JP6242282B2 - ドリフト量計算装置、ドリフト量計算方法、および荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
は、中心からずれてしまう。例えば、図16に示す例では、基準画像と比較画像との間にはドリフトがないにも関わらず、最大強度位置が中心からX軸方向に一周期分ずれている。このような場合には、ドリフトは生じていないにも関わらず、相互相関関数では像ブレの影響により一周期分ずれたことになってしまう。したがって、過大にドリフト補正がなされてしまうことになる。
第1画像と第2画像との間のドリフト量を計算するためのドリフト量計算装置であって、
前記第1画像と前記第2画像との相関関数を求める相関関数演算部と、
前記相関関数から極大をとる極大位置を探索する極大位置探索部と、
前記極大位置探索部で探索された複数の前記極大位置において、各前記極大位置の強度を前記相関関数の中心からの距離に応じた重みをつけて比較して、前記ドリフト量に対応する前記極大位置を決定する極大位置決定部と、
前記ドリフト量に対応する前記極大位置に基づいて、前記ドリフト量を算出するドリフト量算出部と、
を含み、
前記極大位置探索部で探索された2つの前記極大位置のうちの一方の第1極大位置の強度をAとし、他方の第2極大位置の強度をBとしたときに、
前記極大位置決定部は、
前記第1極大位置と前記中心との間の距離が前記第2極大位置と前記中心との間の距離よりも大きい場合、B×α<A(ただしα>1)を満たす場合に前記第1極大位置を前記ドリフト量に対応する前記極大位置の候補とし、
前記第1極大位置と前記中心との間の距離が前記第2極大位置と前記中心との間の距離よりも小さい場合、B<A×αを満たす場合に前記第1極大位置を前記ドリフト量に対応する前記極大位置の候補とする。
前記極大位置探索部は、前記相関関数の前記中心からの距離が小さい位置から順に前記極大位置を探索し、
前記極大位置決定部は、前記極大位置探索部で探索された前記極大位置の順に、前記極大位置の強度を前記中心からの距離に応じた重みをつけて比較してもよい。
第1画像と第2画像との間のドリフト量を計算するためのドリフト量計算装置であって、
前記第1画像と前記第2画像との相関関数を求める相関関数演算部と、
前記相関関数から極大をとる極大位置を探索する極大位置探索部と、
前記極大位置探索部で探索された複数の前記極大位置において、各前記極大位置の強度を前記相関関数の中心からの距離に応じた重みをつけて比較して、前記ドリフト量に対応する前記極大位置を決定する極大位置決定部と、
前記ドリフト量に対応する前記極大位置に基づいて、前記ドリフト量を算出するドリフト量算出部と、
を含み、
前記極大位置探索部は、前記相関関数の前記中心からの距離が小さい位置から順に前記極大位置を探索し、
前記極大位置決定部は、前記極大位置探索部で探索された前記極大位置の順に、前記極大位置の強度を前記中心からの距離に応じた重みをつけて比較する。
前記相関関数は、相互相関関数または位相限定相関関数であってもよい。
前記ドリフト量に基づいて、前記第1画像と前記第2画像との間のドリフトを補正するドリフト補正量を求めるドリフト補正量算出部を含んでいてもよい。
第1画像と第2画像との間のドリフト量を計算するためのドリフト量計算方法であって、
前記第1画像と前記第2画像との相関関数を求める相関関数演算工程と、
前記相関関数から極大をとる極大位置を探索する極大位置探索工程と、
前記極大位置探索工程で探索された複数の前記極大位置において、各前記極大位置の強度を前記相関関数の中心からの距離に応じた重みをつけて比較して、前記ドリフト量に対応する前記極大位置を決定する極大位置決定工程と、
前記ドリフト量に対応する前記極大位置に基づいて、前記ドリフト量を算出するドリフト量算出工程と、
を含み、
前記極大位置探索工程で探索された2つの前記極大位置のうちの一方の第1極大位置の強度をAとし、他方の第2極大位置の強度をBとしたときに、
前記極大位置決定工程では、
前記第1極大位置と前記中心との間の距離が前記第2極大位置と前記中心との間の距離よりも大きい場合、B×α<A(ただしα>1)を満たす場合に前記第1極大位置を前記ドリフト量に対応する前記極大位置の候補とし、
前記第1極大位置と前記中心との間の距離が前記第2極大位置と前記中心との間の距離よりも小さい場合、B<A×αを満たす場合に前記第1極大位置を前記ドリフト量に対応する前記極大位置の候補とする。
前記極大位置探索工程では、前記相関関数の前記中心からの距離が小さい位置から順に前記極大位置を探索し、
前記極大位置決定工程では、前記極大位置探索工程で探索された前記極大位置の順に、前記極大位置の強度を前記中心からの距離に応じた重みをつけて比較してもよい。
第1画像と第2画像との間のドリフト量を計算するためのドリフト量計算方法であって、
前記第1画像と前記第2画像との相関関数を求める相関関数演算工程と、
前記相関関数から極大をとる極大位置を探索する極大位置探索工程と、
前記極大位置探索工程で探索された複数の前記極大位置において、各前記極大位置の強度を前記相関関数の中心からの距離に応じた重みをつけて比較して、前記ドリフト量に対応する前記極大位置を決定する極大位置決定工程と、
