JP6245069B2 - 炭化珪素単結晶インゴットのワイヤー加工方法 - Google Patents
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Description
(1)ソーワイヤーを走行させながら炭化珪素単結晶インゴットをワイヤーソーで切断して炭化珪素単結晶基板に加工する方法において、炭化珪素単結晶インゴットの結晶方位を確認し、炭化珪素単結晶インゴットの結晶方位<1-100>方向をソーワイヤーによるインゴット切断面に射影した<1-100>正射影に対してソーワイヤーの走行方向が±5°以内に維持されるようにして、炭化珪素単結晶インゴットを切断することを特徴とする炭化珪素単結晶インゴットのワイヤー加工方法。
(2)前記ソーワイヤーの走行方向が、前記<1-100>正射影に対して±3°以内に維持されることを特徴とする(1)に記載の炭化珪素単結晶インゴットのワイヤー加工方法。
(3)(1)又は(2)に記載のワイヤーソーがマルチワイヤーソーであり、同時に複数の炭化珪素単結晶基板に加工することを特徴とする炭化珪素単結晶インゴットのワイヤー加工方法。
(4)炭化珪素単結晶インゴットの直径が6インチ以上であることを特徴とする(1)〜(3)のいずれかに記載の炭化珪素単結晶インゴットのワイヤー加工方法。
炭化珪素単結晶は炭素原子とシリコン原子の結合体が周期的に積層される結晶構造を有しているが、特に現在パワーデバイス向け材料として優れた特性を持つ4Hという六方晶構造のポリタイプが使用されている。図1(a)に示したように六方晶構造の場合、構造の軸が縦方向に1本(c軸)、横方向に3本(a軸)有り、それによって定まる結晶方位が図に示したように存在する。a軸に沿った方向が結晶方位<11-20>方向、それに対して30°ずれた方向が結晶方位<1-100>方向となる。そして、炭化珪素単結晶の場合、物性としてa軸方向と平行、すなわち結晶方位<11-20>方向と平行となる面(図中、六角柱の側面となる6つの面)が「へき開面」となっており、加工時にこの面に沿って割れ易い性質を有する。
炭化珪素単結晶インゴットから炭化珪素単結晶基板を切出す場合、電気特性等の理由から一般的に円柱を平面方向に切断(円形の炭化珪素単結晶基板が切り出せる方向)するため、ワイヤーソーによる切断加工を施す際に、炭化珪素単結晶インゴットの結晶方位を確認し、ソーワイヤーの走行方向に対して結晶方位として<11-20>方向、<1-100>方向、あるいはその間(30°の広がり有)で任意の方向にセットすることが可能である。
同じ装置を用いて同じ成長条件で昇華再結晶法(改良レイリー法)により合計10個の炭化珪素単結晶インゴット(SiCインゴット)を作製した。これらのSiCインゴットは、いずれも直径が150mmφ(6インチφ)であった。また、これらのSiCインゴットは、インゴットの成長方向とc軸とが一致したものである。
切断加工の際にソーワイヤーの走行方向となるインゴット結晶方位を<1-100>方向から周方向に3°ずらしてセットした以外は、上記実施例1と同様にして実施したところ、10回中1回のみクラックが発生した他は全てクラック無しで切断できた。
切断加工の際にソーワイヤーの走行方向となるインゴット結晶方位を<1-100>方向から周方向に5°ずらしてセットした以外は、上記実施例1と同様にして実施したところ、10回中3回のみクラックが発生した他は全てクラック無しで切断できた。
切断加工の際にソーワイヤーの走行方向となるインゴット結晶方位を<11-20>方向(<1-100>方向から30°すらした方位)となるようにセットした以外は、上記実施例1と同様にして実施したところ、10回中9回でクラックが発生し、1回のみクラック無しで切断できた。
切断加工の際にソーワイヤーの走行方向となるインゴット結晶方位を<1-100>方向から周方向に15°ずらしてセットした以外は、上記実施例1と同様にして実施したところ、10回中8回でクラックが発生し、2回のみクラック無しで切断できた。
切断加工の際にソーワイヤーの走行方向となるインゴット結晶方位を<1-100>方向から周方向に10°ずらしてセットした以外は、上記実施例1と同様にして実施したところ、10回中7回でクラックが発生し、3回のみクラック無しで切断できた。
Claims (4)
- ソーワイヤーを走行させながら炭化珪素単結晶インゴットをワイヤーソーで切断して炭化珪素単結晶基板に加工する方法において、炭化珪素単結晶インゴットの結晶方位を確認し、炭化珪素単結晶インゴットの結晶方位<1-100>方向をソーワイヤーによるインゴット切断面に射影した<1-100>正射影に対してソーワイヤーの走行方向が±5°以内に維持されるようにして、炭化珪素単結晶インゴットを切断することを特徴とする炭化珪素単結晶インゴットのワイヤー加工方法。
- 前記ソーワイヤーの走行方向が、前記<1-100>正射影に対して±3°以内に維持されることを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素単結晶インゴットのワイヤー加工方法。
- 請求項1又は請求項2に記載のワイヤーソーがマルチワイヤーソーであり、同時に複数の炭化珪素単結晶基板に加工することを特徴とする炭化珪素単結晶インゴットのワイヤー加工方法。
- 炭化珪素単結晶インゴットの直径が6インチ以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の炭化珪素単結晶インゴットのワイヤー加工方法。
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