JP6252039B2 - Color filter and liquid crystal display device - Google Patents

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Description

本発明は、高感度で透明性に優れ、硬化時のムラの発生が少ない感光性樹脂組成物を用いた液晶表示装置のカラーフィルタに関する。 The present invention relates to a color filter of a liquid crystal display device using a photosensitive resin composition having high sensitivity, excellent transparency, and little occurrence of unevenness during curing.

画像表示装置の高機能化に伴い、広視野角、高速応答性が求められている。広視野角、高速応答にはIPSモードやTBAモード等の液晶層に横電解を印加する表示方式が適する。横電界を印加する表示方式の液晶表示装置においては、カラーフィルタ等のフィルタ層が設けられた基板には電極が設けられていないため、フィルタ層から発生するガス成分や水分が液晶層中に進入して液晶層中の不純物イオンの濃度が増加し、液晶中の気泡や表示不良が発生しやすくなるという課題があった。   As the functionality of image display devices increases, a wide viewing angle and high-speed response are required. For a wide viewing angle and a high-speed response, a display method in which lateral electrolysis is applied to a liquid crystal layer such as an IPS mode or a TBA mode is suitable. In a liquid crystal display device of a display type that applies a horizontal electric field, electrodes are not provided on a substrate provided with a filter layer such as a color filter, so that gas components and moisture generated from the filter layer enter the liquid crystal layer. As a result, the concentration of impurity ions in the liquid crystal layer increases, and there is a problem that bubbles in the liquid crystal and display defects are likely to occur.

そのため、着色層の液晶層に接する側に、遮光層や着色層からなるカラーフィルタのガス・水分・不純物イオンが液晶層へ進入するのを防ぐためとカラーフィルタの平坦化を目的として透明膜層を形成したカラーフィルタを用いることが一般的である。   Therefore, on the side of the colored layer that is in contact with the liquid crystal layer, a transparent film layer for preventing gas, moisture, and impurity ions of the color filter composed of the light shielding layer and the colored layer from entering the liquid crystal layer and for the purpose of flattening the color filter. It is common to use a color filter in which the is formed.

上記の液晶表示装置用カラーフィルタの透明膜層に求められる特性としては、下地となる着色層の透過率を低下させないことが必須であり、高い透明性が求められる。   As a characteristic required for the transparent film layer of the color filter for liquid crystal display device described above, it is essential not to lower the transmittance of the colored layer serving as a base, and high transparency is required.

更に、液晶表示装置では、カラーフィルタの透明基板表面のうねりに起因するRed、Green及びBlueの各画素間でのギャップムラ、あるいは各画素内でのギャップムラの存在により、カラーフィルタの平坦性が損なわれ、色ムラあるいはコントラストムラを生じる。その結果、画像品質の低下を来たすため、透明膜層には高い平坦性が求められる。   Further, in the liquid crystal display device, the flatness of the color filter is caused by the existence of gap unevenness between Red, Green, and Blue pixels caused by the waviness of the transparent substrate surface of the color filter, or gap unevenness within each pixel. Damaged and causes color unevenness or contrast unevenness. As a result, since the image quality is lowered, the transparent film layer is required to have high flatness.

特に近年、スマートフォン、タブレット型端末の普及にともなって、画像表示装置の高精細化が進んでおり、狭ギャップ化、画像表示装置の薄型化に伴った、カラーフィルタの薄膜化の要求が強く、カラーフィルタの透明膜層の平坦化要求は、さらに強くなってきている。   Particularly in recent years, with the spread of smartphones and tablet-type terminals, image display devices have become higher in definition, and there is a strong demand for thinning color filters with narrowing gaps and thinning of image display devices. The demand for flattening the transparent film layer of the color filter is getting stronger.

また、光硬化樹脂を用いた、透明膜層の形成は、露光と現像が行われ、露光が不十分であったり、硬化にムラが生じると、現像時にムラとなり、生産性が低下してしまう。   Moreover, the formation of the transparent film layer using the photo-curing resin is exposed and developed, and if the exposure is insufficient or unevenness occurs in the curing, the unevenness occurs during the development and the productivity is lowered. .

また透明膜形成後に、フォトスペーサーや配向膜形成などの工程の際にも透明膜層の硬化ムラ等に起因した後工程不良が発生し、生産性を低下させ、更にはフォトスペーサーの高さばらつきを生じさせたり、配向膜の塗布ムラにより、配向不良が発生するなど、液晶表示装置の表示品質を大きく低下させる要因となる。このため透明膜層を形成する感光性樹脂組成物は高感度で硬化均一性に優れたものが求められる。   In addition, after the transparent film is formed, post-process defects caused by uneven curing of the transparent film layer also occur during processes such as the photo spacer and alignment film formation, resulting in decreased productivity, and further variations in the height of the photo spacer. This causes the display quality of the liquid crystal display device to be greatly deteriorated, such as the occurrence of misalignment or the occurrence of alignment failure due to uneven coating of the alignment film. For this reason, the photosensitive resin composition for forming the transparent film layer is required to have high sensitivity and excellent curing uniformity.

従来、透明膜層の硬化ムラ対策及び製造の際のリードタイム短縮などを目的として、透明膜層の形成に用いる光感光性樹脂組成物の高感度化による対応を行っていた。光感光性樹脂組成物の高感度化には、光重合性モノマーの増量、あるいは光重合開始剤の増量が一般的である。   Conventionally, for the purpose of countermeasures for uneven curing of the transparent film layer and shortening the lead time during production, countermeasures have been taken by increasing the sensitivity of the photosensitive resin composition used for forming the transparent film layer. In order to increase the sensitivity of the photosensitive resin composition, it is common to increase the amount of the photopolymerizable monomer or the amount of the photopolymerization initiator.

しかしながら光重合性モノマーを増量させた場合、光感光性樹脂組成物中の低分子成分が増加することから膜の流動がおきやすくなり、平坦性が低下する問題があった。また、光重合開始剤の増量については、光重合開始剤の着色により、透過率を低下させてしまう
という問題があった(特許文献1)。
However, when the amount of the photopolymerizable monomer is increased, the low molecular component in the photosensitive resin composition increases, so that there is a problem that the film easily flows and the flatness is lowered. Moreover, about the increase in the photoinitiator, there existed a problem that the transmittance | permeability will fall by coloring of a photoinitiator (patent document 1).

そうしたことから、高感度化の目的に対して、バインダーポリマーを検討することが多くおこなわれている。しかしながら、バインダーポリマーでの高感度化では、現像性の悪化や保存安定性などの問題が生じやすく検討の余地が残されている(特許文献2)。   For this reason, many studies have been conducted on binder polymers for the purpose of increasing sensitivity. However, when the sensitivity is increased with the binder polymer, problems such as deterioration in developability and storage stability are likely to occur, and there remains room for study (Patent Document 2).

特開2001−106765号公報JP 2001-106765 A 特開2001−064337号公報JP 2001-064337 A

本発明は、上記の課題を考慮して成されたもので、高感度で、解像性・透明性・保存安定性に優れ、硬化のムラが生じにくい感光性樹脂組成物、それを用いたカラーフィルタ、液晶表示装置を提供することにある。   The present invention has been made in consideration of the above-mentioned problems, and has a high sensitivity, excellent resolution, transparency, and storage stability, and a photosensitive resin composition that hardly causes uneven curing, and uses the same. The object is to provide a color filter and a liquid crystal display device.

上記の課題を解決するための手段として、請求項1に記載の発明は、化式2で表されるフルオレン系オキシムエステル化合物を含有する光重合開始剤、ポリスチレン換算重量平均分子量が20,000〜40,000であり、かつ、酸価が90〜160のアクリル系重合体であるバインダーポリマー、感光性モノマー、界面活性剤、および溶剤を含有する感光性樹脂組成物を、透明膜層として、ガラス基板上の遮光層、着色画素層上に積層し230℃で焼成したカラーフィルタであり、
かつ、前記透明膜層の平坦化率が、87.5〜88.1%の範囲内であることを特徴とするカラーフィルタである。
As means for solving the above-mentioned problems, the invention described in claim 1 is a photopolymerization initiator containing a fluorene-based oxime ester compound represented by chemical formula 2, having a polystyrene-equivalent weight average molecular weight of 20,000 to A photosensitive resin composition containing a binder polymer, a photosensitive monomer, a surfactant, and a solvent, which is an acrylic polymer having an acid value of 40,000 and an acid value of 90 to 160, is used as a transparent film layer. A color filter laminated on a light shielding layer on a substrate and a colored pixel layer and fired at 230 ° C .;
And flattening index of the transparent film layer is a color filter, characterized in der Rukoto the range of 87.5 to 88.1%.

Figure 0006252039
Figure 0006252039

また、請求項2に記載の発明は、化式3で表されるフルオレン系オキシムエステル化合物を含有する光重合開始剤、ポリスチレン換算重量平均分子量が20,000〜40,000であり、かつ、酸価が90〜160のアクリル系重合体であるバインダーポリマー、感光性モノマー、界面活性剤、および溶剤を含有する感光性樹脂組成物を、透明膜層として、ガラス基板上の遮光層、着色画素層上に積層し230℃で焼成したカラーフィルタで
あり、
かつ、前記透明膜層の平坦化率が、87.8〜88.1%の範囲内であることを特徴とするカラーフィルタである。
The invention according to claim 2 is a photopolymerization initiator containing a fluorene-based oxime ester compound represented by Formula 3, a polystyrene-equivalent weight average molecular weight of 20,000 to 40,000, and an acid A light-sensitive layer on a glass substrate, a colored pixel layer, using a photosensitive resin composition containing a binder polymer, a photosensitive monomer, a surfactant, and a solvent having a valence of 90 to 160 as a transparent film layer A color filter laminated on top and fired at 230 ° C.
And the flatness rate of the said transparent film layer is in the range of 87.8-88.1 %, It is a color filter characterized by the above-mentioned.

Figure 0006252039
Figure 0006252039

また、請求項に記載の発明は、請求項1または2に記載のカラーフィルタを用いたことを特徴とする液晶表示装置である。 According to a third aspect of the present invention, there is provided a liquid crystal display device using the color filter according to the first or second aspect.

本発明は、化式2または化式3で表されるフルオレン系オキシムエステル化合物を含有する光重合開始剤、ポリスチレン換算重量平均分子量が20,000〜40,000であり、かつ、酸価が90〜160のアクリル系重合体であるバインダーポリマー、感光性モノマー、界面活性剤、および溶剤を含有する感光性樹脂組成物を用いることで、透明性・平坦性に優れ、硬化均一性に優れた透明膜層を形成することが可能となり、それを用いることにより優れた表示品質のカラーフィルタ、及び液晶表示装置を提供できる。 The present invention is a photopolymerization initiator containing a fluorene-based oxime ester compound represented by Formula 2 or Formula 3, a polystyrene equivalent weight average molecular weight of 20,000 to 40,000, and an acid value of 90 Use of a photosensitive resin composition containing a binder polymer, a photosensitive monomer, a surfactant, and a solvent, which is an acrylic polymer of ˜160, provides excellent transparency and flatness and excellent transparency in curing uniformity. A film layer can be formed, and a color filter with excellent display quality and a liquid crystal display device can be provided by using the film layer.

以下に実施形態を掲げ、本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施形態のみに限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to embodiments, but the present invention is not limited only to these embodiments.

本発明の感光性樹脂組成物は、(a)光重合開始剤、(b)バインダーポリマー、(c)感光性モノマー、(d)界面活性剤、(e)溶剤、および(f)エポキシ化合物を含有して成る。   The photosensitive resin composition of the present invention comprises (a) a photopolymerization initiator, (b) a binder polymer, (c) a photosensitive monomer, (d) a surfactant, (e) a solvent, and (f) an epoxy compound. Contains.