前記ドリフト量に対応する前記極大位置に基づいて、前記ドリフト量を算出するドリフト量算出工程と、
を含み、
前記極大位置探索工程では、前記相関関数の前記中心からの距離が小さい位置から順に前記極大位置を探索し、
前記極大位置決定工程では、前記極大位置探索工程で探索された前記極大位置の順に、前記極大位置の強度を前記中心からの距離に応じた重みをつけて比較する。
前記相関関数は、相互相関関数または位相限定相関関数であってもよい。
前記ドリフト量に基づいて、前記第1画像と前記第2画像との間のドリフトを補正するドリフト補正量を求めるドリフト補正量算出工程を含んでいてもよい。
本発明に係るドリフト量計算装置を含む。
まず、本実施形態に係るドリフト量計算装置について図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係るドリフト量計算装置100を含む荷電粒子線装置1000の構成を模式的に示す図である。ここでは、図1に示すように、ドリフト量計算装置100が荷電粒子線装置に含まれている例について説明する。
、走査透過電子顕微鏡(STEM)である。走査透過電子顕微鏡は、電子プローブで試料上を走査し、試料Sを透過した電子を検出して走査像を得るための装置である。
器19aで検出されずに、暗視野像検出器19aを通過する。
スク(MO)、磁気ディスク、ハードディスク、磁気テープ、或いはメモリ(ROM)などにより実現できる。処理部110は、情報記憶媒体126に格納されるプログラム(データ)に基づいて本実施形態の種々の処理を行う。情報記憶媒体126には、処理部110の各部としてコンピューターを機能させるためのプログラムを記憶することができる。
の一方をドリフト量に対応する極大位置の候補とする。
るため、ドリフト量が過剰に計算される可能性を低減させることができる。
に対しても、周期構造を含む画像と同様に、ドリフト量を計算することができ、周期性の有無に関わらず容易にドリフト量を求めることができる。
次に、本実施形態に係るドリフト量計算装置100を用いたドリフト量計算方法について図面を参照しながら説明する。図11は、本実施形態に係るドリフト量計算方法の一例を示すフローチャートである。
テップS122の処理の後、またはB×α<Aを満たさない場合(ステップS116でNoの場合)、極大位置探索部114は、その位置が終点か否か、すなわち、相互相関関数のすべての位置を探索したか否かの判定を行う(ステップS124)。
応する極大位置を決定する極大位置決定工程と、当該ドリフト量に対応する極大位置に基づいてドリフト量を算出するドリフト量算出工程と、を含む。そのため、本実施形態に係るドリフト量計算方法では、周期構造を含み、かつ像ブレやノイズの影響がある画像に対しても、ドリフト量が過剰に計算される可能性を低減させることができる。したがって、本実施形態に係るドリフト量計算方法では、例えば周期構造を含む画像であっても、正確にドリフト量を計算することができる。
3.1. 第1変形例
次に、本実施形態に係るドリフト量計算装置の第1変形例について説明する。本変形例に係るドリフト量計算装置の構成は、上述した図1に示すドリフト量計算装置100と同様でありその説明を省略する。以下では、本変形例について、ドリフト量計算装置100との相違点について説明する。
次に、本実施形態に係るドリフト量計算装置の第2変形例について説明する。本変形例に係るドリフト量計算装置の構成は、上述した図1に示すドリフト量計算装置100と同様でありその説明を省略する。以下では、本変形例について、ドリフト量計算装置100との相違点について説明する。
始し、各座標が極大をとる位置(極大位置)か否かの判定を行う(ステップS108)。極大位置探索部114は、極大位置ではないと判定した場合(ステップS108でNOの場合)、次の座標に移動し(ステップS110)、当該座標が極大位置か否かの判定を行う(ステップS108)。
ト量計算装置は、このような荷電粒子線装置に組み込まれて、当該荷電粒子線装置で得られる画像間のドリフト量を計算することができる。
Claims (11)
- 第1画像と第2画像との間のドリフト量を計算するためのドリフト量計算装置であって、
前記第1画像と前記第2画像との相関関数を求める相関関数演算部と、
前記相関関数から極大をとる極大位置を探索する極大位置探索部と、
前記極大位置探索部で探索された複数の前記極大位置において、各前記極大位置の強度を前記相関関数の中心からの距離に応じた重みをつけて比較して、前記ドリフト量に対応する前記極大位置を決定する極大位置決定部と、
前記ドリフト量に対応する前記極大位置に基づいて、前記ドリフト量を算出するドリフト量算出部と、
を含み、
前記極大位置探索部で探索された2つの前記極大位置のうちの一方の第1極大位置の強度をAとし、他方の第2極大位置の強度をBとしたときに、
前記極大位置決定部は、
前記第1極大位置と前記中心との間の距離が前記第2極大位置と前記中心との間の距離よりも大きい場合、B×α<A(ただしα>1)を満たす場合に前記第1極大位置を前記ドリフト量に対応する前記極大位置の候補とし、
