JP2009276756A - Colored photosensitive resin composition, and pattern and color filter formed using the same - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a colored photosensitive resin composition which is less liable to dry and is easily redissolved when it dries. <P>SOLUTION: The colored photosensitive resin composition includes a colorant, a binder resin, a photopolymerizable compound, a photopolymerization initiator and a solvent. The solvent consists of at least one solvent (A) selected from the group consisting of dipropylene glycol monoalkyl ethers having a 1-4C alkyl group and dipropylene glycol monoalkyl ether esters having a 1-4C alkyl group and a solvent (B) different from the solvent (A), a content of the solvent (A) is 5-40 mass% relative to the total amount of the solvents, and a content of the solvent (B) is 60-95 mass% relative to the total amount of the solvents. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、着色感光性樹脂組成物ならびにそれを用いて形成されたパターン及びカラーフィルタに関する。   The present invention relates to a colored photosensitive resin composition, a pattern formed using the same, and a color filter.

近年、カラーフィルタの製造に用いられる塗布装置として、スリットアンドスピン方式やスピンレス方式に代表される省液コーターが使用されるようになってきた(特許文献1)。この省液コーターでは、従来のスピンコーターに比べ、少量の着色感光性樹脂組成物で基材に塗布できるので、コスト面で優れる。
しかし、この省液コーターでは、基材に着色感光性樹脂組成物を接触させるスリット周辺部において、着色感光性樹脂組成物が乾燥して異物となり、基材上に落下して、カラーフィルタの歩留まり低下を起こすことがある。これを避けるためにスリット周辺の洗浄操作が必要となり、生産性の面での改善が望まれていた。
これに対して、着色感光性樹脂組成物に沸点が高い溶剤を用いることで、乾燥を防止することが一般的に考えられる。しかし、沸点の高い溶剤を過剰に用いると、露光工程前に溶剤を揮発除去する工程であるプリベーク工程の作業性が低下するという問題があった。
In recent years, a liquid-saving coater typified by a slit-and-spin method and a spinless method has been used as a coating apparatus used for manufacturing a color filter (Patent Document 1). This liquid-saving coater is superior in cost because it can be applied to a substrate with a small amount of a colored photosensitive resin composition as compared with a conventional spin coater.
However, in this liquid-saving coater, the colored photosensitive resin composition is dried to become a foreign substance at the periphery of the slit where the colored photosensitive resin composition is brought into contact with the base material, falls on the base material, and the yield of the color filter is reduced. May cause decline. In order to avoid this, a cleaning operation around the slit is required, and improvement in productivity has been desired.
On the other hand, it is generally considered that drying is prevented by using a solvent having a high boiling point for the colored photosensitive resin composition. However, when a solvent having a high boiling point is used excessively, there is a problem that workability of a pre-bake process, which is a process for removing the solvent by volatilization before the exposure process, is lowered.

本発明の目的は、乾燥しにくく、また、乾燥した際に容易に再溶解させることができる着色感光性樹脂組成物を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a colored photosensitive resin composition that is difficult to dry and can be easily redissolved when dried.

本発明者らは、鋭意検討を重ねた結果、特定の溶媒を特定量用いることにより、上記のような課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明の着色感光性樹脂組成物は、
着色剤、バインダー樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤及び溶媒を含む着色感光性樹脂組成物であって、
溶媒は、アルキル基の炭素数1〜4のジプロピレングリコールモノアルキルエーテル及びアルキル基の炭素数1〜4のジプロピレングリコールモノアルキルエーテルエステルからなる群から選ばれる少なくとも1種の溶媒(A)及び(A)とは異なる溶媒(B)からなり、
溶媒(A)の含有量が全溶媒量に対して、5質量%以上40質量%以下であり、
溶媒(B)の含有量が全溶媒量に対して、60質量%以上95質量%以下であることを特徴とする。
As a result of intensive studies, the present inventors have found that the above-described problems can be solved by using a specific amount of a specific solvent, and have completed the present invention.
That is, the colored photosensitive resin composition of the present invention is
A colored photosensitive resin composition comprising a colorant, a binder resin, a photopolymerizable compound, a photopolymerization initiator, and a solvent,
The solvent is at least one solvent (A) selected from the group consisting of dialkylene glycol monoalkyl ethers having 1 to 4 carbon atoms in the alkyl group and dipropylene glycol monoalkyl ether esters having 1 to 4 carbon atoms in the alkyl group; Comprising a solvent (B) different from (A),
The content of the solvent (A) is 5% by mass or more and 40% by mass or less based on the total amount of the solvent,
The content of the solvent (B) is 60% by mass or more and 95% by mass or less based on the total amount of the solvent.

また、溶媒(B)が、121℃以上171℃以下の沸点を有する溶媒であることが好ましい。
溶媒(A)が、アルキル基の炭素数1〜4のジプロピレングリコールモノアルキルエーテルであってもよく、特に、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルであることが好ましい。
さらに、溶媒(B)が、プロピレングリコールメチルエーテルアセテートであることが好ましい。
Moreover, it is preferable that a solvent (B) is a solvent which has a boiling point of 121 to 171 degreeC.
The solvent (A) may be a C1-C4 dipropylene glycol monoalkyl ether of an alkyl group, and is particularly preferably dipropylene glycol monomethyl ether.
Furthermore, the solvent (B) is preferably propylene glycol methyl ether acetate.

また、本発明のパターンは、上述した着色感光性樹脂組成物を用いて形成されたものであることを特徴とする。
さらに、本発明のカラーフィルタは、上記パターンを含むことを特徴とする。
Moreover, the pattern of this invention is formed using the colored photosensitive resin composition mentioned above, It is characterized by the above-mentioned.
Furthermore, the color filter of the present invention includes the above pattern.

本発明の着色感光性樹脂組成物によれば、着色感光性樹脂組成物がスリット周辺で固化しにくく、たとえ、一部固化しても、着色感光性樹脂組成物中の溶媒により、再溶解しやすいため、カラーフィルタ上における異物の生成を抑制することができる。また、スリット洗浄の頻度を少なくし、あるいは、プリベーク工程の生産性を確保することにより、生産性を向上させることができる。   According to the colored photosensitive resin composition of the present invention, the colored photosensitive resin composition is hard to solidify around the slit, and even if partially solidified, it is re-dissolved by the solvent in the colored photosensitive resin composition. Since it is easy, the production | generation of the foreign material on a color filter can be suppressed. Further, productivity can be improved by reducing the frequency of slit cleaning or securing the productivity of the pre-baking process.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、主として、着色剤、バインダー樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤及び溶媒を含む。
本発明に用いられる着色剤は、有機顔料であってもよいし、無機顔料であってもよい。また、染料でもよい。なかでも、耐熱性、発色性に優れていることから、有機顔料が好ましく用いられる。
The colored photosensitive resin composition of the present invention mainly contains a colorant, a binder resin, a photopolymerizable compound, a photopolymerization initiator, and a solvent.
The colorant used in the present invention may be an organic pigment or an inorganic pigment. A dye may also be used. Of these, organic pigments are preferably used because of their excellent heat resistance and color developability.

前記の有機顔料及び無機顔料として、例えば、カラーインデックス(The Society of Dyers and Colourists出版)でピグメント(Pigment)に分類されている化合物が挙げられる。
具体的には、C.I.ピグメントイエロー1(以下、C.I.ピグメントイエローを省略して番号のみ記載する。他の色相についても同様に記載する。)、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、128、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、194、214等の黄色顔料;
C.I.ピグメントオレンジ13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65、71、73等のオレンジ色の顔料;
C.I.ピグメントレッド9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、209、215、216、224、242、254、264、265等の赤色顔料;
Examples of the organic pigments and inorganic pigments include compounds classified as pigments by Color Index (published by The Society of Dyers and Colorists).
Specifically, C.I. I. Pigment Yellow 1 (hereinafter, CI Pigment Yellow is omitted and only the number is described. Other hues are also described in the same manner) 3, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 20, 24 , 31, 53, 83, 86, 93, 94, 109, 110, 117, 125, 128, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 153, 154, 166, 173, 194, 214, etc. ;
C. I. Orange pigments such as CI Pigment Orange 13, 31, 36, 38, 40, 42, 43, 51, 55, 59, 61, 64, 65, 71, 73;
C. I. Red pigments such as CI Pigment Red 9, 97, 105, 122, 123, 144, 149, 166, 168, 176, 177, 180, 192, 209, 215, 216, 224, 242, 254, 264, 265;

C.I.ピグメントブルー15、15:3、15:4、15:6、60等の青色顔料; C.I.ピグメントバイオレット1、19、23、29、32、36、38等のバイオレット色顔料;
C.I.ピグメントグリーン7、36等の緑色顔料;
C.I.ピグメントブラウン23、25等のブラウン色顔料;
C.I.ピグメントブラック1、7等の黒色顔料等が挙げられる。
C. I. Blue pigments such as CI Pigment Blue 15, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 60; I. Violet color pigments such as CI Pigment Violet 1, 19, 23, 29, 32, 36, 38;
C. I. Green pigments such as CI Pigment Green 7 and 36;
C. I. Brown pigments such as CI Pigment Brown 23 and 25;
C. I. And black pigments such as CI Pigment Black 1 and 7.

これらの有機顔料及び無機顔料は、それぞれ単独で用いてもよいし、2種以上を混合して用いてもよい。例えば、赤色画素を形成するにはC.I.ピグメントレッド254及びC.I.ピグメントレッド177又はC.I.ピグメントイエロー139を含有していることが好ましく、緑色画素を形成するにはC.I.ピグメントグリーン36ならびにC.I.ピグメントイエロー150及びC.I.ピグメントイエロー138からなる群から選ばれる少なくとも1種を含有していることが好ましく、青色画素を形成するには、C.I.ピグメントブルー15:6及びC.I.ピグメントバイオレット23を含有していることが好ましい。   These organic pigments and inorganic pigments may be used alone or in combination of two or more. For example, to form a red pixel, C.I. I. Pigment red 254 and C.I. I. Pigment red 177 or C.I. I. Pigment Yellow 139 is preferably contained, and C.I. I. Pigment green 36 and C.I. I. Pigment yellow 150 and C.I. I. It is preferable to contain at least one selected from the group consisting of CI Pigment Yellow 138. I. Pigment blue 15: 6 and C.I. I. Pigment violet 23 is preferably contained.

前記の染料としては、有機溶剤に可溶性である染料であれば、特に限定されることなく使用することができる。化学構造の観点からは、上記有機溶剤可溶性染料として、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、ベンジリデン系、オキソノール系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、等の染料が使用できる。特に好ましくは、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、アントラキノン系、アンスラピリドン系の染料が挙げられる。   The dye is not particularly limited as long as it is a dye that is soluble in an organic solvent. From the viewpoint of chemical structure, triphenylmethane, anthraquinone, benzylidene, oxonol, cyanine, phenothiazine, pyrrolopyrazole azomethine, xanthene, phthalocyanine, benzopyran, indigo as the organic solvent-soluble dye. , Etc. can be used. Particularly preferred are pyrazole azo dyes, anilinoazo dyes, pyrazolotriazole azo dyes, pyridone azo dyes, anthraquinone dyes and anthrapyridone dyes.

なかでも、酸性染料および直接染料の例として、以下のようなものが具体的に挙げられる。
acid alizarin violet N;
acid black 1,2,24,48;
acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,42,45,51,62,70,74,80,83,86,87,90,92,96,103,112,113,120,129,138,147,150,158,171,182,192,210,242,243,256,259,267,278,280,285,290,296,315,324:1,335,340;
acid chrome violet K;
acid Fuchsin;
acid green 1,3,5,9,16,25,27,50,58,63,65,80,104,105,106,109;
acid orange 6,7,8,10,12,26,50,51,52,56,62,63,64,74,75,94,95,107,108,169,173;
acid red 1,4,8,14,17,18,26,27,29,31,34,35,37,42,44,50,51,52,57,66,73,80,87,88,91,92,94,97,103,111,114,129,133,134,138,143,145,150,151,158,176,182,183,198,206,211,215,216,217,227,228,249,252,257,258,260,261,266,268,270,274,277,280,281,195,308,312,315,316,339,341,345,346,349,382,383,394,401,412,417,418,422,426;
acid violet 6B,7,9,17,19;
acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,38,40,42,54,65,72,73,76,79,98,99,111,112,113,114,116,119,123,128,134,135,138,139,140,144,150,155,157,160,161,163,168,169,172,177,178,179,184,190,193,196,197,199,202,203,204,205,207,212,214,220,221,228,230,232,235,238,240,242,243,251
Among these, specific examples of acid dyes and direct dyes include the following.
acid alizarin violet N;
acid black 1, 2, 24, 48;
acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,42,45,51,62,70,74,80,83,86,87,90,92,96,103, 112,113,120,129,138,147,150,158,171,182,192,210,242,243,256,259,267,278,280,285,290,296,315,324: 1, 335, 340;
acid chroma violet K;
acid Fuchsin;
acid green 1,3,5,9,16,25,27,50,58,63,65,80,104,105,106,109;
acid orange 6, 7, 8, 10, 12, 26, 50, 51, 52, 56, 62, 63, 64, 74, 75, 94, 95, 107, 108, 169, 173;
acid red 1,4,8,14,17,18,26,27,29,31,34,35,37,42,44,50,51,52,57,66,73,80,87,88, 91, 92, 94, 97, 103, 111, 114, 129, 133, 134, 138, 143, 145, 150, 151, 158, 176, 182, 183, 198, 206, 211, 215, 216, 217, 227,228,249,252,257,258,260,261,266,268,270,274,277,280,281,195,308,312,315,316,339,341,345,346,349, 382, 383, 394, 401, 412, 417, 418, 422, 426;
acid violet 6B, 7, 9, 17, 19;
acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,38,40,42,54,65,72,73,76,79,98,99,111,112, 113, 114, 116, 119, 123, 128, 134, 135, 138, 139, 140, 144, 150, 155, 157, 160, 161, 163, 168, 169, 172, 177, 178, 179, 184 190,193,196,197,199,202,203,204,205,207,212,214,220,221,228,230,232,235,238,240,242,243,251