(a)光重合開始剤としては、少なくとも化式1で表されるフルオレン系オキシムエステル化合物として、化式2、又は化式3で表されるフルオレン系オキシムエステル化合物を含有することを特徴とする。

Figure 0006252039
The (a) a photopolymerization initiator, and characterized in that it contains at least, of formula as fluorene oxime ester compound represented by 1, of Formula 2, or of formula fluorene oxime ester compound represented by 3 To do.
Figure 0006252039

化式1において、Xは、R11、OR11、COR11、SR11、CONR1213又はCNを表し、X・Xは置換基を有していてもよい炭素原子数1〜20のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素原子数6〜30のアリール基、置換基を有していてもよい炭素原子数7〜30のアリールアルキル基又は置換基を有していてもよい炭素原子数2〜20の複素環基を表し、Xは、R11、OR11、COR11、SR11、CONR1213、NO、SOH、CN、ハロゲン原子又は水酸基を表し、X及びXは、それぞれ独立に、R11、OR11、SR11、COR11、CONR1213、NR12COR11、OCOR11、COOR11、SCOR11、COSR11、COSR11、CSOR11、CN、ハロゲン原子又は水酸基を表す。R11、R12及びR13は、それぞれ独立に、水素原子、置換基を有していてもよい炭素原子数1〜20のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素原子数6〜30のアリール基、置換基を有していてもよい炭素原子数7〜30のアリールアルキル基又は置換基を有していてもよい炭素原子数2〜20の複素環基を表す。a及びbはそれぞれ独立に、0〜3である。 In Formula 1, X 1 represents R 11 , OR 11 , COR 11 , SR 11 , CONR 12 R 13 or CN, and X 2 · X 3 has 1 to 1 carbon atoms which may have a substituent. 20 alkyl group, aryl group having 6 to 30 carbon atoms which may have a substituent, arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms which may have a substituent or a substituent. Represents an optionally substituted heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms, and X 4 represents R 11 , OR 11 , COR 11 , SR 11 , CONR 12 R 13 , NO 2 , SO 4 H, CN, halogen atom or hydroxyl group X 5 and X 6 each independently represent R 11 , OR 11 , SR 11 , COR 11 , CONR 12 R 13 , NR 12 COR 11 , OCOR 11 , COOR 11 , SCOR 11 , COS R 11 , COSR 11 , CSOR 11 , CN, a halogen atom or a hydroxyl group is represented. R 11 , R 12 and R 13 are each independently a hydrogen atom, an optionally substituted alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, or an optionally substituted carbon atom having 6 to 6 carbon atoms. It represents a 30 aryl group, an optionally substituted arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms, or an optionally substituted heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms. a and b are each independently 0-3.

は、合成の容易さ、感度、溶解性、黒色感光性樹脂組成物に含有したときの保存安定性の観点から、特に好ましくはメチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基、n−アミル基、イソアミル基、t−アミル基、n−ヘキシル基、2−エチルヘキシル基等の炭素数10以下のアルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等の炭素数10以下の側鎖を有しても良い環状アルキル基、アリール基、メチルアリール基等の芳香族環を有するアリールアルキル基、メトキシメチル基、エトキシメチル基、エトキシエチル基、2−(1−メトキシプロピル)基、2−(1−エトキシプロピル)基等の炭素数10以下でありメチレン鎖中にエーテル結合を1個有するアルキル基である。 X 1 is particularly preferably a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, n, from the viewpoint of ease of synthesis, sensitivity, solubility, and storage stability when contained in a black photosensitive resin composition. -Butyl group, isobutyl group, t-butyl group, n-amyl group, isoamyl group, t-amyl group, n-hexyl group, 2-ethylhexyl group and other alkyl groups having 10 or less carbon atoms, cyclopentyl group, cyclohexyl group, etc. An arylalkyl group having an aromatic ring such as a cyclic alkyl group, an aryl group, or a methylaryl group, which may have a side chain of 10 or less carbon atoms, a methoxymethyl group, an ethoxymethyl group, an ethoxyethyl group, 2- ( 1-methoxypropyl) group, 2- (1-ethoxypropyl) group and the like are alkyl groups having 10 or less carbon atoms and one ether bond in the methylene chain.

・Xは、合成の容易さ、感度、溶解性、黒色感光性樹脂組成物に含有したときの保存安定性の観点から、特に好ましくはメチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基、n−アミル基、イソアミル基、t−アミル基、n−ヘキシル基等の炭素数6以下のアルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等の炭素数6以下の環状アルキル基、メトキシメチル基、エトキシメチル基、
エトキシエチル基、2−(1−メトキシプロピル)基、2−(1−エトキシプロピル)基等の炭素数6以下でありメチレン鎖中にエーテル結合を1個有するアルキル基である。
X 2 and X 3 are particularly preferably a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, and isopropyl, from the viewpoints of ease of synthesis, sensitivity, solubility, and storage stability when contained in a black photosensitive resin composition. Group, n-butyl group, isobutyl group, t-butyl group, n-amyl group, isoamyl group, t-amyl group, n-hexyl group and other alkyl groups having 6 or less carbon atoms, cyclopentyl group, cyclohexyl group and other carbons A cyclic alkyl group having a number of 6 or less, a methoxymethyl group, an ethoxymethyl group,
It is an alkyl group having 6 or less carbon atoms and one ether bond in the methylene chain, such as an ethoxyethyl group, a 2- (1-methoxypropyl) group, and a 2- (1-ethoxypropyl) group.

は、合成の容易さ、感度、溶解性、感光性着色組成物に含有したときの保存安定性の観点から、特に好ましくは水素、またはメチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基、n−アミル基、イソアミル基、t−アミル基、n−ヘキシル基等の炭素数6以下のアルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等の炭素数6以下の環状アルキル基、メトキシメチル基、エトキシメチル基、エトキシエチル基、2−(1−メトキシプロピル)基、2−(1−エトキシプロピル)基等の炭素数6以下でありメチレン鎖中にエーテル結合を1個有するアルキル基、ニトロ基、スルホ基、シアノ基、ハロゲン原子、水酸基等である。 X 4 is particularly preferably hydrogen, or a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, or an isopropyl group from the viewpoint of ease of synthesis, sensitivity, solubility, and storage stability when contained in a photosensitive coloring composition. , N-butyl group, isobutyl group, t-butyl group, n-amyl group, isoamyl group, t-amyl group, n-hexyl group and other alkyl groups having 6 or less carbon atoms, cyclopentyl group, cyclohexyl group, etc. 6 or less cyclic alkyl group, methoxymethyl group, ethoxymethyl group, ethoxyethyl group, 2- (1-methoxypropyl) group, 2- (1-ethoxypropyl) group and the like having 6 or less carbon atoms in the methylene chain An alkyl group having one ether bond, a nitro group, a sulfo group, a cyano group, a halogen atom, a hydroxyl group and the like.

及びXは、合成の容易さ、感度、溶解性、感光性着色組成物に含有したときの保存安定性の観点から、特に好ましくはメチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基、n−アミル基、イソアミル基、t−アミル基、n−ヘキシル基等の炭素数6以下のアルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等の炭素数6以下の環状アルキル基、メトキシメチル基、エトキシメチル基、エトキシエチル基、2−(1−メトキシプロピル)基、2−(1−エトキシプロピル)基等の炭素数6以下でありメチレン鎖中にエーテル結合を1個有するアルキル基、シアノ基、ハロゲン原子、水酸基等である。 X 5 and X 6 are particularly preferably a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, or an isopropyl group from the viewpoint of ease of synthesis, sensitivity, solubility, and storage stability when contained in a photosensitive coloring composition. , N-butyl group, isobutyl group, t-butyl group, n-amyl group, isoamyl group, t-amyl group, n-hexyl group and other alkyl groups having 6 or less carbon atoms, cyclopentyl group, cyclohexyl group, etc. 6 or less cyclic alkyl group, methoxymethyl group, ethoxymethyl group, ethoxyethyl group, 2- (1-methoxypropyl) group, 2- (1-ethoxypropyl) group and the like having 6 or less carbon atoms in the methylene chain An alkyl group having one ether bond, a cyano group, a halogen atom, a hydroxyl group and the like.

Figure 0006252039
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Figure 0006252039
化式1で表される光重合開始剤の合成法は、特に制限は無いが以下の方法により合成できる。
Figure 0006252039
The method for synthesizing the photopolymerization initiator represented by Formula 1 is not particularly limited, but can be synthesized by the following method.

アシル体の合成:フルオレン化合物1と酸クロライド2を塩化アルミニウムの存在下で反応し、目的物であるアシル体3を得る。   Synthesis of acyl body: The fluorene compound 1 and the acid chloride 2 are reacted in the presence of aluminum chloride to obtain the target acyl body 3.

Figure 0006252039
オキシムエステル化合物の合成:アシル体3と、塩酸ヒドロキシルアミンと、ジメチルホルムアミドを仕込み、加熱攪拌し、オキシム化合物4を得る。オキシム化合物4と酸無水物5を加熱攪拌し、反応終了後、アルカリで中和し、オキシムエステル化合物6が得られる。
Figure 0006252039
Synthesis of Oxime Ester Compound: Acyl compound 3, hydroxylamine hydrochloride and dimethylformamide are charged and heated and stirred to obtain oxime compound 4. The oxime compound 4 and the acid anhydride 5 are heated and stirred. After completion of the reaction, the oxime compound 4 is neutralized with an alkali to obtain the oxime ester compound 6.

Figure 0006252039
オキシムエステル化合物の合成:オキシムエステル化合物6と酸クロライド7を塩化アルミニウムの存在下で反応し、目的物であるオキシムエステル化合物8を得る。
Figure 0006252039
Synthesis of oxime ester compound: The oxime ester compound 6 and the acid chloride 7 are reacted in the presence of aluminum chloride to obtain the oxime ester compound 8 which is the target product.

Figure 0006252039
オキシムエステル化合物の合成:オキシムエステル化合物6を硫酸酸性条件下で硝酸と
反応し、目的物であるオキシムエステル化合物9を得る。
Figure 0006252039
Synthesis of oxime ester compound: The oxime ester compound 6 is reacted with nitric acid under sulfuric acid acidic conditions to obtain the oxime ester compound 9 which is the target product.

Figure 0006252039
化式1で表される光重合開始剤は、近接露光装置の光源として広く用いられている高圧水銀ランプとのマッチングに優れ、主要な輝線であるi線(365nm)、h線(405nm)の光を効率よく吸収するため、感光性樹脂組成物を高感度化することができる。
Figure 0006252039
The photopolymerization initiator represented by the chemical formula 1 is excellent in matching with a high-pressure mercury lamp widely used as a light source of a proximity exposure apparatus, and has the main emission lines i-line (365 nm) and h-line (405 nm). In order to absorb light efficiently, the photosensitive resin composition can be highly sensitive.

このため、塗膜が十分に硬化するため、均一な硬化膜となり、後工程へのムラ低減につながる。また、少量で高感度化が可能であるため、開始剤による耐熱性の悪化が生じにくく、高い透明性を維持することができる。更に、高感度なため、膜流動性が生じにくく、高い平坦性も有する。   For this reason, since a coating film fully hardens | cures, it becomes a uniform cured film and leads to the reduction of the nonuniformity to a post process. In addition, since the sensitivity can be increased with a small amount, the heat resistance is hardly deteriorated by the initiator, and high transparency can be maintained. Furthermore, since it is highly sensitive, film fluidity hardly occurs and it has high flatness.

化式1で表される光重合開始剤の含有量は、前記感光性樹脂組成物の固形分中1〜20重量%であることが好ましく、より好ましくは2〜15重量%の範囲である。光重合開始剤の含有量がこの範囲である場合、を形成することが可能である。光重合開始剤の含有量が1重量%以下である場合、感光性樹脂組成物の感度が不足する。一方、光重合開始剤の含有量が20重量%以上である場合、開始剤の熱分解による黄変で透明性が維持されない。   The content of the photopolymerization initiator represented by Chemical Formula 1 is preferably 1 to 20% by weight, more preferably 2 to 15% by weight, based on the solid content of the photosensitive resin composition. When the content of the photopolymerization initiator is within this range, it is possible to form. When the content of the photopolymerization initiator is 1% by weight or less, the sensitivity of the photosensitive resin composition is insufficient. On the other hand, when the content of the photopolymerization initiator is 20% by weight or more, transparency is not maintained due to yellowing due to thermal decomposition of the initiator.

本発明の感光性樹脂組成物には、化式1で表される光重合開始剤と共に、他の光重合開始剤を併用することができる。
アセトフェノン系化合物としては、例えば、ジエトキシアセトフェノン、2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕プロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(1−メチルビニル)フェニル〕プロパン−1−オンのオリゴマーなどが挙げられ、好ましくは2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オンなどが挙げられる。また、複数のアセトフェノン系およびその他の光重合開始剤を組み合わせて使用してもよい。アセトフェノン系以外の光重合開始剤は、光を照射されることによって活性ラジカルを発生する活性ラジカル発生剤、増感剤などが挙げられる。活性ラジカル発生剤としては、例えば、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、トリアジン系化合物などが挙げられる。
In addition to the photopolymerization initiator represented by Formula 1, another photopolymerization initiator can be used in combination with the photosensitive resin composition of the present invention.
Examples of acetophenone compounds include diethoxyacetophenone, 2-methyl-2-morpholino-1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one , Benzyldimethyl ketal, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] propan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1- [ An oligomer of 4- (1-methylvinyl) phenyl] propan-1-one and the like are preferable, and 2-methyl-2-morpholino-1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one and the like are preferable. A plurality of acetophenone-based and other photopolymerization initiators may be used in combination. Examples of photopolymerization initiators other than acetophenone are active radical generators and sensitizers that generate active radicals when irradiated with light. Examples of the active radical generator include benzoin compounds, benzophenone compounds, thioxanthone compounds, and triazine compounds.