前記第1極大位置と前記中心との間の距離が前記第2極大位置と前記中心との間の距離よりも小さい場合、B<A×αを満たす場合に前記第1極大位置を前記ドリフト量に対応する前記極大位置の候補とする、ドリフト量計算装置。 - 請求項1において、
前記極大位置探索部は、前記相関関数の前記中心からの距離が小さい位置から順に前記極大位置を探索し、
前記極大位置決定部は、前記極大位置探索部で探索された前記極大位置の順に、前記極大位置の強度を前記中心からの距離に応じた重みをつけて比較する、ドリフト量計算装置。 - 第1画像と第2画像との間のドリフト量を計算するためのドリフト量計算装置であって
、
前記第1画像と前記第2画像との相関関数を求める相関関数演算部と、
前記相関関数から極大をとる極大位置を探索する極大位置探索部と、
前記極大位置探索部で探索された複数の前記極大位置において、各前記極大位置の強度を前記相関関数の中心からの距離に応じた重みをつけて比較して、前記ドリフト量に対応する前記極大位置を決定する極大位置決定部と、
前記ドリフト量に対応する前記極大位置に基づいて、前記ドリフト量を算出するドリフト量算出部と、
を含み、
前記極大位置探索部は、前記相関関数の前記中心からの距離が小さい位置から順に前記極大位置を探索し、
前記極大位置決定部は、前記極大位置探索部で探索された前記極大位置の順に、前記極大位置の強度を前記中心からの距離に応じた重みをつけて比較する、ドリフト量計算装置。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記相関関数は、相互相関関数または位相限定相関関数である、ドリフト量計算装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記ドリフト量に基づいて、前記第1画像と前記第2画像との間のドリフトを補正するドリフト補正量を求めるドリフト補正量算出部を含む、ドリフト量計算装置。 - 第1画像と第2画像との間のドリフト量を計算するためのドリフト量計算方法であって、
前記第1画像と前記第2画像との相関関数を求める相関関数演算工程と、
前記相関関数から極大をとる極大位置を探索する極大位置探索工程と、
前記極大位置探索工程で探索された複数の前記極大位置において、各前記極大位置の強度を前記相関関数の中心からの距離に応じた重みをつけて比較して、前記ドリフト量に対応する前記極大位置を決定する極大位置決定工程と、
前記ドリフト量に対応する前記極大位置に基づいて、前記ドリフト量を算出するドリフト量算出工程と、
を含み、
前記極大位置探索工程で探索された2つの前記極大位置のうちの一方の第1極大位置の強度をAとし、他方の第2極大位置の強度をBとしたときに、
前記極大位置決定工程では、
前記第1極大位置と前記中心との間の距離が前記第2極大位置と前記中心との間の距離よりも大きい場合、B×α<A(ただしα>1)を満たす場合に前記第1極大位置を前記ドリフト量に対応する前記極大位置の候補とし、
前記第1極大位置と前記中心との間の距離が前記第2極大位置と前記中心との間の距離よりも小さい場合、B<A×αを満たす場合に前記第1極大位置を前記ドリフト量に対応する前記極大位置の候補とする、ドリフト量計算方法。 - 請求項6において、
前記極大位置探索工程では、前記相関関数の前記中心からの距離が小さい位置から順に前記極大位置を探索し、
前記極大位置決定工程では、前記極大位置探索工程で探索された前記極大位置の順に、前記極大位置の強度を前記中心からの距離に応じた重みをつけて比較する、ドリフト量計算方法。 - 第1画像と第2画像との間のドリフト量を計算するためのドリフト量計算方法であって
、
前記第1画像と前記第2画像との相関関数を求める相関関数演算工程と、
前記相関関数から極大をとる極大位置を探索する極大位置探索工程と、
前記極大位置探索工程で探索された複数の前記極大位置において、各前記極大位置の強度を前記相関関数の中心からの距離に応じた重みをつけて比較して、前記ドリフト量に対応する前記極大位置を決定する極大位置決定工程と、
前記ドリフト量に対応する前記極大位置に基づいて、前記ドリフト量を算出するドリフト量算出工程と、
を含み、
前記極大位置探索工程では、前記相関関数の前記中心からの距離が小さい位置から順に前記極大位置を探索し、
前記極大位置決定工程では、前記極大位置探索工程で探索された前記極大位置の順に、前記極大位置の強度を前記中心からの距離に応じた重みをつけて比較する、ドリフト量計算方法。 - 請求項6ないし8のいずれか1項において、
前記相関関数は、相互相関関数または位相限定相関関数である、ドリフト量計算方法。 - 請求項6ないし9のいずれか1項において、
前記ドリフト量に基づいて、前記第1画像と前記第2画像との間のドリフトを補正するドリフト補正量を求めるドリフト補正量算出工程を含む、ドリフト量計算方法。 - 請求項1ないし5のいずれか1項に係るドリフト量計算装置を含む、荷電粒子線装置。
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