JP6260981B2 - 検査装置、撮像ユニット、検査方法及び基板の製造方法 - Google Patents
検査装置、撮像ユニット、検査方法及び基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6260981B2 JP6260981B2 JP2013004069A JP2013004069A JP6260981B2 JP 6260981 B2 JP6260981 B2 JP 6260981B2 JP 2013004069 A JP2013004069 A JP 2013004069A JP 2013004069 A JP2013004069 A JP 2013004069A JP 6260981 B2 JP6260981 B2 JP 6260981B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- illumination
- image
- light
- inspection object
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Description
前記上段照明は、検査物を有する検査面に対して光を照射する。
前記下段照明は、前記上段照明よりも浅い、15度以上25度以下の照射角度で前記検査面に対して光を照射する。
前記撮像部は、前記上段照明によって光が照射された前記検査物を撮像して第1の画像を取得し、かつ、前記下段照明によって光が照射された前記検査物を撮像して第2の画像を取得する。
前記制御部は、前記第1の画像及び第2の画像に基づいて検査物を検査する。
この場合、前記制御部は、前記第1の画像及び第2の画像に基づいて前記検査物を検査する第1のモードと、第1の画像及び第3の画像に基づいて前記検査物を検査する第2のモードとを切り換え可能であってもよい。
この場合、前記制御部は、前記第1の画像及び第2の画像に基づいて、前記検査物としての半田を検査し、かつ、前記第4の画像に基づいて電子部品を検査してもよい。
前記上段照明は、検査物を有する検査面に対して光を照射する。
前記下段照明は、前記上段照明よりも浅い、15度以上25度以下の照射角度で前記検査面に対して光を照射する。
前記撮像部は、前記上段照明によって光が照射された前記検査物を撮像し、かつ、前記下段照明によって光が照射された前記検査物を撮像する。
前記上段照明によって光が照射された前記検査物が撮像されて第1の画像が取得される。
下段照明によって、15度以上25度以下の照射角度で検査面に対して光が照射される。
前記下段照明によって光が照射された前記検査物が撮像されて第2の画像が取得される。
前記第1の画像及び第2の画像に基づいて検査物が検査される。
前記上段照明によって光が照射された前記検査物が撮像されて第1の画像が取得される。
下段照明によって、15度以上25度以下の照射角度で検査面に対して光が照射される。
前記下段照明によって光が照射された前記検査物が撮像されて第2の画像が取得される。
前記第1の画像及び第2の画像に基づいて検査物が検査される。
検査結果に基づいて、前記基板の良否が判定され、良品と判定された前記基板が次の工程へ進められる。
図1は、本技術の一実施形態に係る検査装置100を示す斜視図である。図2は、検査装置100を示す側面図である。図3は、検査装置100を示すブロック図である。図4及び図5は、基板1を側方から見た一部断面図である。
次に、検査装置100の動作について説明する。図6A及び図6Bは、検査装置100の処理を示すフローチャートである。
以上説明したように、本実施形態では、検査面1aに対する下段照明35の照射角度が15度以上25度以下とされている。従って、上段照明33が点灯されて取得された画像と、下段照明35が点灯されて取得された画像とにおいて、それらの画像に写り込む半田4の輪郭のコントラストを大きくすることができる。これにより、半田4の輪郭を正確に判断することができるようになり、結果として、半田4を正確に検査することが可能となる。
(1)、検査物を有する検査面に対して光を照射する上段照明と、
前記上段照明よりも浅い、15度以上25度以下の照射角度で前記検査面に対して光を照射する下段照明と、
前記上段照明によって光が照射された前記検査物を撮像して第1の画像を取得し、かつ、前記下段照明によって光が照射された前記検査物を撮像して第2の画像を取得する撮像部と、
前記第1の画像及び第2の画像に基づいて検査物を検査する制御部と
を具備する検査装置。
(2)、上記(1)に記載の検査装置であって、
前記検査物は、前記検査面上に設けられた半田である
検査装置。
(3)、上記(2)に記載の検査装置であって、
前記検査物としての前記半田は、半田リフロー処理後の半田である
検査装置。
(4)、上記(1)乃至(3)のうちいずれか1つに記載の検査装置であって、
前記上段照明よりも浅く、かつ、前記下段照明よりも深い照射角度で前記検査面に対して光を照射する中段照明をさらに具備する
検査装置。
(5)、上記(4)に記載の検査装置であって、
前記撮像部は、前記中段照明によって光が照射された前記検査物を撮像して第3の画像を取得し、
前記制御部は、前記第1の画像及び第2の画像に基づいて前記検査物を検査する第1のモードと、第1の画像及び第3の画像に基づいて前記検査物を検査する第2のモードとを切り換え可能である
検査装置。