ベンゾイン系化合物としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。   Examples of the benzoin compound include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, and benzoin isobutyl ether.

ベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルサルファイド、3,3’,4,4’−テトラ(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、2,4,6−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。   Examples of benzophenone compounds include benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, 4-benzoyl-4′-methyldiphenyl sulfide, 3,3 ′, 4,4′-tetra (t-butylperoxy). Carbonyl) benzophenone, 2,4,6-trimethylbenzophenone and the like.

チオキサントン系化合物としては、例えば、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。   Examples of the thioxanthone compound include 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, and the like.

トリアジン系化合物としては、例えば、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシナフチル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメ
チル)−6−(4−メトキシスチリル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(フラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジンなどが挙げられる。
Examples of triazine compounds include 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine and 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4- Methoxynaphthyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxystyryl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6 -[2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (furan-2-yl) ethenyl]- 1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis ( Trichloromethyl)- - such as [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine.

活性ラジカル発生剤として、例えば、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、10−ブチル−2−クロロアクリドン、2−エチルアントラキノン、ベンジル、9,10−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物などを用いることもできる。   Examples of the active radical generator include 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′- Biimidazole, 10-butyl-2-chloroacridone, 2-ethylanthraquinone, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, methyl phenylglyoxylate, titanocene compounds, and the like can also be used.

酸発生剤としては、例えば、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムp−トルエンスルホナート、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、4−アセトキシフェニルジメチルスルホニウムp−トルエンスルホナート、4−アセトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムp−トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウムp−トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネートなどのオニウム塩類や、ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレート類などを挙げることができる。   Examples of the acid generator include 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium p-toluenesulfonate, 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium hexafluoroantimonate, 4-acetoxyphenyldimethylsulfonium p-toluenesulfonate, 4-acetoxyphenyl methyl. Onium salts such as benzylsulfonium hexafluoroantimonate, triphenylsulfonium p-toluenesulfonate, triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, diphenyliodonium p-toluenesulfonate, diphenyliodonium hexafluoroantimonate, nitrobenzyl tosylate, Examples thereof include benzoin tosylate.

また、活性ラジカル発生剤として上記した化合物の中には、活性ラジカルと同時に酸を発生する化合物もあり、例えば、トリアジン系光重合開始剤は、酸発生剤としても使用される。   Among the compounds described above as active radical generators, there are also compounds that generate an acid simultaneously with active radicals. For example, triazine photopolymerization initiators are also used as acid generators.

本発明において用いられる光重合開始助剤は、光重合開始剤と組み合わせて用いられ、光重合開始剤によって重合が開始された光重合性化合物の重合を促進するために用いられる化合物である。光重合開始助剤としては、少なくとも1種のアミン系を含む。アミン系化合物としては、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称ミヒラーズケトン)、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(エチルメチルアミノ)ベンゾフェノンなどが挙げられ、中でも4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。また、複数のアミン系やその他の光重合開始助剤を組み合わせて使用してもよい。その他の光重合開始助剤としては、例えば、アルコキシアントラセン系化合物、チオキサントン系化合物などが挙げられる。   The photopolymerization initiation assistant used in the present invention is a compound that is used in combination with a photopolymerization initiator and is used to promote polymerization of a photopolymerizable compound that has been polymerized by the photopolymerization initiator. The photopolymerization initiation assistant includes at least one amine system. Examples of amine compounds include triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, and 2-dimethylaminoethyl benzoate. 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone (commonly known as Michler's ketone), 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4 ′ -Bis (ethylmethylamino) benzophenone is mentioned, among which 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone is preferred. Further, a plurality of amines and other photopolymerization initiation assistants may be used in combination. Examples of other photopolymerization initiation assistants include alkoxyanthracene compounds and thioxanthone compounds.

アルコキシアントラセン系化合物としては、例えば、9,10−ジメトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。   Examples of the alkoxyanthracene compound include 9,10-dimethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9,10-diethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-diethoxyanthracene and the like. .

チオキサントン系化合物としては、例えば、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。   Examples of the thioxanthone compound include 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, and the like.

光重合開始助剤として市販のものを用いることもでき、市販の光重合開始助剤としては
、例えば、EAB−F(保土谷化学工業社製)などが挙げられる。
A commercially available photopolymerization initiation assistant can also be used, and examples of the commercially available photopolymerization initiation assistant include EAB-F (Hodogaya Chemical Co., Ltd.).

これらの光重合開始助剤を用いる場合、その使用量は、光重合開始剤1モルあたり通常10モル以下、好ましくは0.01モル以上5モル以下である。   When using these photoinitiators, the usage-amount is 10 mol or less normally with respect to 1 mol of photoinitiators, Preferably it is 0.01 mol or more and 5 mol or less.

(b)バインダーポリマーとしては、アクリル系共重合体が使用でき、例えば、カルボキシル基含有モノマーおよびこれと共重合可能なほかのモノマーとの共重合体などが挙げられる。   As the binder polymer (b), an acrylic copolymer can be used, and examples thereof include a carboxyl group-containing monomer and a copolymer with another monomer copolymerizable therewith.

カルボキシル基含有モノマーとしては、例えば、不飽和モノカルボン酸や、不飽和ジカルボン酸、不飽和トリカルボン酸などの不飽和多価カルボン酸などの分子中に少なくとも1個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸が挙げられる。ここで、不飽和モノカルボン酸としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸などが挙げられる。不飽和ジカルボン酸としては、例えば、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸などが挙げられる。不飽和多価カルボン酸は、その酸無水物、具体的には無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸などであってもよい。また、不飽和多価カルボン酸は、そのモノ(2−メタクリロイロキシアルキル)エステルであってもよく、例えば、こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)、こはく酸モノ(2−メタクリロイロキシエチル)、フタル酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)、フタル酸モノ(2−メタクリロイロキシエチル)などであってもよい。不飽和多価カルボン酸は、その両末端ジカルボキシポリマーのモノ(メタ)アクリレートであってもよく、例えば、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレート、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノメタクリレートなどであってもよい。これらのカルボキシル基含有モノマーは、それぞれ単独でまたは2種以上を混合して用いることができる。   Examples of the carboxyl group-containing monomer include an unsaturated carboxylic acid having at least one carboxyl group in a molecule such as an unsaturated monocarboxylic acid, an unsaturated polycarboxylic acid such as an unsaturated dicarboxylic acid, or an unsaturated tricarboxylic acid. Is mentioned. Here, examples of the unsaturated monocarboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, α-chloroacrylic acid, cinnamic acid, and the like. Examples of the unsaturated dicarboxylic acid include maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, citraconic acid, and mesaconic acid. The unsaturated polyvalent carboxylic acid may be an acid anhydride thereof, specifically maleic anhydride, itaconic anhydride, citraconic anhydride and the like. The unsaturated polyvalent carboxylic acid may be a mono (2-methacryloyloxyalkyl) ester such as succinic acid mono (2-acryloyloxyethyl) or succinic acid mono (2-methacryloyloxy). Ethyl), mono (2-acryloyloxyethyl) phthalate, mono (2-methacryloyloxyethyl) phthalate, and the like. The unsaturated polycarboxylic acid may be a mono (meth) acrylate of a dicarboxy polymer at both ends thereof, and may be, for example, ω-carboxypolycaprolactone monoacrylate, ω-carboxypolycaprolactone monomethacrylate, or the like. These carboxyl group-containing monomers can be used alone or in admixture of two or more.

前記カルボキシル基含有モノマーと共重合可能な他のモノマーとしては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトルエン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、p−クロルスチレン、o−メトキシスチレン、m−メトキシスチレン、p−メトキシスチレン、o−ビニルベンジルメチルエーテル、m−ビニルベンジルメチルエーテル、p−ビニルベンジルメチルエーテル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル、インデンなどの芳香族ビニル化合物、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、n−プロピルアクリレート、n−プロピルメタクリレート、i−プロピルアクリレート、i−プロピルメタクリレート、n−ブチルアクリレート、n−ブチルメタクリレート、i−ブチルアクリレート、i−ブチルメタクリレート、sec−ブチルアクリレート、sec−ブチルメタクリレート、t−ブチルアクリレート、t−ブチルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、3−ヒドロキシプロピルメタクリレート、2−ヒドロキシブチルアクリレート、2−ヒドロキシブチルメタクリレート、3−ヒドロキシブチルアクリレート、3−ヒドロキシブチルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレート、4−ヒドロキシブチルメタクリレート、アリルアクリレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、シクロヘキシルアクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、フェニルアクリレート、フェニルメタクリレート、2−メトキシエチルアクリレート、2−メトキシエチルメタクリレート、2−フェノキシエチルアクリレート、2−フェノキシエチルメタクリレート、メトキシジエチレングリコールアクリレート、メトキシジエチレングリコールメタクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、メトキシトリエチレングリコールメタクリレート、メトキシプロピレングリコールアクリレート、メトキシプロピレングリコールメタクリレート、メトキシジプロピレングリコールアクリレート、メトキシジプロピレングリコールメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソボルニルメタクリレート、ジシクロペンタジエニルアクリレート、ジシクロペンタジエニルメタクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルメタクリレート、グリセロールモノアクリレート、グリセロールモノメタクリレートなどの不飽和カルボン酸エステル類、2−アミノエチルアクリレート、2−アミノエチルメタクリレート、2−ジメチルアミノエチルアクリレート、2−ジメチルアミノエチルメタクリレート、2−アミノプロピルアクリレート、2−アミノプロピルメタクリレート、2−ジメチルアミノプロピルアクリレート、2−ジメチルアミノプロピルメタクリレート、3−アミノプロピルアクリレート、3−アミノプロピルメタクリレート、3−ジメチルアミノプロピルアクリレート、3−ジメチルアミノプロピルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸グリシジルエステル類、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル類、ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテルなどの不飽和エーテル類、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデンなどのシアン化ビニル化合物、アクリルアミド、メタクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチルアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチルメタクリルアミドなどの不飽和アミド類、マレイミド、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミドなどの不飽和イミド類、1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレンなどの脂肪族共役ジエン類、ポリスチレン、ポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレート、ポリ−n−ブチルアクリレート、ポリ−n−ブチルメタクリレート、ポリシロキサンの重合体分子鎖の末端にモノアクリロイル基あるいはモノメタクリロイル基を有するマクロモノマー類などを挙げることができる。これらのモノマーは、それぞれ単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。   Examples of other monomers copolymerizable with the carboxyl group-containing monomer include styrene, α-methylstyrene, o-vinyltoluene, m-vinyltoluene, p-vinyltoluene, p-chlorostyrene, o-methoxystyrene, m-methoxystyrene, p-methoxystyrene, o-vinyl benzyl methyl ether, m-vinyl benzyl methyl ether, p-vinyl benzyl methyl ether, o-vinyl benzyl glycidyl ether, m-vinyl benzyl glycidyl ether, p-vinyl benzyl glycidyl Aromatic vinyl compounds such as ether and indene, methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, n-propyl acrylate, n-propyl methacrylate, i-propyl acrylate, i Propyl methacrylate, n-butyl acrylate, n-butyl methacrylate, i-butyl acrylate, i-butyl methacrylate, sec-butyl acrylate, sec-butyl methacrylate, t-butyl acrylate, t-butyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2 -Hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, 3-hydroxypropyl acrylate, 3-hydroxypropyl methacrylate, 2-hydroxybutyl acrylate, 2-hydroxybutyl methacrylate, 3-hydroxybutyl acrylate, 3-hydroxy Butyl methacrylate, 4-hydroxybutyl acrylate, 4-hydroxybutyl methacrylate, allyl Acrylate, allyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, cyclohexyl acrylate, cyclohexyl methacrylate, phenyl acrylate, phenyl methacrylate, 2-methoxyethyl acrylate, 2-methoxyethyl methacrylate, 2-phenoxyethyl acrylate, 2-phenoxyethyl methacrylate, methoxydiethylene glycol acrylate , Methoxydiethylene glycol methacrylate, methoxytriethylene glycol acrylate, methoxytriethylene glycol methacrylate, methoxypropylene glycol acrylate, methoxypropylene glycol methacrylate, methoxydipropylene glycol acrylate, methoxydipropylene glycol methacrylate , Isobornyl acrylate, isobornyl methacrylate, dicyclopentadienyl acrylate, dicyclopentadienyl methacrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl methacrylate, glycerol monoacrylate , Unsaturated carboxylic acid esters such as glycerol monomethacrylate, 2-aminoethyl acrylate, 2-aminoethyl methacrylate, 2-dimethylaminoethyl acrylate, 2-dimethylaminoethyl methacrylate, 2-aminopropyl acrylate, 2-aminopropyl methacrylate 2-dimethylaminopropyl acrylate, 2-dimethylaminopropyl methacrylate, 3-aminopropyl acrylate, 3-amino Unsaturated carboxylic acid aminoalkyl esters such as propyl methacrylate, 3-dimethylaminopropyl acrylate and 3-dimethylaminopropyl methacrylate, unsaturated carboxylic acid glycidyl esters such as glycidyl acrylate and glycidyl methacrylate, vinyl acetate, vinyl propionate, Carboxylic acid vinyl esters such as vinyl butyrate and vinyl benzoate, unsaturated ethers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, and allyl glycidyl ether, cyanation of acrylonitrile, methacrylonitrile, α-chloroacrylonitrile, vinylidene cyanide, etc. Vinyl compounds, acrylamide, methacrylamide, α-chloroacrylamide, N-2-hydroxyethylacrylamide, N-2-hydroxyethylmeta Unsaturated amides such as rilamide, unsaturated imides such as maleimide, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene, chloroprene, polystyrene, polymethyl acrylate, poly Examples thereof include macromonomers having a monoacryloyl group or a monomethacryloyl group at the end of the polymer molecular chain of methyl methacrylate, poly-n-butyl acrylate, poly-n-butyl methacrylate, or polysiloxane. These monomers can be used alone or in admixture of two or more.