Direct Yellow 2,33,34,35,38,39,43,47,50,54,58,68,69,70,71,86,93,94,95,98,102,108,109,129,136,138,141;
Direct Orenge 34,39,41,46,50,52,56,57,61,64,65,68,70,96,97,106,107;
Direct Red 79,82,83,84,91,92,96,97,98,99,105,106,107,172,173,176,177,179,181,182,184,204,207,211,213,218,220,221,222,232,233,234,241,243,246,250;
Direct Violet 47,52,54,59,60,65,66,79,80,81,82,84,89,90,93,95,96,103,104;
Direct Blue 57,77,80,81,84,85,86,90,93,94,95,97,98,99,100,101,106,107,108,109,113,114,115,117,119,137,149,150,153,155,156,158,159,160,161,162,163,164,166,167,170,171,172,173,188,189,190,192,193,194,196,198,199,200,207,209,210,212,213,214,222,228,229,237,238,242,243,244,245,247,248,250,251,252,256,257,259,260,268,274,275,293;
Direct Green 25,27,31,32,34,37,63,65,66,67,68,69,72,77,79,82;
Mordant Yellow 5,8,10,16,20,26,30,31,33,42,43,45,56,50,61,62,65;
Mordant Orenge 3,4,5,8,12,13,14,20,21,23,24,28,29,32,34,35,36,37,42,43,47,48;
Mordant Red 1,2,3,4,9,11,12,14,17,18,19,22,23,24,25,26,30,32,33,36,37,38,39,41,43,45,46,48,53,56,63,71,74,85,86,88,90,94,95;
Mordant Violet 2,4,5,7,14,22,24,30,31,32,37,40,41,44,45,47,48,53,58;
Mordant Blue 2,3,7,8,9,12,13,15,16,19,20,21,22,23,24,26,30,31,32,39,40,41,43,44,48,49,53,61,74,77,83,84;
Mordant Green 1,3,4,5,10,15,19,26,29,33,34,35,41,43,53;
Food Yellow 3;
及びこれらの染料の誘導体が挙げられる。
誘導体としては、スルホン酸基をアミンによりアミド化したものが好適に使用される。
Direct Yellow 2,33,34,35,38,39,43,47,50,54,58,68,69,70,71,86,93,94,95,98,102,108,109,129, 136, 138, 141;
Direct Orange 34, 39, 41, 46, 50, 52, 56, 57, 61, 64, 65, 68, 70, 96, 97, 106, 107;
Direct Red 79, 82, 83, 84, 91, 92, 96, 97, 98, 99, 105, 106, 107, 172, 173, 176, 177, 179, 181, 182, 184, 204, 207, 211, 213, 218, 220, 221, 222, 232, 233, 234, 241, 243, 246, 250;
Direct Violet 47, 52, 54, 59, 60, 65, 66, 79, 80, 81, 82, 84, 89, 90, 93, 95, 96, 103, 104;
Direct Blue 57, 77, 80, 81, 84, 85, 86, 90, 93, 94, 95, 97, 98, 99, 100, 101, 106, 107, 108, 109, 113, 114, 115, 117, 119, 137, 149, 150, 153, 155, 156, 158, 159, 160, 161, 162, 163, 164, 166, 167, 170, 171, 172, 173, 188, 189, 190, 192, 193 194,196,198,199,200,207,209,210,212,213,214,222,228,229,237,238,242,243,244,245,247,248,250,251,252, 256, 257, 259, 260, 268, 274, 275, 293;
Direct Green 25, 27, 31, 32, 34, 37, 63, 65, 66, 67, 68, 69, 72, 77, 79, 82;
Modern Yellow 5, 8, 10, 16, 20, 26, 30, 31, 33, 42, 43, 45, 56, 50, 61, 62, 65;
Modern Orange 3, 4, 5, 8, 12, 13, 14, 20, 21, 23, 24, 28, 29, 32, 34, 35, 36, 37, 42, 43, 47, 48;
Modern Red 1, 2, 3, 4, 9, 11, 12, 14, 17, 18, 19, 22, 23, 24, 25, 26, 30, 32, 33, 36, 37, 38, 39, 41, 43, 45, 46, 48, 53, 56, 63, 71, 74, 85, 86, 88, 90, 94, 95;
Modern Violet 2, 4, 5, 7, 14, 22, 24, 30, 31, 32, 37, 40, 41, 44, 45, 47, 48, 53, 58;
Modern Blue 2, 3, 7, 8, 9, 12, 13, 15, 16, 19, 20, 21, 22, 23, 24, 26, 30, 31, 32, 39, 40, 41, 43, 44, 48, 49, 53, 61, 74, 77, 83, 84;
Modern Green 1, 3, 4, 5, 10, 15, 19, 26, 29, 33, 34, 35, 41, 43, 53;
Food Yellow 3;
And derivatives of these dyes.
A derivative obtained by amidating a sulfonic acid group with an amine is preferably used.

着色剤の含有量は、感光性樹脂組成物の固型分に対して質量分率で、25質量%以上60質量%以下が好ましく、より好ましくは27質量%以上55質量%以下であり、とりわけ好ましくは30質量%以上50質量%以下である。着色剤の含有量が前記の範囲にあると、カラーフィルタとしたときの色濃度が十分であり、かつ組成物中にバインダー樹脂を必要量含有させることができるので、機械的強度に優れたパターンを形成することができる。   The content of the colorant is preferably 25% by mass or more and 60% by mass or less, more preferably 27% by mass or more and 55% by mass or less, in terms of mass fraction with respect to the solid content of the photosensitive resin composition. Preferably they are 30 mass% or more and 50 mass% or less. When the content of the colorant is in the above range, the color density when it is used as a color filter is sufficient, and since a necessary amount of binder resin can be contained in the composition, a pattern having excellent mechanical strength. Can be formed.

前記の顔料は、必要に応じて、ロジン処理、酸性基又は塩基性基が導入された顔料誘導体等を用いた表面処理、高分子化合物等による顔料表面へのグラフト処理、硫酸微粒化法等による微粒化処理、あるいは不純物を除去するための有機溶剤や水等による洗浄処理、イオン交換法等によるイオン性不純物の除去処理等が施されていてもよい。   If necessary, the pigment may be treated by rosin treatment, surface treatment using a pigment derivative having an acidic group or basic group introduced, graft treatment on the pigment surface with a polymer compound, sulfuric acid atomization method, etc. Atomization treatment, cleaning treatment with an organic solvent or water for removing impurities, removal treatment of ionic impurities by an ion exchange method, or the like may be performed.

本発明で得られる着色感光性樹脂組成物は、顔料が均一な粒径であることが好ましい。
顔料を均一な粒径とするために、界面活性剤を含有させて分散処理を行うことで、顔料が溶液中で均一に分散した状態の顔料分散液を得ることができる。
前記の界面活性剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性等の界面活性剤等が挙げられ、それぞれ単独で又は2種以上を組み合わせて用いられる。
顔料分散液の調製時に界面活性剤を用いる場合、その使用量は顔料1質量部あたり、通常、1質量部以下、好ましくは0.05質量部以上0.5質量部以下である。界面活性剤の使用量が前記の範囲にあると、均一な粒径の顔料が得られる傾向がある。
In the colored photosensitive resin composition obtained in the present invention, the pigment preferably has a uniform particle size.
In order to make the pigment have a uniform particle diameter, a dispersion liquid containing a surfactant is performed to obtain a pigment dispersion in which the pigment is uniformly dispersed in the solution.
Examples of the surfactant include cationic, anionic, nonionic, and amphoteric surfactants, and each is used alone or in combination of two or more.
When a surfactant is used during the preparation of the pigment dispersion, the amount used is usually 1 part by mass or less, preferably 0.05 parts by mass or more and 0.5 parts by mass or less per 1 part by mass of the pigment. When the amount of the surfactant used is in the above range, a pigment having a uniform particle size tends to be obtained.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、バインダー樹脂を含む。前記のバインダー樹脂としては、アクリル系共重合体が使用できる。アクリル系共重合体としては、例えば、(メタ)アクリル酸等のカルボキシル基含有モノマーと、このモノマーと共重合可能な他のモノマーとの共重合体等が挙げられる。本明細書中において、(メタ)アクリル酸とは、アクリル酸及びメタクリル酸からなる群から選ばれる少なくとも1種を表す。(メタ)アクリレートも同様である。   The colored photosensitive resin composition of the present invention contains a binder resin. As the binder resin, an acrylic copolymer can be used. Examples of the acrylic copolymer include a copolymer of a carboxyl group-containing monomer such as (meth) acrylic acid and another monomer copolymerizable with this monomer. In this specification, (meth) acrylic acid represents at least one selected from the group consisting of acrylic acid and methacrylic acid. The same applies to (meth) acrylate.

前記のカルボキシル基含有モノマーとしては、例えば、不飽和モノカルボン酸や、不飽和ジカルボン酸、不飽和トリカルボン酸等の不飽和多価カルボン酸等、分子中に少なくとも1個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸が挙げられる。
ここで、不飽和モノカルボン酸としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸等が挙げられる。不飽和ジカルボン酸としては、例えば、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸等が挙げられる。
Examples of the carboxyl group-containing monomer include unsaturated monocarboxylic acids, unsaturated dicarboxylic acids, unsaturated polycarboxylic acids such as unsaturated tricarboxylic acids, and the like, and unsaturated monomers having at least one carboxyl group in the molecule. Carboxylic acid is mentioned.
Here, examples of the unsaturated monocarboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, α-chloroacrylic acid, cinnamic acid, and the like. Examples of the unsaturated dicarboxylic acid include maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, citraconic acid, and mesaconic acid.

不飽和多価カルボン酸は、その酸無水物、具体的には無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸等であってもよい。また、不飽和多価カルボン酸は、そのモノ(2−メタクリロイロキシアルキル)エステルであってもよく、例えば、こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)、こはく酸モノ(2−メタクリロイロキシエチル)、フタル酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)、フタル酸モノ(2−メタクリロイロキシエチル)等であってもよい。不飽和多価カルボン酸は、その両末端ジカルボキシポリマーのモノ(メタ)アクリレートであってもよく、例えば、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレート、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノメタクリレート等であってもよい。これらのカルボキシル基含有モノマーは、それぞれ単独で又は2種以上を混合して用いることができる。   The unsaturated polyvalent carboxylic acid may be its acid anhydride, specifically maleic anhydride, itaconic anhydride, citraconic anhydride, and the like. The unsaturated polyvalent carboxylic acid may be a mono (2-methacryloyloxyalkyl) ester such as succinic acid mono (2-acryloyloxyethyl) or succinic acid mono (2-methacryloyloxy). Ethyl), mono (2-acryloyloxyethyl) phthalate, mono (2-methacryloyloxyethyl) phthalate, and the like. The unsaturated polycarboxylic acid may be a mono (meth) acrylate of a dicarboxy polymer at both ends thereof, and may be, for example, ω-carboxypolycaprolactone monoacrylate, ω-carboxypolycaprolactone monomethacrylate, or the like. These carboxyl group-containing monomers can be used alone or in admixture of two or more.

前記のカルボキシル基含有モノマーと共重合可能な他のモノマーとしては、エチレン性不飽和結合を有するモノマー及び/又は付加重合可能なモノマー等が挙げられる。
例えば、スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトルエン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、p−クロルスチレン、o−メトキシスチレン、m−メトキシスチレン、p−メトキシスチレン、o−ビニルベンジルメチルエーテル、m−ビニルベンジルメチルエーテル、p−ビニルベンジルメチルエーテル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル、インデン等の芳香族ビニル化合物;
Examples of the other monomer copolymerizable with the carboxyl group-containing monomer include a monomer having an ethylenically unsaturated bond and / or a monomer capable of addition polymerization.
For example, styrene, α-methylstyrene, o-vinyltoluene, m-vinyltoluene, p-vinyltoluene, p-chlorostyrene, o-methoxystyrene, m-methoxystyrene, p-methoxystyrene, o-vinylbenzylmethyl ether Aromatic vinyl compounds such as m-vinylbenzyl methyl ether, p-vinyl benzyl methyl ether, o-vinyl benzyl glycidyl ether, m-vinyl benzyl glycidyl ether, p-vinyl benzyl glycidyl ether, indene;

メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、n−プロピルアクリレート、n−プロピルメタクリレート、i−プロピルアクリレート、i−プロピルメタクリレート、n−ブチルアクリレート、n−ブチルメタクリレート、i−ブチルアクリレート、i−ブチルメタクリレート、sec−ブチルアクリレート、sec−ブチルメタクリレート、t−ブチルアクリレート、t−ブチルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、3−ヒドロキシプロピルメタクリレート、2−ヒドロキシブチルアクリレート、2−ヒドロキシブチルメタクリレート、3−ヒドロキシブチルアクリレート、3−ヒドロキシブチルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレート、4−ヒドロキシブチルメタクリレート、アリルアクリレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、シクロヘキシルアクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、フェニルアクリレート、フェニルメタクリレート、2−メトキシエチルアクリレート、2−メトキシエチルメタクリレート、2−フェノキシエチルアクリレート、2−フェノキシエチルメタクリレート、メトキシジエチレングリコールアクリレート、メトキシジエチレングリコールメタクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、メトキシトリエチレングリコールメタクリレート、メトキシプロピレングリコールアクリレート、メトキシプロピレングリコールメタクリレート、メトキシジプロピレングリコールアクリレート、メトキシジプロピレングリコールメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソボルニルメタクリレート、ジシクロペンタジエニルアクリレート、ジシクロペンタジエニルメタクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルメタクリレート、グリセロールモノアクリレート、グリセロールモノメタクリレート等の不飽和カルボン酸エステル類;   Methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, n-propyl acrylate, n-propyl methacrylate, i-propyl acrylate, i-propyl methacrylate, n-butyl acrylate, n-butyl methacrylate, i-butyl acrylate, i-butyl Methacrylate, sec-butyl acrylate, sec-butyl methacrylate, t-butyl acrylate, t-butyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, 3-hydroxypropyl Acrylate, 3-hydroxypropyl methacrylate, 2-hydroxybutyl acrylate, 2-hydroxy Tyl methacrylate, 3-hydroxybutyl acrylate, 3-hydroxybutyl methacrylate, 4-hydroxybutyl acrylate, 4-hydroxybutyl methacrylate, allyl acrylate, allyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, cyclohexyl acrylate, cyclohexyl methacrylate, phenyl acrylate, phenyl methacrylate 2-methoxyethyl acrylate, 2-methoxyethyl methacrylate, 2-phenoxyethyl acrylate, 2-phenoxyethyl methacrylate, methoxydiethylene glycol acrylate, methoxydiethylene glycol methacrylate, methoxytriethylene glycol acrylate, methoxytriethylene glycol methacrylate, Toxipropylene glycol acrylate, methoxypropylene glycol methacrylate, methoxydipropylene glycol acrylate, methoxydipropylene glycol methacrylate, isobornyl acrylate, isobornyl methacrylate, dicyclopentadienyl acrylate, dicyclopentadienyl methacrylate, 2-hydroxy- Unsaturated carboxylic esters such as 3-phenoxypropyl acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl methacrylate, glycerol monoacrylate, glycerol monomethacrylate;

