JP2016213054A - 画像処理装置、電子顕微鏡、および画像処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
画像を取得する画像取得部と、
前記画像から各画素の輝度の分布を示すヒストグラムを生成するヒストグラム生成部と、
前記画像の最大輝度値に基づいて、前記ヒストグラムに対するビニング処理を行うビニング処理部と、
前記ビニング処理された前記ヒストグラムに基づいて、前記画像のコントラストを調整するコントラスト調整部と、
を含む。
前記ビニング処理部は、前記ヒストグラムの隣接する複数のビンを1つのビンとする処理を、前記画像の最大輝度値に基づき決定された回数だけ繰り返してもよい。
前記コントラスト調整部は、
前記ビニング処理された前記ヒストグラムに存在するピークの数を求める処理と、
前記ピークの数が2以上である場合に、前記ビニング処理された前記ヒストグラムから前記画像の最大輝度値に基づき算出された閾値以下の前記ピークを除外して、前記画像のコントラストを調整する処理と、
を行ってもよい。
前記コントラスト調整部は、前記画像の最大輝度値に所与の係数を乗算して前記閾値を算出してもよい。
観察対象物以外の構造物由来のピークをヒストグラムから確実に除外することができる。
前記画像は、透過電子顕微鏡像であってもよい。
画像を取得する画像取得部と、
前記画像から各画素の輝度の分布を示すヒストグラムを生成するヒストグラム生成部と、
前記ヒストグラムに基づいて、前記画像のコントラストを調整するコントラスト調整部と、
を含み、
前記コントラスト調整部は、
前記ヒストグラムに存在するピークの数を求める処理と、
前記ピークの数が2以上である場合に、前記ヒストグラムから前記画像の最大輝度値に基づき算出された閾値以下の前記ピークを除外して、前記画像のコントラストを調整する処理と、
を行う。
画像を取得する画像取得部と、
前記画像から各画素の輝度の分布を示すヒストグラムを生成するヒストグラム生成部と、
前記ヒストグラムから、前記画像の最大輝度値に基づき算出された閾値以下の輝度値を除外し、前記閾値以下の輝度値が除外された前記ヒストグラムに基づいて、前記画像のコントラストを調整するコントラスト調整部と、
を含む。
前記コントラスト調整部は、前記画像の最大輝度値に所与の係数を乗算して前記閾値を算出してもよい。
前記画像の最大輝度値に基づいて、前記ヒストグラムに対するビニング処理を行うビニング処理部を含んでいてもよい。
グラムに基づいて、画像のコントラストを調整することができる。したがって、画像処理の高速化を図ることができる。
前記画像は、透過電子顕微鏡像であってもよい。
本発明に係る画像処理装置を含む。
画像を取得する画像取得工程と、
前記画像から各画素の輝度の分布を示すヒストグラムを生成するヒストグラム生成工程と、
前記画像の最大輝度値に基づいて、前記ヒストグラムに対するビニング処理を行うビニング処理工程と、
前記ビニング処理された前記ヒストグラムに基づいて、前記画像のコントラストを調整するコントラスト調整工程と、
を含む。
画像を取得する画像取得工程と、
前記画像から各画素の輝度の分布を示すヒストグラムを生成するヒストグラム生成工程と、
前記ヒストグラムに基づいて、前記画像のコントラストを調整するコントラスト調整工程と、
を含み、
前記コントラスト調整工程は、
前記ヒストグラムに存在するピークの数を求める工程と、
前記ピークの数が2以上である場合に、前記ヒストグラムから前記画像の最大輝度値に基づき算出された閾値以下の前記ピークを除外して、前記画像のコントラストを調整する工程と、
を有する。
画像を取得する画像取得工程と、
前記画像から各画素の輝度の分布を示すヒストグラムを生成するヒストグラム生成工程と、
前記ヒストグラムから、前記画像の最大輝度値に基づき算出された閾値以下の輝度値を除外し、前記閾値以下の輝度値が除外された前記ヒストグラムに基づいて、前記画像のコントラストを調整するコントラスト調整工程と、
を含む。
まず、本実施形態に係る画像処理装置を含む電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る画像処理装置100を含む電子顕微鏡1000の構成を模式的に示す図である。
ことができる。電子線源11として用いられる電子銃は特に限定されず、例えば熱電子放出型や、熱電界放出型、冷陰極電界放出型などの電子銃を用いることができる。
れ、処理部110が各種プログラムに従って実行した算出結果等を一時的に記憶するためにも使用される。記憶部124の機能は、ハードディスク、RAMなどにより実現できる。
たは0)の場合には、輝度ヒストグラムの頻度がゼロのものを除いた輝度値のうちの最小の輝度値と最大の輝度値を、それぞれ表示部122上の最小輝度値と最大輝度値に対応させてTEM像に対するコントラストの調整を行う。
次に、本実施形態に係る画像処理装置における画像処理方法について説明する。図2は、本実施形態に係る画像処理装置100における画像処理の一例を示すフローチャートである。
撮影視野を探すための視野探しの際などに、観察中に連続して取得される一連の像に対してコントラストの調整を行うことができ、コントラストが調整されたTEM像をリアルタイムに表示部122に表示させることができる。
以下に実験例を示し、本発明をより具体的に説明する。なお、本発明は、以下の実験例によって何ら限定されるものではない。