前記共重合体におけるカルボキシル基含有モノマー単位の含有量は、通常10〜50重量%、好ましくは15〜40重量%、とりわけ好ましくは25〜40重量%である。前記した、カルボキシル基含有モノマー単位の含有量が、10〜50重量%であると、現像液に対する溶解性が良好であり、現像時にパターンが正確に形成される傾向があり、好ましい。前記アクリル系重合体としては、例えば、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート/ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)/スチレン/アリル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド/スチレン/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体などが挙げられる。なお、(メタ)アクリレートとは、アクリレートまたはメタクリレートであることを示す。   The content of the carboxyl group-containing monomer unit in the copolymer is usually 10 to 50% by weight, preferably 15 to 40% by weight, and particularly preferably 25 to 40% by weight. When the content of the carboxyl group-containing monomer unit is 10 to 50% by weight, the solubility in the developer is good, and the pattern tends to be formed accurately during development, which is preferable. Examples of the acrylic polymer include (meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl. (Meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / polymethyl (meth) acrylate Macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polymethyl (meth) acrylate macromonomer copolymer, (meta Acrylic acid / 2-hydroxyethyl (Meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polymethyl (meth) acrylate macromonomer copolymer, (Meth) acrylic acid / styrene / benzyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer, (meth) acrylic acid / succinic acid mono (2-acryloyloxyethyl) / styrene / benzyl (meth) acrylate / N- Phenylmaleimide copolymer, (meth) acrylic acid / succinic acid mono (2-acryloyloxyethyl) / styrene / allyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimi / Styrene / such as glycerol mono (meth) acrylate copolymer. In addition, (meth) acrylate shows that it is an acrylate or a methacrylate.

中でも(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリ
ル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/スチレン共重合体、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート/スチレン共重合体などが好ましい。
Among them, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / styrene copolymer, (meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate copolymer, (meta ) Acrylic acid / methyl (meth) acrylate / styrene copolymer is preferred.

前記アクリル系重合体は、そのポリスチレン換算重量平均分子量が通常3,000〜400,000であり、好ましくは5,000〜100,000、とりわけ好ましくは20,000〜40,000である。前記したポリスチレン換算重量平均分子量が3,000〜400,000であると、塗膜硬度が向上し、残膜率も高く、未露光部の現像液に対する溶解性が良好で、解像度が向上する傾向にあり、好ましい。また、酸価は通常30〜250であり、より好ましくは60〜180、とりわけ好ましくは90〜160である。   The acrylic polymer has a polystyrene-equivalent weight average molecular weight of usually 3,000 to 400,000, preferably 5,000 to 100,000, particularly preferably 20,000 to 40,000. When the above-mentioned polystyrene-equivalent weight average molecular weight is 3,000 to 400,000, the coating film hardness is improved, the residual film ratio is high, the solubility of the unexposed portion in the developer is good, and the resolution tends to be improved. And preferred. Moreover, an acid value is 30-250 normally, More preferably, it is 60-180, Especially preferably, it is 90-160.

前記した酸価が、30〜250であると、現像液に対する溶解性が向上して未露光部が溶解しやすくなり、また高感度化して現像時に露光部のパターンが残って残膜率が向上する傾向があり、好ましい。ここで酸価はアクリル系重合体1gを中和するに必要な水酸化カリウムの量(mg)として測定される値であり、通常は水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。   When the acid value is 30 to 250, the solubility in the developer is improved and the unexposed area is easily dissolved, and the sensitivity is increased so that the pattern of the exposed area remains during development and the remaining film ratio is improved. This is preferable. Here, the acid value is a value measured as the amount (mg) of potassium hydroxide necessary to neutralize 1 g of the acrylic polymer, and can usually be obtained by titration with an aqueous potassium hydroxide solution. .

前記バインダーポリマーは、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して通常5重量%以上90重量%以下、好ましくは10重量%以上80重量%以下、とりわけ好ましくは20重量%以上70重量%以下の範囲で用いられる。前記したバインダーポリマーの含有量が、5重量%以上90重量%以下であると、パターンにアンダーカットが入りにくくなって密着性が良好になる傾向があり、また解像度および残膜率が向上する傾向にあり好ましい。   The binder polymer is usually 5% by weight to 90% by weight, preferably 10% by weight to 80% by weight, particularly preferably 20% by weight to 70% by weight, based on the solid content of the colored photosensitive resin composition. Used in a range. When the content of the binder polymer is 5% by weight or more and 90% by weight or less, the pattern is less likely to be undercut, and the adhesion tends to be improved, and the resolution and the remaining film ratio tend to be improved. And preferred.

本発明において用いられる(c)感光性モノマーとしては、光を照射されることによって光重合開始剤から発生した活性ラジカル、酸などによって重合しうるモノマーであって、例えば、重合性の炭素−炭素不飽和結合を有する化合物などが挙げられる。   The photosensitive monomer (c) used in the present invention is a monomer that can be polymerized by an active radical, an acid, or the like generated from a photopolymerization initiator when irradiated with light, and is, for example, a polymerizable carbon-carbon. Examples thereof include compounds having an unsaturated bond.

前記感光性モノマーは、3官能以上の多官能の光重合性化合物であることが好ましい。3官能以上の多官能の感光性モノマーとしては、例えば、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレートなどが挙げられる。前記感光性モノマーは、それぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。   The photosensitive monomer is preferably a trifunctional or higher polyfunctional photopolymerizable compound. Examples of the trifunctional or higher polyfunctional photosensitive monomer include pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, and dipentaerythritol hexamethacrylate. Can be mentioned. The said photosensitive monomer can be used individually or in combination of 2 or more types, respectively.

(c)感光性モノマーの含有量は感光性樹脂組成物中で、通常5重量%以上90重量%以下、好ましくは10重量%以上80重量%以下、とりわけ好ましくは20重量%以上70重量%以下の範囲で用いられる。前記した、光重合性化合物の含有量が、5重量%以上90重量%以下であると、硬化が十分におこり残膜率が向上し、パターンにアンダーカットが入りにくくなって密着性が良好になる傾向があり、好ましい。   (C) The content of the photosensitive monomer in the photosensitive resin composition is usually 5% by weight to 90% by weight, preferably 10% by weight to 80% by weight, particularly preferably 20% by weight to 70% by weight. It is used in the range. When the content of the photopolymerizable compound is 5% by weight or more and 90% by weight or less, the curing is sufficiently performed and the remaining film rate is improved, and the pattern is less likely to be undercut and the adhesion is good. This is preferable.

本発明で用いられる(d)界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸ソーダ、スチレン−アクリル酸共重合体のアルカリ塩、アルキルナフタリンスルホン酸ナトリウム、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸ナトリウム、ラウリル硫酸モノエタノールアミン、ラウリル硫酸トリエタノールアミン、ラウリル硫酸アンモニウム、ステアリン酸モノエタノールアミン、ステアリン酸ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、スチレン−アクリル酸共重合体のモノエタノールアミンなどのアニオン性界面活性剤;ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリエチレングリコールモノラウレートなどの
ノニオン性界面活性剤; アルキル4級アンモニウム塩やそれらのエチレンオキサイド付加物などのカオチン性界面活性剤;アルキルジメチルアミノ酢酸ベタインなどのアルキルベタイン、アルキルイミダゾリンなどの両性界面活性剤が挙げられ、これらは単独でまたは2種以上を混合して用いることができる。
Examples of the surfactant (d) used in the present invention include polyoxyethylene alkyl ether sulfate, sodium dodecylbenzenesulfonate, alkali salt of styrene-acrylic acid copolymer, sodium alkylnaphthalene sulfonate, alkyl diphenyl ether disulfone. Anionic surfactants such as sodium lauryl sulfate monoethanolamine, triethanolamine lauryl sulfate, ammonium lauryl sulfate, monoethanolamine stearate, sodium stearate, sodium lauryl sulfate, monoethanolamine of styrene-acrylic acid copolymer Polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene nonylphenyl ether, polyoxyethylene sorbitan monosteaer Nonionic surfactants such as polyethylene glycol monolaurate; chaotic surfactants such as alkyl quaternary ammonium salts and their ethylene oxide adducts; alkylbetaines such as alkyldimethylaminoacetic acid betaines; alkylimidazolines Amphoteric surfactants can be mentioned, and these can be used alone or in admixture of two or more.

前記界面活性剤は単独または2種以上を組み合わせて使用することができる。   The said surfactant can be used individually or in combination of 2 or more types.

本発明で用いられる(e)溶剤としては、例えば、エーテル類、芳香族炭化水素類、ケトン類、アルコール類、エステル類、アミド類などが挙げられる。   Examples of the (e) solvent used in the present invention include ethers, aromatic hydrocarbons, ketones, alcohols, esters, amides and the like.

エーテル類としては、例えば、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、1,4−ジオキサン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、アニソール、フェネトール、メチルアニソールなどが挙げられる。芳香族炭化水素類としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどが挙げられる。ケトン類としては、例えば、アセトン、2−ブタノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、4−ヘプタノン、4−メチル−2−ペンタノン、シクロヘキサノンなどが挙げられる。アルコール類としては、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセリンなどが挙げられる。エステル類としては、例えば、酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、γ−ブチロラクトンなどが挙げられる。アミド類としては、例えば、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミドなどが挙げられる。その他の溶剤としては、例えば、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホオキシドなどが挙げられる。   Examples of ethers include tetrahydrofuran, tetrahydropyran, 1,4-dioxane, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol. Monobutyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dibutyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate Methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol methyl ether acetate, methoxybutyl acetate, methoxy pentyl acetate, anisole, phenetole, and the like methyl anisole. Examples of aromatic hydrocarbons include benzene, toluene, xylene, mesitylene and the like. Examples of ketones include acetone, 2-butanone, 2-heptanone, 3-heptanone, 4-heptanone, 4-methyl-2-pentanone, and cyclohexanone. Examples of alcohols include methanol, ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, and glycerin. Examples of esters include ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, alkyl esters, methyl lactate, ethyl lactate , Methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, methyl 3-oxypropionate, ethyl 3-oxypropionate, 3-methoxy Methyl propionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 2-oxypropionate, ethyl 2-oxypropionate, propyl 2-oxypropionate, 2-metho Methyl cypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-oxy-2-methylpropionate, 2-oxy-2- Ethyl methyl propionate, methyl 2-methoxy-2-methylpropionate, ethyl 2-ethoxy-2-methylpropionate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, 2-oxobutane Examples include methyl acid, ethyl 2-oxobutanoate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, and γ-butyrolactone. Examples of amides include N, N-dimethylformamide and N, N-dimethylacetamide. Examples of other solvents include N-methylpyrrolidone and dimethyl sulfoxide.