2−アミノエチルアクリレート、2−アミノエチルメタクリレート、2−ジメチルアミノエチルアクリレート、2−ジメチルアミノエチルメタクリレート、2−アミノプロピルアクリレート、2−アミノプロピルメタクリレート、2−ジメチルアミノプロピルアクリレート、2−ジメチルアミノプロピルメタクリレート、3−アミノプロピルアクリレート、3−アミノプロピルメタクリレート、3−ジメチルアミノプロピルアクリレート、3−ジメチルアミノプロピルメタクリレート等の不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類;
グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレート等の不飽和カルボン酸グリシジルエステル類;
酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル等のカルボン酸ビニルエステル類;
2-aminoethyl acrylate, 2-aminoethyl methacrylate, 2-dimethylaminoethyl acrylate, 2-dimethylaminoethyl methacrylate, 2-aminopropyl acrylate, 2-aminopropyl methacrylate, 2-dimethylaminopropyl acrylate, 2-dimethylaminopropyl Unsaturated carboxylic acid aminoalkyl esters such as methacrylate, 3-aminopropyl acrylate, 3-aminopropyl methacrylate, 3-dimethylaminopropyl acrylate, 3-dimethylaminopropyl methacrylate;
Unsaturated carboxylic acid glycidyl esters such as glycidyl acrylate and glycidyl methacrylate;
Carboxylic acid vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl butyrate, vinyl benzoate;

ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテル等の不飽和エーテル類;
アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン等のシアン化ビニル化合物;
アクリルアミド、メタクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチルアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチルメタクリルアミド等の不飽和アミド類;
マレイミド、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド等の不飽和イミド類;
Unsaturated ethers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, and allyl glycidyl ether;
Vinyl cyanide compounds such as acrylonitrile, methacrylonitrile, α-chloroacrylonitrile, vinylidene cyanide;
Unsaturated amides such as acrylamide, methacrylamide, α-chloroacrylamide, N-2-hydroxyethylacrylamide, N-2-hydroxyethylmethacrylamide;
Unsaturated imides such as maleimide, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide;

1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類;
ポリスチレン、ポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレート、ポリ−n−ブチルアクリレート、ポリ−n−ブチルメタクリレート、ポリシロキサンの重合体分子鎖の末端にモノアクリロイル基あるいはモノメタクリロイル基を有するマクロモノマー類等を挙げることができる。
これらのモノマーは、それぞれ単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
Aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene, chloroprene;
Examples include macromonomers having a monoacryloyl group or a monomethacryloyl group at the end of the polymer molecular chain of polystyrene, polymethyl acrylate, polymethyl methacrylate, poly-n-butyl acrylate, poly-n-butyl methacrylate, polysiloxane. Can do.
These monomers can be used alone or in admixture of two or more.

前記の共重合体におけるカルボキシル基含有モノマー単位の含有量は、共重合体の全構成単位の合計モル数に対して、好ましくは5%から45%であり、より好ましくは10%から40%であり、とりわけ好ましくは15%から35%である。カルボキシル基含有モノマー単位の含有量が前記の範囲にあると、現像液に対する溶解性が良好であり、現像時にパターンが正確に形成される傾向がある。   The content of the carboxyl group-containing monomer unit in the copolymer is preferably 5% to 45%, more preferably 10% to 40%, based on the total number of moles of all the structural units of the copolymer. Yes, particularly preferably 15% to 35%. When the content of the carboxyl group-containing monomer unit is in the above range, the solubility in the developer is good and the pattern tends to be formed accurately during development.

前記のアクリル系重合体としては、例えば、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート/ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)/スチレン/アリル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド/スチレン/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体等が挙げられる。   Examples of the acrylic polymer include (meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / 2-hydroxy. Ethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / polymethyl (meth) Acrylate macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polymethyl (meth) acrylate macromonomer copolymer, ( (Meth) acrylic acid / 2-hydroxye (Meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer, (meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polymethyl (meth) acrylate macromonomer copolymer , (Meth) acrylic acid / styrene / benzyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer, (meth) acrylic acid / succinic acid mono (2-acryloyloxyethyl) / styrene / benzyl (meth) acrylate / N -Phenylmaleimide copolymer, (meth) acrylic acid / succinic acid mono (2-acryloyloxyethyl) / styrene / allyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer (meth) acrylic acid / benzyl (meth) Acrylate / N-phenylmale De / styrene / glycerol mono (meth) acrylate copolymer, and the like.

なかでも、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/スチレン共重合体、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート/スチレン共重合体等が好ましい。
これらは、それぞれ単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
Among them, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / styrene copolymer, (meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate copolymer, (Meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / styrene copolymer is preferred.
These can be used alone or in admixture of two or more.

バインダー樹脂のポリスチレン換算重量平均分子量は、好ましくは5,000〜50,000であり、より好ましくは7,000〜40,000であり、とりわけ好ましくは8,000〜35,000である。バインダー樹脂の分子量が前記の範囲にあると、塗膜硬度が向上し、残膜率も高く、未露光部の現像液に対する溶解性が良好で、解像度が向上する傾向にある。
バインダー樹脂の酸価は、好ましくは50〜150であり、より好ましくは60〜140、とりわけ好ましくは70〜130である。酸価が、前記の範囲にあると、現像液に対する溶解性が向上して未露光部が溶解しやすくなり、また高感度化して現像時に露光部のパターンが残って残膜率が向上する傾向がある。
ここで酸価とは、カルボン酸等の基を有する樹脂1gを中和するに必要な水酸化カリウムの量(mg)として測定される値であり、通常は濃度既知の水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。
The polystyrene-reduced weight average molecular weight of the binder resin is preferably 5,000 to 50,000, more preferably 7,000 to 40,000, and particularly preferably 8,000 to 35,000. When the molecular weight of the binder resin is within the above range, the coating film hardness is improved, the remaining film ratio is high, the solubility of the unexposed area in the developer is good, and the resolution tends to be improved.
The acid value of the binder resin is preferably 50 to 150, more preferably 60 to 140, and particularly preferably 70 to 130. When the acid value is in the above range, the solubility in the developer is improved and the unexposed area is easily dissolved, and the sensitivity is increased so that the pattern of the exposed area remains during development and the remaining film ratio tends to be improved. There is.
Here, the acid value is a value measured as an amount (mg) of potassium hydroxide necessary to neutralize 1 g of a resin having a group such as carboxylic acid, and usually an aqueous potassium hydroxide solution having a known concentration is used. Can be obtained by titration.

バインダー樹脂の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは5質量%以上30質量%以下、より好ましくは10質量%以上28質量%以下、とりわけ好ましくは15質量%以上26質量%以下である。バインダー樹脂の含有量が、前記の範囲にあると、パターンが形成でき、また解像度及び残膜率が向上する傾向にある。   The content of the binder resin is a mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition, preferably 5% by mass to 30% by mass, more preferably 10% by mass to 28% by mass, and particularly preferably. It is 15 mass% or more and 26 mass% or less. When the content of the binder resin is in the above range, a pattern can be formed, and the resolution and the remaining film ratio tend to be improved.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、光重合性化合物を含む。光重合性化合物は、光を照射されることによって光重合開始剤から発生した活性ラジカル、酸等によって重合しうる化合物であって、例えば、重合性の炭素−炭素不飽和結合を有する化合物等が挙げられる。   The colored photosensitive resin composition of the present invention contains a photopolymerizable compound. A photopolymerizable compound is a compound that can be polymerized by an active radical, an acid, or the like generated from a photopolymerization initiator when irradiated with light, such as a compound having a polymerizable carbon-carbon unsaturated bond. Can be mentioned.

前記の光重合性化合物は、3官能以上の多官能光重合性化合物であることが好ましい。
3官能以上の多官能の光重合性化合物としては、例えば、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート等が挙げられる。これらは、それぞれ単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
その含有量は、着色感光性樹脂組成物の質量分率で、好ましくは5質量%以上90質量%以下、より好ましくは10質量%以上80質量%以下、とりわけ好ましくは20質量%以上70質量%以下である。前記の光重合性化合物の含有量が、5質量%以上90質量%以下であると、硬化が十分におこり残膜率が向上し、パターンにアンダーカットが入りにくくなって密着性が良好になる傾向がある。
The photopolymerizable compound is preferably a trifunctional or higher polyfunctional photopolymerizable compound.
Examples of the trifunctional or higher polyfunctional photopolymerizable compound include pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate and the like. Is mentioned. These can be used alone or in combination of two or more.
The content is a mass fraction of the colored photosensitive resin composition, preferably 5% by mass to 90% by mass, more preferably 10% by mass to 80% by mass, and particularly preferably 20% by mass to 70% by mass. It is as follows. When the content of the photopolymerizable compound is 5% by mass or more and 90% by mass or less, the curing is sufficiently performed and the remaining film rate is improved, the pattern is less likely to be undercut, and the adhesion is improved. Tend.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、光重合開始剤を含む。
前記の光重合開始剤としては、アセトフェノン系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、トリアジン系化合物、オキシム系化合物、活性ラジカル発生剤、酸発生剤等が挙げられる。
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains a photopolymerization initiator.
Examples of the photopolymerization initiator include acetophenone compounds, benzoin compounds, benzophenone compounds, thioxanthone compounds, triazine compounds, oxime compounds, active radical generators, acid generators, and the like.

前記のアセトフェノン系化合物としては、例えば、ジエトキシアセトフェノン、2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕プロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(1−メチルビニル)フェニル〕プロパン−1−オンのオリゴマー等が挙げられ、好ましくは2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン等が挙げられる。   Examples of the acetophenone compound include diethoxyacetophenone, 2-methyl-2-morpholino-1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one, and 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropane-1. -One, benzyldimethyl ketal, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] propan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1 -[4- (1-methylvinyl) phenyl] propan-1-one oligomers, and the like, preferably 2-methyl-2-morpholino-1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one and the like. It is done.

前記のベンゾイン系化合物としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等が挙げられる。   Examples of the benzoin-based compound include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, and benzoin isobutyl ether.

前記のベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルサルファイド、3,3’,4,4’−テトラ(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、2,4,6−トリメチルベンゾフェノン等が挙げられる。   Examples of the benzophenone compounds include benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, 4-benzoyl-4′-methyldiphenyl sulfide, 3,3 ′, 4,4′-tetra (t-butyl). Peroxycarbonyl) benzophenone, 2,4,6-trimethylbenzophenone, and the like.

前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントン等が挙げられる。   Examples of the thioxanthone compound include 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, and the like.

前記のトリアジン系化合物としては、例えば、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシナフチル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシスチリル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(フラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン等が挙げられる。   Examples of the triazine compound include 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- ( 4-methoxynaphthyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxystyryl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (furan-2-yl) ethenyl ] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4- Bis (trichloromethyl) ) -6- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine.

前記のオキシム系化合物としては、例えば、O−アシルオキシム系化合物が挙げられ、その具体例としては、1−(4−フェニルスルファニル−フェニル)−ブタン−1,2−ジオン2−オキシム−O−ベンゾアート、1−(4−フェニルスルファニル−フェニル)−オクタン−1,2−ジオン2−オキシム−O−ベンゾアート、1−(4−フェニルスルファニル−フェニル)−オクタン−1−オンオキシム−O−アセタート、1−(4−フェニルスルファニル−フェニル)−ブタン−1−オンオキシム−O−アセタート等が挙げられる。   Examples of the oxime compounds include O-acyloxime compounds, and specific examples thereof include 1- (4-phenylsulfanyl-phenyl) -butane-1,2-dione 2-oxime-O—. Benzoate, 1- (4-phenylsulfanyl-phenyl) -octane-1,2-dione 2-oxime-O-benzoate, 1- (4-phenylsulfanyl-phenyl) -octane-1-one oxime-O-acetate 1- (4-phenylsulfanyl-phenyl) -butan-1-one oxime-O-acetate and the like.

前記の活性ラジカル発生剤として、例えば、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、10−ブチル−2−クロロアクリドン、2−エチルアントラキノン、ベンジル、9,10−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物等を用いることもできる。   Examples of the active radical generator include 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2 '-Biimidazole, 10-butyl-2-chloroacridone, 2-ethylanthraquinone, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, methyl phenylglyoxylate, titanocene compound and the like can also be used.

前記の酸発生剤としては、例えば、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムp−トルエンスルホナート、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、4−アセトキシフェニルジメチルスルホニウムp−トルエンスルホナート、4−アセトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムp−トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウムp−トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート等のオニウム塩類や、ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレート類等を挙げることができる。
これらは、それぞれ単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
Examples of the acid generator include 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium p-toluenesulfonate, 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium hexafluoroantimonate, 4-acetoxyphenyldimethylsulfonium p-toluenesulfonate, 4-acetoxyphenyl, Onium salts such as methyl benzylsulfonium hexafluoroantimonate, triphenylsulfonium p-toluenesulfonate, triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, diphenyliodonium p-toluenesulfonate, diphenyliodonium hexafluoroantimonate, and nitrobenzyl tosylate And benzoin tosylate.
These can be used alone or in combination of two or more.

光重合開始剤の含有量は、バインダー樹脂及び光重合性化合物の合計量に対して質量分率で、好ましくは0.1質量%以上20質量%以下、より好ましくは1質量%以上15質量%以下である。光重合開始剤の含有量が、前記の範囲にあると、高感度化して露光時間が短縮され生産性が向上し、一方、高感度過ぎて解像度が不良にならない傾向がある。   Content of a photoinitiator is a mass fraction with respect to the total amount of binder resin and a photopolymerizable compound, Preferably it is 0.1 to 20 mass%, More preferably, it is 1 to 15 mass% It is as follows. When the content of the photopolymerization initiator is within the above range, the sensitivity is increased and the exposure time is shortened and the productivity is improved. On the other hand, the sensitivity is too high and the resolution does not tend to be poor.

本発明の着色感光性樹脂組成物においては、光重合開始助剤を用いてもよい。光重合開始助剤は、光重合開始剤と組み合わせて用いられことがあり、光重合開始剤によって重合が開始された光重合性化合物の重合をさらに促進するために用いられる化合物である。
光重合開始助剤としては、アミン系化合物、アルコキシアントラセン系化合物、チオキサントン系化合物等が挙げられる。
In the colored photosensitive resin composition of the present invention, a photopolymerization initiation assistant may be used. The photopolymerization initiation assistant may be used in combination with a photopolymerization initiator, and is a compound used to further accelerate the polymerization of a photopolymerizable compound that has been polymerized by the photopolymerization initiator.
Examples of the photopolymerization initiation assistant include amine compounds, alkoxyanthracene compounds, thioxanthone compounds, and the like.