(6)、上記(1)乃至(5)のうちいずれか1つに記載の検査装置であって、
前記撮像部の光軸と同軸で配置され、前記検査面に対して光を照射する同軸落射照明をさらに具備する
検査装置。
(7)、上記(6)に記載の検査装置であって、
前記撮像部は、前記上段照明及び前記同軸落射照明の両方によって光が照射された検査物を撮像して第4の画像を取得し、
前記制御部は、前記第1の画像及び第2の画像に基づいて、前記検査物としての半田を検査し、かつ、前記第4の画像に基づいて電子部品を検査する
検査装置。
(8)、検査物を有する検査面に対して光を照射する上段照明と、
前記上段照明よりも浅い、15度以上25度以下の照射角度で前記検査面に対して光を照射する下段照明と、
前記上段照明によって光が照射された前記検査物を撮像し、かつ、前記下段照明によって光が照射された前記検査物を撮像する撮像部と
を具備する撮像ユニット。
(9)、上段照明によって、検査物を有する検査面に対して光を照射し、
前記上段照明によって光が照射された前記検査物を撮像して第1の画像を取得し、
下段照明によって、15度以上25度以下の照射角度で検査面に対して光を照射し、
前記下段照明によって光が照射された前記検査物を撮像して第2の画像を取得し、
前記第1の画像及び第2の画像に基づいて検査物を検査する
検査方法。
(10)、上段照明によって、検査物を有する基板の検査面に対して光を照射し、
前記上段照明によって光が照射された前記検査物を撮像して第1の画像を取得し、
下段照明によって、15度以上25度以下の照射角度で検査面に対して光を照射し、
前記下段照明によって光が照射された前記検査物を撮像して第2の画像を取得し、
前記第1の画像及び第2の画像に基づいて検査物を検査し、
検査結果に基づいて、前記基板の良否を判定して、良品と判定された前記基板を次の工程へ進める
基板の製造方法。
1a…検査面
2…電子部品
3…電極
4…半田
6…電極パッド
30…撮像ユニット
33…上段照明
34…中段照明
35…下段照明
36…同軸落射照明
40…撮像部
Claims (6)
- 検査物を有する検査面に対して光を照射する上段照明と、
前記上段照明よりも浅い、15度以上25度以下の照射角度で前記検査面に対して光を照射する下段照明と、
前記上段照明よりも浅く、かつ、前記下段照明よりも深い照射角度で前記検査面に対して光を照射する中段照明と、
前記上段照明によって光が照射された前記検査物を撮像して第1の画像を取得し、前記下段照明によって光が照射された前記検査物を撮像して第2の画像を取得し、かつ、前記中段照明によって光が照射された前記検査物を撮像して第3の画像を取得する撮像部と、
前記第1の画像及び第2の画像に基づいて検査物を検査する第1のモードと、前記第1の画像及び前記第3の画像に基づいて前記検査物を検査する第2のモードとを切り換え可能な制御部と
を具備し、
前記検査物は、前記検査面上に設けられた半田であり、
前記半田は、半田リフロー処理によって溶融したときの表面張力により、電子部品の電極よりも遠い側の端部が盛り上がった形状を有する
検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置であって、
前記撮像部の光軸と同軸で配置され、前記検査面に対して光を照射する同軸落射照明をさらに具備する
検査装置。 - 請求項2に記載の検査装置であって、
前記撮像部は、前記上段照明及び前記同軸落射照明の両方によって光が照射された検査物を撮像して第4の画像を取得し、
前記制御部は、前記第1の画像及び第2の画像に基づいて、前記検査物としての半田を検査し、かつ、前記第4の画像に基づいて電子部品を検査する
検査装置。 - 検査物を有する検査面に対して光を照射する上段照明と、
前記上段照明よりも浅い、15度以上25度以下の照射角度で前記検査面に対して光を照射する下段照明と、
前記上段照明よりも浅く、かつ、前記下段照明よりも深い照射角度で前記検査面に対して光を照射する中段照明と、
前記上段照明によって光が照射された前記検査物を撮像して第1の画像を取得し、前記下段照明によって光が照射された前記検査物を撮像して第2の画像を取得し、かつ、前記中段照明によって光が照射された前記検査物を撮像して第3の画像を取得する撮像部と
を具備し、
前記第1の画像及び第2の画像に基づいて検査物を検査する第1のモードと、前記第1の画像及び前記第3の画像に基づいて前記検査物を検査する第2のモードとが切り換えられ、
前記検査物は、前記検査面上に設けられた半田であり、
前記半田は、半田リフロー処理によって溶融したときの表面張力により、電子部品の電極よりも遠い側の端部が盛り上がった形状を有する
撮像ユニット。 - 上段照明によって、検査物を有する検査面に対して光を照射し、
前記上段照明によって光が照射された前記検査物を撮像して第1の画像を取得し、
下段照明によって、15度以上25度以下の照射角度で検査面に対して光を照射し、
前記下段照明によって光が照射された前記検査物を撮像して第2の画像を取得し、
中段照明によって、前記上段照明よりも浅く、かつ、前記下段照明よりも深い照射角度で前記検査面に対して光を照射し、
前記中段照明によって光が照射された前記検査物を撮像して第3の画像を取得し、
前記第1の画像及び第2の画像に基づいて検査物を検査する第1のモードと、前記第1の画像及び前記第3の画像に基づいて前記検査物を検査する第2のモードとを切り換え、