上記した溶剤の中でも、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメテルエーテル、酢酸ブチル、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、2−
ヘプタノンなどが好ましく用いられる。
Among the solvents mentioned above, methyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl cellosolve acetate, ethyl lactate, diethylene glycol dimethyl ether, butyl acetate, ethyl carbitol acetate, butyl carbitol Acetate, propylene glycol methyl ether acetate, 2-
Heptanone or the like is preferably used.

前記溶剤は、それぞれ単独でまたは2種類以上を組み合わせて用いることができ、感光性樹脂組成物中の前記溶剤の含有量は、通常50重量%以上90重量%以下、好ましくは60重量%以上85重量%以下である。溶剤の含有量が50重量%以上90重量%以下であると、平坦性が良好で、カラーフィルタとしたきに十分な色濃度が得られ、好ましい。   The solvents can be used alone or in combination of two or more, and the content of the solvent in the photosensitive resin composition is usually from 50% by weight to 90% by weight, preferably from 60% by weight to 85%. % By weight or less. When the content of the solvent is 50% by weight or more and 90% by weight or less, the flatness is good and a color density sufficient for making a color filter is obtained, which is preferable.

本発明の感光性樹脂組成物は、充填剤、バインダーポリマー以外の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、有機酸、有機アミノ化合物、硬化剤などの添加剤を含有していてもよい。   The photosensitive resin composition of the present invention includes additives such as fillers, polymer compounds other than binder polymers, adhesion promoters, antioxidants, ultraviolet absorbers, anti-aggregation agents, organic acids, organic amino compounds, and curing agents. May be contained.

硬化剤としては、例えば、加熱されることによってバインダーポリマー中のカルボキシル基と反応してバインダーポリマーを架橋することができる化合物が挙げられる。また、それ単独で重合して着色パターンを硬化させ得る化合物も挙げられる。前記化合物としては、例えば、エポキシ化合物、オキセタン化合物などが挙げられる。   As a hardening | curing agent, the compound which can react with the carboxyl group in a binder polymer by heating and can bridge | crosslink a binder polymer is mentioned, for example. Moreover, the compound which can superpose | polymerize independently and harden a colored pattern is also mentioned. Examples of the compound include an epoxy compound and an oxetane compound.

(f)エポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールA系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールA系エポキシ樹脂、ビスフェノールF系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールF系エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、エポキシ化油等のエポキシ樹脂や、これらのエポキシ樹脂の臭素化誘導体、エポキシ樹脂およびその臭素化誘導体以外の脂肪族、脂環族または芳香族のエポキシ化合物、ブタジエンの(共)重合体のエポキシ化物、イソプレンの(共)重合体のエポキシ化物、グリシジル(メタ)アクリレートの(共)重合体、トリグリシジルイソシアヌレートなどが挙げられる。   (F) Examples of the epoxy compound include bisphenol A-based epoxy resins, hydrogenated bisphenol A-based epoxy resins, bisphenol F-based epoxy resins, hydrogenated bisphenol F-based epoxy resins, novolac-type epoxy resins, and other aromatic epoxy resins. , Alicyclic epoxy resins, heterocyclic epoxy resins, glycidyl ester resins, glycidyl amine resins, epoxy resins such as epoxidized oil, brominated derivatives of these epoxy resins, epoxy resins and brominated derivatives thereof Aliphatic, cycloaliphatic or aromatic epoxy compounds, epoxidized butadiene (co) polymers, epoxidized isoprene (co) polymers, glycidyl (meth) acrylate (co) polymers, triglycidyl Examples include isocyanurate.

オキセタン化合物としては、例えば、カーボネートビスオキセタン、キシリレンビスオキセタン、アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセタン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタンなどが挙げられる。   Examples of the oxetane compound include carbonate bisoxetane, xylylene bisoxetane, adipate bisoxetane, terephthalate bisoxetane, and cyclohexanedicarboxylate bisoxetane.

本発明の感光性組成物は、硬化剤としてエポキシ化合物、オキセタン化合物などを含有する場合には、エポキシ化合物のエポキシ基、オキセタン化合物のオキセタン骨格を開環重合させ得る化合物を含んでいてもよい。前記該化合物としては、例えば、多価カルボン酸類、多価カルボン酸無水物類、酸発生剤などが挙げられる。   When the photosensitive composition of the present invention contains an epoxy compound, an oxetane compound, or the like as a curing agent, it may contain a compound capable of ring-opening polymerization of the epoxy group of the epoxy compound or the oxetane skeleton of the oxetane compound. Examples of the compound include polyvalent carboxylic acids, polyvalent carboxylic acid anhydrides, and acid generators.

多価カルボン酸類としては、例えば、フタル酸、3,4−ジメチルフタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸などの芳香族多価カルボン酸類、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸などの脂肪族多価カルボン酸類、ヘキサヒドロフタル酸、3,4−ジメチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒドロテレフタル酸、1,2,4−シクロペンタントリカルボン酸、1,2,4−シクロヘキサントリカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸などの脂環族多価カルボン酸類などが挙げられる。   Examples of the polyvalent carboxylic acids include phthalic acid, 3,4-dimethylphthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, pyromellitic acid, trimellitic acid, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic acid, 3,3 Aromatic polycarboxylic acids such as', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid, maleic acid, fumaric acid, itaconic acid Aliphatic polycarboxylic acids such as hexahydrophthalic acid, 3,4-dimethyltetrahydrophthalic acid, hexahydroisophthalic acid, hexahydroterephthalic acid, 1,2,4-cyclopentanetricarboxylic acid, 1,2,4- Cyclohexanetricarboxylic acid, cyclopentanetetracarboxylic acid, 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic acid, etc. Such as alicyclic polycarboxylic acids and the like.

多価カルボン酸無水物類としては、例えば、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物類、無水イタコン酸、無水こはく酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、無水マレイン酸、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物などの脂肪族多価カルボン酸無水物類、無水ヘキサヒドロフ
タル酸、3,4−ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、1,2,4−シクロペンタントリカルボン酸無水物、1,2,4−シクロヘキサントリカルボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸などの脂環族多価カルボン酸無水物類、エチレングリコールビストリメリテイト酸、グリセリントリストリメリテイト無水物などのエステル基含有カルボン酸無水物類などが挙げられる。
Examples of the polyvalent carboxylic acid anhydrides include aromatic polyvalent carboxylic acids such as phthalic anhydride, pyromellitic anhydride, trimellitic anhydride, and 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride. Polyhydrides such as acid anhydrides, itaconic anhydride, succinic anhydride, citraconic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, tricarballylic anhydride, maleic anhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic dianhydride Carboxylic anhydrides, hexahydrophthalic anhydride, 3,4-dimethyltetrahydrophthalic anhydride, 1,2,4-cyclopentanetricarboxylic anhydride, 1,2,4-cyclohexanetricarboxylic anhydride, cyclo Pentanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, anhydrous hymic acid, anhydrous nadi Alicyclic polycarboxylic acid anhydrides such as acid, ethylene glycol bis trimellitate acid, an ester group-containing carboxylic acid anhydrides such as glycerin tris trimellitate anhydride.

カルボン酸無水物類として、エポキシ樹脂硬化剤として市販されているものを用いてもよい。前記エポキシ樹脂硬化剤としては、例えば、アデカハードナーEH−700(旭電化工業社製)、リカシッドHH(新日本理化社製)、MH−700(新日本理化社製)などが挙げられる。   As the carboxylic acid anhydrides, those commercially available as an epoxy resin curing agent may be used. Examples of the epoxy resin curing agent include ADEKA HARDNER EH-700 (manufactured by Asahi Denka Kogyo Co., Ltd.), Rikacid HH (manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd.), MH-700 (manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd.), and the like.

前記硬化剤は、それぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。   The said hardening | curing agent can be used individually or in combination of 2 types or more, respectively.

以下に実施例を掲げ、本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるものではない。   EXAMPLES The present invention will be described in detail below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

<遮光層の形成>(感光性黒色組成物の作製)
感光性黒色組成物は、以下の組成の混合物を混合攪拌して作製した。(固形分中の顔料濃度:30.7%)
カーボンブラック分散液:TPBK−2016(御国色素社製) 28.5重量部樹脂:V259−ME(新日鐵化学社製 固形分56.1重量%) 10.3重量部モノマー:DPHA(日本化薬社製) 2.58重量部開始剤:OXE−02(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製) 0.86重量部溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 92.0重量部レベリング剤 1.3重量部である。
<Formation of light shielding layer> (Preparation of photosensitive black composition)
The photosensitive black composition was prepared by mixing and stirring a mixture having the following composition. (Pigment concentration in solid content: 30.7%)
Carbon black dispersion: TPBK-2016 (manufactured by Mikuni Dye) 28.5 parts by weight Resin: V259-ME (manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd., solid content 56.1% by weight) 10.3 parts by weight Monomer: DPHA (Nipponization) 2.58 parts by weight initiator: OXE-02 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals) 0.86 parts by weight Solvent: propylene glycol monomethyl ether acetate 92.0 parts by weight leveling agent 1.3 parts by weight .

<遮光層の形成>
透明基板上に上記の感光性黒色組成物をスピンコートにより膜厚1.5μmとなるように塗布した。100℃で3分乾燥の後、露光機にて格子状のパターン露光を200mJ行い、アルカリ現像液にて60秒間現像、230℃で60分加熱処理をして定着、格子状のブラックマトリクス層を透明基板上に形成した。なお、アルカリ現像液は以下の組成からなる。以下、実施例及び比較例ではこのアルカリ現像液を用いて現像を行う。
炭酸ナトリウム: 1.5重量部炭酸水素ナトリウム: 0.5重量部陰イオン系界面活性剤:ペリレックスNBL(花王社製) 8.0重量部水: 90.0重量部である。
<Formation of light shielding layer>
The above photosensitive black composition was applied on a transparent substrate by spin coating so as to have a film thickness of 1.5 μm. After drying at 100 ° C. for 3 minutes, 200 mJ of lattice pattern exposure is performed with an exposure machine, development is performed with an alkali developer for 60 seconds, heat treatment is performed at 230 ° C. for 60 minutes, and the lattice-like black matrix layer is formed. It formed on the transparent substrate. The alkaline developer has the following composition. In the following examples and comparative examples, development is performed using this alkaline developer.
Sodium carbonate: 1.5 parts by weight Sodium hydrogen carbonate: 0.5 parts by weight Anionic surfactant: Perirex NBL (manufactured by Kao Corporation) 8.0 parts by weight Water: 90.0 parts by weight.

<着色層の形成>(赤色、緑色、青色着色組成物の作製)
赤色着色組成物、下記組成の混合物を均一に攪拌混合した後、直径1mmのガラスビースを用いて、サンドミルで5時間分散した後、5μmのフィルタで濾過して赤色顔料の分散体を作製した。
赤色顔料:C.I.Pigment Red254 18重量部
イルガーフォーレッドB-CF(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)
赤色顔料:C.I.Pigment ed177 2重量部
クロモフタールレッドA2B(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)
分散剤:アジスパーPB821(味の素ファインテクノ社製) 2重量部
アクリルワニス(固形分20%) 50重量部その後、下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、5μmのフィルタで濾過して赤色着色組成物を得た。
<Formation of colored layer> (Preparation of red, green and blue colored compositions)
A red colored composition and a mixture having the following composition were uniformly stirred and mixed, then dispersed in a sand mill for 5 hours using a glass bead having a diameter of 1 mm, and then filtered through a 5 μm filter to prepare a red pigment dispersion.
Red pigment: C.I. I. Pigment Red254 18 parts by weight Ilgar For Red B-CF (Ciba Specialty Chemicals)
Red pigment: C.I. I. Pigment ed177 2 parts by weight Chromothal Red A2B (Ciba Specialty Chemicals)
Dispersant: Azisper PB821 (manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd.) 2 parts by weight Acrylic varnish (solid content 20%) 50 parts by weight Thereafter, the mixture having the following composition is stirred and mixed to be uniform, and then filtered through a 5 μm filter. A red colored composition was obtained.