前記のアミン系化合物としては、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称ミヒラーズケトン)、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(エチルメチルアミノ)ベンゾフェノン等が挙げられる。なかでも、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。   Examples of the amine compound include triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, and 2-dimethylbenzoate. Aminoethyl, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone (commonly known as Michler's ketone), 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4, 4′-bis (ethylmethylamino) benzophenone and the like can be mentioned. Of these, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone is preferable.

前記のアルコキシアントラセン系化合物としては、例えば、9,10−ジメトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジエトキシアントラセン等が挙げられる。   Examples of the alkoxyanthracene compound include 9,10-dimethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9,10-diethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-diethoxyanthracene, and the like. Can be mentioned.

前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントン等が挙げられる。   Examples of the thioxanthone compound include 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, and the like.

また、光重合開始助剤として市販のものを用いることもでき、市販の光重合開始助剤としては、例えば、商品名「EAB−F」(保土谷化学工業(株)製)等が挙げられる。
光重合開始助剤は、それぞれ単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
Moreover, a commercially available thing can also be used as a photoinitiator auxiliary agent, and as a commercially available photoinitiator auxiliary agent, brand name "EAB-F" (made by Hodogaya Chemical Co., Ltd.) etc. are mentioned, for example. .
The photopolymerization initiation assistants can be used alone or in combination of two or more.

本発明の着色感光性樹脂組成物における光重合開始剤および光重合開始助剤の組み合わせとしては、ジエトキシアセトフェノン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ベンジルジメチルケタール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕プロパン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(1−メチルビニル)フェニル〕プロパン−1−オンのオリゴマー/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンの組み合わせ等が挙げられる。なかでも、2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オン/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンの組み合わせが好ましい。   Examples of the combination of the photopolymerization initiator and the photopolymerization initiation assistant in the colored photosensitive resin composition of the present invention include diethoxyacetophenone / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 2-methyl-2-morpholino-1- (4-Methylthiophenyl) propan-1-one / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone Benzyl dimethyl ketal / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] propan-1-one / 4,4′-bis ( Diethylamino) benzophenone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone / 4,4 ′ Bis (diethylamino) benzophenone, oligomer of 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (1-methylvinyl) phenyl] propan-1-one / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 2-benzyl- Examples thereof include a combination of 2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone. Of these, a combination of 2-methyl-2-morpholino-1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone is preferable.

これらの光重合開始助剤を用いる場合、その使用量は、光重合開始剤1モルあたり、好ましくは10モル以下、より好ましくは0.01モル以上5モル以下である。   When using these photopolymerization initiation assistants, the amount used is preferably 10 mol or less, more preferably 0.01 mol or more and 5 mol or less, per mol of the photopolymerization initiator.

本発明の着色感光性樹脂組成物に用いられる溶媒は、アルキル基の炭素数1〜4のジプロピレングリコールモノアルキルエーテル及びアルキル基の炭素数1〜4のジプロピレングリコールモノアルキルエーテルエステルからなる群から選ばれる少なくとも1種の溶媒(A)(以下「溶媒(A)」という場合がある)を含む。
ここで、ジプロピレングリコールモノアルキルエーテルエステルとは、ジプロピレングリコールの1つの水酸基がエーテル結合を形成し、もう1つの水酸基がアシル化されてエステルとなっている化合物をいう。
アルキル基としては、メチル、エチル、プロビル、n−ブチル、t−ブチル、i−ブチルのいずれでもよい。なかでも、炭素数1又は2、さらに炭素数1のものが好ましい。
The solvent used in the colored photosensitive resin composition of the present invention is a group consisting of an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms dipropylene glycol monoalkyl ether and an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms dipropylene glycol monoalkyl ether ester. At least one solvent (A) selected from (hereinafter sometimes referred to as “solvent (A)”).
Here, the dipropylene glycol monoalkyl ether ester refers to a compound in which one hydroxyl group of dipropylene glycol forms an ether bond and the other hydroxyl group is acylated into an ester.
As an alkyl group, any of methyl, ethyl, propyl, n-butyl, t-butyl, and i-butyl may be used. Of these, those having 1 or 2 carbon atoms and more preferably 1 carbon atoms are preferred.

具体的には、アルキル基の炭素数1〜4のジプロピレングリコールモノアルキルエーテルとして、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテルが挙げられる。好ましくはジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテルが挙げられ、より好ましくはジプロピレングリコールモノメチルエーテルが挙げられる。
アルキル基の炭素数1〜4のジプロピレングリコールモノアルキルエーテルエステルとしては、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートが挙げられる。
なかでも、溶媒(A)は、アルキル基の炭素数1〜4のジプロピレングリコールモノアルキルエーテルであることが好ましく、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルであることがより好ましい。
Specific examples of the dipropylene glycol monoalkyl ether having 1 to 4 carbon atoms in the alkyl group include dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monopropyl ether, and dipropylene glycol monobutyl ether. . Preferred are dipropylene glycol monomethyl ether and dipropylene glycol monoethyl ether, and more preferred are dipropylene glycol monomethyl ether.
Examples of the dipropylene glycol monoalkyl ether ester having 1 to 4 carbon atoms in the alkyl group include dipropylene glycol monomethyl ether acetate.
Especially, it is preferable that a solvent (A) is a C1-C4 dipropylene glycol monoalkyl ether of an alkyl group, and it is more preferable that it is a dipropylene glycol monomethyl ether.

溶媒(A)の含有量は、全溶媒量に対して、5質量%以上40質量%以下である。特に、これらの含有量を10%以上40%以下、さらに、10%以上30%以下とすることが好ましい。これによって、スリットコーターのスリット部にて着色感光性樹脂組成物が固化し、カラーフィルタ上に異物が生じるのを防止することができる。また、露光前のプリベーク時間を短縮化して、生産性を向上させることができる。さらに、場合によってはプリベーク炉内で溶媒が凝縮し、凝縮した溶媒が基板上に落下し、現像後に得られた基板上で溶媒が落下した部位にムラの発生を招くことに繋がり、歩留まりを低下させることがあるが、上述した範囲とすることにより、これを有効に防止することができる。   Content of a solvent (A) is 5 to 40 mass% with respect to the total amount of solvent. In particular, the content is preferably 10% to 40%, and more preferably 10% to 30%. As a result, it is possible to prevent the colored photosensitive resin composition from solidifying at the slit portion of the slit coater and generating foreign matter on the color filter. Further, the pre-bake time before exposure can be shortened to improve productivity. Further, in some cases, the solvent is condensed in a pre-baking furnace, the condensed solvent falls on the substrate, and the yield of the unevenness is caused in the part where the solvent is dropped on the substrate obtained after the development. However, by setting the above-mentioned range, this can be effectively prevented.

なお、本発明の溶媒は、別の観点から、上述したような特定の溶媒の化学構造等の性質と相まって、適当な沸点を有するものが好ましい。例えば、沸点の範囲は、172℃程度以上、180℃程度以上等もの、さらに、230℃程度以下、220℃程度以下のものが好ましい。このような範囲の沸点を有する溶媒を用いることにより、着色感光性樹脂組成物において、他の溶媒の種類及び量、さらに他の成分との組み合わせによって、乾燥の防止及び溶剤の揮発のバランスを図ることができる。   In addition, the solvent of the present invention preferably has an appropriate boiling point in combination with properties such as the chemical structure of the specific solvent described above from another viewpoint. For example, the boiling point is preferably about 172 ° C. or higher, about 180 ° C. or higher, and more preferably about 230 ° C. or lower and 220 ° C. or lower. By using a solvent having a boiling point in such a range, in the colored photosensitive resin composition, a balance between prevention of drying and volatilization of the solvent is achieved by combination with the type and amount of other solvent and further with other components. be able to.

また、溶媒としては、上述した溶媒(A)の他に、溶媒(A)とは異なる溶媒(B)を含む。溶媒(B)としては、ジプロピレングリコールエーテル類及びジプロピレングリコールエーテルエステル類を除くエーテル類、芳香族炭化水素類、ケトン類、アルコール類、エステル類、アミド類等が挙げられる。   Moreover, as a solvent, the solvent (B) different from a solvent (A) other than the solvent (A) mentioned above is included. Examples of the solvent (B) include ethers excluding dipropylene glycol ethers and dipropylene glycol ether esters, aromatic hydrocarbons, ketones, alcohols, esters, amides and the like.

前記のエーテル類としては、例えば、
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルのようなエチレングリコールモノアルキルエーテル類;
ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルのようなジエチレングリコールモノアルキルエーテル類;
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル及びジエチレングリコールジブチルエーテルのようなジエチレングリコールジアルキルエーテル類;
プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテルのようなプロピレングリコールモノアルキルエーテル類;
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールジメチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート及びメトキシペンチルアセテートのようなアルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類;
メトキシブチルアセテート及びメトキシペンチルアセテートのようなアルキルエーテルアセテート類;
メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテートのようなエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類;
その他、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、1,4−ジオキサン、アニソール、フェネトール、メチルアニソール等が挙げられる。
Examples of the ethers include
Ethylene glycol monoalkyl ethers such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether;
Diethylene glycol monoalkyl ethers such as diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether;
Diethylene glycol dialkyl ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dibutyl ether and diethylene glycol dibutyl ether;
Propylene glycol monoalkyl ethers such as propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monobutyl ether;
Alkylene glycol alkyl ether acetates such as propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, propylene glycol dimethyl ether acetate, methoxybutyl acetate and methoxypentyl acetate;
Alkyl ether acetates such as methoxybutyl acetate and methoxypentyl acetate;
Ethylene glycol alkyl ether acetates such as methyl cellosolve acetate and ethyl cellosolve acetate;
Other examples include ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, tetrahydrofuran, tetrahydropyran, 1,4-dioxane, anisole, phenetole, and methylanisole.

前記の芳香族炭化水素類としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレン等が挙げられる。
前記のケトン類としては、例えば、アセトン、2−ブタノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、4−ヘプタノン、4−メチル−2−ペンタノン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン等が挙げられる。
前記のアルコール類としては、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセリン、ジアセトンアルコール、3−メチル−3−メトキシ−1−ブタノール等が挙げられる。
Examples of the aromatic hydrocarbons include benzene, toluene, xylene, mesitylene and the like.
Examples of the ketones include acetone, 2-butanone, 2-heptanone, 3-heptanone, 4-heptanone, 4-methyl-2-pentanone, cyclopentanone, and cyclohexanone.
Examples of the alcohols include methanol, ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, glycerin, diacetone alcohol, and 3-methyl-3-methoxy-1-butanol.

前記のエステル類としては、例えば、酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、γ−ブチロラクトン等が挙げられる。
特に、エーテル類の溶媒が好ましく、なかでも、アルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類がより好ましく、プロピレングリコールメチルエーテルアセテートがとりわけ好ましい。
Examples of the esters include ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, alkyl esters, methyl lactate, Ethyl lactate, methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, methyl 3-oxypropionate, ethyl 3-oxypropionate, 3 -Methyl methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 2-oxypropionate, ethyl 2-oxypropionate, propyl 2-oxypropionate, Methyl methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-oxy-2-methylpropionate, 2-oxy-2- Ethyl methyl propionate, methyl 2-methoxy-2-methylpropionate, ethyl 2-ethoxy-2-methylpropionate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, 2-oxobutane Examples include methyl acid, ethyl 2-oxobutanoate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, and γ-butyrolactone.
In particular, ether solvents are preferred, among which alkylene glycol alkyl ether acetates are more preferred, and propylene glycol methyl ether acetate is particularly preferred.

前記のアミド類としては、例えば、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド等が挙げられる。
その他の溶剤としては、例えば、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホオキシド等が挙げられる。
これらは、それぞれ単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
Examples of the amides include N, N-dimethylformamide and N, N-dimethylacetamide.
Examples of other solvents include N-methylpyrrolidone and dimethyl sulfoxide.
These can be used alone or in combination of two or more.

溶媒(B)の含有量は、全溶媒量に対して、60質量%以上95質量%以下である。特に、これらの含有量を60%以上90%以下、さらに、70%以上90%以下とすることが好ましい。これによって、スリットコーターのスリット部にて着色感光性樹脂組成物が固化し、カラーフィルタ上に異物が生じるのを防止することができる。また、露光前のプリベーク時間を短縮化して、生産性を向上させることができる。さらに、場合によってはプリベーク炉内で溶媒が凝縮し、凝縮した溶媒が基板上に落下し、現像後に得られた基板上で溶媒が落下した部位にムラの発生を招くことに繋がり、歩留まりを低下させることがあるが、上述した範囲とすることにより、これを有効に防止することができる。   Content of a solvent (B) is 60 to 95 mass% with respect to the total amount of solvent. In particular, the content is preferably 60% or more and 90% or less, and more preferably 70% or more and 90% or less. As a result, it is possible to prevent the colored photosensitive resin composition from solidifying at the slit portion of the slit coater and generating foreign matter on the color filter. Further, the pre-bake time before exposure can be shortened to improve productivity. Further, in some cases, the solvent is condensed in a pre-baking furnace, the condensed solvent falls on the substrate, and the yield of the unevenness is caused in the part where the solvent is dropped on the substrate obtained after the development. However, by setting the above-mentioned range, this can be effectively prevented.

なお、本発明の溶媒(B)は、別の観点から、上述したような特定の溶媒(A)の化学構造等の性質と相まって、適当な沸点を有するものが好ましい。例えば、沸点の範囲は、171℃以下のもの、121℃以上のものが好ましい。このような範囲の沸点を有する溶媒を用いることにより、着色感光性樹脂組成物において、他の溶媒の種類及び量、さらに他の成分との組み合わせによって、乾燥の防止及び溶剤の揮発のバランスを図ることができ、歩留まりを向上させ、さらに、現像後の面におけるムラの発生が抑制されることを確認している。   In addition, the solvent (B) of the present invention preferably has an appropriate boiling point in combination with properties such as the chemical structure of the specific solvent (A) as described above from another viewpoint. For example, the boiling point is preferably 171 ° C. or lower and 121 ° C. or higher. By using a solvent having a boiling point in such a range, in the colored photosensitive resin composition, a balance between prevention of drying and volatilization of the solvent is achieved by combination with the type and amount of other solvent and further with other components. It has been confirmed that the yield can be improved and the occurrence of unevenness on the surface after development is suppressed.