前記検査物は、前記検査面上に設けられた半田であり、
前記半田は、半田リフロー処理によって溶融したときの表面張力により、電子部品の電極よりも遠い側の端部が盛り上がった形状を有する
検査方法。 - 上段照明によって、検査物を有する基板の検査面に対して光を照射し、
前記上段照明によって光が照射された前記検査物を撮像して第1の画像を取得し、
下段照明によって、15度以上25度以下の照射角度で検査面に対して光を照射し、
前記下段照明によって光が照射された前記検査物を撮像して第2の画像を取得し、
中段照明によって、前記上段照明よりも浅く、かつ、前記下段照明よりも深い照射角度で前記検査面に対して光を照射し、
前記中段照明によって光が照射された前記検査物を撮像して第3の画像を取得し、
前記第1の画像及び第2の画像に基づいて検査物を検査する第1のモードと、前記第1の画像及び前記第3の画像に基づいて前記検査物を検査する第2のモードとを切り換え、
検査結果に基づいて、前記基板の良否を判定して、良品と判定された前記基板を次の工程へ進め、
前記検査物は、前記検査面上に設けられた半田であり、
前記半田は、半田リフロー処理によって溶融したときの表面張力により、電子部品の電極よりも遠い側の端部が盛り上がった形状を有する
基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013004069A JP6260981B2 (ja) | 2013-01-11 | 2013-01-11 | 検査装置、撮像ユニット、検査方法及び基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013004069A JP6260981B2 (ja) | 2013-01-11 | 2013-01-11 | 検査装置、撮像ユニット、検査方法及び基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014134525A JP2014134525A (ja) | 2014-07-24 |
JP6260981B2 true JP6260981B2 (ja) | 2018-01-17 |
Family
ID=51412897
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013004069A Active JP6260981B2 (ja) | 2013-01-11 | 2013-01-11 | 検査装置、撮像ユニット、検査方法及び基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6260981B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102314469B1 (ko) * | 2015-02-03 | 2021-10-20 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표면 결함 검사 장치 및 그것을 이용한 표면 결함 검사 방법 |
JP6960576B2 (ja) * | 2019-06-20 | 2021-11-05 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品実装システムおよび部品実装方法 |
WO2023033627A1 (ko) * | 2021-09-06 | 2023-03-09 | 삼성전자 주식회사 | 돔 조명 및 동축 조명을 포함하는 광학 시스템 및 광학 시스템의 설계 방법 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0797022B2 (ja) * | 1989-09-11 | 1995-10-18 | 株式会社東芝 | 形状測定装置、形状測定方法、および形状測定装置の校正方法 |
JP2921709B2 (ja) * | 1990-07-18 | 1999-07-19 | 株式会社ロゼテクノロジー | 半田付け検査方法 |
JPH0815171A (ja) * | 1994-07-05 | 1996-01-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半田付け検査方法とその装置 |
JPH0933225A (ja) * | 1995-07-14 | 1997-02-07 | Hitachi Ltd | はんだ付外観の検査装置および検査方法 |
KR0176661B1 (ko) * | 1995-12-28 | 1999-05-15 | 김광호 | 납땜부 검사방법 및 검사장치 |
JPH10103933A (ja) * | 1996-09-27 | 1998-04-24 | Sanmei Denki Kk | 実装基板検査装置 |
US7062080B2 (en) * | 2001-11-26 | 2006-06-13 | Omron Corporation | Method of inspecting curved surface and device for inspecting printed circuit board |
JP4518490B2 (ja) * | 2004-12-21 | 2010-08-04 | ダイハツ工業株式会社 | 半田付け検査方法及び半田付け検査装置 |