上記分散体 72重量部カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート: 8重量部
カヤラッドDPCA−30(日本化薬社製)
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート: 10重量部
カヤラッドDPHA(日本化薬社製)
メチル化メラミン樹脂:MW30(三和ケミカル社製) 10重量部光開始剤:イルガキュアー907(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製) 3重量部増感剤:EAB‐F(保土ヶ谷化学工業社製) 1重量部溶剤:シクロヘキサノン 253重量部である。
72 parts by weight of the above dispersion caprolactone-modified dipentaerythritol hexaacrylate: 8 parts by weight Kayarad DPCA-30 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Dipentaerythritol hexaacrylate: 10 parts by weight Kayalad DPHA (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Methylated melamine resin: MW30 (manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd.) 10 parts by weight Photoinitiator: Irgacure 907 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals) 3 parts by weight sensitizer: EAB-F (manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.) 1 Part by weight Solvent: 253 parts by weight of cyclohexanone.

緑色着色組成物
下記組成の混合物を均一に攪拌混合した後、直径1mmのガラスビースを用いて、サンドミルで5時間分散した後、5μmのフィルタで濾過して緑色顔料の分散体を作製した。
緑色顔料:C.I.Pigment Green36 16重量部
リオノールグリーン6YK(東洋インキ製造社製)
黄色顔料:C.I.Pigment Yellow150 8重量部
ファンチョンファーストイエローY-5688(バイエル社製)
分散剤:Disperbyk‐163(ビックケミー社製) 2重量部アクリルワニス(固形分20%) 102重量部
その後、上記分散体を128部用い、さらに下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、5μmのフィルタで濾過して緑色着色組成物を得た。
トリメチロールプロパントリアクリレート: 14重量部
NKエステルATMPT(新中村化学社製)
光開始剤:イルガキュアー907(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製) 4重量部増感剤:EAB‐F(保土ヶ谷化学工業社製) 2重量部溶剤:シクロヘキサノン 257重量部である。
Green Coloring Composition A mixture having the following composition was uniformly stirred and mixed, then dispersed in a sand mill for 5 hours using glass beads having a diameter of 1 mm, and then filtered through a 5 μm filter to prepare a green pigment dispersion.
Green pigment: C.I. I. Pigment Green 36 16 parts by weight Lionol Green 6YK (manufactured by Toyo Ink Co., Ltd.)
Yellow pigment: C.I. I. Pigment Yellow 150 8 parts by weight Funchon First Yellow Y-5688 (manufactured by Bayer)
Dispersant: Disperbyk-163 (manufactured by Big Chemie) 2 parts by weight Acrylic varnish (solid content 20%) 102 parts by weight After that, 128 parts of the above dispersion was used, and a mixture having the following composition was further stirred and mixed to be uniform. Filtration through a 5 μm filter gave a green colored composition.
Trimethylolpropane triacrylate: 14 parts by weight NK ester ATMPT (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.)
Photoinitiator: Irgacure 907 (Ciba Specialty Chemicals) 4 parts by weight Sensitizer: EAB-F (Hodogaya Chemical Co., Ltd.) 2 parts by weight Solvent: Cyclohexanone 257 parts by weight.

青色着色組成物
下記組成の混合物を均一に攪拌混合した後、直径1mmのガラスビースを用いて、サンドミルで5時間分散した後、5μmのフィルタで濾過して青色顔料の分散体を作製した。
青色顔料:C.I.Pigment Blue15 30重量部
リオノールブルーES(東洋インキ製造社製)
紫色顔料:C.I.Pigment Violet23 2重量部
パリオゲンバイオレット5890(BASF社製)
分散剤:ソルスバーズ20000(ゼネカ社製) 6重量部アクリルワニス(固形分20%) 200重量部その後、下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、5μmのフィルタで濾過して青色着色組成物を得た。
上記分散体: 238重量部トリメチロールプロパントリアクリレート: 19重量部
NKエステルATMPT(新中村化学社製)
光開始剤:イルガキュアー907(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製) 4重量部増感剤:EAB‐F(保土ヶ谷化学工業社製) 2重量部溶剤:シクロヘキサノン 214重量部
である。
Blue colored composition A mixture of the following composition was uniformly stirred and mixed, then dispersed in a sand mill for 5 hours using glass beads having a diameter of 1 mm, and then filtered through a 5 µm filter to prepare a dispersion of a blue pigment.
Blue pigment: C.I. I. Pigment Blue15 30 parts by weight Lionol Blue ES (manufactured by Toyo Ink Manufacturing Co., Ltd.)
Purple pigment: C.I. I. Pigment Violet 23 2 parts by weight Paliogen Violet 5890 (manufactured by BASF)
Dispersant: Sols Birds 20000 (manufactured by Zeneca) 6 parts by weight Acrylic varnish (solid content 20%) 200 parts by weight Then, the mixture having the following composition was stirred and mixed to be uniform, and then filtered through a 5 μm filter to give a blue color. A composition was obtained.
Dispersion: 238 parts by weight Trimethylolpropane triacrylate: 19 parts by weight NK ester ATMPT (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.)
Photoinitiator: Irgacure 907 (Ciba Specialty Chemicals) 4 parts by weight Sensitizer: EAB-F (Hodogaya Chemical Co., Ltd.) 2 parts by weight Solvent: 214 parts by weight of cyclohexanone.

<着色層の形成>
得られた赤色着色組成物、緑色着色組成物、青色着色組成物を用いて下記の要領で画素となる着色層を形成した。前述の遮光層を形成した透明基板上に、赤色着色組成物をスピンコートにより膜厚2μmとなるように塗布した。乾燥の後、露光機にてストライプ状のパターン露光をし、アルカリ現像液にて90秒間現像、230℃で20分加熱して定着、ストライプ状の赤色着色層を透明基板上に形成した。
<Formation of colored layer>
Using the obtained red colored composition, green colored composition, and blue colored composition, a colored layer serving as a pixel was formed in the following manner. On the transparent substrate on which the light shielding layer was formed, the red coloring composition was applied by spin coating so as to have a film thickness of 2 μm. After drying, a striped pattern was exposed with an exposure machine, developed with an alkaline developer for 90 seconds, heated at 230 ° C. for 20 minutes, fixed, and a striped red colored layer was formed on the transparent substrate.

次に、緑色着色組成物も同様にスピンコートにて膜厚が2μmとなるように塗布。乾燥後、露光機にてストライプ状の着色層を前述の赤色着色層とはずらした場所に露光し現像することで、前述赤色着色層と隣接した緑色着色層を形成した。   Next, the green coloring composition is similarly applied by spin coating so that the film thickness becomes 2 μm. After drying, the green colored layer adjacent to the red colored layer was formed by exposing and developing the striped colored layer in a position different from the red colored layer with an exposure machine.

さらに、赤色、緑色と全く同様にして、青色着色組成物についても膜厚2μmで赤色着色層、緑色着色層と隣接した青色着色層を形成した。   Further, in the same manner as red and green, the blue colored composition was formed with a blue colored layer adjacent to the red colored layer and the green colored layer with a film thickness of 2 μm.

<透明膜層の形成>
1リットル容の5つ口フラスコに、
シクロヘキサノン 200gN−シクロヘキシルマレイミド 30g2−ヒドロキシエチルメタクリレート 30gメタアクリル酸 20gブチルメタクリレート 20gを仕込み、窒素雰囲気下で
アゾビスイソブチロニトリル 1.0gを添加し80〜85℃で8時間反応させた。
次いで、
イソシアネートエチルメタクリレート 7gオクチル酸スズ 0.03gを
シクロヘキサン10gで溶解したものを約10分で滴下し、滴下後80〜85℃で30分反応させて側鎖に重合性のメタクリロイル基を有する樹脂溶液を合成した。さらに、この樹脂の不揮発分が20重量%となるようにシクロヘキサンノンで調製し、バインダー樹脂1の溶液を得た。
<Formation of transparent film layer>
In a 1 liter 5-neck flask,
Cyclohexanone 200 g N-cyclohexylmaleimide 30 g 2-hydroxyethyl methacrylate 30 g Methacrylic acid 20 g Butyl methacrylate 20 g was charged, and 1.0 g of azobisisobutyronitrile was added in a nitrogen atmosphere and reacted at 80 to 85 ° C. for 8 hours.
Then
7 g of isocyanate ethyl methacrylate 0.03 g of tin octylate dissolved in 10 g of cyclohexane was dropped in about 10 minutes, and after dropping, the mixture was reacted at 80 to 85 ° C. for 30 minutes to give a resin solution having a polymerizable methacryloyl group in the side chain. Synthesized. Furthermore, the resin was prepared with cyclohexaneone so that the nonvolatile content of the resin was 20% by weight, and a solution of binder resin 1 was obtained.

<感光性樹脂組成物1の作製>
以下の組成の混合物を混合攪拌して感光性樹脂組成物1を作製した。
(a)光重合開始剤:化式2DFI−020(ダイトーケミックス社製) 6重量部(b)バインダーポリマー:合成例1にて作製したバインダー樹脂 500重量部(c)感光性モノマー:ジペンタエリスリトールトリアクリレート 136重量部(d)界面活性剤:F‐550(大日本インキ化学工業社製) 0.09重量部(e)溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 228重量部(f)エポキシ化合物:オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂 27重量部
スミエポキシESCN−195XL−80(住友化学工業製)
<透明膜層1の形成>
前記した遮光層、着色層を形成したガラス基板上に感光性樹脂組成物1を膜厚が2.0μmになるようにスピンコートし、90℃で5分間乾燥した。透明膜層形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を50mJ/cm照射した。尚、フォトマスクとガラス基板との間隔(露光ギャップ)は100μmで露光した。その後、以下のようなアルカリ現像液を用いて40秒間現像を行い、水洗を施したのち、230℃30分焼成して透明膜層1
を作製した。
<Preparation of photosensitive resin composition 1>
A photosensitive resin composition 1 was prepared by mixing and stirring a mixture having the following composition.
(A) Photopolymerization initiator: Chemical formula 2DFI-020 (manufactured by Daitokemix) 6 parts by weight (b) Binder polymer: Binder resin prepared in Synthesis Example 1 500 parts by weight (c) Photosensitive monomer: Dipentaerythritol tri Acrylate 136 parts by weight (d) Surfactant: F-550 (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.) 0.09 parts by weight (e) Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate 228 parts by weight (f) Epoxy compound: Orthocresol novolak Type epoxy resin 27 parts by weight Sumiepoxy ESCN-195XL-80 (manufactured by Sumitomo Chemical)
<Formation of transparent film layer 1>
The photosensitive resin composition 1 was spin-coated on the glass substrate on which the light-shielding layer and the colored layer were formed so as to have a film thickness of 2.0 μm, and dried at 90 ° C. for 5 minutes. The light from a high-pressure mercury lamp was irradiated through a photomask for forming a transparent film layer at 50 mJ / cm 2 . In addition, it exposed with the space | interval (exposure gap) of a photomask and a glass substrate being 100 micrometers. Thereafter, development is performed for 40 seconds using an alkali developer as described below, followed by washing with water, followed by baking at 230 ° C. for 30 minutes to form transparent film layer 1
Was made.

実施例1における感光性樹脂組成物を以下の組成物に変えた以外は実施例1と同様に操作を行った。   The same operation as in Example 1 was performed except that the photosensitive resin composition in Example 1 was changed to the following composition.

<感光性樹脂組成物2の作製>
以下の組成の混合物を混合攪拌して感光性樹脂組成物2を作製した。
(a)光重合開始剤:化式2DFI−020(ダイトーケミックス社製) 4重量部(b)バインダーポリマー:合成例1にて作製したバインダー樹脂 500重量部(c)感光性モノマー:ジペンタエリスリトールトリアクリレート 136重量部(d)界面活性剤:F‐550(大日本インキ化学工業社製) 0.09重量部(e)溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 223重量部(f)エポキシ化合物:オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂 27重量部
スミエポキシESCN−195XL−80(住友化学工業製)
である。
<Preparation of photosensitive resin composition 2>
A photosensitive resin composition 2 was prepared by mixing and stirring a mixture having the following composition.
(A) Photopolymerization initiator: Formula 2DFI-020 (manufactured by Daitokemix) 4 parts by weight (b) Binder polymer: Binder resin prepared in Synthesis Example 1 500 parts by weight (c) Photosensitive monomer: Dipentaerythritol tri Acrylate 136 parts by weight (d) Surfactant: F-550 (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.) 0.09 parts by weight (e) Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate 223 parts by weight (f) Epoxy compound: Orthocresol novolak Type epoxy resin 27 parts by weight Sumiepoxy ESCN-195XL-80 (manufactured by Sumitomo Chemical)
It is.