溶媒(A)および溶媒(B)の組み合わせとして、好ましくは、上記溶媒(A)とアルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類(溶媒(B))との組み合わせ、また、上記溶媒(A)とプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(溶媒(B))との組み合わせ、さらに、1種類以上の炭素数1〜4のジプロピレングリコールモノアルキルエーテル類から選ばれる溶媒(溶媒(A))とプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(溶媒(B))との組み合わせが挙げられる。   The combination of the solvent (A) and the solvent (B) is preferably a combination of the solvent (A) and an alkylene glycol alkyl ether acetate (solvent (B)), or the solvent (A) and propylene glycol monomethyl ether. A combination of acetate (solvent (B)), a solvent (solvent (A)) selected from one or more types of C1-C4 dipropylene glycol monoalkyl ethers and propylene glycol monomethyl ether acetate (solvent (B )).

本発明の着色感光性樹脂組成物は界面活性剤を含んでいてもよい。前記の界面活性剤としては、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤及びフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤が挙げられる。
シリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合を有する界面活性剤が挙げられる。
具体的には、トーレシリコーンDC3PA、同SH7PA、同DC11PA、同SH21PA、同SH28PA、同29SHPA、同SH30PA、ポリエーテル変性シリコンオイルSH8400(トーレシリコーン(株)製)、KP321、KP322、KP323、KP324、KP326、KP340、KP341(信越シリコーン製)、TSF400、TSF401、TSF410、TSF4300、TSF4440、TSF4445、TSF−4446、TSF4452、TSF4460(ジーイー東芝シリコーン(株)製)等が挙げられる。
The colored photosensitive resin composition of the present invention may contain a surfactant. Examples of the surfactant include silicone surfactants, fluorine surfactants, and silicone surfactants having a fluorine atom.
Examples of the silicone surfactant include surfactants having a siloxane bond.
Specifically, Torre Silicone DC3PA, SH7PA, DC11PA, SH21PA, SH28PA, SH28PA, 29SHPA, SH30PA, polyether-modified silicone oil SH8400 (manufactured by Torresilicone), KP321, KP322, KP323, KP324, Examples thereof include KP326, KP340, KP341 (manufactured by Shin-Etsu Silicone), TSF400, TSF401, TSF410, TSF4300, TSF4440, TSF4445, TSF-4446, TSF4452, and TSF4460 (manufactured by GE Toshiba Silicone).

フッ素系界面活性剤としては、フルオロカーボン鎖を有する界面活性剤が挙げられる。
具体的には、フロリナート(商品名)FC430、同FC431(住友スリーエム(株)製)、メガファック(商品名)F142D、同F171、同F172、同F173、同F177、同F183、同R30(大日本インキ化学工業(株)製)、エフトップ(商品名)EF301、同EF303、同EF351、同EF352(新秋田化成(株)製)、サーフロン(商品名)S381、同S382、同SC101、同SC105(旭硝子(株)製)、E5844((株)ダイキンファインケミカル研究所製)、BM−1000、BM−1100(いずれも商品名:BM Chemie社製)等が挙げられる。
フッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合及びフルオロカーボン鎖を有する界面活性剤が挙げられる。具体的には、メガファック(商品名)R08、同BL20、同F475、同F477、同F443(大日本インキ化学工業(株)製)等が挙げられる。
Examples of the fluorosurfactant include surfactants having a fluorocarbon chain.
Specifically, Fluorinert (trade name) FC430, FC431 (Sumitomo 3M Co., Ltd.), Megafuck (trade name) F142D, F171, F172, F173, F177, F183, R183 (large) Nippon Ink Chemical Co., Ltd.), Ftop (trade name) EF301, EF303, EF351, EF352, EF352 (manufactured by Shin-Akita Kasei Co., Ltd.), Surflon (tradename) S381, S382, SC101, SC105 (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), E5844 (manufactured by Daikin Fine Chemical Laboratory Co., Ltd.), BM-1000, BM-1100 (all trade names: manufactured by BM Chemie), and the like.
Examples of the silicone-based surfactant having a fluorine atom include surfactants having a siloxane bond and a fluorocarbon chain. Specifically, Megafac (trade name) R08, BL20, F475, F477, F443 (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.) and the like can be mentioned.

これらの界面活性剤は、単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。
これらの界面活性剤を用いる場合その含有量は、着色感光性樹脂組成物に対して質量分率で、0.0005質量%以上0.6質量%以下、好ましくは0.001質量%以上0.5質量%以下である。界面活性剤の含有量が前記の範囲にあると、得られる塗膜の平坦性がよくなる傾向がある。
These surfactants can be used alone or in combination of two or more.
When these surfactants are used, the content is 0.0005% by mass or more and 0.6% by mass or less, preferably 0.001% by mass or more and 0.000% by mass or less, based on the colored photosensitive resin composition. 5% by mass or less. When the content of the surfactant is in the above range, the flatness of the obtained coating film tends to be improved.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、充填剤、バインダー樹脂以外の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、有機酸、有機アミン化合物、硬化剤等の添加剤を含有していてもよい。   The colored photosensitive resin composition of the present invention comprises a filler, a polymer compound other than a binder resin, an adhesion promoter, an antioxidant, an ultraviolet absorber, an aggregation inhibitor, an organic acid, an organic amine compound, a curing agent, and the like. An agent may be contained.

充填剤としては、例えば、ガラス、アルミナ等の微粒子が挙げられる。
バインダー樹脂以外の高分子化合物としては、例えば、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート等が挙げられる。
密着促進剤としては、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。
Examples of the filler include fine particles such as glass and alumina.
Examples of the polymer compound other than the binder resin include polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, and polyfluoroalkyl acrylate.
Examples of the adhesion promoter include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, and N- (2-amino). Ethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxymethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltri Examples include methoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, and 3-mercaptopropyltrimethoxysilane.

酸化防止剤としては、例えば、4,4’−チオビス(6−t−ブチル−3−メチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチル−4−メチルフェノール等が挙げられる。
紫外線吸収剤としては、例えば、2−(2−ヒドロキシ−3−t−ブチル−5−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール等のベンゾトリアゾール系、2−ヒドロキシ−4−オクチルオキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン系、2,4−ジ−t−ブチルフェニル−3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンゾエート等のベンゾエート系、2−(4,6−ジフェニル−1,3,5−トリアジン−2−イル)−5−ヘキシルオキシフェノール等のトリアジン系等の紫外線吸収剤が挙げられる。
Examples of the antioxidant include 4,4′-thiobis (6-tert-butyl-3-methylphenol), 2,6-di-tert-butyl-4-methylphenol, and the like.
Examples of the ultraviolet absorber include benzotriazoles such as 2- (2-hydroxy-3-t-butyl-5-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole, and benzophenones such as 2-hydroxy-4-octyloxybenzophenone. Benzoate series such as 2,4-di-t-butylphenyl-3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzoate, 2- (4,6-diphenyl-1,3,5-triazine-2 -Yl) -5-hexyloxyphenol and other triazine-based ultraviolet absorbers.

凝集防止剤としては、例えば、ポリアクリル酸ナトリウム等が挙げられる。
有機酸としては、例えば、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸類;
しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラメチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン酸等の脂肪族ジカルボン酸類;
トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸類;
安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸類;
フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸等の芳香族ジカルボン酸類;
トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸等の芳香族ポリカルボン酸類等が挙げられる。
Examples of the aggregation inhibitor include sodium polyacrylate.
Examples of the organic acid include aliphatic monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethyl acetic acid, enanthic acid, and caprylic acid;
Oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassylic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methylsuccinic acid, tetramethylsuccinic acid , Aliphatic dicarboxylic acids such as cyclohexanedicarboxylic acid, itaconic acid, citraconic acid, maleic acid, fumaric acid, mesaconic acid;
Aliphatic tricarboxylic acids such as tricarballylic acid, aconitic acid, camphoric acid;
Aromatic monocarboxylic acids such as benzoic acid, toluic acid, cumic acid, hemelic acid, mesitylene acid;
Aromatic dicarboxylic acids such as phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid;
And aromatic polycarboxylic acids such as trimellitic acid, trimesic acid, merophanic acid and pyromellitic acid.

有機アミン化合物としては、例えば、n―プロピルアミン、i−プロピルアミン、n−ブチルアミン、i−ブチルアミン、sec−ブチルアミン、t−ブチルアミン、n−ペンチルアミン、n−ヘキシルアミン、n−ヘプチルアミン、n−オクチルアミン、n−ノニルアミン、n−デシルアミン、n−ウンデシルアミン、n−ドデシルアミン等のモノアルキルアミン類;
シクロヘキシルアミン、2−メチルシクロヘキシルアミン、3−メチルシクロヘキシルアミン、4−メチルシクロヘキシルアミン等のモノシクロアルキルアミン類;
メチルエチルアミン、ジエチルアミン、メチルn−プロピルアミン、エチルn−プロピルアミン、ジn−プロピルアミン、ジi−プロピルアミン、ジn−ブチルアミン、ジi−ブチルアミン、ジsec−ブチルアミン、ジt−ブチルアミン、ジn−ペンチルアミン、ジn−ヘキシルアミン等のジアルキルアミン類;
Examples of the organic amine compound include n-propylamine, i-propylamine, n-butylamine, i-butylamine, sec-butylamine, t-butylamine, n-pentylamine, n-hexylamine, n-heptylamine, n Monoalkylamines such as octylamine, n-nonylamine, n-decylamine, n-undecylamine, n-dodecylamine;
Monocycloalkylamines such as cyclohexylamine, 2-methylcyclohexylamine, 3-methylcyclohexylamine, 4-methylcyclohexylamine;
Methyl ethylamine, diethylamine, methyl n-propylamine, ethyl n-propylamine, di-n-propylamine, di-i-propylamine, di-n-butylamine, di-butylamine, disec-butylamine, di-t-butylamine, di dialkylamines such as n-pentylamine and di-n-hexylamine;

メチルシクロヘキシルアミン、エチルシクロヘキシルアミン等のモノアルキルモノシクロアルキルアミン類;
ジシクロヘキシルアミン等のジシクロアルキルアミン類;
ジメチルエチルアミン、メチルジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチルn−プロピルアミン、ジエチルn−プロピルアミン、メチルジn−プロピルアミン、エチルジn−プロピルアミン、トリn−プロピルアミン、トリi−プロピルアミン、トリn−ブチルアミン、トリi−ブチルアミン、トリsec−ブチルアミン、トリt−ブチルアミン、トリn−ペンチルアミン、トリn−ヘキシルアミン等のトリアルキルアミン類;
ジメチルシクロヘキシルアミン、ジエチルシクロヘキシルアミン等のジアルキルモノシクロアルキルアミン類;
Monoalkylmonocycloalkylamines such as methylcyclohexylamine and ethylcyclohexylamine;
Dicycloalkylamines such as dicyclohexylamine;
Dimethylethylamine, methyldiethylamine, triethylamine, dimethyl n-propylamine, diethyl n-propylamine, methyldi-n-propylamine, ethyldi-n-propylamine, tri-n-propylamine, tri-i-propylamine, tri-n-butylamine, tri trialkylamines such as i-butylamine, trisec-butylamine, tri-t-butylamine, tri-n-pentylamine, tri-n-hexylamine;
Dialkylmonocycloalkylamines such as dimethylcyclohexylamine and diethylcyclohexylamine;

メチルジシクロヘキシルアミン、エチルジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミン等のモノアルキルジシクロアルキルアミン類;
2−アミノエタノール、3−アミノ−1−プロパノール、1−アミノ−2−プロパノール、4−アミノ−1−ブタノール、5−アミノ−1−ペンタノール、6−アミノ−1−ヘキサノール等のモノアルカノールアミン類;
4−アミノ−1−シクロヘキサノール等のモノシクロアルカノールアミン類;
ジエタノールアミン、ジn−プロパノールアミン、ジi−プロパノールアミン、ジn−ブタノールアミン、ジi−ブタノールアミン、ジn−ペンタノールアミン、ジn−ヘキサノールアミン等のジアルカノールアミン類;
ジ(4−シクロヘキサノール)アミン等のジシクロアルカノールアミン類;
トリエタノールアミン、トリn−プロパノールアミン、トリi−プロパノールアミン、トリn−ブタノールアミン、トリi−ブタノールアミン、トリn−ペンタノールアミン、トリn−ヘキサノールアミン等のトリアルカノールアミン類;
トリ(4−シクロヘキサノール)アミン等のトリシクロアルカノールアミン類;
3−アミノ−1,2−プロパンジオール、2−アミノ−1,3−プロパンジオール、4−アミノ−1,2−ブタンジオール、4−アミノ−1,3−ブタンジオール、3−ジメチルアミノ−1,2−プロパンジオール、3−ジエチルアミノ−1,2−プロパンジオール、2−ジメチルアミノ−1,3−プロパンジオール、2−ジエチルアミノ−1,3−プロパンジオール等のアミノアルカンジオール類;
Monoalkyldicycloalkylamines such as methyldicyclohexylamine, ethyldicyclohexylamine, tricyclohexylamine;
Monoalkanolamines such as 2-aminoethanol, 3-amino-1-propanol, 1-amino-2-propanol, 4-amino-1-butanol, 5-amino-1-pentanol, and 6-amino-1-hexanol Kind;
Monocycloalkanolamines such as 4-amino-1-cyclohexanol;
Dialkanolamines such as diethanolamine, di-n-propanolamine, di-i-propanolamine, di-n-butanolamine, dii-butanolamine, di-n-pentanolamine, di-n-hexanolamine;
Dicycloalkanolamines such as di (4-cyclohexanol) amine;
Trialkanolamines such as triethanolamine, tri-n-propanolamine, tri-i-propanolamine, tri-n-butanolamine, tri-i-butanolamine, tri-n-pentanolamine, tri-n-hexanolamine;
Tricycloalkanolamines such as tri (4-cyclohexanol) amine;
3-amino-1,2-propanediol, 2-amino-1,3-propanediol, 4-amino-1,2-butanediol, 4-amino-1,3-butanediol, 3-dimethylamino-1 , 2-propanediol, 3-diethylamino-1,2-propanediol, 2-dimethylamino-1,3-propanediol, aminoalkanediols such as 2-diethylamino-1,3-propanediol;

