる有機溶媒は、常圧での沸点が、１００〜３００℃であることを特徴とする、請求項１又は２に記載の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液の製造方法。
- 前記の各塩が、いずれも７０℃以下の水に溶解することを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液の製造方法。
- 前記の各塩が、硝酸塩であることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液の製造方法。
- ヒドロキシ基を有するアミン又は含酸素複素環式アミン、尿素、及び、複数の金属塩に由来する物質を含み、室温での粘度が０.５Ｐａ・ｓ以上であることを特徴とする、多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液。
- 常圧で、３５０℃以上、３０分以上の加熱により、質量の７０％以上が減少することを特徴とする、請求項６に記載の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液。
- 請求項１〜５のいずれか１項に記載の製造方法により製造された多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液、又は、請求項５若しくは６に記載の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液を用いて、基板表面に薄膜を形成し、該薄膜を常圧で、３５０℃以上、３０分以上加熱して、酸化物半導体に変換することを特徴とする多成分系酸化物半導体膜の製造方法。
- 請求項1〜５のいずれか１項に記載の製造方法により製造された多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液、又は、請求項５若しくは６に記載の多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液を用いて、基板表面に塗布膜を形成し、該薄膜を常圧で、マイクロ波照射による加熱をして、酸化物半導体に変換することを特徴とする多成分系酸化物半導体膜の製造方法。
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