<透明膜層2の形成>
前記した遮光層、着色層を形成したガラス基板上に感光性樹脂組成物2を膜厚が2.0μmになるようにスピンコートし、90℃で5分間乾燥した。透明膜層形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を50mJ/cm照射した。尚、フォトマスクとガラス基板との間隔(露光ギャップ)は100μmで露光した。
その後、以下のようなアルカリ現像液を用いて40秒間現像を行い、水洗を施したのち、230℃30分焼成して透明膜層2を作製した。
<Formation of transparent film layer 2>
The photosensitive resin composition 2 was spin-coated on the glass substrate on which the light-shielding layer and the colored layer were formed, so that the film thickness became 2.0 μm, and dried at 90 ° C. for 5 minutes. The light from a high-pressure mercury lamp was irradiated through a photomask for forming a transparent film layer at 50 mJ / cm 2 . In addition, it exposed with the space | interval (exposure gap) of a photomask and a glass substrate being 100 micrometers.
Thereafter, development was performed for 40 seconds using an alkali developer as described below, followed by washing with water, followed by baking at 230 ° C. for 30 minutes to produce a transparent film layer 2.

<透明膜層2(単膜)の形成>
前記した、感光性組成物2をガラス基板上に膜厚が2.0μmになるようにスピンコートし、90℃で5分間乾燥した。透明膜層形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を50mJ/cm照射した。尚、フォトマスクとガラス基板との間隔(露光ギャップ)は100μmで露光した。
その後、アルカリ現像液を用いて40秒間現像を行い、水洗を施したのち、230℃30分焼成して透明膜層2(単膜)を作製した。
<Formation of transparent film layer 2 (single film)>
The above-mentioned photosensitive composition 2 was spin-coated on a glass substrate so as to have a film thickness of 2.0 μm, and dried at 90 ° C. for 5 minutes. The light from a high-pressure mercury lamp was irradiated through a photomask for forming a transparent film layer at 50 mJ / cm 2 . In addition, it exposed with the space | interval (exposure gap) of a photomask and a glass substrate being 100 micrometers.
Thereafter, development was performed using an alkali developer for 40 seconds, followed by washing with water, followed by baking at 230 ° C. for 30 minutes to produce a transparent film layer 2 (single film).

実施例1における感光性樹脂組成物を以下の組成物に変えた以外は実施例1と同様に操作を行った。   The same operation as in Example 1 was performed except that the photosensitive resin composition in Example 1 was changed to the following composition.

<感光性樹脂組成物3の作製>
以下の組成の混合物を混合攪拌して感光性樹脂組成物3を作製した。
(a)光重合開始剤:化式3DFI−091(ダイトーケミックス社製) 6重量部(b)バインダーポリマー:合成例1にて作製したバインダー樹脂 500重量部(c)感光性モノマー:ジペンタエリスリトールトリアクリレート 136重量部(d)界面活性剤:F‐550(大日本インキ化学工業社製) 0.09重量部(e)溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 223重量部(f)エポキシ化合物:オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂 27重量部
スミエポキシESCN−195XL−80(住友化学工業製)
である。
<Preparation of photosensitive resin composition 3>
A photosensitive resin composition 3 was prepared by mixing and stirring a mixture having the following composition.
(A) Photopolymerization initiator: Formula 3DFI-091 (manufactured by Daitokemix) 6 parts by weight (b) Binder polymer: Binder resin prepared in Synthesis Example 1 500 parts by weight (c) Photosensitive monomer: Dipentaerythritol tri Acrylate 136 parts by weight (d) Surfactant: F-550 (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.) 0.09 parts by weight (e) Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate 223 parts by weight (f) Epoxy compound: Orthocresol novolak Type epoxy resin 27 parts by weight Sumiepoxy ESCN-195XL-80 (manufactured by Sumitomo Chemical)
It is.

<透明膜層3の形成>
前記した遮光層、着色層を形成したガラス基板上に感光性樹脂組成物3を膜厚が2.0μ
mになるようにスピンコートし、90℃で5分間乾燥した。透明膜層形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を50mJ/cm照射した。尚、フォトマスクとガラス基板との間隔(露光ギャップ)は100μmで露光した。
その後、以下のようなアルカリ現像液を用いて40秒間現像を行い、水洗を施したのち、230℃30分焼成して透明膜層3を作製した。
<Formation of transparent film layer 3>
The film thickness of the photosensitive resin composition 3 is 2.0 μm on the glass substrate on which the light shielding layer and the colored layer are formed.
The film was spin-coated to m, and dried at 90 ° C. for 5 minutes. The light from a high-pressure mercury lamp was irradiated through a photomask for forming a transparent film layer at 50 mJ / cm 2 . In addition, it exposed with the space | interval (exposure gap) of a photomask and a glass substrate being 100 micrometers.
Thereafter, development was performed for 40 seconds using an alkali developer as described below, followed by washing with water, followed by baking at 230 ° C. for 30 minutes to produce a transparent film layer 3.

<透明膜層3(単膜)の形成>
前記した、感光性組成物3をガラス基板上に膜厚が2.0μmになるようにスピンコートし、90℃で5分間乾燥した。透明膜層形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を50mJ/cm照射した。尚、フォトマスクとガラス基板との間隔(露光ギャップ)は100μmで露光した。
その後、アルカリ現像液を用いて40秒間現像を行い、水洗を施したのち、230℃30分焼成して透明膜層3(単膜)を作製した。
<Formation of transparent film layer 3 (single film)>
The above-mentioned photosensitive composition 3 was spin-coated on a glass substrate so as to have a film thickness of 2.0 μm, and dried at 90 ° C. for 5 minutes. The light from a high-pressure mercury lamp was irradiated through a photomask for forming a transparent film layer at 50 mJ / cm 2 . In addition, it exposed with the space | interval (exposure gap) of a photomask and a glass substrate being 100 micrometers.
Thereafter, development was performed using an alkali developer for 40 seconds, followed by washing with water, followed by baking at 230 ° C. for 30 minutes to produce a transparent film layer 3 (single film).

<比較例1>
実施例1における感光性樹脂組成物を以下の組成物に変えた以外は実施例1と同様に操作を行った。
<Comparative Example 1>
The same operation as in Example 1 was performed except that the photosensitive resin composition in Example 1 was changed to the following composition.

<感光性樹脂組成物4の作製>
以下の組成の混合物を混合攪拌して感光性樹脂組成物4を作製した。
(a)光重合開始剤:イルガキュアー907 12重量部
(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)
(b)バインダーポリマー:合成例1にて作製したバインダー樹脂 500重量部(c)感光性モノマー:ジペンタエリスリトールトリアクリレート 136重量部(d)界面活性剤:F‐550(大日本インキ化学工業社製) 0.09重量部(e)溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 242重量部(f)エポキシ化合物:オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂 27重量部
スミエポキシESCN−195XL−80(住友化学工業社製)
である。
<Preparation of photosensitive resin composition 4>
A photosensitive resin composition 4 was prepared by mixing and stirring a mixture having the following composition.
(A) Photopolymerization initiator: 12 parts by weight of Irgacure 907 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
(B) Binder polymer: Binder resin prepared in Synthesis Example 1 500 parts by weight (c) Photosensitive monomer: 136 parts by weight of dipentaerythritol triacrylate (d) Surfactant: F-550 (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.) 0.09 parts by weight (e) Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate 242 parts by weight (f) Epoxy compound: Orthocresol novolac type epoxy resin 27 parts by weight Sumiepoxy ESCN-195XL-80 (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.)
It is.

<透明膜層4の形成>
前記した遮光層、着色層を形成したガラス基板上に感光性樹脂組成物4を膜厚が2.0μmになるようにスピンコートし、90℃で5分間乾燥した。透明膜層形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を50mJ/cm照射した。尚、フォトマスクとガラス基板との間隔(露光ギャップ)は100μmで露光した。
その後、以下のようなアルカリ現像液を用いて40秒間現像を行い、水洗を施したのち、230℃30分焼成して透明膜層4を作製した。
<Formation of transparent film layer 4>
The photosensitive resin composition 4 was spin-coated on the glass substrate on which the light-shielding layer and the colored layer were formed, so that the film thickness was 2.0 μm, and dried at 90 ° C. for 5 minutes. The light from a high-pressure mercury lamp was irradiated through a photomask for forming a transparent film layer at 50 mJ / cm 2 . In addition, it exposed with the space | interval (exposure gap) of a photomask and a glass substrate being 100 micrometers.
Thereafter, development was performed for 40 seconds using an alkali developer as described below, followed by washing with water, followed by baking at 230 ° C. for 30 minutes to produce a transparent film layer 4.

<透明膜層4(単膜)の形成>
前記した、感光性組成物4をガラス基板上に膜厚が2.0μmになるようにスピンコートし、90℃で5分間乾燥した。透明膜層形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を50mJ/cm照射した。尚、フォトマスクとガラス基板との間隔(露光ギャップ)は100μmで露光した。
その後、アルカリ現像液を用いて40秒間現像を行い、水洗を施したのち、230℃30分焼成して透明膜層4(単膜)を作製した。
<Formation of transparent film layer 4 (single film)>
The above-described photosensitive composition 4 was spin-coated on a glass substrate so as to have a film thickness of 2.0 μm, and dried at 90 ° C. for 5 minutes. The light from a high-pressure mercury lamp was irradiated through a photomask for forming a transparent film layer at 50 mJ / cm 2 . In addition, it exposed with the space | interval (exposure gap) of a photomask and a glass substrate being 100 micrometers.
Then, after developing for 40 seconds using an alkali developer, washing with water and baking at 230 ° C. for 30 minutes, a transparent film layer 4 (single film) was produced.

<比較例2>
(感光性樹脂組成物5の作製)以下の組成の混合物を混合攪拌して感光性樹脂組成物5を作製した。
(a)光重合開始剤:イルガキュアー907 6重量部
(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)
(b)バインダーポリマー:合成例1にて作製したバインダー樹脂 500重量部(c)感光性モノマー:ジペンタエリスリトールトリアクリレート 136重量部(d)界面活性剤:F‐550(大日本インキ化学工業社製) 0.09重量部(e)溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 228重量部(f)エポキシ化合物:オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂 27重量部
(スミエポキシESCN−195XL−80 住友化学工業社製)
である。
<Comparative example 2>
(Preparation of photosensitive resin composition 5) A photosensitive resin composition 5 was prepared by mixing and stirring a mixture having the following composition.
(A) Photopolymerization initiator: 6 parts by weight of Irgacure 907 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
(B) Binder polymer: Binder resin prepared in Synthesis Example 1 500 parts by weight (c) Photosensitive monomer: 136 parts by weight of dipentaerythritol triacrylate (d) Surfactant: F-550 (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.) 0.09 parts by weight (e) Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate 228 parts by weight (f) Epoxy compound: Orthocresol novolac type epoxy resin 27 parts by weight (Sumiepoxy ESCN-195XL-80 manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.)
It is.

<透明膜層5の形成>
前記した遮光層、着色層を形成したガラス基板上に感光性樹脂組成物5を膜厚が2.0μmになるようにスピンコートし、90℃で5分間乾燥した。透明膜層形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を50mJ/cm照射した。尚、フォトマスクとガラス基板との間隔(露光ギャップ)は100μmで露光した。
その後、以下のようなアルカリ現像液を用いて40秒間現像を行い、水洗を施したのち、230℃30分焼成して透明膜層5を作製した。
<Formation of transparent film layer 5>
The photosensitive resin composition 5 was spin-coated on the glass substrate on which the light-shielding layer and the colored layer were formed, so that the film thickness became 2.0 μm, and dried at 90 ° C. for 5 minutes. The light from a high-pressure mercury lamp was irradiated through a photomask for forming a transparent film layer at 50 mJ / cm 2 . In addition, it exposed with the space | interval (exposure gap) of a photomask and a glass substrate being 100 micrometers.
Thereafter, development was carried out for 40 seconds using the following alkaline developer, followed by washing with water, followed by baking at 230 ° C. for 30 minutes to produce a transparent film layer 5.

<透明膜層5(単膜)の形成>
前記した、感光性組成物5をガラス基板上に膜厚が2.0μmになるようにスピンコートし、90℃で5分間乾燥した。透明膜層形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を50mJ/cm照射した。尚、フォトマスクとガラス基板との間隔(露光ギャップ)は100μmで露光した。
その後、アルカリ現像液を用いて40秒間現像を行い、水洗を施したのち、230℃30分焼成して透明膜層5(単膜)を作製した。
<Formation of transparent film layer 5 (single film)>
The above-described photosensitive composition 5 was spin-coated on a glass substrate so as to have a film thickness of 2.0 μm, and dried at 90 ° C. for 5 minutes. The light from a high-pressure mercury lamp was irradiated through a photomask for forming a transparent film layer at 50 mJ / cm 2 . In addition, it exposed with the space | interval (exposure gap) of a photomask and a glass substrate being 100 micrometers.
Then, after developing for 40 seconds using an alkaline developer, washing with water, and baking at 230 ° C. for 30 minutes, a transparent film layer 5 (single film) was produced.