4−アミノ−1,2−シクロヘキサンジオール、4−アミノ−1,3−シクロヘキサンジオール等のアミノシクロアルカンジオール類;
1−アミノシクロペンタノンメタノール、4−アミノシクロペンタノンメタノール等のアミノ基含有シクロアルカノンメタノール類;
1−アミノシクロヘキサノンメタノール、4−アミノシクロヘキサノンメタノール、4−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、4−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、4−ジメチルアミノシクロヘキサンメタノール、4−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノール等のアミノ基含有シクロアルカンメタノール類;
β−アラニン、2−アミノ酪酸、3−アミノ酪酸、4−アミノ酪酸、2−アミノイソ酢酸、3−アミノイソ酢酸、2−アミノ吉草酸、5−アミノ吉草酸、6−アミノカプロン酸、1−アミノシクロプロパンカルボン酸、1−アミノシクロヘキサンカルボン酸、4−アミノシクロヘキサンカルボン酸等のアミノカルボン酸類;
Aminocycloalkanediols such as 4-amino-1,2-cyclohexanediol and 4-amino-1,3-cyclohexanediol;
Amino group-containing cycloalkanone methanols such as 1-aminocyclopentanone methanol and 4-aminocyclopentanone methanol;
Amino group-containing cycloalkanemethanols such as 1-aminocyclohexanone methanol, 4-aminocyclohexanone methanol, 4-dimethylaminocyclopentanemethanol, 4-diethylaminocyclopentanemethanol, 4-dimethylaminocyclohexanemethanol, 4-diethylaminocyclohexanemethanol;
β-alanine, 2-aminobutyric acid, 3-aminobutyric acid, 4-aminobutyric acid, 2-aminoisoacetic acid, 3-aminoisoacetic acid, 2-aminovaleric acid, 5-aminovaleric acid, 6-aminocaproic acid, 1-aminocyclo Aminocarboxylic acids such as propanecarboxylic acid, 1-aminocyclohexanecarboxylic acid, 4-aminocyclohexanecarboxylic acid;

アニリン、o−メチルアニリン、m−メチルアニリン、p−メチルアニリン、p−エチルアニリン、p−n−プロピルアニリン、p−i−プロピルアニリン、p−n−ブチルアニリン、p−t−ブチルアニリン、1−ナフチルアミン、2−ナフチルアミン、N,N−ジメチルアニリン、N,N−ジエチルアニリン、p−メチル−N,N−ジメチルアニリン等の芳香族アミン類;
o−アミノベンジルアルコール、m−アミノベンジルアルコール、p−アミノベンジルアルコール、p−ジメチルアミノベンジルアルコール、p−ジエチルアミノベンジルアルコール等のアミノベンジルアルコール類;
o−アミノフェノール、m−アミノフェノール、p−アミノフェノール、p−ジメチルアミノフェノール、p−ジエチルアミノフェノール等のアミノフェノール類;
m−アミノ安息香酸、p−アミノ安息香酸、p−ジメチルアミノ安息香酸、p−ジエチルアミノ安息香酸等のアミノ安息香酸類等が挙げられる。
Aniline, o-methylaniline, m-methylaniline, p-methylaniline, p-ethylaniline, pn-propylaniline, pi-propylaniline, pn-butylaniline, pt-butylaniline, Aromatic amines such as 1-naphthylamine, 2-naphthylamine, N, N-dimethylaniline, N, N-diethylaniline, p-methyl-N, N-dimethylaniline;
aminobenzyl alcohols such as o-aminobenzyl alcohol, m-aminobenzyl alcohol, p-aminobenzyl alcohol, p-dimethylaminobenzyl alcohol, p-diethylaminobenzyl alcohol;
aminophenols such as o-aminophenol, m-aminophenol, p-aminophenol, p-dimethylaminophenol, p-diethylaminophenol;
Examples thereof include aminobenzoic acids such as m-aminobenzoic acid, p-aminobenzoic acid, p-dimethylaminobenzoic acid, and p-diethylaminobenzoic acid.

硬化剤としては、例えば、加熱されることによってバインダーポリマー中のカルボキシル基と反応してバインダーポリマーを架橋することができる化合物が挙げられる。また、それ単独で重合して着色パターンを硬化させ得る化合物も挙げられる。前記化合物としては、例えば、エポキシ化合物、オキセタン化合物等が挙げられる。   As a hardening | curing agent, the compound which can react with the carboxyl group in a binder polymer by heating and can bridge | crosslink a binder polymer is mentioned, for example. Moreover, the compound which can superpose | polymerize independently and can harden a colored pattern is also mentioned. Examples of the compound include an epoxy compound and an oxetane compound.

エポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールA系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールA系エポキシ樹脂、ビスフェノールF系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールF系エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、エポキシ化油等のエポキシ樹脂、これらのエポキシ樹脂の臭素化誘導体、エポキシ樹脂及びその臭素化誘導体以外の脂肪族、脂環族又は芳香族のエポキシ化合物、ブタジエンの(共)重合体のエポキシ化物、イソプレンの(共)重合体のエポキシ化物、グリシジル(メタ)アクリレートの(共)重合体、トリグリシジルイソシアヌレート等が挙げられる。   Examples of the epoxy compound include bisphenol A-based epoxy resins, hydrogenated bisphenol A-based epoxy resins, bisphenol F-based epoxy resins, hydrogenated bisphenol F-based epoxy resins, novolac-type epoxy resins, other aromatic epoxy resins, and alicyclic rings. Epoxy resins, heterocyclic epoxy resins, glycidyl ester resins, glycidyl amine resins, epoxy resins such as epoxidized oil, brominated derivatives of these epoxy resins, aliphatics other than epoxy resins and brominated derivatives thereof, Alicyclic or aromatic epoxy compounds, epoxidized products of butadiene (co) polymers, epoxidized products of isoprene (co) polymers, (co) polymers of glycidyl (meth) acrylate, triglycidyl isocyanurate, etc. Can be mentioned.

オキセタン化合物としては、例えば、カーボネートビスオキセタン、キシリレンビスオキセタン、アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセタン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタン等が挙げられる。   Examples of the oxetane compound include carbonate bisoxetane, xylylene bisoxetane, adipate bisoxetane, terephthalate bisoxetane, and bisoxetane cyclohexanedicarboxylate.

本発明の着色感光性組成物は、硬化剤としてエポキシ化合物、オキセタン化合物等を含有する場合には、エポキシ化合物のエポキシ基、オキセタン化合物のオキセタン骨格を開環重合させ得る化合物を含んでいてもよい。前記の化合物としては、例えば、多価カルボン酸類、多価カルボン酸無水物類、酸発生剤等が挙げられる。   When the colored photosensitive composition of the present invention contains an epoxy compound, an oxetane compound or the like as a curing agent, it may contain a compound capable of ring-opening polymerization of the epoxy group of the epoxy compound or the oxetane skeleton of the oxetane compound. . Examples of the compound include polyvalent carboxylic acids, polyvalent carboxylic acid anhydrides, and acid generators.

多価カルボン酸類としては、例えば、フタル酸、3,4−ジメチルフタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸等の芳香族多価カルボン酸類;
こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸等の脂肪族多価カルボン酸類;
ヘキサヒドロフタル酸、3,4−ジメチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒドロテレフタル酸、1,2,4−シクロペンタントリカルボン酸、1,2,4−シクロヘキサントリカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸等の脂環族多価カルボン酸類等が挙げられる。
Examples of the polyvalent carboxylic acids include phthalic acid, 3,4-dimethylphthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, pyromellitic acid, trimellitic acid, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic acid, 3,3 Aromatic polycarboxylic acids such as', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic acid;
Aliphatic polycarboxylic acids such as succinic acid, glutaric acid, adipic acid, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid, maleic acid, fumaric acid, itaconic acid;
Hexahydrophthalic acid, 3,4-dimethyltetrahydrophthalic acid, hexahydroisophthalic acid, hexahydroterephthalic acid, 1,2,4-cyclopentanetricarboxylic acid, 1,2,4-cyclohexanetricarboxylic acid, cyclopentanetetracarboxylic acid And alicyclic polyvalent carboxylic acids such as 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic acid.

多価カルボン酸無水物類としては、例えば、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物等の芳香族多価カルボン酸無水物類;
無水イタコン酸、無水こはく酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、無水マレイン酸、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物等の脂肪族多価カルボン酸無水物類;
Examples of the polyvalent carboxylic acid anhydrides include aromatic polyvalent carboxylic acids such as phthalic anhydride, pyromellitic anhydride, trimellitic anhydride, and 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride. Acid anhydrides;
Aliphatic polycarboxylic anhydrides such as itaconic anhydride, succinic anhydride, citraconic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, tricarballylic anhydride, maleic anhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic dianhydride Kind;

無水ヘキサヒドロフタル酸、3,4−ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、1,2,4−シクロペンタントリカルボン酸無水物、1,2,4−シクロヘキサントリカルボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸等の脂環族多価カルボン酸無水物類;
エチレングリコールビストリメリテイト酸、グリセリントリストリメリテイト無水物等のエステル基含有カルボン酸無水物類等が挙げられる。
Hexahydrophthalic anhydride, 3,4-dimethyltetrahydrophthalic anhydride, 1,2,4-cyclopentanetricarboxylic anhydride, 1,2,4-cyclohexanetricarboxylic anhydride, cyclopentanetetracarboxylic dianhydride Alicyclic polycarboxylic acid anhydrides such as 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, hymic anhydride, and nadic anhydride;
Examples include ester group-containing carboxylic acid anhydrides such as ethylene glycol bistrimellitic acid and glycerine tristrimellitic anhydride.

カルボン酸無水物類として、エポキシ樹脂硬化剤として市販されているものを用いてもよい。前記のエポキシ樹脂硬化剤としては、例えば、商品名「アデカハードナーEH−700」(旭電化工業(株)製)、商品名「リカシッドHH」(新日本理化(株)製)、商品名「MH−700」(新日本理化(株)製)等が挙げられる。
前記の硬化剤は、それぞれ単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
As the carboxylic acid anhydrides, those commercially available as an epoxy resin curing agent may be used. Examples of the epoxy resin curing agent include a trade name “Adeka Hardener EH-700” (manufactured by Asahi Denka Kogyo Co., Ltd.), a trade name “Licacid HH” (manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd.), and a trade name “MH”. -700 "(manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd.).
The said hardening | curing agent can be used individually or in combination of 2 types or more, respectively.

本発明の着色感光性樹脂組成物を用いてパターンを形成する方法としては、具体的には、本発明の着色感光性樹脂組成物を、基板又は基板の上の先に形成した固体の着色感光性樹脂組成物層(以下、これを基板等ということがある。)の上に塗布し、塗布された着色感光性樹脂組成物層から溶剤等揮発成分を除去し、フォトマスクを介して揮発成分が除去された層を露光した後、現像する方法が挙げられる。   As a method for forming a pattern using the colored photosensitive resin composition of the present invention, specifically, the colored photosensitive resin composition of the present invention is formed on a substrate or a solid colored photosensitive resin previously formed on the substrate. The volatile component such as a solvent is removed from the applied colored photosensitive resin composition layer by coating on the photosensitive resin composition layer (hereinafter sometimes referred to as a substrate), and the volatile component is passed through a photomask. And a method of developing after exposing the layer from which is removed.

基板としては、例えば、ガラス基板;ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド等のプラスチック基板;Al等の金属又は合金基板;シリコン等の半導体基板;GaAs等の化合物半導体基板等の表面が平坦な基板が挙げられる。これらの基板は、シランカップリング剤等の薬品による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング処理、スパッタリング処理、気相反応処理、真空蒸着処理等の前処理が施されていてもよい。基板として半導体又は化合物半導体等の基板を用いる場合、これらシリコン基板等の表面には電荷結合素子(CCD)、薄膜トランジスタ(TFT)等が形成されていてもよい。   Examples of the substrate include a glass substrate; a plastic substrate such as polycarbonate, polyester, aromatic polyamide, polyamideimide, and polyimide; a metal or alloy substrate such as Al; a semiconductor substrate such as silicon; and a surface of a compound semiconductor substrate such as GaAs. A flat substrate may be mentioned. These substrates may be subjected to pretreatment such as chemical treatment with a chemical such as a silane coupling agent, plasma treatment, ion plating treatment, sputtering treatment, gas phase reaction treatment, and vacuum deposition treatment. When a substrate such as a semiconductor or a compound semiconductor is used as the substrate, a charge coupled device (CCD), a thin film transistor (TFT), or the like may be formed on the surface of the silicon substrate or the like.

前記の基板の上に着色感光性樹脂組成物を塗布するには、スピンコーター、省液コーター、なかでも、スリットコーターを用いて基板等の上に塗布し、次いで溶媒等の揮発成分を加熱により揮発させればよい。このようにして、基板等の上に着色感光性樹脂組成物の固形分からなる層が平坦性よく形成される。このようにして得られた塗膜に、目的の画像を形成するためのマスクを介して紫外線を照射する。この際、露光部全体に均一に平行光線が照射され、かつマスクと基板との正確な位置合わせが行われるよう、マスクアライナー、ステッパー等の装置を使用するのが好ましい。さらにこの後、硬化の終了した塗膜をアルカリ水溶液に接触させて非露光部を溶解させ、現像することにより、目的とする画像が得られる。現像後、必要に応じて150〜230℃で10〜60分程度のポストベークを施すこともできる。   In order to apply the colored photosensitive resin composition on the substrate, it is applied on the substrate using a spin coater, a liquid-saving coater, especially a slit coater, and then a volatile component such as a solvent is heated. It only has to be volatilized. In this way, a layer made of the solid content of the colored photosensitive resin composition is formed on the substrate or the like with good flatness. The coating film thus obtained is irradiated with ultraviolet rays through a mask for forming a target image. At this time, it is preferable to use an apparatus such as a mask aligner or a stepper so that parallel light rays are uniformly irradiated on the entire exposure unit and accurate alignment between the mask and the substrate is performed. Thereafter, the cured film is brought into contact with an alkaline aqueous solution to dissolve the non-exposed portion and developed, whereby a target image is obtained. After the development, post-baking can be performed at 150 to 230 ° C. for about 10 to 60 minutes as necessary.

パターニング露光後の現像に使用する現像液は、通常、アルカリ性化合物と界面活性剤とを含む水溶液である。
前記のアルカリ性化合物は、無機及び有機のアルカリ性化合物のいずれでもよい。
前記の無機アルカリ性化合物としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、燐酸水素二ナトリウム、燐酸二水素ナトリウム、燐酸水素二アンモニウム、燐酸二水素アンモニウム、燐酸二水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニア等が挙げられる。
前記の有機アルカリ性化合物としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、2−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミン等が挙げられる。
これらの無機及び有機アルカリ性化合物は、それぞれ単独で又は2種以上組み合わせて用いることができる。
アルカリ現像液中のアルカリ性化合物の好ましい濃度は、0.01〜10質量%であり、より好ましくは0.03〜5質量%である。
The developer used for development after patterning exposure is usually an aqueous solution containing an alkaline compound and a surfactant.
The alkaline compound may be an inorganic or organic alkaline compound.
Examples of the inorganic alkaline compound include sodium hydroxide, potassium hydroxide, disodium hydrogen phosphate, sodium dihydrogen phosphate, diammonium hydrogen phosphate, ammonium dihydrogen phosphate, potassium dihydrogen phosphate, sodium silicate, potassium silicate, and carbonic acid. Sodium, potassium carbonate, sodium hydrogen carbonate, potassium hydrogen carbonate, sodium borate, potassium borate, ammonia and the like can be mentioned.
Examples of the organic alkaline compound include tetramethylammonium hydroxide, 2-hydroxyethyltrimethylammonium hydroxide, monomethylamine, dimethylamine, trimethylamine, monoethylamine, diethylamine, triethylamine, monoisopropylamine, diisopropylamine, and ethanolamine. It is done.
These inorganic and organic alkaline compounds can be used alone or in combination of two or more.
The preferable density | concentration of the alkaline compound in an alkali developing solution is 0.01-10 mass%, More preferably, it is 0.03-5 mass%.

また、アルカリ現像液中の界面活性剤は、ノニオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤又はカチオン系界面活性剤のいずれでもよい。
前記のノニオン系界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン/オキシプロピレンブロックコポリマー、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン等が挙げられる。
The surfactant in the alkaline developer may be any of a nonionic surfactant, an anionic surfactant, or a cationic surfactant.
Examples of the nonionic surfactant include polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene aryl ether, polyoxyethylene alkyl aryl ether, other polyoxyethylene derivatives, oxyethylene / oxypropylene block copolymer, sorbitan fatty acid ester, polyoxyethylene Examples include ethylene sorbitan fatty acid ester, polyoxyethylene sorbitol fatty acid ester, glycerin fatty acid ester, polyoxyethylene fatty acid ester, and polyoxyethylene alkylamine.

前記のアニオン系界面活性剤としては、ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウム、オレイルアルコール硫酸エステルナトリウムのような高級アルコール硫酸エステル塩類、ラウリル硫酸ナトリウム、ラウリル硫酸アンモニウムのようなアルキル硫酸塩類、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、ドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウムのようなアルキルアリールスルホン酸塩類等が挙げられる。
前記のカチオン系界面活性剤としては、ステアリルアミン塩酸塩やラウリルトリメチルアンモニウムクロライドのようなアミン塩又は第四級アンモニウム塩等が挙げられる。
これらの界面活性剤は、単独で又は2種以上を組み合わせて用いてもよい。
アルカリ現像液中の界面活性剤の濃度は、質量基準で、通常0.01〜10質量%、好ましくは0.05〜8質量%、より好ましくは0.1〜5質量%である。
Examples of the anionic surfactant include higher alcohol sulfates such as sodium lauryl alcohol sulfate and sodium oleyl alcohol sulfate, alkyl sulfates such as sodium lauryl sulfate and ammonium lauryl sulfate, sodium dodecylbenzenesulfonate, and dodecyl. And alkylaryl sulfonates such as sodium naphthalene sulfonate.
Examples of the cationic surfactant include amine salts or quaternary ammonium salts such as stearylamine hydrochloride and lauryltrimethylammonium chloride.
These surfactants may be used alone or in combination of two or more.
The concentration of the surfactant in the alkali developer is usually 0.01 to 10% by mass, preferably 0.05 to 8% by mass, more preferably 0.1 to 5% by mass, based on mass.

以上のような着色感光性樹脂組成物の塗布、乾燥、得られる乾燥塗膜へのパターニング露光及び現像という各操作を経て、着色感光性樹脂組成物中の着色材料の色に相当する画素が得られ、さらにこれらの操作を、カラーフィルタに必要とされる色の数だけ繰り返すことにより、カラーフィルタが得られる。なお、カラーフィルタの厚みは、特に限定されることなく、用いた着色剤の種類及び量、用いたバインダー樹脂、溶媒等の種類及び量等によって、適宜調整することができる。   The pixels corresponding to the color of the coloring material in the colored photosensitive resin composition are obtained through the operations of applying the colored photosensitive resin composition as described above, drying, patterning exposure to the resulting dried coating film, and development. Further, by repeating these operations for the number of colors required for the color filter, a color filter is obtained. The thickness of the color filter is not particularly limited, and can be appropriately adjusted depending on the type and amount of the colorant used, the type and amount of the binder resin and solvent used, and the like.

上記において、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味及び範囲内でのすべての変更を含むものである。   Although the embodiments of the present invention have been described above, the embodiments of the present invention disclosed above are merely examples, and the scope of the present invention is not limited to these embodiments. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, and further includes meanings equivalent to the description of the claims and all modifications within the scope.

以下、実施例によって本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。例中、含有量ないし使用量を表す%及び部は、特に断らないかぎり質量基準である。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention in detail, this invention is not limited by these Examples. In the examples, “%” and “part” representing the content or amount used are based on mass unless otherwise specified.

<バインダー樹脂の合成>
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロート及びガス導入管を備えた1Lのフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート150gを導入した。その後、窒素ガスを、ガス導入管を通してフラスコ内に導入し、フラスコ内雰囲気を窒素ガスに置換した。続いて、フラスコ内の溶液を100℃に昇温し、ベンジルメタクリレート130.4g(0.74モル)、メタクリル酸31.0g(0.26モル)、アゾビスイソブチロニトリル2.6g及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート163gからなる混合物を、滴下ロートを用いて2時間かけてフラスコに滴下した。滴下完了後、さらに100℃で5時間撹拌を継続した。固形分34質量%、酸価100mgKOH/gの樹脂を得た。
ここで、酸価は、カルボン酸などの酸基を有する重合体1gを中和するに必要な水酸化カリウムの量(mg)として測定される値であり、通常、濃度既知の水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求められる。
<Synthesis of binder resin>
150 g of propylene glycol monomethyl ether acetate was introduced into a 1 L flask equipped with a stirrer, a thermometer, a reflux condenser, a dropping funnel and a gas introduction tube. Thereafter, nitrogen gas was introduced into the flask through the gas introduction tube, and the atmosphere in the flask was replaced with nitrogen gas. Subsequently, the temperature of the solution in the flask was raised to 100 ° C., 130.4 g (0.74 mol) of benzyl methacrylate, 31.0 g (0.26 mol) of methacrylic acid, 2.6 g of azobisisobutyronitrile and propylene. A mixture consisting of 163 g of glycol monomethyl ether acetate was added dropwise to the flask using a dropping funnel over 2 hours. After completion of the dropwise addition, stirring was further continued at 100 ° C. for 5 hours. A resin having a solid content of 34% by mass and an acid value of 100 mgKOH / g was obtained.
Here, the acid value is a value measured as an amount (mg) of potassium hydroxide necessary to neutralize 1 g of a polymer having an acid group such as carboxylic acid, and is usually a potassium hydroxide aqueous solution having a known concentration. It is calculated | required by titrating using.

得られたバインダー樹脂の、下記条件のGPC法により測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は25,000であった。
装置;HLC-8120GPC(東ソー(株)製)
カラム;TSK−GELG2000HXL
カラム温度;40℃
溶媒;THF
流速;1.0mL/min
被検液固型分濃度;0.001〜0.01質量%
注入量;50μL
検出器;RI
校正用標準物質;TSK STANDARD POLYSTYRENE F−40、F−4、F−1、A−2500、A−500(東ソー(株)製)
The weight average molecular weight of polystyrene conversion measured by GPC method of the following conditions of the obtained binder resin was 25,000.
Equipment: HLC-8120GPC (manufactured by Tosoh Corporation)
Column; TSK-GELG2000HXL
Column temperature: 40 ° C
Solvent; THF
Flow rate: 1.0 mL / min
Test liquid solid concentration: 0.001 to 0.01% by mass
Injection volume: 50 μL
Detector; RI
Standard material for calibration; TSK STANDARD POLYSTYRENE F-40, F-4, F-1, A-2500, A-500 (manufactured by Tosoh Corporation)

<実施例1>
上述したようにして得られたバインダー樹脂(メタクリル酸/ベンジルメタクリレート共重合体)14.6部、光重合性化合物(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート)3.3部、光重合開始剤(イルガキュアー907)0.5部、光重合開始助剤(2,4−ジエチルチオキサントン)0.5部、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート10部及びジプロピレングリコールモノメチルエーテル35.4部を混合した。さらに、着色剤(C.I.ピグメントレッド254)10.2部、分散剤(アジスパーPB821;酸価17mg(KOH)/g;味の素ファインテクノ(株)製)3部及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート63部を予め混合分散したものを加え、攪拌し、着色感光性樹脂組成物を得た。
次に、ガラス基板(#1737;コーニングジャパン(株)製)上にクロム膜が格子状にパターニングされたものを、中性洗剤、水及びアルコールで順次洗浄してから乾燥した。
<Example 1>
14.6 parts of binder resin (methacrylic acid / benzyl methacrylate copolymer) obtained as described above, 3.3 parts of photopolymerizable compound (dipentaerythritol hexaacrylate), photopolymerization initiator (Irgacure 907) 0.5 part, 0.5 part of photopolymerization initiation assistant (2,4-diethylthioxanthone), 10 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate and 35.4 parts of dipropylene glycol monomethyl ether as a solvent were mixed. Further, 10.2 parts of a colorant (CI Pigment Red 254), 3 parts of a dispersant (Ajisper PB821; acid value 17 mg (KOH) / g; manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd.) and propylene glycol monomethyl ether acetate 63 What was mixed and dispersed in advance was added and stirred to obtain a colored photosensitive resin composition.
Next, a glass substrate (# 1737; manufactured by Corning Japan Co., Ltd.) having a chromium film patterned in a lattice pattern was washed successively with a neutral detergent, water and alcohol and then dried.

このガラス基板上に、得られた着色感光性樹脂組成物を、ポストベーク後の色度x=0.655(CIE1931表色系)になるようにスリットノズルを具備したコーターで塗布し、減圧乾燥装置にて、1torr、70℃、60秒間保持して溶媒を留去した。冷却後、この着色感光性樹脂組成物を塗布した基板とストライプパターンを有する石英ガラス製フォトマスクとの間隔を150μmとし、超高圧水銀ランプを用いて大気雰囲気下、100mJ/cmの露光量(365nm基準)で光照射した。
その後、非イオン系界面活性剤0.12%と水酸化カリウム0.06%とを含む水溶液である現像液を23℃で80秒間、前記の塗膜にシャワーノズルを通して噴射することにより、現像を行った。水洗後、220℃で20分間ポストベークを行ってパターンを形成した。
On this glass substrate, the obtained colored photosensitive resin composition was applied with a coater equipped with a slit nozzle so that the post-baking chromaticity x = 0.655 (CIE1931 color system) and dried under reduced pressure. In the apparatus, the solvent was distilled off by maintaining at 1 torr and 70 ° C. for 60 seconds. After cooling, the distance between the substrate coated with the colored photosensitive resin composition and the photomask made of quartz glass having a stripe pattern is set to 150 μm, and an exposure amount of 100 mJ / cm 2 in an air atmosphere using an ultrahigh pressure mercury lamp ( The light was irradiated at 365 nm standard).
Thereafter, development is performed by spraying a developer, which is an aqueous solution containing 0.12% of a nonionic surfactant and 0.06% of potassium hydroxide, through the shower nozzle at 23 ° C. for 80 seconds. went. After washing with water, post-baking was performed at 220 ° C. for 20 minutes to form a pattern.

<評価>
得られたパターン基板について、ナトリウムランプ下でムラの観察を行った。用いた減圧乾燥装置には基板を支持するピンが一定の位置に配置されているが、このピンの位置に対応した基板上の位置にムラが確認できる場合、該基板はピンムラによる不良と判断される。このようなピンムラが、投入した基板の30%を超える枚数観察された場合、表1のピンムラの欄に×と記載した。30%以下の場合〇と記載した。
また、ピンの位置に対応しない個所でムラが観察された場合、その個所を光学顕微鏡で観察し、着色感光性樹脂組成物と同じ色、即ち、赤色の着色感光性樹脂組成物を用いた場合であれば赤色の異物を確認した場合、異物による不良基板として基板枚数を記録した。
投入した基板の総数と、異物による不良基板の累計との差が、投入した基板の総数の95%以上である場合、表1の歩留まりの欄に○と記載した。95%未満である場合、×と記載した。
<Evaluation>
The obtained pattern substrate was observed for unevenness under a sodium lamp. In the vacuum drying apparatus used, the pins that support the substrate are arranged at a certain position. However, if unevenness can be confirmed at a position on the substrate corresponding to the position of this pin, the substrate is determined to be defective due to pin unevenness. The When such pin unevenness was observed in a number exceeding 30% of the charged substrate, “x” was written in the pin uneven column of Table 1. In the case of 30% or less, it was described as “◯”.
In addition, when unevenness is observed at a location that does not correspond to the position of the pin, the location is observed with an optical microscope, and the same color as the colored photosensitive resin composition, that is, a colored photosensitive resin composition of red is used. Then, when a red foreign material was confirmed, the number of substrates was recorded as a defective substrate due to the foreign material.
When the difference between the total number of substrates introduced and the total number of defective substrates due to foreign matter is 95% or more of the total number of substrates introduced, “Y” is indicated in the yield column of Table 1. When it was less than 95%, it was described as x.

<実施例2〜7、比較例1〜5>
実施例1に記載の溶媒を表1のものに変更し、着色感光性樹脂組成物を同様に作製し、塗布、露光、現像してパターン基板を得た。
前述の評価結果を表1に記載した。
<Examples 2-7, Comparative Examples 1-5>
The solvent described in Example 1 was changed to that shown in Table 1, and a colored photosensitive resin composition was prepared in the same manner, and applied, exposed, and developed to obtain a pattern substrate.
The evaluation results described above are shown in Table 1.

Figure 2009276756
Figure 2009276756

溶媒名の横の数字は、溶媒全体に対する各溶媒の質量分率を表す。
PGMEA;プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(沸点146℃)
PGME;プロピレングリコールモノメチルエーテル(沸点121℃)
EEP;エトキシエチルプロピオネート(沸点165℃)
MFDG;ジプロピレングリコールモノメチルエーテル(沸点190℃)
MBA;メトキシブチルアセテート(沸点171℃)
CHN;シクロヘキサノン(沸点156℃)
The numbers next to the solvent names represent the mass fraction of each solvent relative to the entire solvent.
PGMEA; propylene glycol monomethyl ether acetate (boiling point 146 ° C)
PGME; propylene glycol monomethyl ether (boiling point 121 ° C)
EEP; ethoxyethyl propionate (boiling point 165 ° C)
MFDG: Dipropylene glycol monomethyl ether (boiling point 190 ° C)
MBA; methoxybutyl acetate (boiling point 171 ° C.)
CHN; cyclohexanone (boiling point 156 ° C.)

表1によれば、本実施例においては、いずれも歩留まりは良好であり、ピンムラもほとんど観察されなかった。   According to Table 1, in this example, the yield was good and almost no pin unevenness was observed.

Green画素の作成
実施例1に記載の着色剤をC.I.ピグメントグリーン36(7.1部)とC.I.ピグメントイエロー150(3.1部)に変更した以外は同様にして緑色着色感光性組成物を作製し、上述した、Red画素を作成した基板上に同様に塗布、露光、現像、ポストベークを行い、Green画素を作成した。但し、Greenのポストベーク後の色度y=0.590(CIE1931表色系)になるように塗布を行った。
Creation of Green Pixel The colorant described in Example 1 is C.I. I. Pigment Green 36 (7.1 parts) and C.I. I. A green colored photosensitive composition was prepared in the same manner except that it was changed to CI Pigment Yellow 150 (3.1 parts), and the above-described substrate on which the Red pixel was formed was similarly applied, exposed, developed, and post-baked. Green pixels were created. However, the coating was performed so that the chromaticity after Green post-baking was y = 0.590 (CIE 1931 color system).

Blue画素の作成
実施例1に記載の着色剤をC.I.ピグメントブルー15:6(7部)とC.I.ピグメントバイオレット23(0.5部)に変更した以外は同様にして青色着色感光性組成物を作製し、Green画素を作成した基板上に同様に塗布、露光、現像、ポストベークを行い、Blue画素を作成し、RGBのパターンを具備するカラーフィルタを作成した。但し、Blueのポストベーク後の色度y=0.100(CIE1931表色系)になるように塗布を行った。
Preparation of Blue Pixel The colorant described in Example 1 is C.I. I. Pigment Blue 15: 6 (7 parts) and C.I. I. A blue-colored photosensitive composition was prepared in the same manner except that it was changed to CI Pigment Violet 23 (0.5 part). Similarly, coating, exposure, development, and post-baking were performed on the substrate on which the green pixel was created, and a blue pixel was obtained. And a color filter having an RGB pattern was created. However, the coating was performed so that the chromaticity after blue post-baking was y = 0.100 (CIE 1931 color system).

実施例8 ブラックマトリックスの作製
〔バインダー樹脂の調製〕
容量300mLの四つ口フラスコ中に、ビスフェノールフルオレンジグリシジルエーテル46.3g、イタコン酸8.7g、トリエチルベンジルアンモニウムクロライド0.09g、テトラエチルアンモニウムブロマイド0.18g、メトキノン0.02gと、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート55gを仕込み、加熱撹拌下、120℃で4時間反応させ、透明な淡黄色の粘調液体を得た。得られた粘調液体に、さらに4.8gのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及び4.8gのアクリル酸を加え、120℃で8時間反応させた。これを化合物Aとする。
次に、化合物A55gと、テトラヒドロフタル酸無水物10.2gと、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート10.2gとを仕込み、120℃で加熱攪拌下に2時間反応させ、淡黄色透明の不飽和基含有カルボン酸化合物溶液A1を得た。
Example 8 Production of Black Matrix [Preparation of Binder Resin]
In a four-necked flask with a volume of 300 mL, 46.3 g of bisphenol fluorenediglycidyl ether, 8.7 g of itaconic acid, 0.09 g of triethylbenzylammonium chloride, 0.18 g of tetraethylammonium bromide, 0.02 g of methoquinone, and propylene glycol monomethyl ether Acetate 55g was charged and reacted at 120 ° C. for 4 hours under heating and stirring to obtain a transparent light yellow viscous liquid. To the obtained viscous liquid, 4.8 g of propylene glycol monomethyl ether acetate and 4.8 g of acrylic acid were further added and reacted at 120 ° C. for 8 hours. This is designated Compound A.
Next, 55 g of Compound A, 10.2 g of tetrahydrophthalic anhydride, and 10.2 g of propylene glycol monomethyl ether acetate were charged and reacted at 120 ° C. with heating and stirring for 2 hours to obtain a pale yellow transparent unsaturated group-containing carboxyl. An acid compound solution A1 was obtained.

〔着色感光性樹脂組成物の製造〕
着色剤〔平均粒径が0.03μmの黒色顔料(C.I.ピグメントブラック7)40質量部と分散剤12質量部との混合物〕52質量部、
バインダー樹脂(上記で得られた樹脂溶液A1) 33質量部(固形分換算)、
エチレン性不飽和結合を有する付加重合可能な化合物〔ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート〕10質量部、
光重合開始剤〔2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−ピペロニル−1,3,5−トリアジン〕5.0質量部及び
溶媒〔プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート〕252質量部と〔ジプロピレングリコールモノメチルエーテル〕122質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物(黒色)を得た。
[Production of colored photosensitive resin composition]
52 parts by weight of a colorant [mixture of 40 parts by weight of a black pigment (CI Pigment Black 7) having an average particle size of 0.03 μm and 12 parts by weight of a dispersant]
Binder resin (resin solution A1 obtained above) 33 parts by mass (in terms of solid content),
10 parts by mass of an addition-polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond [dipentaerythritol hexaacrylate],
Photopolymerization initiator [2,4-bis (trichloromethyl) -6-piperonyl-1,3,5-triazine] 5.0 parts by mass and solvent [propylene glycol monomethyl ether acetate] 252 parts by mass and [dipropylene glycol monomethyl Ether] 122 parts by mass were mixed to obtain a colored photosensitive resin composition (black).

〔黒色パターンの形成〕
中性洗剤、水及びアルコールで順次洗浄してから乾燥したガラス基板(#1737;コーニングジャパン(株)製)上に、得られた黒色感光性樹脂組成物を、ポストベーク後の光学濃度が3.1になるようにスリットノズルを具備したコーターで塗布した。
次に、減圧乾燥装置にて、1torr、70℃、60秒間保持して溶媒を留去した。冷却後、この着色感光性樹脂組成物を塗布した基板と石英ガラス製フォトマスク(30μm幅の光透過部を有し、かつ、遮光部は80μmと40μmとの辺を有する矩形である格子パターンを具備する)との間隔を150μmとし、超高圧水銀ランプを用いて大気雰囲気下、200mJ/cmの露光量(365nm基準)で光照射した。
その後、非イオン系界面活性剤0.12%と水酸化カリウム0.06%を含む水溶液である現像液を23℃で80秒間、前記の塗膜にシャワーノズルを通して噴射することにより、現像を行った。水洗後、220℃で20分間ポストベークを行ってブラックマトリックスを形成した。
同様に、合計451枚作成したブラックマトリックス基板を、ナトリウムランプ下、さらに光学顕微鏡で観察し、黒色異物の有無を観察し、その数を累積した。その結果を、シート総数451で除すことにより、1シート当たりに観察された黒色異物の数を算出した。その結果を表2に示す。
[Formation of black pattern]
An optical density after post-baking of the black photosensitive resin composition obtained on a glass substrate (# 1737; manufactured by Corning Japan Co., Ltd.) which has been washed with a neutral detergent, water and alcohol in sequence and then dried is 3 .1 was applied with a coater equipped with a slit nozzle.
Next, the solvent was distilled off by maintaining at 1 torr and 70 ° C. for 60 seconds in a vacuum drying apparatus. After cooling, a substrate coated with this colored photosensitive resin composition and a quartz glass photomask (having a light transmission part with a width of 30 μm and a light shielding part having a rectangular lattice pattern with sides of 80 μm and 40 μm) And an ultra high pressure mercury lamp was used to irradiate with light at an exposure amount of 200 mJ / cm 2 (based on 365 nm) using an ultra high pressure mercury lamp.
Thereafter, development is performed by spraying a developer, which is an aqueous solution containing 0.12% of a nonionic surfactant and 0.06% of potassium hydroxide, through the shower nozzle at 23 ° C. for 80 seconds. It was. After washing with water, post-baking was performed at 220 ° C. for 20 minutes to form a black matrix.
Similarly, a total of 451 black matrix substrates were observed with an optical microscope under a sodium lamp, the presence or absence of black foreign matter was observed, and the number was accumulated. By dividing the result by the total number of sheets 451, the number of black foreign matters observed per sheet was calculated. The results are shown in Table 2.

比較例6
実施例6の〔着色感光性樹脂組成物の製造〕で用いた溶媒〔プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート〕252質量部と〔ジプロピレングリコールモノメチルエーテル〕122質量部の代わりに溶媒〔プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート〕377質量部を用いて着色感光性樹脂組成物(黒色)を作成した以外は同様に操作を行い、235枚のブラックマトリックス基板を作成した。
得られた基板をナトリウムランプ下、さらに光学顕微鏡で観察し、黒色異物の有無を観察し、その数を累積した。その結果を、シート総数235で除すことにより、1シート(370mm×470mm)当たりに観察された黒色異物の数を算出した。その結果を表2に示す。
Comparative Example 6
Instead of 252 parts by mass of the solvent [propylene glycol monomethyl ether acetate] and 122 parts by mass of [dipropylene glycol monomethyl ether] used in [Production of colored photosensitive resin composition] in Example 6, the solvent [propylene glycol monomethyl ether acetate] The same operation was performed except that a colored photosensitive resin composition (black) was prepared using 377 parts by mass, and 235 black matrix substrates were prepared.
The obtained substrate was further observed with an optical microscope under a sodium lamp, the presence or absence of black foreign matters was observed, and the number was accumulated. By dividing the result by the total number of sheets 235, the number of black foreign matters observed per sheet (370 mm × 470 mm) was calculated. The results are shown in Table 2.

Figure 2009276756
Figure 2009276756

以上、比較例1〜3、5では、歩留まりが95%未満であるのに対し、本発明の着色感光性樹脂組成物を用いた実施例1から7では、歩留まりが95%以上と高く、生産性に優れることが分かる。比較例4はピンムラによる不良が多いため、生産性が劣る。
また、実施例8と比較例6とを比較した場合、同じく本発明の着色感光性樹脂組成物を用いた実施例8の方がシート1枚当たりの異物が少ない、即ち、不良となる基板が発生する率が低く生産性に優れることが分かる。
As described above, in Comparative Examples 1 to 5, the yield is less than 95%, while in Examples 1 to 7 using the colored photosensitive resin composition of the present invention, the yield is as high as 95% or more, and the production is high. It turns out that it is excellent in property. Since the comparative example 4 has many defects by pin nonuniformity, productivity is inferior.
In addition, when Example 8 and Comparative Example 6 are compared, Example 8 using the colored photosensitive resin composition of the present invention has less foreign matter per sheet, that is, a defective substrate. It can be seen that the rate of occurrence is low and the productivity is excellent.

<実施例9〜12>
実施例1に記載の溶媒を表3のものに変更し、着色感光性樹脂組成物を同様に作製し、塗布、露光、現像してパターン基板を得る。いずれも実施例1と同様に良好な結果が得られる。
<Examples 9 to 12>
The solvent described in Example 1 is changed to that shown in Table 3, and a colored photosensitive resin composition is similarly prepared, applied, exposed, and developed to obtain a pattern substrate. In either case, good results are obtained as in Example 1.

Figure 2009276756
Figure 2009276756

溶媒名の横の数字は、溶媒全体に対する各溶媒の質量分率を表す。
PGMEA;プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(沸点146℃)
MFDG;ジプロピレングリコールモノメチルエーテル(沸点190℃)
DPMA;ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(沸点209℃)
The numbers next to the solvent names represent the mass fraction of each solvent relative to the entire solvent.
PGMEA; propylene glycol monomethyl ether acetate (boiling point 146 ° C)
MFDG: Dipropylene glycol monomethyl ether (boiling point 190 ° C)
DPMA: Dipropylene glycol monomethyl ether acetate (boiling point 209 ° C)

本発明の着色感光性樹脂組成物は、カラーフィルタの製造において、生産性を向上させるために用いることができるとともに、種々の光学特性を付加するか、遮光性等を付加するような、種々のフィルタ、膜、層等の形成のために適用することができる。   The colored photosensitive resin composition of the present invention can be used to improve productivity in the production of a color filter, and has various optical properties or various light shielding properties. It can be applied for forming filters, membranes, layers and the like.

特開2002−23352号公報 2頁右欄11行目〜22行目JP-A-2002-23352, page 2, right column, lines 11-22

Claims (7)

着色剤、バインダー樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤及び溶媒を含む着色感光性樹脂組成物であって、
溶媒は、アルキル基の炭素数1〜4のジプロピレングリコールモノアルキルエーテル及びアルキル基の炭素数1〜4のジプロピレングリコールモノアルキルエーテルエステルからなる群から選ばれる少なくとも1種の溶媒(A)及び(A)とは異なる溶媒(B)からなり、
溶媒(A)の含有量が全溶媒量に対して、5質量%以上40質量%以下であり、
溶媒(B)の含有量が全溶媒量に対して、60質量%以上95質量%以下である着色感光性樹脂組成物。
A colored photosensitive resin composition comprising a colorant, a binder resin, a photopolymerizable compound, a photopolymerization initiator, and a solvent,
The solvent is at least one solvent (A) selected from the group consisting of dialkylene glycol monoalkyl ethers having 1 to 4 carbon atoms in the alkyl group and dipropylene glycol monoalkyl ether esters having 1 to 4 carbon atoms in the alkyl group; Comprising a solvent (B) different from (A),
The content of the solvent (A) is 5% by mass or more and 40% by mass or less with respect to the total solvent amount,
The colored photosensitive resin composition whose content of a solvent (B) is 60 to 95 mass% with respect to the total amount of solvent.
溶媒(B)が、121℃以上171℃以下の沸点を有する溶媒である請求項1記載の着色感光性樹脂組成物。   The colored photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the solvent (B) is a solvent having a boiling point of 121 ° C. or higher and 171 ° C. or lower. 溶媒(A)が、アルキル基の炭素数1〜4のジプロピレングリコールモノアルキルエーテルである請求項1又は2記載の着色感光性樹脂組成物。   The colored photosensitive resin composition according to claim 1 or 2, wherein the solvent (A) is a C1-C4 dipropylene glycol monoalkyl ether of an alkyl group. 溶媒(A)が、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルである請求項1〜3のいずれか1つに記載の着色感光性樹脂組成物。   The colored photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3, wherein the solvent (A) is dipropylene glycol monomethyl ether. 溶媒(B)が、プロピレングリコールメチルエーテルアセテートである請求項1〜4のいずれか1つに記載の着色感光性樹脂組成物。   The colored photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the solvent (B) is propylene glycol methyl ether acetate. 請求項1〜5のいずれか1つに記載の着色感光性樹脂組成物を用いて形成されるパターン。   The pattern formed using the colored photosensitive resin composition as described in any one of Claims 1-5. 請求項6記載のパターンを含むカラーフィルタ。   A color filter comprising the pattern according to claim 6.
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