ッド)とが含まれているTEM像である。なお、図4(a)は、図3(a)の視野から視野を移動させて撮影されたTEM像である。図4(a)に示すTEM像では、図3(a)に示すTEM像と同様に、輝度ヒストグラム中の最小輝度値と最大輝度値を表示部の最小輝度値と最大輝度値に対応させてコントラストの調整を行った。図4(b)は、図4(a)に示すTEM像の輝度ヒストグラムを示す図である。図4(b)に示す輝度ヒストグラムの破線間の領域が表示コントラスト(図4(a)に示すTEM像のコントラスト)に対応している。
次に、本実施形態に係る画像処理装置における画像処理の変形例について図面を参照しながら説明する。本変形例に係る画像処理装置の構成は、図1に示す画像処理装置100
の構成と同様であり、図示および説明を省略する。図8は、本実施形態に係る画像処理装置における画像処理の変形例を示すフローチャートである。なお、図8に示すフローチャートにおいて、図2に示すフローチャートの処理と同じ処理には、同じ符号を付してその説明を省略する。
して表示部122に表示させることができる。
ズ、14…試料ステージ、15…試料ホルダー、16…中間レンズ、17…投影レンズ、18…撮像部、20…除振器、22…架台、100…画像処理装置、110…処理部、112…画像取得部、114…ヒストグラム生成部、116…ビニング処理部、118…コントラスト調整部、119…表示制御部、120…操作部、122…表示部、124…記憶部、1000…電子顕微鏡
Claims (14)
- 画像を取得する画像取得部と、
前記画像から各画素の輝度の分布を示すヒストグラムを生成するヒストグラム生成部と、
前記画像の最大輝度値に基づいて、前記ヒストグラムに対するビニング処理を行うビニング処理部と、
前記ビニング処理された前記ヒストグラムに基づいて、前記画像のコントラストを調整するコントラスト調整部と、
を含む、画像処理装置。 - 請求項1において、
前記ビニング処理部は、前記ヒストグラムの隣接する複数のビンを1つのビンとする処理を、前記画像の最大輝度値に基づき決定された回数だけ繰り返す、画像処理装置。 - 請求項1または2において、
前記コントラスト調整部は、
前記ビニング処理された前記ヒストグラムに存在するピークの数を求める処理と、
前記ピークの数が2以上である場合に、前記ビニング処理された前記ヒストグラムから前記画像の最大輝度値に基づき算出された閾値以下の前記ピークを除外して、前記画像のコントラストを調整する処理と、
を行う、画像処理装置。 - 請求項3において、
前記コントラスト調整部は、前記画像の最大輝度値に所与の係数を乗算して前記閾値を算出する、画像処理装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記画像は、透過電子顕微鏡像である、画像処理装置。 - 画像を取得する画像取得部と、
前記画像から各画素の輝度の分布を示すヒストグラムを生成するヒストグラム生成部と、
前記ヒストグラムに基づいて、前記画像のコントラストを調整するコントラスト調整部と、
を含み、
前記コントラスト調整部は、
前記ヒストグラムに存在するピークの数を求める処理と、
前記ピークの数が2以上である場合に、前記ヒストグラムから前記画像の最大輝度値に基づき算出された閾値以下の前記ピークを除外して、前記画像のコントラストを調整する処理と、
を行う、画像処理装置。 - 画像を取得する画像取得部と、
前記画像から各画素の輝度の分布を示すヒストグラムを生成するヒストグラム生成部と、
前記ヒストグラムから、前記画像の最大輝度値に基づき算出された閾値以下の輝度値を除外し、前記閾値以下の輝度値が除外された前記ヒストグラムに基づいて、前記画像のコントラストを調整するコントラスト調整部と、
を含む、画像処理装置。 - 請求項6または7において、
前記コントラスト調整部は、前記画像の最大輝度値に所与の係数を乗算して前記閾値を算出する、画像処理装置。 - 請求項6ないし8のいずれか1項において、
前記画像の最大輝度値に基づいて、前記ヒストグラムに対するビニング処理を行うビニング処理部を含む、画像処理装置。 - 請求項6ないし9のいずれか1項において、
前記画像は、透過電子顕微鏡像である、画像処理装置。 - 請求項1ないし10のいずれか1項に記載の画像処理装置を含む、電子顕微鏡。
- 画像を取得する画像取得工程と、
前記画像から各画素の輝度の分布を示すヒストグラムを生成するヒストグラム生成工程と、
前記画像の最大輝度値に基づいて、前記ヒストグラムに対するビニング処理を行うビニング処理工程と、
前記ビニング処理された前記ヒストグラムに基づいて、前記画像のコントラストを調整するコントラスト調整工程と、
を含む、画像処理方法。 - 画像を取得する画像取得工程と、
前記画像から各画素の輝度の分布を示すヒストグラムを生成するヒストグラム生成工程と、
前記ヒストグラムに基づいて、前記画像のコントラストを調整するコントラスト調整工程と、
を含み、
前記コントラスト調整工程は、
前記ヒストグラムに存在するピークの数を求める工程と、
前記ピークの数が2以上である場合に、前記ヒストグラムから前記画像の最大輝度値に基づき算出された閾値以下の前記ピークを除外し、前記画像のコントラストを調整する工程と、
を有する、画像処理方法。 - 画像を取得する画像取得工程と、
取得した前記画像から各画素の輝度の分布を示すヒストグラムを生成するヒストグラム生成工程と、
前記ヒストグラムから、前記画像の最大輝度値に基づき算出された閾値以下の輝度値を除外し、前記閾値以下の輝度値が除外された前記ヒストグラムに基づいて、前記画像のコントラストを調整するコントラスト調整工程と、
を含む、画像処理方法。
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