<比較例3>
(感光性樹脂組成物6の作製)
以下の組成の混合物を混合攪拌して感光性樹脂組成物6を作製した。
(a)光重合開始剤:イルガキュアー907 6重量部
(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)
(b)バインダーポリマー:合成例1にて作製したバインダー樹脂 500重量部(c)感光性モノマー:ジペンタエリスリトールトリアクリレート 150重量部(d)界面活性剤:F‐550(大日本インキ化学工業社製) 0.09重量部(e)溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 275重量部(f)エポキシ化合物:オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂 27重量部
スミエポキシESCN−195XL−80(住友化学工業社製)
である。
<Comparative Example 3>
(Preparation of photosensitive resin composition 6)
A photosensitive resin composition 6 was prepared by mixing and stirring a mixture having the following composition.
(A) Photopolymerization initiator: 6 parts by weight of Irgacure 907 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
(B) Binder polymer: 500 parts by weight of the binder resin prepared in Synthesis Example 1 (c) Photosensitive monomer: 150 parts by weight of dipentaerythritol triacrylate (d) Surfactant: F-550 (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.) 0.09 parts by weight (e) Solvent: 275 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate (f) Epoxy compound: 27 parts by weight of orthocresol novolac type epoxy resin Sumiepoxy ESCN-195XL-80 (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.)
It is.

<透明膜層6の形成>
前記した遮光層、着色層を形成したガラス基板上に感光性樹脂組成物6を膜厚が2.0μmになるようにスピンコートし、90℃で5分間乾燥した。透明膜層形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を50mJ/cm照射した。尚、フォトマスクとガラス基板との間隔(露光ギャップ)は100μmで露光した。
その後、以下のようなアルカリ現像液を用いて40秒間現像を行い、水洗を施したのち、230℃30分焼成して透明膜層6を作製した。
<Formation of transparent film layer 6>
The photosensitive resin composition 6 was spin-coated on the glass substrate on which the light-shielding layer and the colored layer were formed, so as to have a film thickness of 2.0 μm, and dried at 90 ° C. for 5 minutes. The light from a high-pressure mercury lamp was irradiated through a photomask for forming a transparent film layer at 50 mJ / cm 2 . In addition, it exposed with the space | interval (exposure gap) of a photomask and a glass substrate being 100 micrometers.
Thereafter, development was carried out for 40 seconds using the following alkaline developer, followed by washing with water, followed by baking at 230 ° C. for 30 minutes to produce a transparent film layer 6.

<透明膜層6(単膜)の形成>
前記した、感光性組成物6をガラス基板上に膜厚が2.0マイクロmになるようにスピンコートし、90℃で5分間乾燥した。透明膜層形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を50mJ/cm照射した。尚、フォトマスクとガラス基板との間隔(露光ギャッ
プ)は100μmで露光した。
その後、アルカリ現像液を用いて40秒間現像を行い、水洗を施したのち、230℃30分焼成して透明膜層6(単膜)を作製した。
<Formation of transparent film layer 6 (single film)>
The above-described photosensitive composition 6 was spin-coated on a glass substrate so as to have a film thickness of 2.0 μm, and dried at 90 ° C. for 5 minutes. The light from a high-pressure mercury lamp was irradiated through a photomask for forming a transparent film layer at 50 mJ / cm 2 . In addition, it exposed with the space | interval (exposure gap) of a photomask and a glass substrate being 100 micrometers.
Then, after developing for 40 seconds using an alkaline developer, washing with water and baking at 230 ° C. for 30 minutes, a transparent film layer 6 (single film) was produced.

<評価>
上記のように作製した感光性樹脂組成物で作製した透明膜層を、以下の項目にて評価を実施した。
<Evaluation>
The transparent film layer produced with the photosensitive resin composition produced as mentioned above was evaluated in the following items.

<現像後ムラ>
上記実施例および比較例で得られた感光性樹脂組成物にて透明膜層(単膜)形成時、現像後の外観をNaランプ下において観察し、シミムラなどが観察されたものを×、観察されないものを○とした。
<Unevenness after development>
When forming a transparent film layer (single film) with the photosensitive resin compositions obtained in the above-mentioned Examples and Comparative Examples, the appearance after development was observed under a Na lamp, and x was observed where spot unevenness was observed. What was not done was set as (circle).

<飽和露光量>
上記実施例および比較例で得られた感光性樹脂組成物において透明膜層(単膜)形成時、コート後の膜厚を測定し、露光時には、フォトマスクを介して露光量を段階的に照射(10,20,30,40,50,60,80,100mJ/cm)してパターニングし、現像工程及び焼成完了後、各露光ステップでの膜厚を測定し、以下のような方法で各露光量での残膜率及び飽和露光量を算出、判定した。
飽和露光量(mJ):残膜率が飽和する最小露光量
(残膜率(%):230℃・30分焼成後の膜厚÷現像前コート時の膜厚)飽和露光量が50mJ以下のものを○、それ以上のものを×とした。
膜厚の測定には、小坂研究所社製二次元微細形状測定器ET4000Tを用いた。
<Saturated exposure>
In the photosensitive resin compositions obtained in the above examples and comparative examples, the film thickness after coating is measured when forming a transparent film layer (single film), and the exposure dose is irradiated stepwise through a photomask during exposure. (10, 20, 30, 40, 50, 60, 80, 100 mJ / cm 2 ), patterning, and after the development process and baking, the film thickness at each exposure step is measured. The remaining film ratio and the saturated exposure amount at the exposure amount were calculated and judged.
Saturated exposure (mJ): Minimum exposure that saturates the remaining film rate
(Residual film ratio (%): film thickness after baking at 230 ° C. for 30 minutes ÷ film thickness at coating before development) A film having a saturated exposure amount of 50 mJ or less was marked with ◯, and a film with more than that was marked with x.
For measuring the film thickness, a two-dimensional fine shape measuring instrument ET4000T manufactured by Kosaka Laboratory Ltd. was used.

<透過率>
上記実施例および比較例で得られた感光性樹脂組成物において透明膜層(単層)を形成し、大塚電子社製分光透過率測定装置LCF‐1100Mを用いて分光透過率を測定し、400nmの分光透過率が99%以上となるものを○、未満となるものを×とした。
<Transmissivity>
A transparent film layer (single layer) was formed in the photosensitive resin compositions obtained in the above examples and comparative examples, and the spectral transmittance was measured using a spectral transmittance measuring device LCF-1100M manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd. A sample having a spectral transmittance of 99% or higher was evaluated as ◯, and a sample having a spectral transmittance of less than 99% was evaluated as ×.

<平坦性>
上記実施例および比較例で得られたカラーフィルタ上の透明膜層を、小坂研究所社製二次元微細形状測定器ET4000Tを用いて測定し、透明膜の平坦化率FAを評価した。
FA=(FR+FG+FB)/3 式(1)
FR=(HR(2)−LR(2))/(HR(1)−LR(1)) 式(2)
=(HG(2)−LG(2))/(HG(1)−LG(1)) 式(3)
=(HB(2)−LB(2))/(HB(1)−LB(1)) 式(4)
ここで、
HR(1):透明膜層を形成する前のRed画素高さの最大値、
LR(1):透明膜層を形成する前のRed画素の中心の高さ、
HG(1):透明膜層を形成する前のGreen画素高さの最大値、
LG(1):透明膜層を形成する前のGreen画素中心の高さ、
HB(1):透明膜層を形成する前のBlue画素高さの最大値、
LB(1):透明膜層を形成する前のBlue画素中心の高さ、
HR(2):透明膜層を形成した後のRed画素高さの最大値、
LR(2):透明膜層を形成した後のRed画素中心の高さ、
HG(2):透明膜層を形成した後のGreen画素高さの最大値、
LG(2):透明膜層を形成した後のGreen画素中心の高さ、
HB(2):透明膜層を形成した後のBlue画素高さの最大値、
LB(2):透明膜層を形成した後のBlue画素中心の高さ
であり、平坦性の評価基準は、85%以上を○、85%未満のものを×とした。
<Flatness>
The transparent film layer on the color filter obtained in the above Examples and Comparative Examples was measured using a two-dimensional fine shape measuring instrument ET4000T manufactured by Kosaka Laboratory Ltd., and the flattening rate FA of the transparent film was evaluated.
FA = (FR + FG + FB) / 3 Formula (1)
FR = (HR (2) −LR (2)) / (HR (1) −LR (1)) Formula (2)
F G = (HG (2) −LG (2)) / (HG (1) −LG (1)) Formula (3)
F B = (HB (2) −LB (2)) / (HB (1) −LB (1)) Formula (4)
here,
HR (1): the maximum value of the Red pixel height before forming the transparent film layer,
LR (1): height of the center of the Red pixel before forming the transparent film layer,
HG (1): Maximum value of Green pixel height before forming the transparent film layer,
LG (1): Green pixel center height before forming the transparent film layer,
HB (1): the maximum value of the blue pixel height before forming the transparent film layer,
LB (1): the height of the blue pixel center before forming the transparent film layer,
HR (2): the maximum value of the Red pixel height after forming the transparent film layer,
LR (2): the height of the Red pixel center after forming the transparent film layer,
HG (2): Maximum value of Green pixel height after forming the transparent film layer,
LG (2): Green pixel center height after forming the transparent film layer,
HB (2): the maximum value of the blue pixel height after forming the transparent film layer,
LB (2): The height of the center of the Blue pixel after the transparent film layer is formed, and the evaluation criteria of flatness are ◯ for 85% or more and x for less than 85%.

上記の評価を行った結果を表1に示した。   The results of the above evaluation are shown in Table 1.

Figure 0006252039
Figure 0006252039

Claims (3)

化式2で表されるフルオレン系オキシムエステル化合物を含有する光重合開始剤、ポリスチレン換算重量平均分子量が20,000〜40,000であり、かつ、酸価が90〜160のアクリル系重合体であるバインダーポリマー、感光性モノマー、界面活性剤、および溶剤を含有する感光性樹脂組成物を、透明膜層として、ガラス基板上の遮光層、着色画素層上に積層し230℃で焼成したカラーフィルタであり、
かつ、前記透明膜層の平坦化率が、87.5〜88.1%の範囲内であることを特徴とするカラーフィルタ。
Figure 0006252039
A photopolymerization initiator containing a fluorene-based oxime ester compound represented by Chemical Formula 2, an acrylic polymer having a polystyrene-equivalent weight average molecular weight of 20,000 to 40,000 and an acid value of 90 to 160 A color filter obtained by laminating a photosensitive resin composition containing a binder polymer, a photosensitive monomer, a surfactant, and a solvent as a transparent film layer on a light-shielding layer and a colored pixel layer on a glass substrate and firing at 230 ° C. And
And the flattening rate of the said transparent film layer exists in the range of 87.5-88.1%, The color filter characterized by the above-mentioned.
Figure 0006252039
化式3で表されるフルオレン系オキシムエステル化合物を含有する光重合開始剤、ポリスチレン換算重量平均分子量が20,000〜40,000であり、かつ、酸価が90〜160のアクリル系重合体であるバインダーポリマー、感光性モノマー、界面活性剤、および溶剤を含有する感光性樹脂組成物を、透明膜層として、ガラス基板上の遮光層、着色画素層上に積層し230℃で焼成したカラーフィルタであり、
かつ、前記透明膜層の平坦化率が、87.8〜88.1%の範囲内であることを特徴とするカラーフィルタ。
Figure 0006252039
A photopolymerization initiator containing a fluorene-based oxime ester compound represented by Formula 3, an acrylic polymer having a polystyrene-equivalent weight average molecular weight of 20,000 to 40,000 and an acid value of 90 to 160 A color filter obtained by laminating a photosensitive resin composition containing a binder polymer, a photosensitive monomer, a surfactant, and a solvent as a transparent film layer on a light-shielding layer and a colored pixel layer on a glass substrate and firing at 230 ° C. And
And the flattening rate of the said transparent film layer exists in the range of 87.8-88.1 %, The color filter characterized by the above-mentioned.
Figure 0006252039
請求項1または2に記載のカラーフィルタを用いたことを特徴とする液晶表示装置。   A liquid crystal display device using the color filter according to claim 1.
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