JP2010071844A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-02 | Omron Corp | 基板外観検査装置、およびはんだフィレットの高さ計測方法 |
JP2011209296A (ja) * | 2011-06-20 | 2011-10-20 | Saki Corp:Kk | 外観検査方法および装置 |
-
2013
- 2013-01-11 JP JP2013004069A patent/JP6260981B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014134525A (ja) | 2014-07-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5421763B2 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
KR101175595B1 (ko) | 비접촉식 부품검사장치 및 부품검사방법 | |
US20140232850A1 (en) | Vision testing device with enhanced image clarity | |
JP2014038045A (ja) | 検査装置、照明、検査方法、プログラム及び基板の製造方法 | |
JP2007024510A (ja) | 基板の検査装置 | |
JP2014038049A (ja) | 3次元測定装置、3次元測定方法、プログラム及び基板の製造方法 | |
KR100281881B1 (ko) | 인쇄회로기판의크림솔더검사장치및검사방법 | |
KR20050080442A (ko) | 부품 실장기판 검사 장치 | |
JP2016050864A (ja) | 半田付外観検査装置 | |
JP4804295B2 (ja) | 部品認識方法、部品認識装置、表面実装機及び部品検査装置 | |
JP6260981B2 (ja) | 検査装置、撮像ユニット、検査方法及び基板の製造方法 | |
JP2016170036A (ja) | 配線回路基板の製造方法および検査方法 | |
JP2015197361A (ja) | 表面検査装置および表面検査方法 | |
JP6124237B2 (ja) | 検査装置、検査方法及び基板の製造方法 | |
JP2008068284A (ja) | 欠陥修正装置、欠陥修正方法、及びパターン基板の製造方法 | |
JP4224268B2 (ja) | 電子回路部品装着機、ならびにそれの装着位置精度検査方法および装置 | |
US7551768B2 (en) | Image recognition apparatus and method for surface discrimination using reflected light | |
KR101745883B1 (ko) | 인쇄회로기판의 광학 검사 장치 및 방법 | |
JP2015219162A (ja) | 検査装置 | |
JP5954757B2 (ja) | 外観検査装置 | |
JP6339849B2 (ja) | 検査装置 | |
JP7246938B2 (ja) | 検査装置 | |
KR101005076B1 (ko) | 범퍼 검사장치 및 방법 | |
KR0183928B1 (ko) | 부품 실장기의 흡착 부품 조명방법 및 그 장치 | |
KR20130035827A (ko) | 자동 외관 검사 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20140522 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151217 |
|
A625 | Written request for application examination (by other person) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A625 Effective date: 20151217 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160930 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161004 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161124 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170425 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170626 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171114 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171206 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6260981 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |