JP6249757B2 - 単結晶シリコン引上装置 - Google Patents
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- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 title claims description 89
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 29
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 29
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 24
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 16
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 13
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 claims description 2
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 12
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 9
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 6
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 4
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 3
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001780 ECTFE Polymers 0.000 description 1
- 229920001774 Perfluoroether Polymers 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 229920000840 ethylene tetrafluoroethylene copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
単結晶シリコンを低コストで生産するためには、単結晶シリコン引上時における変形を抑制しつつ、単結晶シリコンを高速度で引き上げることが不可欠であり、単結晶シリコンを、変形を抑制しつつ高速度で引上げる技術に対する技術的要請がある。
請求項1に記載の発明は、単結晶シリコン引上装置であって、チャンバと、石英ルツボと、前記石英ルツボを軸線周りに回転するルツボ駆動手段と、前記石英ルツボに貯留したシリコン融液に対して、シードを垂下、浸漬して引き上げるとともに、前記シードを軸線周りに回転するシード駆動手段と、制御部とを備え、前記チャンバは、チャンバ上部内面に、フッ素樹脂系コーティング材料によって黒色化部分が形成されていることを特徴とする。
また、黒色化部分がフッ素樹脂系コーティング材料により形成されているので、黒色化部分を容易に形成することが可能であり、チャンバ上部の温度に安定して耐えることが可能である。
また、黒色化部分がフッ素樹脂系コーティング材料により形成されていることから、結晶シリコンに対する金属汚染が発生することが抑制される。
その結果、太陽電池等に用いる単結晶シリコン生産における生産性を向上することができる。
図1はこの発明の一実施形態に係る単結晶シリコン引上装置の概略を模式的に示す図であり、符号1は単結晶シリコン引上装置を示している。
なお、輻射率ε≧0.80とするとより好適であり、輻射率ε≧0.85とさらに好適である。輻射率ε≧0.90とすることがさらに好適である。
このトップチャンバ12の黒色化部分は、例えば、PTFE(四フッ化エチレン樹脂)によるコーティングによって形成されていて、輻射率ε≧0.50とされている。
プルチャンバ13の黒色化部分は、例えば、PTFE(四フッ化エチレン樹脂)によるコーティングによって形成されていて、輻射率ε≧0.50とされている。
ルツボ支持台21は、その支持部21Aがメインチャンバ11の底部11Aの中心部において底部11A及びスピルトレイ14を貫通して形成された貫通孔11Hに挿入されている。
また、シードチャック17は、基端側がワイヤWに接続され、ワイヤWがシード駆動機構30を接続されることによりシードSがメインチャンバ11に対して相対的に回転及び昇降自在とされている。
フロー管25は、アッパリング22Dの上に接続されていて、下端開口部から拡径されて上方に向かって鉛直に伸び、大径とされた上端開口部に向かって漸次拡径される中空筒とされ、黒鉛またはSiCにより形成されている。
シード引上機構31は、ワイヤWの基端側が接続されてワイヤWを巻回する巻取ドラム32と、巻取ドラム32を駆動するモータM2とを備え、巻取ドラム32を回転させてワイヤWを介してシードSを昇降可能とされている。
かかる構成により、シード駆動機構30は、シードSを回転軸線O周りに回転させながら昇降して、単結晶シリコンTを成長させるようになっている。
まず、原料となる塊状の多結晶シリコンを石英ルツボ15に充填する。
次に、チャンバ10内を減圧して、不活性ガスを導入してチャンバ10内を減圧された不活性ガス雰囲気とし、ヒータ19で石英ルツボ15を加熱して多結晶シリコンを溶解して1420℃のシリコン融液Mとする。所定時間放置して、シリコン融液M中のガスを十分に放出する。
次に、シードチャック17にシードSを固定して、シード駆動機構30を駆動して、シードチャック17を下降させてシードSをシリコン融液Mに浸漬し、シードSをシリコン融液Mになじませ、シードチャック17を、引上速度Vを1.05〜1.75mm/minで上昇させる。
次いで、石英ルツボ15を平面視左方向(矢印R1方向)に回転し、シードSが平面視左方向(矢印R2方向)となるようにワイヤWを回転する。
シードチャック17を引き上げながら、例えば、石英ルツボの回転速度VR1を4〜14rpmに制御する。上記条件によりシードSを引き上げることで、単結晶シリコンTを析出させながら、単結晶シリコンTが成長する。
次いで、シード駆動機構30を駆動してワイヤWを巻き取り、単結晶シリコンTを成長させながら引き上げる。この場合、単結晶シリコンTの成長にともない、石英ルツボ15内のシリコン融液Mの液面が低下するので、シリコン融液Mの液面低下に対応してルツボ昇降機構を駆動してルツボ支持台21を上方向に移動して、シリコン融液Mの液面レベルを一定に保つ。
そして、単結晶シリコンTが、トップチャンバ12及び冷却筒41に接近したら、単結晶シリコンTが放射する熱が、トップチャンバ12及び冷却筒41に吸収されて単結晶シリコンTが冷却され、単結晶シリコンTがくねって変形するのが抑制される。
また、フッ素樹脂系コーティング材料により形成されていることから、結晶シリコンTに対する金属汚染が発生することが抑制される。
以上のように、単結晶シリコン引上装置1によれば、単結晶シリコンTがくねって変形するのを抑制しつつ単結晶シリコンTの引上速度を高速化することができるので、太陽電池等に用いる単結晶シリコンTを製造する際の生産性を向上することができる。
また、黒色化部分を輻射率ε≧0.80としてもよいし、輻射率ε≧0.85や輻射率ε≧0.90に設定することもできる。また、全体を黒体化部分とせずに、部分的に黒体化部分としてもよいことはいうまでもない。
また、フッ素樹脂系コーティング材料に代えて、黒鉛等の物質による表面処理等により黒色化してもよい。
S シード
T 単結晶シリコン
1 単結晶シリコン引上装置
10 チャンバ
12 トップチャンバ(チャンバ上部)
15 石英ルツボ
20 ルツボ駆動機構(ルツボ駆動手段)
20A ルツボ回転機構(ルツボ駆動手段)
30 シード駆動機構(シード駆動手段)
31 シード引上機構(シード駆動手段)
35 シード回転機構(シード駆動手段)
40 冷却装置
41 冷却筒
50 制御部
Claims (4)
- チャンバと、
石英ルツボと、
前記石英ルツボを軸線周りに回転するルツボ駆動手段と、
前記石英ルツボに貯留したシリコン融液に対して、シードを垂下、浸漬して引き上げるとともに、前記シードを軸線周りに回転するシード駆動手段と、
制御部と、を備え、
前記チャンバは、
チャンバ上部内面に、フッ素樹脂系コーティング材料によって黒色化部分が形成されていることを特徴とする単結晶シリコン引上装置。 - 請求項1に記載の単結晶シリコン引上装置であって、
前記黒色化部分は、輻射率ε≧0.50とされていることを特徴とする単結晶シリコン引上装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の単結晶シリコン引上装置であって、
前記チャンバ上部から下方に向かって延在する冷却筒が形成されていることを特徴とする単結晶シリコン引上装置。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の単結晶シリコン引上装置であって、
前記チャンバ上部内面は、全面を黒色化部分とされていることを特徴とする単結晶シリコン引上装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013260069A JP6249757B2 (ja) | 2013-12-17 | 2013-12-17 | 単結晶シリコン引上装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013260069A JP6249757B2 (ja) | 2013-12-17 | 2013-12-17 | 単結晶シリコン引上装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015117144A JP2015117144A (ja) | 2015-06-25 |
JP6249757B2 true JP6249757B2 (ja) | 2017-12-20 |
Family
ID=53530219
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013260069A Active JP6249757B2 (ja) | 2013-12-17 | 2013-12-17 | 単結晶シリコン引上装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6249757B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05286793A (ja) * | 1992-04-07 | 1993-11-02 | Mitsubishi Materials Corp | 引上装置 |
JPH07118088A (ja) * | 1993-10-20 | 1995-05-09 | Hitachi Ltd | シリコン単結晶製造装置 |
JP3946405B2 (ja) * | 2000-03-30 | 2007-07-18 | 三菱マテリアルテクノ株式会社 | 真空配管構造 |
-
2013
- 2013-12-17 JP JP2013260069A patent/JP6249757B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015117144A (ja) | 2015-06-25 |
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